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METROTOM Messgenauigkeitsuntersuchungen
15.11.2017
CT User Meeting
220.10.2017Carl Zeiss IMT, IMT-OEXS
Spezifikationen METROTOM (Stand Mai 2016)
320.10.2017Carl Zeiss IMT, IMT-OEXS
Richtlinien VDI/VDE 2617 + 2630 fürDIN EN ISO 10360
Antastabweichung PF und PS3D-Abweichungsverhaltenbestimmt in einem kleinenMessvolumen an idealenKugeln
Längenmessabweichung E3D-Abweichungsverhalten im gesamtenMessvolumen
Antastabweichung Form (PF)PF = Rmax - Rmin
Antastabweichung Maß (PS)PS = Da - Dr
Gemessen entweder mit Parallelend-maß (2 einzelne Messpunkte):E = La - Lr
Oder mit 2 Kugeln (Mittelpunktsabst.):E = Lka – Lkr + PS ± PF
SD
420.10.2017Carl Zeiss IMT, IMT-OEXS
Richtlinien VDI/VDE 2617 + 2630 fürDIN EN ISO 10360
Anforderungen der Richtlinie:
• 5 Prüflängen in 7 räumlichen Richtungen je dreimal, bei mindestens zweiVergrößerungen (→ 210 Messungen!)
• kleinste Prüflänge ≤ 30 mm, größte ≥ 66% der Raumdiagonalen desMessvolumens
Metrotom-Check micro mit 22 Kugeln
1
2
3
45
6
7
520.10.2017Carl Zeiss IMT, IMT-OEXS
METROTOM 800 225 kV, Abnahme SD
620.10.2017Carl Zeiss IMT, IMT-OEXS
METROTOM 800 225 kV, Abnahme E
E = SD + PS ± PF
720.10.2017Carl Zeiss IMT, IMT-OEXS
Datenreduktionzur Bewertung der Abweichungsstreuung
Automatische Maßstabskorrektur durch Fit der Messpunkte an eine Ursprungsgerade (da nicht in allen Fällen Geometrieeinmessungen durchgeführt wurden)
Bestimmung der Standardabweichung der maßstabskorrigierten Werte Bestimmung von x, so dass alle Werte innerhalb einer Fehlerkurve „x + L/100“ liegen
Dieser Wert x wird hier als „maximale Streuung“ bezeichnet
820.10.2017Carl Zeiss IMT, IMT-OEXS
METROTOM 800 130 kV
920.10.2017Carl Zeiss IMT, IMT-OEXS
METROTOM 800 130 kVStop & Go Messungen
Alle Messungen gut innerhalb der Toleranz Trends entsprechen den Erwartungen:
- Bessere Messgenauigkeit für längere Messzeiten- Bessere Messgenauigkeit für kleinere Voxelgrößen
1020.10.2017Carl Zeiss IMT, IMT-OEXS
METROTOM 800 130 kVVAST Messungen mit VAST Metrology Package
Alle Messungen gut innerhalb der Toleranz Trends entsprechen den Erwartungen:
- Bessere Messgenauigkeit für längere Messzeiten- Bessere Messgenauigkeit für kleinere Voxelgrößen
1120.10.2017Carl Zeiss IMT, IMT-OEXS
METROTOM 800 130 kVVAST Messungen mit VAST Metrology Package
Alle Messungen gut innerhalb der Toleranz Trends entsprechen den Erwartungen:
- Bessere Messgenauigkeit für längere Messzeiten- Bessere Messgenauigkeit für kleinere Voxelgrößen
1220.10.2017Carl Zeiss IMT, IMT-OEXS
METROTOM 800 225 kV
1320.10.2017Carl Zeiss IMT, IMT-OEXS
METROTOM 800 225 kVStop & Go Messungen
Alle Messungen gut innerhalb der Toleranz Etwas bessere Genauigkeit als METROTOM 800 130 kV Trends entsprechen den Erwartungen:
- Bessere Messgenauigkeit für längere Messzeiten- Bessere Messgenauigkeit für kleinere Voxelgrößen
1420.10.2017Carl Zeiss IMT, IMT-OEXS
METROTOM 1500 225 kV 500W
1520.10.2017Carl Zeiss IMT, IMT-OEXS
METROTOM 1500 500WStop & Go Messungen
Stop & Go Messungen gut innerhalb der Toleranz Trends liegen im Rahmen der statistischen Schwankungen
1620.10.2017Carl Zeiss IMT, IMT-OEXS