AnwendungsberichtHalbleiterherstellung

M ESSAU FG ABE

Der H erstellu n gsprozess fü r M i kroch i ps u n d Lei terpla tten besteh t a u s ei n er Rei h e

ph otoch em i sch er u n d ch em i sch er Bea rbei tu n gssch ri tte. Di e Arbei ten werd en u n ter

kon troll i erten Bed i n gu n gen i n Rei n rä u m en m i t ei n em seh r geri n gen Versch m u t-

zu n gsgra d d u rch gefü h rt. Ei n e Sch lü sselstu fe d es Prod u kti on sprozesses i st d a s N a s-

sä tzen , bei d em u n gewolltes M a teri a l von d en H a lblei tern u n d Lei terpla tten d u rch

Ei n sa tz versch i ed en er Ch em i ka li en en tfern t wi rd .

Di e Sa u berkei t d es Prod u kti on sra u m s m u ss zu j ed er Zei t erh a lten blei ben u m

kostspi eli ge Prod u kti on su n terbrech u n gen zu verm ei d en . Folgli ch wü rd e j ed er Ei n -

ba u von Du rch flu ssm essgerä ten i n d en Roh rlei tu n gen d i e Steri l i tä t d es Verfa h ren s

gefä h rd en u n d d a s An la gen person a l d en h och toxi sch en Su bsta n zen a u ssetzen .

LÖSU N G

Di ese Si tu a ti on stellt ei n e i d ea le Ei n sa tzm ögli ch kei t fü r d i e Ka tron i c-Du rch flu ss-

m esser d a r. Di e La u fzei td i fferen zm eth od e d er KATflow-Prod u ktpa lette ga ra n ti ert

zu verlä ssi ge u n d si ch ere M essu n gen d er bei m Prod u kti on sprozess vorkom m en d en

gefä h rli ch en Ch em i ka li en u n d n i ch tlei ten d en Flü ssi gkei ten . Di e Du rch flu ssm esser

kön n en oh n e zu sä tzli ch en Kon stru kti on sa u fwa n d n a ch trä gli ch i n sta ll i ert werd en

u n d gefä h rd en d a d u rch n i ch t d i e steri le Prod u kti on su m gebu n g.

Ka tron i c ka n n sowoh l porta ble a ls a u ch fest i n sta ll i erba re M essgerä te a n bi eten , u m

d en versch i ed en en An ford eru n gen d i eser a n spru ch svollen I n d u stri e gerech t zu

werd en . Du rch flu ssm esser wi e d er KATflow 150 kön n en ei n e perm a n en te M essu n g

von a ggressi ven M ed i en wi e Flu sssä u re gewä h rlei sten , wä h ren d porta ble Du rch -

flu ssm esser h ervorra gen d fü r d i e Feh lersu ch e u n d zu r Prozessveri fi zi eru n g geei gn et

si n d .

VORTEI LE

• Ei n fa ch e, sch n elle u n d kosten effi zi en te I n sta lla ti on a u f exi sti eren d en Lei tu n gen

• Du rch flu ssm esser d er KATflow-Rei h e erfü llen stren ge Rei n ra u m -Ri ch tli n i en

• Ei n fa ch e I n tegra ti on i n sch on vorh a n d en e Steu er- u n d Lei tsystem e

• Si ch ere I n sta lla ti on , d a kei n Kon ta kt m i t toxi sch en Ch em i ka li en

• M essu n g n i ch tlei ten d en d er Flü ssi gkei ten m ögli ch

• An wen d ba r a n Roh ren versch i ed en ster M a teri a l i en , Du rch m esser sowi e Flü ssi g-

kei ten

SPEZI FI KATI ON

I n sta lla ti on styp Porta bel u n d sta ti on ä r

M ed i en Ch em i ka li en , Flu sssä u re,d esti l l i ertes Wa sser

Roh rm a teri a l Ed elsta h l, PTFE, PVDF

Roh rd u rch m esser 10 … 25 m m

Tem pera tu r Bi s zu 130 °C

Ström u n gs-gesch wi n d i g-kei tsberei ch

0,01 . . . 25 m

Di e H erstellu n g von M i kroch i ps u n d Lei terpla ttenbei n h a ltet Ström u n gsprozesse m i t versch i ed en engi fti gen Ch em i ka li en , d i e ü berwa ch t werd en m ü ssen

AN WEN DU N G

G ERÄTELÖSU N G

Der festi n sta ll i erba re KATflow 150 li efert zu verlä ssi geM essd a ten oh n e Prozessbeei n flu ssu n g

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