8. Vorlesung - iwf.tu-berlin.de · Folie 4. Fertigungssystem HSC und HP/UP. SS 2008 -...

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Fertigungssystem HSC und HP/UPSS 2008 - Bearbeitungssystem Werkzeugmaschine II - VL 8

8. Vorlesung

Fertigungssystem HSC und HP/UP

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Inhalt der Vorlesung

• High Speed Cutting (HSC)− Grundlagen HSC − Hochgeschwindigkeitsfräsmaschinen− Hochgeschwindigkeitsdrehmaschinen

• Hoch- und Ultrapräzisionsbearbeitung (HP/UP)− Grundlagen HP/UP− HP-Bearbeitung− UP-Bearbeitung

• Mikrobearbeitung

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Geschwindigkeiten erhöhen

Genauigkeiten erhöhen

Werkstoffspektrum erweitern

Ressourcen-verbrauch minimieren

Ziele Wege

Flexibilität erhöhen

High Speed Cutting(HSC)

Hartbearbeitung

Trockenbearbeitung,Mikrobearbeitung

Ultra- und Hoch-PräzisionsbearbeitungUP/HP

Flexible Fertigungs-systeme

Entwicklungstrends

HSC-Bearbeitung

HP/UP-Bearbeitung MikrobearbeitungHSC-

FräsmaschinenHG-

DrehmaschinenHP-

BearbeitungUP-

Bearbeitung

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- hohe Schnittgeschwindigkeiten- große Vorschubgeschwindigkeiten (bis 50 m/s)

- große Beschleunigung in den Vorschüben (bis 2 g)

- hohes Zeitspanvolumen- geringe Schnittkräfte- hohe Oberflächenqualität- adiabate Zerspanung- hohe anregende Frequenzen

HSC (High Speed Cutting)

Anforderungen:

HSC-Bearbeitung

Konventionelle Bearbeitung

Spindeldrehzahl [min-1]

Vors

chub

gesc

hwin

digk

eit [

m/m

in]

80

70

60

50

40

30

20

10

0 10.000 30.000 40.000 50.000 60.00020.000

Entwicklung der HSC-Bearbeitung

Maschinen für die HSC-Bearbeitung

HSC-Bearbeitung


FräsmaschinenHG-

DrehmaschinenHP-

BearbeitungUP-

Bearbeitung

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Schnittgeschwindigkeit VC [m/min]

FaserverstärkteKunststoffe

Aluminium

Bronze,Messing

Guss

Stahl

Titan

Nickelbasis-legierungen

10 100 1.000 10.000

Übergangs-bereich

HSC-Bereich

Schnittgeschwindigkeiten beim HSC-Fräsen

HSC-Bearbeitung


FräsmaschinenHG-

DrehmaschinenHP-

BearbeitungUP-

Bearbeitung

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PolierenMontierenProbepressen

PolierenMontierenProbepressenDemontieren

ErodierenElektroden-fertigung

Kopierfräsen

Kopiermodell-herstellung

Konstruktion / AV

Konventionelle Fertigungstechnik (100 %) HSC (48 %)

Konstruktion / AVmit CAD/CAM

HSC-Fräsen

Einsparung52 %

PolierenMontieren

Demontieren

PolierenMontierenProbepressen

Einsparungen in der gesamten Prozessketteam Beispiel der Presswerkzeugherstellung eines PKW-Kotflügels

HSC-Bearbeitung


FräsmaschinenHG-

DrehmaschinenHP-

BearbeitungUP-

Bearbeitung

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Gestell aus Reaktionsharzbeton

Hochfrequenzspindel

Querträger alsSchweißkonstruktion

Z-Achse mit Linearmotoren

X-Y-Kreuztisch alsSchweißkonstruktion

1. Hochfrequenzspindel 2. Zentralrohr 3. zwei Synchronlinearmotoren4. Permanentmagnetische

Sekundärteile 5. Rollenprofilwälzführungen 6/7. Gewichtsausgleichsystem

Z-Achse mit HF-Spindel

Konstruktive Merkmale von HSC-Fräsmaschinen

HSC-Bearbeitung


FräsmaschinenHG-

DrehmaschinenHP-

BearbeitungUP-

Bearbeitung

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GrößeKomplexitätStückzahl

Oberflächengüte

Produktivität

SchnittgeschwindigkeitTypische Anwendung

BeschleunigungVorschubgeschwindigkeitHauptspindelleistungDrehfrequenz

klein bis mittelsehr hoch, Freiformflächengering, oft nur 1 Teil

hoch, optische Qualität

hoch, aber der Qualität nachgestellt

bis ca. 300 m/minSchlichten, Vorschlichten

sehr hochsehr hochgeringsehr hoch

groß bis sehr großgering, Taschenfräsenmittel

gering

sehr hoch, vorrangig

bis ca. 5500 m/minSchruppen, Schlichten

sehr hochsehr hochsehr hochmittel

Werkzeug- und Formenbau Flugzeugbau

Bauteile Spritzgießwerkzeuge Integralbauteile

Formtoleranzen ca. 5 µm bis 15 µm

Werkstoffe hochlegierte Stähle Aluminium

Anwendungsbereich bestimmt Anforderungsprofil

HSC-Bearbeitung


FräsmaschinenHG-

DrehmaschinenHP-

BearbeitungUP-

Bearbeitung

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3-Achsbearbeitung 5-Achsbearbeitung

HSC-Fräsmaschinen für Werkzeug- und Formenbau

MIKROMAT 10 V HSC

Droop + Rein FOGS Baureihe

MAP LPZ 500

Spinner VC-PerformanceLine

HSC-Bearbeitung


FräsmaschinenHG-

DrehmaschinenHP-

BearbeitungUP-

Bearbeitung

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Stewart-Plattform

sechs paralleleLinearantriebe

zwölf Gelenke

GestellQuelle: IWM TU Dresden

Vorteile

eigensteife KonstruktionStäbe nur auf Zug-/Druck belasteteinfache Montagealle Antriebe sind identischgeringe bewegte Massen hohe Dynamikeinfache Gestellbauweise

Nachteile

hoher Steuerungsaufwand (6-Achs-Kordinatentransformation)

Schwenkwinkel der Plattform begrenztDreh- und evtl. Schwenkachse erforderlichaufwendige Lagerung der Beine (Gelenke)aufwendiges Wegmeßsystemgroße thermische Wirklängenungünstiges Verhältnis von Arbeitsraum / Maschinenvolumen

Sonderkinematik für HSC-Maschinen - Hexapod

HSC-Bearbeitung


FräsmaschinenHG-

DrehmaschinenHP-

BearbeitungUP-

Bearbeitung

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Antriebsstrebe

Frässpindel

Rahmengestell

Ursachepositionsabhängige Eigenschaften(Nichtlinearitäten) und Gelenkspiel/Umkehrspiel

ProblemSteifigkeitsverluste und Bahnungenauigkeit

Lösungvorgespannte und spielfreie Gelenke und Streben

Quelle: Heisel, IfW Stuttgart

KugelgelenkDoppel-Kardangelenk

HEXACT

Seilmaschine, IWF Berlin

Strebe für PKM

Vorspannen von Gelenken und Stäben

HSC-Bearbeitung


FräsmaschinenHG-

DrehmaschinenHP-

BearbeitungUP-

Bearbeitung

Folie 12


Quelle: DS Technologie, Mönchengladbach

ECOSPEED SPRINT Z3 Bearbeitungskopf mit Parallelkinematik

SPRINT Z3

ACM Bearbeitungszentrum für die Luft- und Raumfahrt

HSC-Bearbeitung


FräsmaschinenHG-

DrehmaschinenHP-

BearbeitungUP-

Bearbeitung

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Zylinderstufen

Kegelstumpf

Halbkugel

Freiformflächen

NC-Abnahmewerkstück für Fräsmaschinen

HSC-Bearbeitung


FräsmaschinenHG-

DrehmaschinenHP-

BearbeitungUP-

Bearbeitung

Folie 14


- hohe Steifigkeit des Maschinenbettes bei gutem Dämpfungsvermögen

- optimierter Spänefall und Abtransport

- Hauptantrieb mit hoher Maximal-Drehfrequenz, großen Beschleunigungswerten sowie einem weiten Regelbereich

- Hauptspindellagerung muss eine große Steifigkeit und gute Dämpfung aufweisen

- Reitstock sollte auf separater Führungsbahn gelagert sein

- trennende Schutzeinrichtung (Kapselung), die den auftretendenhohen mechanischen Belastungen im Schadensfall standhält

HSC-Spannfutter bis 10.000 U/min

- hohe Steifigkeit des Spannfutters (Spannkraftverlust)

Anforderungen an Hochgeschwindigkeits-drehmaschinen

HSC-Bearbeitung


FräsmaschinenHG-

DrehmaschinenHP-

BearbeitungUP-

Bearbeitung

Folie 15


separat gelagerterReitstock

wälzgelagerteHauptspindel

Schrägbettbauweise

Maschinengestell aus Reaktionsharzbeton

Entkopplung von Hauptspindel und Reitstock

HSC-Bearbeitung


FräsmaschinenHG-

DrehmaschinenHP-

BearbeitungUP-

Bearbeitung

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verfahrbares Fangschild

Spannfutter

Aufbau des Fangschildes

Maschinen-umhausung

verfahrbare Innentür

Aufbau der Umhausung

Sicherheit durch Fangschild und Maschinen-umhausung

20 mm 1,5 mm50 mm

Hart-schaum

Mas

chin

eA

ußen

bere

ich

Inne

nber

eich

Futte

r

20 mm 1,5 mm50 mm

Hart-schaum

Bed

iene

rA

ußen

bere

ich

Inne

nber

eich

Mas

chin

e

Maschine

Arbeitsraum

HSC-Bearbeitung


FräsmaschinenHG-

DrehmaschinenHP-

BearbeitungUP-

Bearbeitung

Folie 17


WerkstückantriebWerkzeugantrieb

Verfahrachsen

WerkstückantriebWerkzeugantrieb

VerfahrachsenReitstock

Achsparalleles Drehfräsen Orthogonales Drehfräsen

Drehfräs-Berarbeitungszentrum

HSC-Drehfräsen

HSC-Bearbeitung


FräsmaschinenHG-

DrehmaschinenHP-

BearbeitungUP-

Bearbeitung

Folie 18


Geschwindigkeiten erhöhen

Genauigkeiten erhöhen

Werkstoffspektrum erweitern

Ressourcen-verbrauch minimieren

Ziele Wege

Flexibilität erhöhen

High Speed Cutting(HSC)

Hartbearbeitung

Trockenbearbeitung,Mikrobearbeitung

Ultra- und Hoch-PräzisionsbearbeitungUP/HP

Flexible Fertigungs-systeme

Entwicklungstrends

HSC-Bearbeitung


FräsmaschinenHG-

DrehmaschinenHP-

BearbeitungUP-

Bearbeitung

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100µm

IT010,1

0,51

510

IT5IT0 IT6IT1 IT7IT2 IT8IT3 IT9IT4ISO-Toleranzen

Ø 80-120

Ø 30-50

Ø 6-10

Maß

tole

ranz

Werkstück-durchmesser

Vergleich von Ultrapräzisions-, Hochpräzisions- und Feindrehbearbeitung

HochpräzisionsdrehenWerkstoffe:- i. allg. gehärtete StähleSchneidstoff:- PCBN, Mischkeramik, CermetsZustellung/Vorschub:- 0,01…0,1 mm

UltrapräzisionsdrehenWerkstoffe:- NE-Metalle, PMMASchneidstoff:- monokristalliner Diamant (MCD)Zustellung/Vorschub:- 0,001…0,01 mm

Konventionelles FeindrehenWerkstoffe:- Stähle, NE-MetalleSchneidstoff:- HSS, HM, Cermets, Keramik, Zustellung/Vorschub:- 0,1 mm

Quelle: FhG, IPT Aachen

HSC-Bearbeitung


FräsmaschinenHG-

DrehmaschinenHP-

BearbeitungUP-

Bearbeitung

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• Monokristalliner Diamant(Ultrapräzisionsbearbeitung)

• Kubisch-kristallines Bornitrid(Hochpräzisionsbearbeitung)

- geschliffener Naturdiamant- für die Bearbeitung von Nichteisenmetallen (Kupfer, Aluminium, Magnesium), Aluminium-und Magnesiumlegierungen, Messing, Bronze

- nicht für die Bearbeitung von Eisenwerkstoffen geeignet

- synthetisch erzeugt- gesinterte Schneidplatten mit oder ohneHartmetallunterlage

- für die Bearbeitung gehärteter Eisenwerk-stoffe ab 45 HRC, u. a. m. legierte Stähle

Schneidstoffe

HSC-Bearbeitung


FräsmaschinenHG-

DrehmaschinenHP-

BearbeitungUP-

Bearbeitung

Folie 21


Umwelt

Prozessverlauf

Werkstück-topographie

Form-genauigkeit

Randzonen-eigenschaften

Bearbeitungs-parameter

- Schnittgeschwin-digkeit

- Vorschub- Schnittiefe

- Kühlschmierstoff

Werkzeug

- Werkstoff- Mikrogeometrie- Makrogeometrie- Verschleißzustand

Werkstück

- Werkstoff- Härte- Gefüge- Einschlüsse- Vorbearbeitung

- Vibrationen- Umgebungs-

temperatur

Werkzeugmaschine

- statisches Verhalten- dynamisches Verhalten- thermisches Verhalten- tribologisches Verhalten- Eigenspannungen- geometr. Genauigkeit

- Schnittkräfte- Schnitttemperatur

- Spanbildung- Werkzeugverschleiß

- Rauhtiefe- Reflexionsgrad

- Ebenheit- Zylindrizität

- Spannungen- Gefügeänderungen

Einflussfaktoren auf Prozessverlauf und Arbeitsergebnis

HSC-Bearbeitung


FräsmaschinenHG-

DrehmaschinenHP-

BearbeitungUP-

Bearbeitung

Folie 22


konventionelleWerkzeugmaschinen

Hochpräzisions-werkzeugmaschinen

hydrodynamische Gleit-oder Wälzführungen

Wälzlager

Asynchron-Drehstrommotor

Gleichstrommotor mit Kugel-rollspindel bzw. Linearmotor

indirekt messende Winkel-schrittgeber am Antrieb

3-Backenfutter

hydrostatische Gleit- oderWälzführungen

Präzisionswälzlager oderhydrostatische Lagerung

direkt messende transla-torische Strichmaßstäbe

Präzisionsbackenfutter,Magnetspannfutter

Baugruppe

Maschinenbett

Schlittenführung

Spindellagerung

Hauptantrieb

Vorschubantriebe

Wegmesssysteme

Spannsysteme

Ultrapräzision-werkzeugmaschinen

Granit

aero- oder hydrostatische Gleitführungen

aero- oder hydrostatischeLagerung

Glasmaßstäbe aus Zero-dur, Laserinterferometer

Vakuumspannfutter

Grauguss oder Reaktions-harzbeton

Gleichstrommotor mit Präzisionskugelrollspindel

Reaktionsharzbeton oder Granit

bürstenloser Gleichstrom-motor

Gleichstrommotor mit Lineardirektantrieb

bürstenloser Gleichstrom-motor

Typische technische Lösungen

HSC-Bearbeitung


FräsmaschinenHG-

DrehmaschinenHP-

BearbeitungUP-

Bearbeitung

Folie 23


Linearmotor

Hauptspindel mitDirektantrieb

Stellfuß mit pneumatischem Schwingungsdämpfer

Maschinenbett aus Granit

aerostatisch gelagerte Spindel

Vakuum-Spannfutter

Werkzeughalter

hydrostatisch gelagerter Schlitten aus Granit

Aufbau einer Ultrapräzisionsdrehmaschine

HSC-Bearbeitung


FräsmaschinenHG-

DrehmaschinenHP-

BearbeitungUP-

Bearbeitung

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Maschinenkomponente ausnatürlichem Hartgestein

Schleifmaschinenbettaus natürlichem Hartgestein

Quelle: Fa. Johann Fischer Aschaffenburg

- keine Formgebung durch Urform-verfahren Möglich

- Bearbeitung nur mit Diamant-werkzeugen

- Bearbeitung sehr zeit- undkostenintensiv

- komplizierte geometrische Formensind sehr teuer

Vorteile Nachteile

- hohe statische und dynamische Steifigkeit

- gute Schwingungsdämpfung

- günstige thermische Eigenschaften

- linearer Wärmeazsdehnungs-koeffizient ≈ 6·10-6 m/m·K

- geringe Biegung bei einseitigerErwärmung

- frei von Eigenspannungen

- hohe Langzeitstabilität

- Korrosionsfreiheit

Gestellwerkstoff - Granit

HSC-Bearbeitung


FräsmaschinenHG-

DrehmaschinenHP-

BearbeitungUP-

Bearbeitung

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Vorteile:

• geringe Deformation der Werkstücke• hohe Durchmesserflexibilität

Nachteile:

• plane Spannfläche am Werkstück (Vorbearbeitung) notwendig• Zentrierung der Werkstücke nur durch Zentrierstifte o. ä. möglich• offene Bereiche am Futter müssen verschlossen werden (Rand, Werkstückbohrungen, -nuten)

• Mindestkontaktfläche zwischen Werkstück und Spannsystem notwendig (problematisch z. B. bei schmalen Ringen)

• nicht für wellenähnliche Werkstücke geeignet • aufwendige Vakuumsysteme notwendig• sinkende Spannkraft bei Leck im Vakuumsystem

Vakuumspannung

UP-Drehen eines asphärischen Spiegels in Aluminium

Ø = 125 mm

UP-Fräsen eines Prägestempels in OFHC Kupfer

Vakuumspannfutter für die UP-Bearbeitung

HSC-Bearbeitung


FräsmaschinenHG-

DrehmaschinenHP-

BearbeitungUP-

Bearbeitung

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Höhere Flexibilität- punktförmiger Eingriff des Werkzeugs erlaubt in Verbindung

mit einer CNC-Steuerung komplexere Oberflächenstrukturen, (z. B. Sinuswellen, Asphären, Rillen, Prismen)

Umweltentlastung- Verzicht auf Kühlschmierstoffe- Vermeidung von Schleifschlamm- einfaches Recycling der Späne- geringerer Energiebedarf

Kosteneinsparungspotenzial- Verkürzung der Prozesskette: Härten Drehen, statt

Drehen Härten Schleifen

- geringere Investitionen: Verzicht auf Schleifmaschine- Verkürzung der Hauptzeit durch höhere Zerspanleistung

Vorteile der HP-Bearbeitung gegenüber dem Schleifen

HSC-Bearbeitung


FräsmaschinenHG-

DrehmaschinenHP-

BearbeitungUP-

Bearbeitung

Folie 27


Hochpräzisions-Hartdrehen

Feinschleifen mit Korundscheibe

Zerspanleistung Pc

Zeitspanvolumen Qw

Schitttiefe ap

Werkstoff:Wälzlagerstahl 100 Cr 6 (ca. 62 HRC)

Energiebedarf und Hauptzeit

Verkürzung der HauptzeitHochpräzisions-

HartdrehenFeinschleifen mitKorundscheibe

60s

4030

20100

ap =0,2ap = 0,1

2. Schnitt

1. Schnitt

11

11

Hau

ptze

it t h,

D

60s

40

30

20100 ap = 0,01

ap = 0,1ap = 0,2

136

86

41

Hau

ptze

it t h,

S

AusfunkenSchlichten 2Schlichten 1Vorschleifen

Verringerung des Energiebedarfs

100

706050403020100

90 W13,3 mm3/mm•s

297 W3 mm3/mm•s

6,8

99,0Jmm2

Spe

zifis

cher

E

nerg

iebe

darf

e c

PcQw

Hochpräzisions-Hartdrehen

Feinschleifen mitKorundscheibe

Quelle: nach Koch, K.-F.: Technologie des Hochpräzisions-Hartdrehens

HSC-Bearbeitung


FräsmaschinenHG-

DrehmaschinenHP-

BearbeitungUP-

Bearbeitung

Folie 28


X 90 CrMoV 18

X 165 CrV 12

16 MnCr 5

100 Cr 6

S 6-5-2

Rostfreier Stahl

Kaltarbeitsstahl

Einsatzstahl

Wälzlagerstahl

Schnellarbeitsstahl

59 HRC

60 HRC

60 HRC

62 HRC

66 HRC

Werkstückwerkstoffe für die HP-Bearbeitung

Quelle: Hochpräzisionsdrehen mit geometrisch bestimmter Schneide., Band 1 - Drehen

HSC-Bearbeitung


FräsmaschinenHG-

DrehmaschinenHP-

BearbeitungUP-

Bearbeitung

Folie 29


5-Achsen-UP-Bearbeitungszentrum Nanotech® 350 FG

Achskonfiguration: X, Y, Z, B, CAblaufgenauigkeit: 0,3 µm über den VerfahrwegProgrammierauflösung: 10 nmArbeitsspindeldrehzahl: 50 /min bis 6000 /minBewegungsgenauigkeit: unter 50 nm (axial und radial)Zusatzspindeldrehzahl: 25.000 /min bis 100.000 /min

Ultrapräzisionsdrehmaschine

HSC-Bearbeitung


FräsmaschinenHG-

DrehmaschinenHP-

BearbeitungUP-

Bearbeitung

Folie 30


Off-Axis-Anordnung beim Drehen

Fly-Cutting (Einzahfräsen)

Techniken bei der Ultrapräzisionsbearbeitung

Werkstück

Abdeckplatte

Vakuumspannfutter

Achse derHauptspindelWerkzeug

Werkstück

Achse derHauptspindel

Werkzeug

Ausgleichsmasse

HSC-Bearbeitung


FräsmaschinenHG-

DrehmaschinenHP-

BearbeitungUP-

Bearbeitung

Folie 31


Flycutting

Fast-Tool-Servo (Feinszustelleinheit)

Ultrapräzisionsschleifen

Ultrapräzisionsdreh- und Schleifmaschine

Parallelopgramm-führung

(Festkörpergelenke)

Naturdiamant-scheibe

Gehäuse

Piezoquarz

Drehmeißel

Klemmhalter

Basisplatte

Festkörpergelenk

HSC-Bearbeitung


FräsmaschinenHG-

DrehmaschinenHP-

BearbeitungUP-

Bearbeitung

Folie 32


Parabolspiegel(Laserbearbeitung)

Planspiegel(Laserbearbeitung)

Facettenspiegel(Laserbearbeitung)

Beugungsgitter(CO2-Laser)

Off-Axis-Parabolspiegel(Laserbearbeitung)

hochreinesKupfer

Luftlagerbauteile(Präzisions-maschinen)

Messing

Rauheitsnormale(Kalibrierung)

Sinusfunktionals Oberfläche

Fertigungstechnik Messtechnik

Maschinenbau

Messing

42°

2 µm

8 µm

25m

m

35 mm

λ= 100 µm

UltrapräzisionsbearbeitungAnwendungsbeispiele I

hochreines Kupferhochreines Kupfer hochreines Kupfer

HSC-Bearbeitung


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BearbeitungUP-

Bearbeitung

Folie 33


Mikroprismen(reflektierende Bänder)

Parabolspiegel(Teleskope)

Astrophysik,Kommunikations-technik

asphärische Linsen(Zoomobjektive, CD-Player)

Fresnellinsen(Projektoren, Verkehrsampeln, Blitzlichtgeräte)

PrismenspiegelStrukturfolien(Mikroreaktoren,Mikrowärmetauscher)

Target-Folien

Optik

Chemietechnik Energietechnik Drucktechnik

30 µm

70 µm

Längen imMillimeterbereich

100 µm

Aluminium

3 m

UltrapräzisionsbearbeitungAnwendungsbeispiele II

8 µm

120 µm

Aluminium,Gold

25 µm

640 µm

10 µm8 µm

(Laserfusionsforschung) (Scanner)

HSC-Bearbeitung


FräsmaschinenHG-

DrehmaschinenHP-

BearbeitungUP-

Bearbeitung

Folie 34


Drehen

Werkzeug

Werkstück

Fräsen Bohren Schleifen

Mikrozerspanung

Quelle: IWF Braunschweig

HSC-Bearbeitung


FräsmaschinenHG-

DrehmaschinenHP-

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Bearbeitung

Folie 35


Mikrobearbeitung

Ätzen, Lithographie,Galvanoformen

Spanende Fertigung

hauptsächlich elektronischeBauteile und Sensoren

Halbleiter, hauptsächlich Silizium

1.000 bis 1.000.000

0,1 µm

hauptsächlich rechtwinklige Formen

hauptsächlich optische undmechanische Bauteile

Metalle, Halbleiter, Keramiken

individuell entworfene Mikro-strukturen und Mikrobauteile

1 bis 100

lateral 0,3 ... 100 µmvertikal 0,1 ... 10 µm

lateral 10 ... 1.000 µmvertikal 0,5 ... 500 µm

0,1 ... 1 µm

komplexe Geometrien

Technologie

Anwendung

Werkstoffe

große Anzahl identischer BauteileFunktionselemente

typische Stückzahlen

Strukturgröße

erreichbareToleranzen

Formen

Quelle: FhG, IPT Aachen

HSC-Bearbeitung


FräsmaschinenHG-

DrehmaschinenHP-

BearbeitungUP-

Bearbeitung

Folie 36


Laser

Cantilever

Scan-Tisch

Probenoberfläche

Photodiode

Verstärker&

Steuerelektronik

Rasterelektronen-mikroskopie (REM)

Koordinaten-messtechnik

Rasterkraft-mikroskopie

Lasermess-systeme

Weißlichtinter-ferometrie

Messtechnik

HSC-Bearbeitung


FräsmaschinenHG-

DrehmaschinenHP-

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