Anwendung von Miniaturgreifern in der Mikromontage

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Verbundprojekt Greiferbaukasten für die Mikrosystemtechnik S. Fab piezosystem jena 10/2001 Anwendung von Miniaturgreifern in der Mikromontage Ing. S. Fabian piezosystem jena GmbH www.piezojena.com

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Anwendung von Miniaturgreifern in der Mikromontage. Ing. S. Fabian piezosystem jena GmbH www.piezojena.com. Faserschalter mit piezoelektrischen Biegewandlern. Vorteile:. geringe Umschaltzeiten (1-3ms) geringe Koppelverluste (0,7-2,5dB) geringe Rückreflektion (> 55dB). - PowerPoint PPT Presentation

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Anwendung von Miniaturgreifernin der Mikromontage

Ing. S. Fabian

piezosystem jena GmbH

www.piezojena.com

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Faserschalter mit piezoelektrischen Biegewandlern

Vorteile: • geringe Umschaltzeiten (1-3ms)• geringe Koppelverluste (0,7-2,5dB)• geringe Rückreflektion (> 55dB)

• optische Meßsysteme• Spektroskopie• Lasertechnik• Telekommunikation

Einsatzgebiete:

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Montagewerkzeuge für halbautomatische Fertigung von Faserschaltern

Ziel: optimale Positionierung und Orientierung von optischen Bauteilen

• Mikroprismen

• Mikrospiegel

• Mikrolinsen

• Glasnuten zur Faserpositionierung

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Grundprinzip Faserschalter 1 auf n (SM)

Kollimations- optik aktives

Prisma

Ausgangs-faserarray

Fokusieroptik

Eingangsfaser

Aktuator

passives Prisma

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Prismenanordnung einer 4x4 Matrix (SM)

Fokusierlinsen

geschaltete Kanäle

Fasern

Fasern

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Justage der Mikroprismen

Lagetoleranzen:

Verkippung um x-Achse: 0,3°

Verdrehung um z-Achse: 2,8°

Versatz in x,y-Richtung: 150µm

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Keramikscheibe mit Aussparungen für Mikroprismen

Keramikscheibe mit Bohrungen zur Ansaugung

Aluminiumrahmen mit Deckel und Vakuumanschluss

Schematischer Aufbau eines Saugreifers für 1xn Schalter

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Montage der Prismen mit Matrix-Sauggreifer

Aussparungmit Ansaug-öffnung

Mikro-prismen

Nähnadel