Betriebsanleitung inkl. Konformitätserklärungtvc.unibe.ch/doc/bg5186bd.pdf · 4 Inbetriebnahme 17...

Betriebsanleitunginkl. Konformitätserklärung

BG 805 186 BD (9907) 1

Totaldruck Mess- und Steuergerätfür Kompakt-Messröhren

2 BG 805 186 BD (9907) MaxiGauge.bet

Die vorliegende Dokumentation ist gültig für Produktemit den Artikelnummern:

• PT G28 760 mit seriellen Schnittstellen RS232C und RS422

• PT G28 761 mit seriellen Schnittstellen RS232C, RS422, RS485 (adressierbar, isoliert)und RS422 (isoliert)

Sie finden die Artikelnummer auf dem Typenschild aufder Geräterückseite, wo auch die Anschlüsse derSchnittstellen ersichtlich sind (→ 2 12).

Diese Dokumentation basiert auf der Firmwareversion:

• BG 509 730 -F

Falls das Gerät nicht wie beschrieben funktioniert,prüfen Sie, ob ihr Gerät mit dieser Firmwareversionausgestattet ist (→ 2 86).

Tragen Sie die Firmwareversionsnummer Ihres Geräteshier ein:

• BG ..................... ..................... -.......

MaxiGauge™ Balzers AGFullRange™ Balzers AG

Technische Änderungen ohne vorherige Anzeige sindvorbehalten.

Gültigkeit

Firmwareversion

Warenzeichen

BG 805 186 BD (9907) MaxiGauge.bet Inhaltsverzeichnis 3

Inhaltsverzeichnis

Gültigkeit 2Firmwareversion 2Warenzeichen 2

1 Bestimmungsgemässe Verwendung 5

2 Technische Daten 7

3 Sicherheit 15

4 Inbetriebnahme 174.1 Personal 174.2 Aufstellen, Montage 174.3 Netzanschluss 184.4 Anschluss der Messröhre sensor 214.5 Anschluss Controlstecker control 214.6 Anschluss Schnittstelle RS 232/422 234.7 Anschluss Schnittstelle RS 485/422 isol. 234.8 Anschluss Schaltkontakte relay 23

5 Bedienungselemente und Betriebsmodi 255.1 Bedienungselemente 255.2 Betriebsmodi (Übersicht) 275.2.1 Betriebsmodus «Measurement» 285.2.2 Betriebsmodus «Setpoint» 305.2.3 Betriebsmodus «General Parameter» 315.2.4 Betriebsmodus «Sensor Parameter» 325.2.5 Betriebsmodus «Sensor Control» 335.2.6 Betriebsmodus «Test» 34

6 Anzeigeformate und Druckeinheiten 356.1 Anzeigeformate 356.2 Druckeinheiten 366.3 Cursor 36

7 Bedienung 377.1 Personal 377.2 Gerät ein- und ausschalten 377.3 Betriebsmodus wählen 397.4 Betriebsmodus «Measurement» 407.4.1 Messstelle wählen (Sensor) 407.4.2 Messröhre ein-/ausschalten (Sen-on/off) 417.4.3 Einzel- oder Gesamtanzeige (Single/All) 417.5 Betriebsmodus «Setpoint» 427.5.1 Schaltfunktion wählen (Relay) 427.5.2 Messstelle zuordnen (Control Sensor) 437.5.3 Schwellwerte definieren (Setpoint) 447.5.4 Schaltfunktions-Überwachung (UR-Control) 467.6 Betriebsmodus «General Parameter» 487.6.1 Eingabesperre (de)aktivieren (Key-lock) 487.6.2 Druckmasseinheit wählen (Unit) 49

4 Inhaltsverzeichnis BG 805 186 BD (9907) MaxiGauge.bet

7.6.3 Anzeigestellen bestimmen (Digits) 507.6.4 Balkenanzeige einstellen (Bargraph) 517.6.5 Standardwerte setzen (Default) 527.6.6 Schnittstelle festlegen (Interface) 537.6.7 Baudrate einstellen (Baudrate) 547.6.8 Knotenpunkt einstellen (Address) 557.6.9 Dunkelschaltung einstellen (Screensave) 567.6.10 Kontrast einstellen (Contrast) 577.7 Betriebsmodus «Sensor Parameter» 587.7.1 Messstelle wählen (Sensor) 587.7.2 Messröhrenidentifikation (Type) 597.7.3 Offsetkorrektur (Nullabgleich) einstellen

(Offset) 607.7.4 Degas aktivieren (Degas) 637.7.5 Kalibrierfaktor einstellen (Cal-Factor) 647.7.6 Messwertfilter wählen (Filter) 657.7.7 Namen der Messstelle definieren (Name) 677.8 Betriebsmodus «Sensor Control» 687.8.1 Gesteuerte Messstelle wählen (Sensor) 707.8.2 Steuernde Quelle wählen (Control) 707.8.3 Steuerung durch «Sensor 1 ... 6» einstellen 717.8.4 Steuerung durch «Extern» einstellen 717.8.5 Steuerung durch «Manual» einstellen 727.8.6 Steuerung durch «Hotstart» einstellen 737.9 Statusmeldungen 747.10 Fehlermeldungen 76

8 Wartung und Pflege 798.1 Personal 798.2 Reinigung 798.3 Wartung 80

9 Zubehör und Ersatzteile 81

10 Entsorgung 83

Anhang 84A: Gültigkeitstabelle 84B: Umrechnung von Druckeinheiten 85C: Gerätetest 85D: Literaturverzeichnis 89

Konformitätserklärung 93

Für Seitenverweise im Text wird das Symbol (→ 2 XY)verwendet, für Verweise auf andere Dokumente dasSymbol (→ & [Z]).

BG 805 186 BD (9907) MaxiGauge.bet Bestimmungsgemässe Verwendung 5

1 Bestimmungsgemässe Verwendung

Das MaxiGauge™ TPG 256 A ist ein 6-fach TotaldruckMess- und Steuergerät. Es wird betrieben mitPfeiffer Vacuum Kompakt- Messröhren.

Das Gerät ist vorbereitet für die Messröhren-Familien *):

• TPR Pirani-Messröhre

• IKR Kaltkatoden-Messröhre

• PKR Kombinierte Pirani/Kaltkatoden-Messröhre

• IMR Kombinierte Pirani/High Pressure -Messröhre (HP)

• PBR Kombinierte Pirani/Heissionisations-Messröhre nach Bayard-Alpert (BA)

• CMR/ACR Kapazitive Messröhre

• APR Piezoresistive Messröhre

Das Gerät eignet sich für die Totaldruckmessung von10-11 mbar bis 50 bar (5×104 mbar). Mittels druckabhän-giger Schaltfunktionen sowie freiprogrammierbarerMessröhren-Steuermöglichkeiten kann es ausserdemeine Reihe von Aufgaben zur Steuerung und Überwa-chung von Vakuumeinrichtungen und -prozessen erfül-len.

GEFAHRObwohl sich dieses Gerät durch einen hohen Qualitäts-und Sicherheitsstandard auszeichnet und es nach demderzeitigen Stand der Technik gebaut und getestetwurde, können bei nichtbestimmungsgemässer (sach-widriger) Verwendung oder Missbrauch, Verletzungenoder Sachbeschädigungen nicht ausgeschlossen wer-den.Lesen Sie darum diese Betriebsanleitung sorgfältigdurch und beachten Sie speziell das Kapitel "Sicher-heit". Bewahren Sie diese Betriebsanleitung in greif-barer Nähe Ihres Gerätes auf.

HINWEIS*) Die genauen Typenbezeichnungen → 2 10.

6 Technische Daten BG 805 186 BD (9907) MaxiGauge.bet

A Breite Frontplatte 241 mm (½ 19"-Rackbreite)B Befestigung horizontal 224 mmC Befestigung vertikal 76,2 mmD Höhe Frontplatte 88 mm (2 HE)E Einbautiefe 228,5 mmF Einbaubreite 207 mmG Einbauhöhe 88 mm (2 HE)

Typ:No:F-No:

V Hz VA

Pfeiffer Vacuum, D-35614 Asslar

Das Typenschild befindet sich auf der Geräterückseite.

Prüfen Sie, ob die Angaben über Spannung und Fre-quenz mit den lokalen Gegebenheiten übereinstimmen.Die weiteren Angaben sind wichtig für den Verkehr mitdem Pfeiffer Vacuum-Kundendienst.

Abbildung 1:Abmessungen

Abbildung 2:Typenschild

BG 805 186 BD (9907) MaxiGauge.bet Technische Daten 7

2 Technische Daten

Abmessungen → Abbildung 1

Gewicht 2.1 kg

Adapter für Einbau in 19"-Rack → Zubehör, 2 81

Spannung 90 ... 250 V∼ / 50 ... 60 Hz

Leistungsaufnahme 60 VA

Überspannungskategorie IISchutzklasse 1

Gerätestecker IEC 320 C14Netzschalter Geräterückseite

TemperaturenLagerungBetrieb

-20 ... +60 °C+ 5 ... +40 °C

Relative Feuchte Max. 80 % bis +31°C,abnehmend auf 50 % bei +40 °C

Verwendung In InnenräumenHöhe max. 2000 m NN

Verschmutzungsgrad IISchutzart IP30

Sicherheit

→ 2 93

EMV

Mechanische Daten

Netzanschluss

Umgebung, Normen


Logarithmische Messröhren

TPR

Compact Pirani Gauge(Pirani-Messröhre)

IKR

Compact Cold Cathode Gauge(Kaltkatoden-Messröhre)

PKR

Compact FullRange™ CC Gauge(Pirani/Kaltkatoden-Messröhre)

IMR

Compact Process Ion Gauge(Pirani/High Pressure-Messröhre)

PBR

Compact FullRange™ BA Gauge(Pirani/ Bayard-Alpert-Messröhre)

Abbildung 3:Messröhren


Lineare Messröhren

CMR/ACR

Compact Capacitance Gauge(Kapazitive Messröhren)

APR

Compact Piezo Gauge(Piezoresistive Messröhre)


Anzahl 6

Verwendbare Messröhren(→ & [1 ... 19])

Compact Pirani Gauges

Compact Cold Cathode Gauges

Compact FullRange™ CCGaugesCompact Process Ion GaugesCompact FullRange™ BAGaugesCompact Capacitance Gauges

Compact Piezo Gauges

Pfeiffer Vacuum CompactGaugesTPR 250, TPR 260, TPR 261,TPR 265IKR 250, IKR 251, IKR 260,IKR 261, IKR 270PKR 250, PKR 251, PKR 260,PKR 261IMR 260, IMR 265PBR 260

CMR 261, CMR 262, CMR 263,CMR 264, CMR 271, CMR 272,CMR 273, CMR 274, CMR 275;ACR 261, ACR 262, ACR 263,ACR 274APR 250, APR 260, APR 262,APR 265, APR 266, APR 267

Steckertyp, Pinbelegung → 2 20

HINWEISAlle Sensoranschlüsse können mit beliebigen verwendbarenMessröhren belegt werden ausser IMR 265 und PBR 260, welchenur an den Sensoranschlüssen 4 - 6 verwendet werden können.

Messbereiche → & Messröhre

Messfehler SteuergerätVerstärkungsfehlerOffsetfehler

≤ 0.2 % des Messsignals≤ 20 mV

Messrate 100 / sAnzeigerate 4 / s

Filterzeitkonstantelangsam (6ORZ)normal (6WDQGDUG)schnell ()DVW)

2.1 s (fg = 0.075 Hz)320 ms (fg = 0.5 Hz)100 ms (fg = 1.6 Hz)

Spannung +24 V= ± 5%

StromSensor 1 bis 3Sensor 4 bis 6

200 mA pro Messröhre600 mA pro Messröhre

AbsicherungSensor 1 bis 3Sensor 4 bis 6

300 mA pro Messröhre1 A pro Messröhre(PTC-Element,selbstrückstellend nachAusschaltung des Gerätes)

Messröhrenanschlüsse

Messwerte

Messröhrenspeisung


Ein-/AusschaltungManuellAutomatisch

Hot Start

Extern

Selbstüberwachung

Softkey (6HQRQ VHQRII)durch Messröhre 1 ... 6(6HQVRU ;) (IKR, IMR von TPR,PKR, etc.) einstellbareSchwellwerte, freie ZuordnungEinschalten der Messröhre IKR,PKR, IMR und PBR beimEinschalten des Gerätesam Stecker «Control» für jedeMessröhre einzelnTTL high: >2 V = Messröhre ausTTL low: <0.8 V = Messröhreein

Interner pull-up 3.3 kΩ auf 5 V

Ausschalten der Messröhre IKRdurch eigenes Messergebnis

Degas (nur PBR 260) Degasdauer 3 Minuten,vorzeitig abschaltbar

Messröhrensteuerung

Degas


7

8

4

3

5

29

1

6

MaxiGauge™ Artikelnummer PT G28 760:1 RS 232/422 Anschluss serielle Schnittstellen RS232C

oder RS422 (nicht isoliert)2 relay Anschluss Relaiskontakte3 Netzanschluss 3-polig4 Hinweis auf Sicherung im Geräteinnern

(Auswechseln nur durch Pfeiffer Vacuum-Service)

5 Netzschalter6 sensor 1 ...

... sensor 6Anschluss Messröhren

7 control Anschluss Control-Funktionen

MaxiGauge™ Artikelnummer PT G28 761 zusätzlich:8,9 RS 485/422 isol. Anschluss serielle Schnittstelle RS485

(adressierbar, isoliert) und RS422 (isoliert)

Steckertypen und Pinbelegungen → 2 20f.

Abbildung 4:Geräterückseite


Anzahl 6Zuordnung zu den Messröhren Frei programmierbarReaktionszeit 10 ms, wenn Schwellwert nahe

beim Messwert. Bei grössererDifferenz Filterzeitkonstante be-rücksichtigen

Relaiskontakte Umschalter, potentialfreiUmax = 60 VDC / Imax = 3 AUmax = 30 VAC / Imax = 3 A

Kontakt geschlossenKontakt offen

Vakuum besser als SchwellwertVakuum schlechter als Schwell-wert oder Netz ausgeschaltet

Lebensdauermechanischelektrisch

5×107 Schaltzyklen1×105 Schaltzyklen


Reaktionszeit 10 ms

Relaiskontakt Umschalter, potentialfreiUmax = 60 VDC / Imax = 3 AUmax = 30 VAC / Imax = 3 A

Kontakt geschlossenKontakt offen

kein FehlerFehler oder Netz ausgeschaltet

Lebensdauermechanischelektrisch

5×107 Schaltzyklen1×105 Schaltzyklen


Anzahl 6 (1 pro Messröhre)Spannungsbereich 0 ... 10 VInnenwiderstand 660 ΩBeziehung Messsignal-Druck → & Messröhre


Standard

Option (bei PT G28 760)

RS232CRS422, nicht isoliertRS485, adressierbar, isoliertRS422, isoliert

Protokoll

RS232CRS422, RS485

ACK/NAK, ASCIImit 3 Charakter-Mnemonics,Datenverkehr bidirektional nachMaster-Slave-Prinzip(weitere Angaben → & [20])

Nur TXD und RXD benutztNur TX+, TX-, RX+, RX- benutzt


Schaltfunktionen

Fehlersignal (Error)

Analogausgänge

Rechnerschnittstellen

14 Sicherheit BG 805 186 BD (9907) MaxiGauge™

GEFAHRAngaben bzw. Ge- und Verbote zur Verhütung vonPersonenschäden jeglicher Art oder umfangreichenSachschäden.

ACHTUNGBesondere Angaben bzw. Ge- und Verbote zurSchadenverhütung.

HINWEISAngaben zur wirtschaftlichen Verwendung.

FachpersonalDiese Arbeiten dürfen nur durch Personen, die diegeeignete technische Ausbildung besitzen und über dienötigen Erfahrungen verfügen, ausgeführt werden.

Abbildung 5:Darstellungen für Restgefahren

Abbildung 6:Darstellung für besonderePersonalqualifikation

BG 805 186 BD (9907) MaxiGauge.bet Sicherheit 15

3 Sicherheit

FachpersonalArbeiten an und mit dem MaxiGauge™ TPG 256 Adürfen nur durch Personen, die die geeignetetechnische Ausbildung besitzen und über die nötigenErfahrungen verfügen, ausgeführt werden.

Es werden die nebenstehenden Darstellungen mit er-läuterndem Text verwendet, um gezielt auf Restgefahrenbeim bestimmungsgemässen Gebrauch aufmerksam zumachen und wichtige technische Erfordernisse zu beto-nen.

• Einbau und Instandsetzungsarbeiten sind nur unterEinhaltung aller einschlägigen Sicherheitsvorschriftenzulässig.

Pfeiffer Vacuum übernimmt keine Verantwortung undGewährleistung und wird sich von Haftpflichtansprüchenentsprechend entlasten, falls der Betreiber oderDrittpersonen

• das Produkt nicht bestimmungsgemäss einsetzen

• die Technischen Daten missachten

• am Produkt Eingriffe jeglicher Art (Umbauten, Ände-rungen, usw.) vornehmen

• das Produkt mit Zubehör betreiben, welches in denzugehörigen Produktdokumentationen nicht aufge-führt ist.

3.1 Personal

3.2 Darstellung fürGefahr, Achtungund Hinweis

3.3 Grundlegende Si-cherheitsvermerke

3.4 Verantwortung undGewährleistun g

16 Inbetriebnahme BG 805 186 BD (9907) MaxiGauge.bet

Als Tischgerät ist eine gute Durchlüftung sicherzustellen.Dazu ist ein Plexiglas-Ständer als Zubehör erhältlich(→ Zubehör 2 82).

VerwendenSie ein An-schlusskabelmit Schutz-leiter.

ACHTUNG

Wenn anzunehmen ist, dass ein gefahrloser Betrieb,beispielsweise aus den nachstehenden Gründen, nichtmehr möglich ist, so ist das Gerät ausser Betrieb zusetzen und gegen unbeabsichtigtes Wiedereinschaltenzu sichern:a) wenn das Gerät sichtbare Beschädigungen auf-

weistb) wenn das Gerät nicht mehr arbeitetc) nach längerer Lagerung unter ungünstigen Ver-

hältnissend) nach schweren Transportbeanspruchungen

GEFAHRJegliche Unterbrechung des Schutzleiters innerhalboder ausserhalb des Gerätes oder Lösen des Schutz-leiteranschlusses kann dazu führen, dass das Gerätzur Gefahrenquelle wird (Elektrisierung).

Abbildung 7:Aufstellung als Tischgerät

Abbildung 8:Anschlusskabel

BG 805 186 BD (9907) MaxiGauge.bet Inbetriebnahme 17

4 Inbetriebnahme

FachpersonalDas Gerät darf nur durch geschultes Fachpersonal inBetrieb genommen werden.

Das Gerät lässt sich auf zwei Arten als 19"-Rackgerät ineinen Schaltschrank nach DIN 41 494 einbauen:

a) Direkt mit einem zweiten Gerät oder mit einerentsprechenden Blindplatte (→ Zubehör 2 81) als19"-Rackgerät (2 HE)

b) Einbau im Rack mittels Adapter für 19", 3 HE, 63 TE,¾ Rack (→ Zubehör 2 81)

Maxi Gauge

Maxi Gauge

Maxi Gauge

Maxi Gauge

Variante a)Direkte Montagein 19" Rack

Variante b)Montage mitAdapter

LaschePT 441 480-T

AdapterPT 441 248-X

BlindplattePT 441 481

2 E

inhe

iten

5 Rackbreite

! Rackbreite

3 E

inhe

iten

Mit einem Plexiglas-Ständer (→ Zubehör 2 82) lässt essich auch als Tischgerät verwenden.

ACHTUNGBeachten Sie das Kapitel "Technische Daten" bezüg-lich der zugelassenen Umgebungstemperatur, Schutz-art und Spannungen.

4.1 Personal

4.2 Aufstellen, Montage


Vor dem Einschalten ist sicherzustellen, dass die Be-triebsspannung des Gerätes mit der örtlichen Netzspan-nung übereinstimmt. Sie finden die Angaben auf demTypenschild auf der Geräterückseite.

Als Netzkabel ist ausschliesslich ein dreipoliges Kabelmit Schutzleiter zulässig. Der Netzstecker darf nur ineine Steckdose mit Schutzleiter eingesteckt werden. DieSchutzwirkung darf nicht durch eine Verlängerungslei-tung ohne Schutzleiter aufgehoben werden.

Wird das Gerät in ein Rack eingebaut, so muss dieNetzspannung über einen geschalteten Netzverteilerzugeführt werden.

4.3 Netzanschluss


Notizen:


Steckerbelegung 1 Identifikation 2 GND 3 Messsignal + 4 Messsignal - 5 Schirm 6 Vcc

Amphenol C91B,6-polig, Buchsen

Ansicht Steckseite

Steckerbelegung 1 Analog Output Sensor 1 2 Analog Output Sensor 2 3 Analog Output Sensor 3 4 Analog Output Sensor 4 5 Analog Output Sensor 5 6 Analog Output Sensor 6 7 GND 8 GND 9 GND10 Extern Control Sensor 111 Extern Control Sensor 212 Extern Control Sensor 313 Extern Control Sensor 414 Extern Control Sensor 515 Extern Control Sensor 6

D-Sub, high density,15-polig, Buchsen

Ansicht Steckseite

Abbildung 9:Anschluss Messröhre sensor

Abbildung 10:Anschluss Controlsteckercontrol


HINWEISSchalten Sie das Gerät jeweils aus, bevor Sie eineMessröhre anschliessen oder entfernen.

Schliessen Sie die Messröhre mit einem abgeschirmtenVerbindungskabel (EMV-Verträglichkeit) an einem dersechs Anschlüsse sensor 1 ... sensor 6 (PBR 260 undIMR 265 nur an sensor 4 … sensor 6) auf der Geräte-rückseite an. Beachten Sie die zulässigen Messröhren-typen gemäss Kapitel "Technische Daten".

Es sind sowohl komplette Verbindungskabel als auchEinzelteile zur Selbstkonfektionierung erhältlich(→ Zubehör 2 81).

Konfigurieren Sie den Controlstecker nach Bedarf. Erwird am Anschluss control auf der Geräterückseite ein-gesteckt.

HINWEISEs muss ein abgeschirmtes Kabel verwendet werden(EMV-Verträglichkeit).

4.4 Anschluss derMessröhre sensor

4.5 Anschluss Control-stecker control


Steckerbelegung 1 Chassis 2 RXD (RS232C) 3 TXD (RS232C) 4 nicht belegt 5 Signal Ground 6 RX+ (RS422) 7 RX- (RS422) 8 TX+ (RS422) 9 TX- (RS422)

D-Sub, 9-polig, Stifte

Ansicht Steckseite

Steckerbelegung 1 TX+ 2 TX- 3 RX+ 4 nicht belegt 5 nicht belegt 6 RX- 7 nicht belegt 8 Isolation ground

RJ45, 8-polig

Ansicht Steckseite

Steckerbelegung D-Sub, 25-polig,Buchsen

Ansicht Steckseite

Abbildung 11:Anschluss SerielleSchnittstellen RS 232/422

Abbildung: 12Anschluss SerielleSchnittstellen RS 485/422 isol.

Abbildung 13:Anschluss Schaltkontakte relay


Schliessen Sie die serielle Schnittstelle mit einem abge-schirmten Verbindungskabel (EMV-Verträglichkeit) amAnschluss RS 232/422 auf der Geräterückseite an.

Schliessen Sie die serielle Schnittstelle mit einem abge-schirmten Verbindungskabel (EMV-Verträglichkeit) amAnschluss RS 485/422 isol. auf der Geräterückseite an.

Die beiden Stecker sind 1:1 verbunden. Dadurch lässtsich das MaxiGauge™ einfach in ein Netzwerkintegrieren.

Schliessen Sie die peripheren Komponenten mit einemabgeschirmten Verbindungskabel (EMV-Verträglichkeit)am Anschluss relay auf der Geräterückseite an.

ACHTUNGBeachten Sie die max. Belastung der Relaiskontakte(→ 2 13). Eine höhere Belastung kann Zerstörungenim Gerät verursachen.

Ein Relay-Interface mit Umschaltkontakten für250 V / 5 A ist als Zubehör erhältlich (→ 2 82).

4.6 Anschluss Schnitt-stelle RS 232/422

4.7 Anschluss Schnitt-stelle RS 485/422isol.

4.8 Anschluss Schalt-kontakte relay

24 Bedienungselemente/Modi BG 805 186 BD (9907) MaxiGauge.bet

MaxiGaugeTM

MaxiGaugeTM

1 32

1 Netzanzeige (LED, grün): Ein/Aus2 Anzeige (LCD): Messwerte und Betriebsdaten3 5 Softkeys (Bedienungstasten mit wechselnder

Bedeutung)

Abbildung 14:Frontplatte

Abbildung 15:Netzschalter

BG 805 186 BD (9907) MaxiGauge.bet Bedienungselemente/Modi 25

5 Bedienungselemente und Betriebsmodi

Die Bedienung des MaxiGauge™ erfolgt über fünfsogenannte Softkeys auf der Frontplatte(→ Abbildung 14). Die Funktion der Softkeys hängt vomjeweiligen Betriebsmodus ab und ist aus der der LCD-Grafikanzeige ersichtlich.

Der Netzschalter befindet sich auf der Geräterückseite(→ Abbildung 15). Bei eingeschaltetem Gerät leuchtetdie Netzanzeige (grüne Lampe) auf der Frontseite(→ Abbildung 14).

HINWEISBei aktivierter Dunkelschaltung (6FUHHQVDYH) kannfälschlicherweise der Eindruck entstehen, das Gerätsei ausgeschaltet (→ 2 56).

5.1 Bedienungs-elemente

Softkeys

Netzschalter


Abbildung 16:Betriebsmodi


Im Betriebsmodus «Measurement» zeigt dasMaxiGauge™ den Messwert einer Messröhre imGrossformat oder aller Messröhren im Kleinformat an(→ 2 28, 2 40).

Im Betriebsmodus «Setpoint» ordnen Sie einerMessstelle eine Schaltfunktion zu und definieren dieSchwellwerte (→ 2 30, 2 42).

Im Betriebsmodus «General Parameter» definieren Siedie Systemparameter (für alle angeschlossenenMessröhren gemeinsam) (→ 2 31, 2 48).

Im Betriebsmodus «Sensor Parameter» definieren Siedie für jede Messröhre relevanten Parameter(→ 2 32, 2 58).

Im Betriebsmodus «Sensor Control» definieren Sie, wieeine Messröhre ein- und/oder ausgeschaltet werdenkann (→ 2 33, 2 68).

Der Betriebsmodus «Test» ist bestimmt für Diagnose-und Servicezwecke (Fehlersuche am Gerät). Hierfür sindSpezialkenntnisse erforderlich (→ 2 34, 2 85).

5.2 Betriebsmodi(Übersicht)

«Measurement»

«Setpoint»

«General Parameter»

«Sensor Parameter»

«Sensor Control»

«Test»


ô í ÷ û øùî

º»º»RIIVHW$Õ§¨¼¤¨¼FDO%¨©ª×¿¹·×¿&«¬&+µ ½ Á½PEDU'()

ü

gewählte Messstelle (aus 1 ... 6)ô Messstellenname, 4-stellig, frei definierbar

(→ 2 67)

í Messwert oder Status (→ 2 35)÷ Masseinheit (→ 2 49)

û Offsetkorrektur aktiviert (→ 2 60)ø Kalibrierfaktor ≠ 1.00 (→ 2 64)

ù Bezeichnung der Schaltfunktion (A ... F)(→ 2 42)

î Steuernde Quelle (aus 1 ... 6) (→ 2 43)

ü Balkenanzeige (analoger Messwert, Bargraph)(→ 2 51)

6HQVRU Messstellenwahl

6HQRQ *) Messröhre einschalten6HQRII *) Messröhre ausschalten

$OO Messwerte aller Messstellen anzeigen

0RGH Betriebsmoduswahl aktivieren

HINWEIS*) Parameter ist nicht für alle Messröhrentypen

verfügbar (→ Gültigkeitstabelle 2 84).

5.2.1 Betriebsmodus«Measurement»

Abbildung 17:Anzeige «Single»

Anzeigen

Softkeys (Tasten)

6HQVRU$OO0RGH


ô í ÷ û ø ùî

&+(PEDU$&+PEDU%&+(PEDUFDO&&+(PEDUGHJDV'&+PEDURIIVHW(&+QR6HQVRU)

alle Messstellen (1 ... 6)Die gewählte Messstelle ist invers dargestellt

ô Messstellennamen, 4-stellig, frei definierbar(→ 2 67)

í Messwerte oder Status (→ 2 35)÷ Masseinheit (→ 2 49)

û Kalibrierfaktor ≠ 1.00 (→ 2 64)ø Sensor 4: Degas aktiviert (→ 2 63)

Sensor 5: Offsetkorrektur aktiviert (→ 2 60)

ù Bezeichnung der Schaltfunktion (A ... F)(→ 2 42)

î Steuernde Quelle (aus 1 ... 6) (→ 2 43)


6HQRQ *) Messröhre einschalten6HQRII *) Messröhre ausschalten

6LQJOH Messwert der gewählten Messstelleanzeigen

0RGH Betriebsmoduswahl aktivieren



Abbildung 18:Anzeige «All»

Anzeigen

Softkeys (Tasten)

6HQVRU6HQRII6LQJOH0RGH


&RQWURO6HQVRU¤6HWSRLQWKLJK(PEDU¤6HWSRLQWORZ(PEDU 85&RQWURORII

& Gewählte Schaltfunktion (ausA ... F)

&RQWURO 6HQVRU Steuernde Quelle (1 ... 6) derSchaltfunktion C (→ 2 43)

6HWSRLQW KLJK Oberer Schwellwert der Schalt-funktion C (→ 2 44)

6HWSRLQW ORZ Unterer Schwellwert derSchaltfunktion C (→ 2 44)

85&RQWURO *) Verhalten der Schaltfunktion Cbei Messbereichsunterschrei-tung (underrange) (→ 2 46)

5HOD\ Schaltfunktionswahl (aus A ... F)

QH[W Parameterwahl Wert höher setzen Wert tiefer setzen

5HWXUQ Zurück zum Betriebsmodus«Measurement»



5.2.2 Betriebsmodus«Setpoint»

Abbildung 19:Anzeige «Setpoint»

Anzeigen

Softkeys (Tasten)

5HOD\QH[W5HWXUQ


.H\ORFNRII,QWHUIDFH56%DXGUDWH8QLWPEDU$GGUHVV'LJLWV%DUJUDSK'HFDGH6FUHHQVDYHK'HIDXOWVHW&RQWUDVW

.H\ORFN Parameter-Eingabesperre aktiviertoder deaktiviert (→ 2 48)

8QLW *) Druckmasseinheit (→ 2 49)

'LJLWV Anzeigestellen bei logarithmischenMessröhren (→ 2 50)

%DUJUDSK Balkenanzeige (→ 2 51)

'HIDXOW Standardwerte der Parameter laden(→ 2 52)

,QWHUIDFH Typ serielle Schnittstelle (→ 2 53)

%DXGUDWH Baudrate Schnittstelle (→ 2 54)

$GGUHVV **) Softwareadresse Schnittstelle(→ 2 55)

6FUHHQVDYH Dunkelschaltung der Anzeige(→ 2 56)

&RQWUDVW Kontrast der Anzeige (→ 2 57)



HINWEIS*) Druckeinheiten sind abhängig von den

verwendeten Messröhren (→ Tabelle 2 36).

**) Parameter nur bei Schnittstelle RS485 verfügbar.

5.2.3 Betriebsmodus«General Para-meter»

Abbildung 20:Anzeige «General Parameter»

Anzeigen

Softkeys (Tasten)

QH[W5HWXUQ


7\SH$35&05PEDUÕ§2IIVHWRQPEDU¨©ª&$/)DFWRU«¬)LOWHUVWDQGDUG1DPH&+

Gewählte Messstelle (aus 1 ... 6)

7\SH *) Angeschlossene Messröhren-

familie **) / angeschlossenerMessröhrentyp (→ 2 59)

2IIVHW ***)

oder'HJDV ***)

Offsetkorrekturaktivierung (→ 2 60)

Degasaktivierung (→ 2 63)

&DO)DFWRU Eingestellter Kalibrierfaktor fürMessstelle 2 (→ 2 64)

)LOWHU Gewählte Messwertfilterung fürMessstelle 2 (→ 2 65)

1DPH Definierbarer Messtellenname fürMessstelle 2 (bis 4 Zeichen) (→ 2 67)




HINWEIS*) Je nach identifiziertem Messröhrentyp ist dessen

Messbereich einzugeben.**) Die Familie der linearen Messröhren wird mit

$35&05 angezeigt. Dazu gehören auch die ACR.***) Parameter ist nicht für alle Messröhrentypen


5.2.4 Betriebsmodus«Sensor Para-meter»

Abbildung 21:Anzeige «Sensor Parameter»

Anzeigen

Softkeys (Tasten)

6HQVRUQH[W5HWXUQ


´¶&RQWURO+RWVWDUWÓÎÏ213RZHURQÐÑÒ2))6HOIFRQWUROµ 2))7KUHVKROG(PEDU

Gewählte Messstelle (aus1 ... 6)

&RQWURO *) Steuernde Quelle derMessstelle 5 (→ 2 70)

21 Einschalten der Messstelle 5bei Geräte-Einschaltung

2)) 6HOIFRQWURO Ausschaltmodus Messstelle 52)) 7KUHVKROG Ausschalt-Schwellwert der

Messstelle 5 beiSelbstüberwachung






5.2.5 Betriebsmodus«Sensor Control»

Abbildung 22:Anzeige «Sensor Control»

Anzeigen

Softkeys (Tasten)

6HQVRUQH[W5HWXUQ


3URJUDP%*)

5$0$'(3520,2((3520,QWHUIDFH'LVSOD\:'7&WUODXWR

3URJUDP Firmwareversion (→ 2 85)

5$0 RAM Selbsttest (→ 2 86)

(3520 EPROM Selbsttest (→ 2 86)

((3520 EEPROM Selbsttest (→ 2 86)

'LVSOD\ Display Selbsttest (→ 2 87)

$' Test Analog-/Digitalwandler (→ 2 87)

,2 Relaistest (→ 2 87)

,QWHUIDFH Test serielle Schnittstelle (→ 2 88)

:'7&WUO Watchdog-Kontrolle (→ 2 88)

QH[W Parameterwahl6WDUW Gewählte Testsequenz starten


HINWEISDer Betriebsmodus «Test» ist nur verfügbar, wennwährend dem Einschalten des Gerätes ein beliebigerSoftkey gedrückt wurde.

5.2.6 Betriebsmodus«Test»

Abbildung 23:Anzeige «Test»

Anzeigen

Softkeys (Tasten)

QH[W6WDUW5HWXUQ

BG 805 186 BD (9907) MaxiGauge.bet Anzeige/Druckeinheiten 35

6 Anzeigeformate und Druckeinheiten

Die Anzeige erfolgt in Exponentialdarstellung oderGleitkommadarstellung. Die Umschaltung zwischendiesen zwei Darstellungsarten erfolgt automatisch. BeiMasseinheit «Pa» erfolgt die Anzeige nur in Exponential-darstellung.

Õ²¡¢´¶¡¢$Õ§¨³£¥£¤¤¤¤¥£FDO%¨©ª«¬°£¹·Ù®±¤¤£&«¬&+£Á¯° È ¯°PEDU'()

LogarithmischeMessröhren

LineareMessröhren

50 bar

1000 mbar Gleitkommadarstellung Gleitkomma-darstellung

1 mbarz.B. z.B.

bzw. 1 Torr

Exponentialdarstellung

z.B. (

10-11 mbar

6.1 Anzeigeformate

Abbildung 24:Anzeige in Exponential-darstellung

Abbildung 25:Anzeigeformate

6HQVRU$OO0RGH

36 Anzeige/Druckeinheiten BG 805 186 BD (9907) MaxiGauge.bet

Die Verwendung der verschiedenen Druckeinheiten istabhängig von den verwendeten Messröhren. Das Gerätlässt die Wahl einer Masseinheit nur zu, wenn mit dieserDruckeinheit der gesamte Messbereich dargestelltwerden kann.

Messröhre Bereich* ) mbar/bar Torr Pa

Logarith-misch

10-11 mbar…

1000 mbar

ä ä ä

0.1 mbar ä ä ä1 mbar ä ä ä10 mbar ä ä ä

100 mbar ä äLinear 1000 mbar ä ä

2 bar ä ä5 bar ä ä10 bar ä50 bar ä

Umrechnung von Druckeinheiten (→ 2 85)

*) Full Scale-Wert bei linearen Messröhren

Der Cursor hebt einen angewählten Parameter(wert),eine Messröhre oder einen Schaltfunktionszustand «ein»invers hervor.

.H\ORFNRII,QWHUIDFH56%DXGUDWH8QLW$GGUHVV'LJLWV%DUJUDSK'HFDGH6FUHHQVDYHK'HIDXOWVHW&RQWUDVW

&+(PEDU$&+(PEDU%&+(PEDUFDO&+(PEDU'&+PEDURIIVHW(&+QR6HQVRU)

6.2 Druckeinheiten

6.3 Cursor

Abbildung 26:Cursor (inverse DarstellungParameterwert)

Abbildung 27:Cursor (inverse DarstellungMessröhre/Schaltfunktion)

QH[W5HWXUQ


PEDU

&

BG 805 186 BD (9907) MaxiGauge.bet Bedienung 37

7 Bedienung

FachpersonalDas Gerät darf nur durch geschultes Fachpersonal be-dient werden, das jederzeit in der Lage ist, den Gefah-renbereich des jeweiligen Geräteeinsatzes vollständigzu überblicken.

Überprüfen Sie die korrekte Installation aller Verbin-dungskabel und Messröhren, sowie die Einhaltung derTechnischen Daten.

Schalten Sie das Gerät mit dem Netzschalter (oderzentral über den geschalteten Netzverteiler beiRackmontage) ein. Der Netzschalter befindet sich aufder Geräterückseite.

7.1 Personal

7.2 Gerät ein- und aus-schalten

Gerät einschalten

Abbildung 28:Netzschalter

38 Bedienung BG 805 186 BD (9907) MaxiGauge.bet

Nach dem Einschalten:

• führt das Gerät einen Selbsttest durch, wobei dieAnzeige «MaxiGauge™» erscheint

• identifiziert es die angeschlossenen Messröhren

• aktiviert es die beim letztmaligen Ausschaltenaktuellen Parameter

• schaltet es in den Betriebsmodus «Measurement»auf die beim letztmaligen Ausschalten angewählteMessstelle

• passt es nötigenfalls die Parameter an (falls zuvorandere Messröhren angeschlossen waren)

• Gerät mit dem Netzschalter (oder zentral über dengeschalteten Netzverteiler bei Rackmontage)ausschalten.

HINWEISWarten Sie bis zum Wiedereinschalten mindestens 10Sekunden, damit das Gerät sich neu initialisieren kann.

Abbildung 29:Anzeige nach Einschalten

Gerät ausschalten


Im übergeordneten Betriebsmodus «Measurement»gelangen Sie nach Betätigung des Softkeys [Mode] aufeine Auswahl für weitere Betriebsmodi.

Wählen Sie den gewünschten Betriebsmodus mit dementsprechenden Softkey aus:

• [Setpoint] Betriebsmodus «Setpoint»

• [Gen-Par] Betriebsmodus «General Parameter»

• [Sen-Par] Betriebsmodus «Sensor Parameter»

• [Sen-Ctrl] Betriebsmodus «Sensor Control»

Õ²¡¢´¶¡¢$Õ§¨³£¥£¤¤¤¤¥£FDO%¨©ª«¬°£¹·Ù®±¤¤£&«¬&+£Á¯° È ¯°PEDU'()

Den Betriebsmodus «Test» können Sie nur wählen,wenn während dem Einschalten des Gerätes einbeliebiger Softkey gedrückt gehalten wurde:

• [Test] Betriebsmodus «Test»

Wenn Sie sich in einem unteren Betriebsmodus befin-den, wechseln Sie mit dem Softkey [5HWXUQ] wieder inden übergeordneten Betriebsmodus «Measurement»zurück. Falls Sie innert 1 Minute keinen Softkeybetätigen, kehrt die Anzeige ebenfalls automatisch nach«Measurement» zurück.

7.3 Betriebsmoduswählen

Abbildung 30:Betriebsmodus wählen

Rückkehr aus ande-ren Betriebsmodi

6HQVRU$OO0RGH

6HWSRLQW*HQ3DU6HQ3DU6HQ&WUO7HVW


Im übergeordneten Betriebsmodus «Measurement»zeigt das Gerät die Messwerte an. Wenn Sie sich ineinem anderen (untergeordneten) Betriebsmodusbefinden und innert 1 Minute keinen Softkey betätigen,kehrt die Anzeige automatisch nach «Measurement»zurück.

(→ Übersicht Betriebsmodus «Measurement» 2 28).

Õ²¡¢´¶¡¢$Õ§¨³£¥£¤¤¤¤¥£FDO%¨©ª«¬°£¹·Ù®±¤¤£&«¬&+£Á¯° È ¯°PEDU'()

&+(PEDU$&+(PEDU%&+(PEDUFDO&&+(PEDU'&+PEDURIIVHW(&+QR6HQVRU)

Die Messstelle erscheint links auf der Anzeige als Zahl.

• Mit dem Softkey [6HQVRU] die nächste Messstellewählen (im Betriebsmodus Measurement «Single»erhöht sich die entsprechende Zahl, im Modus «All»verschiebt sich die inverse Darstellung als Zeichenfür die gewählte Messstelle). Von Messstelle 6 springtdie Anzeige auf Messstelle 1.

7.4 Betriebsmodus«Measurement»

Abbildung 31:Anzeige «Single»

Abbildung 32:Anzeige «All»

7.4.1 Messstelle wählen(6HQVRU)


6HQVRU$OO0RGH


• Mit dem Softkey [6HQRII] die gewählte Messröhreausschalten und mit [6HQRQ] einschalten.

ACHTUNGDas Ein- oder Ausschalten einer Messröhre kann denSchaltzustand der Relais ändern.

HINWEISParameter ist nicht für alle Messröhrentypen verfügbar(→ Gültigkeitstabelle 2 84).

• Mit dem Softkey [6LQJOH][$OO] zwischen Einzel-messwertanzeige oder Gesamtanzeige (alle sechsWerte gleichzeitig) wählen (→ 2 40).

HINWEISAnstelle des Messwertes können auch Status- oderFehlermeldungen angezeigt werden. Nach Behebungder Ursache zeigt das Gerät automatisch wieder denMesswert an (→ Statusmeldungen 2 74,Fehlermeldungen 2 76).

7.4.2 Messröhre ein-/ausschalten(6HQRQRII)

7.4.3 Einzel- oderGesamtanzeige(6LQJOH$OO)


Im Betriebsmodus «Setpoint» ordnen Sie einerSchaltfunktion eine steuernde Quelle zu und definierenden oberen und unteren Schwellwert. Zudem wählen Siedas Verhalten der Schaltfunktion bei Messbereichsun-terschreitung.

(→ Übersicht Betriebsmodus «Setpoint» 2 30).


Die Schaltfunktion erscheint links auf der Anzeige alsGrossbuchstabe.

Eine andere Schaltfunktion wie folgt wählen:

• Mit Softkey [5HOD\] die gewünschte Schaltfunktion($ ... )) wählen.

Die Änderungen werden automatisch nichtflüchtiggespeichert.

7.5 Betriebsmodus«Setpoint»


7.5.1 Schaltfunktionwählen ( 5HOD\)

5HOD\QH[W5HWXUQ


Die Zuordnung der Messstelle zu der Schaltfunktion istaus der oberen Parameterzeile «&RQWURO 6HQVRU»ersichtlich.

Die Zuordnung der Messstelle erfolgt für jede Schalt-funktion einzeln. Im Betriebsmodus «Measurement»werden alle Zuordnungen gleichzeitig angezeigt.


Õ²¡¢´¶¡¢$Õ§¨³£¥£¤¤¤¤¥£FDO%¨©ª«¬°£¹·Ù®±¤¤£&«¬&+£Á¯° È ¯°PEDU'()

Eine andere Messstelle wie folgt zuordnen:

• Betriebsmodus «Setpoint» wählen (sofern nötig)(→ 2 39)

• mit Softkey [QH[W] Parameter «&RQWURO 6HQVRU»wählen

• mit Softkey [] oder [] Parameterwert « ... »(Messstelle) wählen

• mit Softkey [5HWXUQ] zum Betriebsmodus«Measurement» zurückkehren

Die Änderungen werden automatisch nichtflüchtig ge-speichert.

7.5.2 Messstelle zu-ordnen (&RQWURO6HQVRU)


Anzeige «Measurement»

5HOD\QH[W5HWXUQ

6HQVRU6HQRQ$OO0RGH


Die oberen und unteren Schwellwerte werden in derzweiten und dritten Parameterzeile definiert.


Die Schwellwerte wie folgt definieren:


• mit Softkey [QH[W] Parameter «6HWSRLQW KLJK»wählen

• mit Softkey [] oder [] Parameterwert(Schwellwert oben) höher oder tiefer setzen

• mit Softkey [QH[W] Parameter «6HWSRLQW ORZ»wählen

• mit Softkey [] oder [] Parameterwert(Schwellwert unten) höher oder tiefer setzen


HINWEISEin ausserhalb des Messbereiches liegender Schwell-wert wird so geändert, dass er nachher der unteren(bzw. oberen) Messbereichsgrenze entspricht.Lagen beide Schwellwerte ausserhalb des Messbe-reiches, so werden sie sinngemäss unter Berücksichti-gung der minimalen Hysterese angepasst.

HINWEISAnzeigen für logarithmische Messröhren in Exponen-tialdarstellung oder Gleitkommadarstellung und für li-neare Messröhren nur in Gleitkommadarstellung(→ Anzeigeformate 2 35).


7.5.3 Schwellwertedefinieren(6HWSRLQW)


5HOD\QH[W5HWXUQ


6HWSRLQWORZ

6HWSRLQWKLJK

Dru

ck Messwert

Sch

altfu

nktio

n

Aus Ein Aus

Zeit

&+(PEDU$&+(PEDU%&+(PEDUFDO&+(PEDU'&+PEDURIIVHW(&+QR6HQVRU)

Der VHWSRLQW ORZ definiert den Druck bei dem dieSchaltfunktion bei fallendem Druck eingeschaltet wird.

Der VHWSRLQW KLJK definiert den Druck bei dem dieSchaltfunktion bei steigendem Druck ausgeschaltet wird.

HINWEISFalls zuvor andere Messröhrentypen angeschlossenwaren, sind die Schwellwerte unter Umständenautomatisch angepasst worden.

Abbildung 36:Schwellwerte einerSchaltfunktion

Abbildung 37:Inverse Darstellung dereingeschalteten Schaltfunktion(&)

VHWSRLQW ORZVHWSRLQW KLJK


&


HINWEISLogarithmische Messröhren:Die minimale Hysterese zwischen oberem und unteremSchwellwert beträgt mindestens 10% des unterenSchwellwertes. Somit wird ein instabiler Zustandverhindert. Falls Sie den oberen Schwellwert unterdem unteren einstellen, gilt automatisch dieseminimale Hysterese.Lineare Messröhren:Die minimale Hysterese zwischen oberem und unteremSchwellwert beträgt mindestens 1% des eingestelltenFull Scale-Wertes. Somit wird ein instabiler Zustandverhindert. Falls Sie den oberen Schwellwert unterdem unteren einstellen, gilt automatisch dieseminimale Hysterese.

Dieser Parameter überwacht das Verhalten derSchaltfunktion bei einer angezeigten Messbereichs-unterschreitung (→ Statusmeldungen 2 74).

Eine Messbereichsunterschreitung kannunterschiedliche Ursachen haben:æ Druck im Vakuumsystem ist unterhalb des

Messbereichsæ Messröhre hat (noch) nicht gezündetæ Die Entladung hat ausgesetztæ Defekt

Die eingeschaltete Schaltfunktions-Überwachunginterpretiert eine Messbereichsunterschreitung alsunerlaubten Messwert: Die Schaltfunktion wechselt aufStellung «aus».

Bei ausgeschalteter Überwachung bleibt dieSchaltfunktion bei Unterschreitung des Messbereiches inStellung «ein».

Die Schaltfunktions-Überwachung ist standardmässigausgeschaltet.

7.5.4 Schaltfunktions-Überwachung ( 85&RQWURO)



Überwachung wie folgt ein- oder ausschalten:


• mit Softkey [QH[W] Parameter «85&RQWURO»wählen

• mit Softkey [] oder [] Parameterwert «2Q»(Überwachung aktiviert) oder «2II» (Überwachungdeaktiviert (Standard)) wählen



HINWEISKann der Druck im Rezipienten den Messbereich derMessröhre unterschreiten, wird vorteilhafterweise«RII» gewählt.

HINWEISBei Einstellung «2Q» wird die Auswertung der Schalt-funktion nach dem Einschalten der Messröhre sowienach einer Rückkehr von einer Messbereichsunter-schreitung während ca. 10 Sekunden unterdrückt. DieSchaltfunktion bleibt so lange in Stellung «aus».



5HOD\QH[W5HWXUQ


Im Betriebsmodus «General Parameter» definieren Siedie Systemparameter für alle angeschlossenen Mess-röhren gemeinsam.

(→ Übersicht Betriebsmodus «General Parameter»2 31).


Die Parameter-Eingabesperre verhindert unbeabsich-tigte Eingaben und damit auch Fehlfunktionen. Bei ein-geschalteter Parameter-Eingabesperre kann nur derentsprechende Parameter «.H\/RFN» verändert unddamit die Eingabesperre wieder aufgehoben werden.

Die Eingabesperre wie folgt (de)aktivieren:

• Betriebsmodus «General Parameter» wählen (sofernnötig) (→ 2 39)

• mit Softkey [QH[W] Parameter «.H\ORFN» wählen

• mit Softkey [] oder [] Parameterwert «2Q»(Eingabesperre aktiviert) oder «2II» (Eingabesperredeaktiviert (Standard)) wählen


HINWEISDrücken Sie bei aktivierter Eingabesperre einenSoftkey, um einen (anderen) Parameter zu ändern,erscheint anstelle der Softkeybezeichnung kurz dieAnzeige «ORFNHG».


7.6 Betriebsmodus«GeneralParameter»


7.6.1 Eingabesperre(de)aktivieren(.H\ORFN)

QH[W5HWXUQ


Das Gerät kann Messwerte in den folgenden Druck-masseinheiten anzeigen: millibar, bar, Torr und Pascal.


Druckmasseinheit wie folgt wählen:


• mit Softkey [QH[W] Parameter «8QLW» wählen

• mit Softkey [] oder [] Parameterwert «7RUU»,«3D» oder «PEDU» (Standard) wählen *)



HINWEIS*) Bei linearen Messröhren sind je nach Messbereich

der Messröhre nicht alle Druckmasseinheitenwählbar (→ Tabelle 2 36).

7.6.2 Druckmasseinheitwählen ( 8QLW)


QH[W5HWXUQ


Um feinere Messwertschwankungen beobachten zukönnen, lässt sich die Anzeige von 2 auf 3 Anzeige-stellen (Digits) erhöhen. Der Messwert wird so feineraufgelöst. (Nur wirksam bei logarithmischenMessröhren.)


Anzahl Digits wie folgt bestimmen:


• mit Softkey [QH[W] Parameter «'LJLWV» wählen

• mit Softkey [] oder [] Parameterwert «» oder«» (Standard) wählen



7.6.3 Anzeigestellenbestimmen('LJLWV)

Abbildung 41:Anzeige Betriebsmodus«General Parameter»

QH[W5HWXUQ


Die Balkenanzeige erlaubt die rasche Einschätzung derMesswerte sowie die visuelle Erfassung von Druckän-derungen (Tendenz).


Die Balkenanzeige wie folgt einstellen:


• mit Softkey [QH[W] Parameter «%DUJUDSK» wählen

• mit Softkey [] oder [] Parameterwert «2II»(Balkenanzeige ausgeschaltet), «6HQ5DQJH»(Balkenbereich = Messbereich), oder « 'HFDGH»(Balkenbereich = Messwertexponent, (Standard))wählen



7.6.4 Balkenanzeige ein-stellen (%DUJUDSK)


QH[W5HWXUQ


Sämtliche vom Anwender gesetzten / verändertenParameter können auf die Standardwerte (Werks-einstellungen) zurückgesetzt werden.


Defaultwerte wie folgt setzen:


• mit Softkey [QH[W] Parameter «'HIDXOW VHW»wählen

Die Softkeys [] und [] ändern in ein Symbol, das aufgleichzeitiges Drücken hindeutet: [VHW].

• Gleichzeitiges Drücken dieser zwei Softkeys setzt alleParameter auf die Standardwerte zurück


ACHTUNGDas Setzen der Standardwerte kann nicht rückgängiggemacht werden!


7.6.5 Standardwertesetzen ('HIDXOW)


QH[WVHW5HWXUQ


Die seriellen Schnittstellen erlauben es, das Gerät zusteuern, Messdaten zu übertragen und Parameter zuändern (→ 2 13).Die gewünschte Schnittstelle wird mit diesem Parameterfestgelegt:


Schnittstelle wie folgt festlegen:


• mit Softkey [QH[W] Parameter «,QWHUIDFH» wählen

• mit Softkey [] oder [] Parameterwert «56»(Serielle Schnittstelle RS485 isoliert), «56,»(Serielle Schnittstelle RS422 isoliert), «56»(Serielle Schnittstelle RS422 nicht-isoliert) oder «56» (Serielle Schnittstelle RS232C nicht-isoliert),(Standard)) wählen


HINWEISPrüfen Sie, ob das Gerät mit allen oben aufgezähltenSchnittstellen bestückt ist (→ 2 2, 12).


Weitere Angaben → & [20].

7.6.6 Schnittstelle fest-legen (,QWHU-IDFH)


QH[W5HWXUQ


Mit diesem Parameter lässt sich die Baudrate für dieunter «,QWHUIDFH» festgelegte serielle Schnittstelleeinstellen.


Baudrate wie folgt einstellen:


• mit Softkey [QH[W] Parameter «%DXGUDWH» wählen

• mit Softkey [] oder [] Parameterwert «»(Baud), «» (Baud), «» (Baud), «»(Baud), «» (Baud (Standard)) oder «»(Baud) wählen




7.6.7 Baudrate einstellen(%DXGUDWH)


QH[W5HWXUQ


Die Schnittstelle RS485 ermöglicht den Aufbau einesNetzes mit maximal 32 Anzeigeeinheiten proSchnittstelle. Der Knotenpunkt (die Geräteadresse) lässtsich dementsprechend zwischen 0 und 31 einstellen.


Knotenpunkt wie folgt einstellen:


• mit Softkey [QH[W] Parameter «$GGUHVV» wählen

• mit Softkey [] oder [] Parameterwert « ... »(Knotenpunkt) wählen (0 = Standard)


HINWEISParameter ist nur bei Schnittstelle RS485 verfügbar.



7.6.8 Knotenpunkteinstellen($GGUHVV)


QH[W5HWXUQ


Zur Schonung der CFL-Lampe (Halbwertzeit der Leucht-kraft ca. 20’000 Stunden) lässt sich die Hintergrund-beleuchtung der LCD-Anzeige nach einer Zeit von1 ... 99 Stunden automatisch ausschalten. Die LCD-Anzeige selbst bleibt aber eingeschaltet.


Dunkelschaltung wie folgt einstellen:


• mit Softkey [QH[W] Parameter «6FUHHQVDYH»wählen

• mit Softkey [] oder [] Parameterwert «2II» oder« ... » (Anzahl Stunden, wonach die Hintergrund-beleuchtung nach letzten Tastendruck ausschaltet)wählen (Off = keine Ausschaltung (Standard))


HINWEISEine ausgeschaltete Hintergrundbeleuchtung kanndurch Antippen eines beliebigen Softkeys wiederaktiviert werden. Die Steuer- oder Wahlfunktion diesesSoftkeys bleibt für diesen Zweck unwirksam.


7.6.9 Dunkelschaltungeinstellen(6FUHHQVDYH)


QH[W5HWXUQ


Mit diesem Parameter stellen Sie den Kontrast der LCD-Anzeige in einem Bereich von 0 ... 20 entsprechend denBedürfnissen des Anwenders ein. Die Einstellung hängtvon den Umgebungsbedingungen und dem vertikalenSichtwinkel ab.


Kontrast wie folgt einstellen:


• mit Softkey [QH[W] Parameter «&RQWUDVW» wählen

• mit Softkey [] oder [] Parameterwert « ... »(minimaler Kontrast ... maximaler Kontrast) wählen(10 = Standard)



7.6.10 Kontrasteinstellen(&RQWUDVW)


QH[W5HWXUQ


Im Betriebsmodus «Sensor Parameter» definieren Siedie für jede Messstelle relevanten Parameter.

(→ Übersicht Betriebsmodus «Sensor Parameter»2 32).


Die Messstelle, worauf die nachfolgenden Parameter zu-greifen, erscheint links auf der Anzeige als eine Zahl inGrossformat.

• Betriebsmodus «Sensor Parameter» wählen (sofernnötig) (→ 2 39)

• mit Softkey [6HQVRU] die gewünschte Messstellewählen (aus ... ).

7.7 Betriebsmodus«SensorParameter»


7.7.1 Messstelle wählen(6HQVRU)

6HQVRUQH[W5HWXUQ


Das Gerät erkennt eine angeschlossenePfeiffer Vacuum Messröhre automatisch. Bei linearenMessröhren erscheint zusätzlich neben demMessröhrentyp *) der Full Scale-Wert alsParameterwert **). Dieser ist gemäss derangeschlossenen Messröhre einzustellen.


Full Scale-Wert wie folgt einstellen:


• mit Softkey [QH[W] Parameter «$35&05» (erkanntelineare Messröhrentypen) wählen

• mit Softkey [] oder [] Parameterwert« PEDU», « PEDU», « PEDU», « PEDU»,« PEDU» (Standard), « EDU», « EDU», «EDU» oder « EDU» einstellen


HINWEIS*) Die Familie der linearen Messröhren wird mit

$35&05 angezeigt.**) Parameter ist nicht für alle Messröhrentypen



7.7.2 Messröhreniden-tifikation ( 7\SH)

Abbildung 50:Anzeige Betriebsmodus«Sensor Parameter»

6HQVRUQH[W5HWXUQ


Die Offsetkorrektur erlaubt den Nullabgleich von linearenMessröhren auf den aktuellen Messwert (nicht korri-giertes Ausgangssignal der Messröhre) im Bereich-5 … +110% des eingestellten Full Scale-Wertes. Siewirkt auf:æ die Anzeigeæ die Schaltfunktionen (Schwellwert-Anzeige) die Analogausgänge des Gerätesæ die seriellen Schnittstellen



• mit Softkey [QH[W] Parameter «2IIVHW» wählen

• mit Softkey [] oder [] Parameterwert «RQ»,(Offsetkorrektur aktiviert) oder «RII» (Offsetkorrekturdeaktiviert) (Standard)) wählen (der zuletzt gespei-cherte Offsetwert wird rechts neben dem Parameter-wert «RQ»/«RII» angezeigt)

Mit der Offsetkorrektur lassen sich zwei verschiedeneAufgaben lösen:

Lineare Messröhren können auf zwei Arten auf denNullpunkt abgeglichen werden; dabei muss der Drucktiefer sein als der Messbereich der Messröhre:

− Nullpunktabgleich mit dem Nullabgleich-Potentiometer direkt an der Messröhre (→ & [17],[18], [19])

− Korrektur der aktuellen Druckanzeige mit derOffsetfunktion des Messgeräts

7.7.3 Offsetkorrektur(Nullabgleich)einstellen(2IIVHW)


Offsetkorrektur ein- /ausschalten

Nullpunktabgleich

6HQVRUQH[W5HWXUQ


Vorgehen bei der zweiten Variante:

• bei einem Druck tiefer als der Messbereich Offset-korrektur auf «RQ» setzen

• mit Softkey [QH[W] den zuletzt gespeicherten Offset-wert (rechts neben dem Parameter «RQ») wählen; dieAnzeigen der Softkeys [] und [] wechseln in[$FWXDO] und [=HUR]

• mit Softkey [$FWXDO] den aktuellen Messwert (Null-punktabweichung) als neuen Offsetwert übernehmen.(Mit Softkey [=HUR] kann der gespeicherte Offsetwertauf Null gesetzt werden.)


Vorteil der zweiten Variante ist, dass kein direkter Zugriffauf die Messröhre benötigt wird.

Die Druckanzeige kann mit dem Messgerät auch beieinem beliebigen Druck innerhalb des Messbereichsnullgesetzt werden. Es zeigt dann die Abweichung vondiesem Druck an und kann demzufolge auch negativeWerte annehmen. Somit können z.B. Druckabweichun-gen während eines Prozesses beobachtet werden. DasVorgehen ist sinngemäss wie oben.



Nullsetzen bei belie-bigem Druck


Bei aktivierter Offsetkorrektur wird der gespeicherteOffsetwert vom aktuellen Messwert subtrahiert.


AktuellerMesswert

Gespeicher-ter

Offsetwert

Anzeige beiOffset

aktiviert:

Anzeige beiOffset

deaktiviert:

RIIVHW

HINWEISWird der Nullpunkt an der Messröhre selbst neu ab-geglichen, muss die Offsetkorrektur vorgängig aus-geschaltet werden.Korrekturwerte bleiben nach Ausschalten des Gerätesgespeichert.

Beispiel:

6HQVRUQH[W5HWXUQ


Ablagerungen auf dem Elektrodensystem der CompactFullRange™ BA Gauge (PBR 260) können Instabilitätendes Messwertes zur Folge haben.Der Degas-Vorgang bewirkt eine Erhitzung des Elektro-nenauffängergitters auf ca. 700 °C durch Elektronen-Bombardement und damit eine Reinigung des Elektro-densystems.Der Degas-Vorgang dauert normalerweise 3 Minuten,kann aber vorzeitig deaktiviert werden.

Õ²7\SH3%5¨³£'HJDVRQ«¬°&$/)DFWRU£)LOWHUVWDQGDUG1DPH&+

Ein Degas-Vorgang lässt sich wie folgt aktivieren bzw.deaktivieren:


• mit Softkey [QH[W] Parameter «'HJDV» wählen

• mit Softkey [] oder [] Parameterwert «RQ»,(Degas aktiviert) oder «RII» (Degas deaktiviert) *)

(Standard) wählen


HINWEIS*) Nach 3 Minuten Degas geht Parameter «'HJDV»

automatisch auf «RII» (Standard).

HINWEIS− Degas nur an den Anschlüssen Sensor 4 bis

Sensor 6 möglich.

− Degas aktivieren («RQ») nur möglich, wenn dieMessröhre eingeschaltet ist.

− Im Betriebsmodus «Measurement» wird dieStatusmeldung «'HJDV» angezeigt, wenn Degas =«RQ».

7.7.4 Degas aktivieren('HJDV)


6HQVRUQH[W5HWXUQ


Die Kalibrierfunktion erlaubt es, den Messwert einerMessröhre abzugleichen. Sie wird bei logarithmischenMessröhren hauptsächlich genutzt, um den Messwert fürandere Gasarten als N2 anzupassen, bei linearen Mess-röhren, um den Full Scale-Messwert zu korrigieren. DerKalibrierfaktor wirkt auf:æ die Anzeige *)

æ die Schaltfunktionen (Schwellwert-Anzeige) *)

die Analogausgänge des Gerätesæ die seriellen Schnittstellen *)

*) Bei IMR 260, IMR 265 und PBR 260 (p≤10–1 mbar)nur im Heisskatoden-Messbereich.

7\SH735Õ§¨©ª&$/)DFWRU«¬)LOWHUVWDQGDUG1DPH&+

Jede der sechs Messröhren lässt sich wie folgt kalibrie-ren:


• mit Softkey [QH[W] Parameter «&DO)DFWRU» wiefolgt wählen:

• mit Softkey [] oder [] Parameterwert« ... (Standard) ... » einstellen (derWert ändert um jeweils )

• Bleibt der Softkey längere Zeit gedrückt, rollt der Wertautomatisch in Schritten von


• mit Softkey [] oder [] Parameterwert« ... (Standard) ... » einstellen(der Wert ändert um jeweils )

• Bleibt der Softkey längere Zeit gedrückt, rollt der Wertautomatisch in Schritten von



7.7.5 Kalibrierfaktor ein-stellen (&DO)DFWRU)


Für logarithmischeMessröhren

Für lineare Messröhre

6HQVRUQH[W5HWXUQ


Das Messwertfilter erlaubt eine bessere Auswertungunruhiger oder gestörter Messsignale. Es wirkt auf:æ die Anzeigeæ die Schaltfunktionen (Schwellwert-Anzeige) die Analogausgänge des Gerätesæ die seriellen Schnittstellen


Für jede der sechs Messröhren lässt sich ein Filter wiefolgt einstellen:


• mit Softkey [QH[W] Parameter «)LOWHU» wählen

• mit Softkey [] oder [] Parameterwert «IDVW»,«VORZ» oder «VWDQGDUG» (Standard) wählen(→ nachstehende Erklärungen)


Die Änderungen werden automatisch nichtflüchtig ge-speichert.

Standardeinstellung mit gutem Verhältnis zwischenAnsprechgeschwindigkeit und Empfindlichkeit vonAnzeige und Schaltfunktionen gegenüberMesswertänderungen.

t

p

7.7.6 Messwertfilterwählen ( )LOWHU)


Filter 6WDQGDUG

Abbildung 55:Messwertfilter 6WDQGDUG

6HQVRUQH[W5HWXUQ


Wählen Sie «slow», wenn die Anzeige und dieSchaltfunktionen nicht auf kleineMesswertschwankungen reagieren sollen. Das Gerätwird dadurch entsprechend langsamer aufMesswertänderungen ansprechen.

t

p

Wählen Sie «fast», wenn die Anzeige und die Schalt-funktionen schnell auf Messwertschwankungen reagie-ren sollen. Das Gerät wird dadurch entsprechend emp-findlicher auf Messwertstörungen.

t

p

Filter 6ORZ

Abbildung 56:Messwertfilter 6ORZ

Filter )DVW

Abbildung 57:Messwertfilter )DVW


Der Name der Messstelle erscheint in der Anzeigestandardmässig als CH 1, CH 2 ... CH 6 (CH = Channel).

Es ist möglich, diese 4 Zeichen frei mit Buchstaben,Zahlen oder Leerzeichen zu belegen.

Dies kann sinnvoll sein, z.B. in einer Anlage zurUnterscheidung von Messröhren in Baugruppen oder fürbestimmte Funktionsbezeichnungen.


Name wie folgt definieren:


• mit Softkey [QH[W] Parameter «1DPH» wählen (derCursor springt automatisch auf das erste Zeichen)

• mit Softkey [] oder [] Parameterwert «$ ... =»(Standard: C), « ... », « », (erstes Zeichen desNamens) wählen

• mit Softkey [QH[W] das nächste Zeichen wählen

• mit Softkey [] oder [] Parameterwert «$ ... =»(Standard: H), « ... », « », (zweites Zeichen desNamens) wählen

• Wie beschrieben das dritte (Standard: Leerzeichen)und vierte (Standard: Zahl 1 ... 6) Zeichen wählen



7.7.7 Namen der Mess-stelle definieren(1DPH)


6HQVRUQH[W5HWXUQ


Im Betriebsmodus «Sensor Control» *) definieren Sie,wie Kaltkatoden-, FullRange™- und Heissionisations-messröhren durch andere Messröhren oderSteuerquellen ein- und ausgeschaltet werden.

(→ Übersicht Betriebsmodus «Sensor Control» 2 33).

Bei der Festlegung der Steuerungsoptionen ist zubeachten:

• Nur zugelassene Messröhren-Steuermöglichkeitensind wählbar (→ Tabelle «Sensor Control» 2 69f)

• Die Pirani- und alle linearen Messröhren sind nachdem Einschalten des Gerätes immer eingeschaltet

• «Hot Start» bedeutet, dass die Messröhre beim Ein-schalten des Gerätes automatisch eingeschaltet wird.Danach gelten die eingestellten Ausschaltbedingun-gen (→ 2 73). Diese Betriebsart ermöglicht dasautomatische Weitermessen nach einemStromausfall.

• Eine Messröhre kann nicht durch «Hot Start» ausge-schaltet werden.

• Eine Messröhre kann sich nicht selbst druckabhängigeinschalten

• Kaltkatoden-Messröhren und lineare Messröhren fürden Full Scale-Druckbereich ≥ 1000 mbar (1 bar)können nicht als steuernde Quellen eingesetztwerden.

• Die 6 «Ext-Ctl»-Eingänge sind den sechsMessröhrenanschlüssen fest zugeordnet.



7.8 Betriebsmodus«Sensor Control»

Messröhren-Steuer-möglichkeiten


Gesteuerte Steuernde Quelle

Messstelle TPR PKR IMR / PBR

IMR/ on 1 ... 1E-3 1 ... 1E-5 -

PBR off 1 ... 1E-3 1 ... 1E-5 -

IKR on 1E-2 ... 1E-3 1E-2 ... 1E-5 1E-2 ... 5E-10

off 1E-2 ... 1E-3 1E-2 ... 1E-5 1E-2 ... 5E-10


Messstelle APR / CMR/ ACR1 mbar

F.S.

APR / CMR/ ACR

10 mbarF.S.

APR / CMR/ ACR

100 mbarF.S.

IMR/ on 1 ... 1E-3 1 ... 1E-2 1 ... 1E-1

PBR off 1 ... 1E-3 1 ... 1E-2 1 ... 1E-1

IKR on 1E-2 ... 1E-3 1E-2 -

off 1E-2 ... 1E-3 1E-2 -


Messstelle Extern Manual Hot Start

PKR on CTL 1 ... 6 Yes Yes

off CTL 1 ... 6 Yes -

IMR/ on CTL 1 ... 6 Yes Yes

PBR off CTL 1 ... 6 Yes -

IKR on CTL 1 ... 6 Yes Yes

off CTL 1 ... 6 Yes or1E-2...1E-5*)

1E-2...1E-5*)

Fettgedruckt: Standardwerte*) Selbstüberwachung- keine Steuermöglichkeit

Die Wertangaben in der Tabelle, wie zum Beispiel1 ... 1E-3, beziehen sich auf mbar und entsprechen demeinstellbaren Druck, bei welchem die entsprechendeMessröhre ein- oder ausgeschaltet wird.

Abbildung 59:Tabelle «Sensor Control»


Die gesteuerte Messstelle, worauf die nachfolgendenParameter zugreifen, erscheint links auf der Anzeige alseine Zahl in Grossformat.

´¶&RQWURO6HQVRUÓÎÏ217KUHVKROG(PEDUÐÑÒ2))7KUHVKROG(PEDUµ

Eine andere Messstelle wie folgt wählen:

• Mit dem Softkey [6HQVRU] die gewünschteMessstelle wählen (aus ... ).

Die steuernde Quelle erscheint in der oberen Zeilerechts neben Parameter «&RQWURO».

Die steuernde Quelle wie folgt bestimmen (Beispielausgehend vom Standard «6HQVRU »):

• Betriebsmodus «Sensor Control» wählen (sofernnötig) (→ 2 39)

• mit Softkey [QH[W] Parameter «&RQWURO» wählen

• mit Softkey [] Parameterwert «6HQVRU ... »wählen (Falls die gewählte Messröhre nicht alssteuernde Messstelle eingesetzt werden kann,erscheint die Fehlermeldung «QR 6HQVRU&RQWURO»)

• mit Softkey [] Parameterwerte «([WHUQ»,«0DQXDO» oder «+RWVWDUW» wählen

Nach Festlegung der steuernden Quellen lassen sichderen Schwellenwerte für das Aus- und Einschalten dergesteuerten Quelle festlegen. Siehe die nachfolgendenAbschnitte.

7.8.1 GesteuerteMessstelle wählen(6HQVRU)

Abbildung 60:Anzeige «6HQVRU&RQWURO»

7.8.2 Steuernde Quellewählen ( &RQWURO)


Parameter wie folgt einstellen:

• Als steuernde Quelle «&RQWURO» «6HQVRU ... »wählen (→ 2 70)

• mit Softkey [QH[W] Parameter «217KUHVKROG»wählen

• mit Softkey [] oder [] Parameterwert höher odertiefer stellen *)

• mit Softkey [QH[W] Parameter «2))7KUHVKROG»wählen

• mit Softkey [] oder [] Parameterwert höher odertiefer stellen *)


*) Eine minimale Hysterese von 10 % bei denlogarithmischen und 1 % bei den linearenMessröhren wird automatisch eingehalten(siehe auch Hinweise 2 44, 45, 46).

Die 6 «Ext-Ctl»-Eingänge sind den sechs Messröhren-anschlüssen fest zugeordnet.

Falls die externe Steuerquelle «ORZ» wird, schaltet diegesteuerte Messstelle ein, falls die externe Steuerquelle«KLJK» wird, schaltet die gesteuerte Messstelle aus.

Diese Modalitäten sind fest eingestellt und lassen sichnicht verändern.

´¶&RQWURO([WHUQÓÎÏ21([WORZÐÑÒ2))([WKLJKµ


• Als steuernde Quelle «&RQWURO» «([WHUQ» wählen(→ 2 70)


7.8.3 Steuerung durch«6HQVRU ... »einstellen

7.8.4 Steuerung durch«([WHUQ»einstellen

Abbildung 61:Anzeige bei «&RQWURO([WHUQ»


Die gesteuerte Messstelle lässt sich mit dem Softkey[6HQRQ] ein- oder mit [6HQRII] ausschalten. Anstelleder manuellen Ausschaltung kann sich die gesteuerteMessstelle bei Druckanstieg bei einem definiertenSchwellenwert auch selbst ausschalten.

´¶&RQWURO0DQXDOÓÎÏ21.H\6HQRQÐÑÒ2))6HOIFRQWUROµ 2))7KUHVKROG(PEDU


• Als steuernde Quelle «&RQWURO» «0DQXDO» wählen(→ 2 70)

• mit Softkey [QH[W] Parameter «2))» wählen

• mit Softkey [] oder [] Parameterwert«.H\6HQRII» (Ausschalten mit Softkey) oder«6HOIFRQWURO» (Selbstüberwachung) einstellen

Bei Selbstüberwachung erscheint eine vierteParameterzeile «2))7KUHVKROG». Den Schwellenwertwie folgt einstellen:


• mit Softkey [] oder [] Parameterwert höher odertiefer stellen


7.8.5 Steuerung durch«0DQXDO»einstellen

Abbildung 62:Anzeige bei «&RQWURO0DQXDO»

6HQVRUQH[W5HWXUQ


Die gesteuerte Messstelle wird beim Einschalten desGerätes automatisch eingeschaltet und beim Ausschal-ten des Gerätes ausgeschaltet. Sie kann sich bei Druck-anstieg auch selbst ausschalten (Selbstüberwachung).

´¶&RQWURO+RWVWDUWÓÎÏ213RZHURQÐÑÒ2))6HOIFRQWUROµ 2))7KUHVKROG(PEDU


• Als steuernde Quelle «&RQWURO» «+RWVWDUW»wählen (→ 2 70)

• mit Softkey [QH[W] Parameter «2))» wählen

• mit Softkey [] oder [] Parameterwert«3RZHU RII » (Quelle schaltet aus beim Ausschaltendes Gerätes) oder «6HOIFRQWURO»(Selbstüberwachung) einstellen

Bei Selbstüberwachung erscheint eine vierteParameterzeile «2))7KUHVKROG». Den Schwellenwertwie folgt einstellen:


• mit Softkey [] oder [] Parameterwert höher odertiefer stellen


7.8.6 Steuerung durch«+RWVWDUW»einstellen

Abbildung 63:Anzeige bei «+RWVWDUW»

6HQVRUQH[W5HWXUQ


Statusmeldungen zeigen den Systemzustand an (keinfehlerhafter Zustand). Falls die Anzeige anstelle desMesswertes andere Meldungen (Statusmeldungen)anzeigt, wird das Messsignal nicht richtig empfangen.

&+QR6HQVRU$&+6HQVRURII%&+!(&&+QR6HQVRU'&+6HQVRUHUURU(&+6HQVRUHUURU)

(Statusmeldung)

Vorgehen bei Statusmeldungen:

• Ursache nachgehen, warum das Messsignal nichtrichtig empfangen wird

Nach Behebung der Ursache wird automatisch wiederder Messwert angezeigt.

ORFNHG *) Statusmeldung

TPR IKR PKR APRCMRACR

IMR PBR Bedeutung

ä ä ä ä ä ä Eingabeversuch beiaktiver Eingabesperre

*) Im Softkey-Anzeigebalken

QR 6HQVRU Statusmeldung


IMR PBR Bedeutung

ä ä ä ä ä ä Keine Messröhre an-geschlossen

6HQVRU RII Statusmeldung


IMR PBR Bedeutung

ä ä ä ä IKR, IMR, PKR, PBRist ausgeschaltet

7.9 Statusmeldungen

Abbildung 64:Statusmeldungen im Betriebs-modus «Measurement»

Abbildung 65:Statusmeldungen beiunterschiedlichen Messröhren

6HQVRU6HQRIIORFNHG6LQJOH0RGH


!0HVVEHUHLFK Statusmeldung


IMR PBR Bedeutung

ä ä ä ä ä ä Messbereich über-schritten

0HVVEHUHLFK Statusmeldung


IMR PBR Bedeutung

ä ä ä ä ä ä Messbereich unter-schritten

6HQVRU HUURU Statusmeldung


IMR PBR Bedeutung

ä ä ä ä ä ä Ausgangssignal ist imunteren Fehlerbereich

6HQVRU HUURU Statusmeldung


IMR PBR Bedeutung

ä ä ä ä ä ä Ausgangssignal ist imoberen Fehlerbereich

HINWEISDie Ziffer der Statusmeldungen «6HQVRU HUURU »und «6HQVRU HUURU » spezifiziert eine bestimmteFehlermeldung der angeschlossenen Messröhre undnicht eine Messstelle.


Fehlermeldungen werden im Softkey-Anzeigebalkenoberhalb des mittleren Softkeys blinkend angezeigt: Essind Unregelmässigkeiten oder Störungen aufgetreten.Das Error-Relay schaltet um (→ 2 22).

Õ²¡¢´¶¡¢$Õ§¨³£¥£¤¤¤¤¥£FDO%¨©ª«¬°£¹·Ù®±¤¤£&«¬&+£Á¯° È ¯°PEDU'()

(Fehlermeldung blinkend)

Vorgehen bei Fehlermeldungen:

Fehlermeldungen quittieren:

• Mittleren Softkey drücken. Danach wird dieFehlermeldung normalerweise gelöscht oder eineweitere Fehlermeldung erscheint (falls vorhanden)

Das Error-Relay schaltet nach der Quittierung wieder inAusgangsstellung zurück (→ 2 22).

• Falls die Meldung nicht erlischt, Gerät aus- undwieder einschalten

HINWEISWarten Sie bis zum Wiedereinschalten mindestens 10Sekunden, damit das Gerät sich neu initialisieren kann.

Je nach Einstellung der Systemüberwachung werdengewisse Fehlermeldungen (z.B. Watchdog Error)automatisch nach 2 Sekunden quittiert (→ 2 88).

Die Bedeutung der Fehlermeldung(en) entnehmen Sieder folgenden Tabelle.

Falls das Problem nicht behoben werden kann,Fehlermeldung(en) notieren und Pfeiffer Vacuum-Servicestelle kontaktieren.

7.10 Fehlermeldungen

Abbildung 66:Fehlermeldung (EEPROM) imBetriebsmodus«Measurement»

Fehlermeldungquittieren

6HQVRU((3520$OO0RGH


Anzeige Mögliche Ursache BehebungKeineAnzeige

Netzkabel unterbrochen Netzkabelüberprüfen

Netzspannung fehltoder zu hoch/zu tief

Überprüfen

Anzeigedunkel

Dunkelschaltungaktiviert (→ 2 56)

Softkey antippen

Lampe defekt(Lampenlebensdauer)

Lampeauswechseln

:'7 Betriebssystemfehler(Watchdog Error)

Quittieren(→ 2 76)

Sie haben nach demletztmaligen Ausschal-ten zu schnell wiedereingeschaltet

Ausschalten, 10Sekunden wartenund wiedereinschalten

7$6. Betriebssystemfehler(task fail Error)


,'/( Betriebssystemfehler(idle Error)


67$&. Betriebssystemfehler(Stack overflow Error)


5$0 Fehler des RAM(Arbeitsspeicher)


(3520 Fehler des EPROM(Programmspeicher)


((3520 Fehler des EEPROM(Parameterspeicher)


'LVSOD\ Fehler Anzeige-RAM(Displayspeicher)


.(< Fehler Softkey Quittieren(→ 2 76)

,'...,' Leitungsbruch zur an-gezeigten Messröhreoder betreffendes Ver-bindungskabel währendBetrieb ausgezogen *)

Verbindungs-kabel überprüfenQuittieren(→ 2 76)

*) Falls die Ursache nicht behoben wurde, erscheint dieStatusmeldung «QR 6HQVRU».

Abbildung 67:Tabelle Fehlermeldungen


Anzeige Mögliche Ursache Behebung6(...6( Messröhrenfehler *) Überprüfen der

Situation gemässnachfolgendenBeispielenQuittieren(→ 2 76)

Pirani:Speisung fehlt

Messelement defekt

Speisung, KabelprüfenMessröhre war-ten, austauschen

FullRange™ Gauge:Speisung fehlt

Pirani-Messelementdefekt

Speisung, KabelprüfenMessröhre war-ten, austauschen

Kaltkatoden-Messröhre:Speisung fehlt Speisung, Kabel

prüfen

Lineare Messröhre:Speisung fehlt Speisung, Kabel

prüfen

Heissionisations-Messröhre:

Speisung fehlt Speisung, Kabelprüfen

*) Gleichzeitig erscheint die Statusmeldung«6HQVRU HUURU » (im unteren Fehlerbereich) oder«6HQVRU HUURU » (im oberen Fehlerbereich)(→ 2 74).

BG 805 186 BD (9907) MaxiGauge.bet Wartung und Pflege 79

8 Wartung und Pflege

Für die äussere Reinigung und Pflege des Gerätes sindkeine besonderen Fachkenntnisse erforderlich.

FachpersonalFür die innere Reinigung des Gerätes mit Druckluft isteine Instruktion über die Gefahren bei der Handhabungvon Druckluft nötig.

Für die Reinigung und Handhabung der angeschlosse-nen Messröhren gelten die besonderen Regeln in Bezugauf Sauberkeit und Schutz vor Beschädigung(→ entsprechende & [1 ... 19]).

Im Normalfall reicht ein leicht feuchtes Tuch. BenutzenSie auf keinen Fall aggressive oder scheuernde Reini-gungsmittel. Es darf kein Wasser in das Gerät gelangen.Lassen Sie das Gerät vor der Wiederinbetriebnahme guttrocknen.

Bei stark staubiger Umgebung muss das Gerät perio-disch innen entstaubt werden. Blasen Sie den Staub mittrockener Druckluft durch die Lüftungsschlitze vorsichtigweg.

GEFAHRUnsachgemässe Handhabung von Druckluft kann ge-fährlich sein und Personen- und Sachschäden bewir-ken. Tragen Sie eine Schutzbrille, um Augenverletzun-gen zu vermeiden. Beachten Sie bei der Handhabungvon Druckluft die einschlägigen Vorschriften.

Anforderungen an die Druckluft:

• ölfrei, trocken

• frei von Partikeln (> 5 µm)

• Überdruck von 4 ... 8 bar

8.1 Personal

8.2 Reinigung

Äussere Reinigung

Innere Reinigung

80 Wartung und Pflege BG 805 186 BD (9907) MaxiGauge.bet

Das Gerät erfordert nebst den oben beschriebenen Rei-nigungsarbeiten keine speziellen Wartungsarbeiten. ZurWartung der Messröhren beachten Sie bitte die entspre-chenden Dokumente (→ & [1 ... 19]).

8.3 Wartung

BG 805 186 BD (9907) MaxiGauge.bet Zubehör und Ersatzteile 81

9 Zubehör und Ersatzteile

Bestellen Sie Zubehör und Ersatzteile immer mit:

• allen Angaben gemäss Typenschild

• Beschreibung und Bestellnummer gemäss Liste

Bestellnummer

Messkabel zur Messröhre 3 Meter kpl. 6 Meter kpl.10 Meter kpl.

Weitere Längen auf Anfrage

PT 448 250 -TPT 448 251 -TPT 448 252 -T

Bestellnummer

Pos. 1 Kabel, 5-polig plus Abschirmung,0.25 mm2 LeiterKabel, 5-polig plus Abschirmung,0.34 mm2 Leiter

Pos. 6 Leitungsdose Hirschmann GO 6 WF,6-polig, abgewinkelt, Buchsen

Pos. 7 Stecker Amphenol C91B,6-polig, Stifte

Pos. 8 Crimpkontakt(6 Stück werden benötigt)

B 4590 198 BD

B 4590 198 CD

B 4707 283 MA

B 4722 126 CCB 4722 841 CA

Pos. 6Pos. 1

Pos. 7, 8

Bestellnummer

Rack-Blindplatte 19", 2 HE, ½ Rack PT 441 481Verbindungslasche MaxiGauge™-Blindplatte PT 441 480 -TAdapter für 19", 3 HE, 63 TE, ¾ Rack PT 441 248 -X

Messkabel

Kabel-Einzelteile

Abbildung 68:Kabel-Einzelteile

Rack-Einbauteile

82 Zubehör und Ersatzteile BG 805 186 BD (9907) MaxiGauge.bet

Bestellnummer

Plexiglas-Ständer für Tischgerät PT 441 483

IF 256 Interface RS 485/422 (Nachrüstsatz) PT 441 240 -TRI 256 Relay-Interface PT 441 490 -T

GS 250 Compact Gauge Simulator PT 583 066 -T

Weitere Artikel

Abbildung 69:Plexiglas-Ständer

BG 805 186 BD (9907) MaxiGauge.bet Entsorgung 83

10 Entsorgung

Die Entsorgung des Gerätes ist Sache des Betreibers.Er muss das Gerät entweder

• frankiert an eine Pfeiffer Vacuum-Servicestelle zurEntsorgung einsenden

• einem konzessionierten privaten oder öffentlichenSammelunternehmen übergeben

• oder dessen Bestandteile selbst fachgerecht wieder-verwerten oder vorschriftsgemäss beseitigen

Bei Selbstentsorgung sind die Entsorgungsvorschriftenländerspezifisch geregelt (in der EU durch EG-Richtlinie75/442/EWG) und in entsprechenden Gesetzen undVerordnungen festgehalten. Diese Verhaltensregeln sindbei den zuständigen Behörden einzuholen.

In diesem Sinne sind Abfälle zu verwerten oder zu be-seitigen,

• ohne die menschliche Gesundheit zu gefährden

• ohne Verfahren oder Methoden zu verwenden, diedie Umwelt - insbesondere Wasser, Luft, Boden, Tier-und Pflanzenwelt - schädigen

• ohne dass Geräusch- oder Geruchsbelästigungenentstehen

• ohne die Umgebung oder das Landschaftsbild zu be-einträchtigen

GEFAHRBei Selbstentsorgung beachten: Die elektronischenBauteile im Gerät führen teilweise Netzspannung. Vordem Öffnen des Gerätes den Netzstecker ziehen(Elektrisierungsgefahr).

84 Anhang BG 805 186 BD (9907) MaxiGauge.bet

Anhang

Parameter Messröhrelogarithmisch linear

TPR IKR PKR IMR PBR APRCMRACR

Measurement Mode

6HQ2Q / 6HQRII ä ä ä ä

Setpoint Mode

&RQWURO 6HQVRU ä ä ä ä ä ä6HWSRLQW KLJK ä ä ä ä ä ä6HWSRLQt ORZ ä ä ä ä ä ä85&RQWURO ä ä

Sensor Parameter Mode

7\SH (Range) ä2IIVHW ä'HJDV ä&DO)DFWRU ä ä ä ä *) ä *) ä)LOWHU ä ä ä ä ä ä1DPH ä ä ä ä ä ä

Sensor Control Mode

&RQWURO ä ä ä ä2Q ä ä ä ä2II ä ä ä ä2Q7KUHVKROG ä ä ä2II7KUHVKROG ä ä ä

*) Nur im Heisskatoden-Messbereich gültig.

A: Gültigkeitstabelle

BG 805 186 BD (9907) MaxiGauge.bet Anhang 85

bar mbar µbar Pa kPa Torr mTorr *) psi

bar 1 103 106 105 102 750 750×103 14.5mbar 10-3 1 103 102 0.1 0.75 750 14.5×10-3

µbar 10-6 10-3 1 0.1 10-4 7.5×10-4 0.75 14.5×10-6

Pa 10-5 10-2 10 1 10-3 7.5×10-3 7.5 14.5×10-5

kPa 10-2 10 104 103 1 7.5 7.5×103 14.5×10-2

Torr 1.33×10-3 1.33 1.33×103 133 0.133 1 1000 19.3×10-3

mTorr 1.33×10-6 1.33×10-3 1.33 0.133 1.33×10-4 10-3 1 19.3×10-6

psi 6.89×10-2 68.9 68.9×103 6890 6.89 51.7 51.7×103 1

*) mTorr = micron = µ

FachpersonalDas Gerät darf nur durch geschultes Fachpersonalgetestet werden.

Der Betriebsmodus «Test» erscheint nur nach Drückendes Softkeys [0RGH], wenn während dem Einschaltendes Gerätes ein beliebiger Softkey gedrückt gehaltenwurde.

(→ Übersicht Betriebsmodus «Test» 2 34).

B: Umrechnung vonDruckeinheiten

C: Gerätetest


3URJUDP%*)

5$0$'(3520,2((3520,QWHUIDFH'LVSOD\:'7&WUODXWR

Der Testablauf ist wie folgt:

• Betriebsmodus «Test» wählen (sofern nötig)(→ 2 39)

• Mit Softkey [QH[W] das gewünschte Testprogrammwählen

• Durch Antippen von Softkey [6WDUW] wird das Pro-gramm gestartet, allenfalls mit [5HWXUQ] beendet

Bei Problemen wenden Sie sich an die Pfeiffer Vacuum-Servicestelle, da Eingriffe im Gerät Spezialkenntnisseerfordern und auch Gewährleistungsansprücheaufheben können.

Die erste Zeile «3URJUDP» wird durch den Cursor nichtgewählt. Sie zeigt die aktuelle Firmware- (Software-)Version an. Das letzte Zeichen stellt den Index dar: «»oder «$ ... =». Diese Information ist immer nützlich,wenn Sie im Störungsfall mit Pfeiffer Vacuum Kontaktaufnehmen.

Test des Arbeitsspeichers. Das Testprogramm läuft au-tomatisch ab (Anzeige «EXV\»). Nach erfolgreichemTest erscheint «SDVVHG», andernfalls «HUURU». Imletzten Fall erscheint eine blinkende Fehlermeldung immittleren Softkey-Anzeigebalken.

Test des Programm- und Parameterspeichers. DasTestprogramm läuft automatisch ab (Anzeige «EXV\»).Nach erfolgreichem Test erscheint «SDVVHG», andern-falls «HUURU». Im letzten Fall erscheint eine blinkendeFehlermeldung im mittleren Softkey-Anzeigebalken.

Zusätzlich wird die Checksumme angezeigt.

Abbildung 70:Anzeige «Test»

3URJUDP

5$0

(3520((3520

1H[W6WDUW5HWXUQ


Test des RAM-Anzeigespeichers. Das Testprogrammläuft automatisch ab (Anzeige «EXV\»). Der Kontrastschaltet 2× automatisch stufenlos nach hell und dunkel.Nach erfolgreichem Test erscheint «SDVVHG», andern-falls «HUURU». Im letzten Fall erscheint eine blinkendeFehlermeldung im mittleren Softkey-Anzeigebalken.

Test der Analog/Digitalwandler im Gerät (Anzeigewech-sel). Die linke Spalte zeigt die Messsignale der 6 ange-schlossenen Messröhren, gemessen am A/D-Wandler.Die gegenüberstehenden Werte in der rechten Spaltezeigen die betreffenden Identifizierspannungen, eben-falls am A/D-Wandler gemessen.

HINWEISFalls keine Messröhren angeschlossen sind, zeigt dasGerät Standardwerte an, die sich wegen der hohenEmpfindlichkeit der offenen Messkreise leicht verän-dern können.

Test aller Relais im Gerät (Anzeigewechsel). Das Test-programm «,2» testet deren Schaltfunktion: Die Relaiswerden zyklisch je 2× ein- und ausgeschaltet. Für denAnwender sind nur die mit «VZLWFK» und «HUURU» be-zeichneten Relais relevant. Die betreffenden Kontaktesind auf den Anschlussstecker relay auf der Geräterück-seite geführt (→ 2 22).

Die Schaltvorgänge werden optisch angezeigt und sinddeutlich hörbar. Mit einem Ohmmeter die Schaltkontakteder Relais überprüfen.

GEFAHRDie Relais schalten unabhängig vom Druck! Verhin-dern Sie die Auslösung von falschen Steuerbefehlenoder Meldungen. Stecken Sie die angeschlossenenMess- und Steuerkabel aus.

'LVSOD\

$'

,2(automatisch)


Eine Relaisfunktion (siehe «,2 automatisch») lässt sichauch manuell testen:

• mit Softkey [QH[W] Parameter «,2» wählen

• mit Softkey [5HOD\] den automatischen Testablaufunterbrechen und durch wiederholtes Antippen von[5HOD\] ein Relais wählen

• mit Softkey [] dieses Relais einschalten und mitSoftkey [] ausschalten

• mit Softkey [5HOD\] das nächste Relais wählen undein- und ausschalten, wie oben beschrieben

• mit Softkey [5HWXUQ] zum Betriebsmodus «Test» zu-rückkehren

Test des Receiver/Transmitter-Buffers. Der Datentrans-fer von der / auf die ausgewählte Schnittstelle kann beo-bachtet werden.

Mit diesem Parameter lässt sich das Verhalten derSystemüberwachung des Mikrocontrollers (Watchdog-control) einstellen.

Im Automatikbetrieb quittiert eine Watchdog-Fehlermel-dung sich nach 2 Sekunden von selbst; im Handbetriebmuss sie manuell durch Drücken des entsprechendenSoftkeys quittiert werden.

• mit Softkey [] oder [] Parameterwert auf «DXWR»(Standard) oder «KDQG» stellen


,2(manuell)

,QWHUIDFH

:'7&WUO


& [1] www.bi.balzers.com/library/BetriebsanleitungCompact Pirani Gauge TPR 250BG 803 005 BD / DBalzers Instruments, FL–9496 Balzers,Liechtenstein

& [2] www.bi.balzers.com/library/BetriebsanleitungCompact Pirani Gauge TPR 260 / 261BG 803 015 BD / ABalzers Instruments, FL–9496 Balzers,Liechtenstein

& [3] www. pfeiffer-vacuum.deBetriebsanleitungCompact Pirani Gauge TPR 261BG 805 175 BDPfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar,Deutschland

& [4] www.pfeiffer-vacuum.deBetriebsanleitungCompact Pirani Gauge TPR 265BG 805 174 BDPfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar,Deutschland

& [5] www.bi.balzers.com/library/BetriebsanleitungCompact Cold Cathode Gauge IKR 250BG 803 006 BD / EBalzers Instruments, FL–9496 Balzers,Liechtenstein

& [6] www.pfeiffer-vacuum.deBetriebsanleitungCompact Cold Cathode Gauge IKR 251BG 803 151 BDPfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar,Deutschland

D: Literaturverzeichnis


& [7] www.bi.balzers.com/library/BetriebsanleitungCompact Cold Cathode Gauge IKR 260BG 803 007 BD / EBalzers Instruments, FL–9496 Balzers,Liechtenstein



& [10] www.bi.balzers.com/library/BetriebsanleitungCompact FullRange™ Gauge PKR 250BG 803 016 BD / CBalzers Instruments, FL–9496 Balzers,Liechtenstein

& [11] www.pfeiffer-vacuum.deBetriebsanleitungCompact FullRange™ CC Gauge PKR 251BG 805 155 BDPfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar,Deutschland

& [12] www.bi.balzers.com/library/BetriebsanleitungCompact FullRange™ Gauge PKR 260BG 803 017 BD / ABalzers Instruments, FL–9496 Balzers,Liechtenstein


& [13] www.pfeiffer-vacuum.deBetriebsanleitungCompact FullRange™ CC Gauge PKR 261BG 805 157 BDPfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar,Deutschland

& [14] www.pfeiffer-vacuum.deBetriebsanleitungCompact Process Ion Gauge IMR 260BG 805 038 BDPfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar,Deutschland

& [15] www.pfeiffer-vacuum.deBetriebsanleitungCompact Ion Gauge IMR 265BG 805 172 BDPfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar,Deutschland

& [16] www.pfeiffer-vacuum.deBetriebsanleitungCompact FullRange™ BA Gauge PBR 260BG 805 171 BDPfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar,Deutschland

& [17] BetriebsanleitungCompact Capacitance Gauge ACR 261,ACR 262, ACR 263, ACR 274BG 803 011 BN / BBalzers Instruments, FL–9496 Balzers,Liechtenstein

& [18] www.pfeiffer-vacuum.deBetriebsanleitungCompact Capacitance Gauge CMR 261,CMR 262, CMR 263, CMR 264, CMR 271,CMR 272, CMR 273, CMR 274, CMR 275BG 805 161 BDPfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar,Deutschland


& [19] www.pfeiffer-vacuum.deBetriebsanleitungCompact Piezo Gauge APR 250, APR 260,APR 262, APR 265, APR 266, APR 267BG 805 035 BDPfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar,Deutschland

& [20] www.pfeiffer-vacuum.deKommunikationsanleitungMaxiGauge™BG 805 188 BDPfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar,Deutschland

BG 805 186 BD (9907) MaxiGauge.bet 93

Konformitätserklärung

Totaldruck Mess- und Steuergerätfür Kompakt-Messröhren

Hiermit erklären wir, dass das oben aufgeführte Produktden Bestimmungen der aufgeführten EU-Richtlinien ent-spricht.

Angewendete Richtlinien, harmonisierte Normen undangewendete nationale Normen in Sprachen undSpezifikationen:

89/336/EWG (7/93) ....................................

73/23/EWG (7/93) ......................................

93/68/EWG (7/93) ......................................

EN 61010-1, EN 60950: 1993 .................

EN 50081-1: 1992 ......................................

EN 50082-2: 1995 ......................................

Asslar, 8. Juli 1999

Wolfgang DondorfGeschäftsführer

Produkt

Konformitätserklärung imSinne der aufgeführtenEU-Richtlinien

Unterschrift

94 BG 805 186 BD (9907) MaxiGauge.bet

BG 805 186 BD (9907) MaxiGauge.bet 95

Pfeiffer Vacuum GmbHEmmeliusstrasse 33D–35614 AsslarDeutschlandTel +49 (0) 6441 802-0Fax +49 (0) 6441 [email protected]

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Betriebsanleitung inkl. Konformitätserklärungtvc.unibe.ch/doc/bg5186bd.pdf · 4 Inbetriebnahme 17...

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