Mikro-Energietechnik: Energie aus ... -...

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www.hsg-imit.de Energie aus Maschinenumgebungen Vibration-Energy-Harvesting Bernd Folkmer Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard Gesellschaft e.V. HSG-IMIT Wilhelm-Schickard-Str. 10, D-78052 Villingen-Schwenningen, Germany phone: +49 7721 943-145 fax: +49 7721 943-210 email:[email protected] Mikro-Energietechnik DTG Jagresversammlung 2011, Freiburg, B. Folkmer / 17.11.2011 / Folie 1

Transcript of Mikro-Energietechnik: Energie aus ... -...

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Energie aus Maschinenumgebungen

Vibration-Energy-Harvesting

Bernd Folkmer

Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard Gesellschaft e.V.

HSG-IMIT

Wilhelm-Schickard-Str. 10, D-78052 Villingen-Schwenningen, Germany

phone: +49 7721 943-145 fax: +49 7721 943-210 email:[email protected]

Mikro-Energietechnik

DTG Jagresversammlung 2011, Freiburg, B. Folkmer / 17.11.2011 / Folie 1

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Introduction HSG, IMTEK & Partners

Stuttgart

Freiburg Villingen-Schwenningen

Research, Development and Scientific Education

• University Freiburg

IMTEK - Dep. Of Microsystem Engineering

PhD Program Energy Harvesting

• Hahn-Schickard Society

HSG-IMIT

HSG-IMAT

• Fraunhofer Society

IPM, EMI, ISE, …

State of Baden-Württemberg

Germany

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Freiburg - The Green City

Energy Harvesting Research at Freiburg

• Ph.D. Program Micro Energy Harvesting

Department of Microsystems Engineering (IMTEK), University of Freiburg

9 year program started in October 2006.

With 10 Professors, supported by 24 Scholarships from the German Research

Foundation (DFG) and from industrial partners

• R&D Group “Energy Efficient Autonomous Systems”

Institut für Mikro- und Informationstechnologie (HSG-IMIT)

• Solar Energy, Renewable Power Supply

Fraunhofer Institute for Solar Energy Systems

• Thermoelectrics – Spin-off: Micropelt

Fraunhofer Institute for Physical Measurement Techniques

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IMTEK - Chair of Microelectronics

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IMTEK - Chair of Microelectronics

RAM

ROM

Cal.

Data &

Energy

Tele-

metry D/A &

Buffer

Temp.,

Sensors

& analog

Inputs

Programmable

Amplifiers

A/D Converter

and Reference

Processor

Digital

Signal

Processing

Control

Design of CMOS

analog and digital integrated

circuits for embedded

microsystems

Low voltage & low power mixed-

signal design techniques for

portable and implantable systems

Fully equipped laboratory for

design, simulation

and test of mixed signal integrated

circuits

A multisensor data acquisition system

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Microelectronics Research Areas

Low–Power

Low–Voltage

Integrated Circuits

Analog

System Design

Analog/Digital-

Conversion (6)

Sensor

Read-Out (6)

Digital

System Design

Autonomous

Microsystems

Mixed-Signal

Design Methods

Micro Power

Microsystems (7)

Energy

Harvesting (5)

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Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V.

Wilhelm-Schickard-Straße 10

D-78052 Villingen-Schwenningen

Telefon +49 7721/ 943-0

Fax + 49 7721/ 943-210

E-Mail [email protected]

Hahn-Schickard-Society

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HSG-IMIT

State supported - Project funded

Mission: Applied Research

Founded 1988

ca. 80 Research and Technical Staff

ca. 9 Mio. Euro Budget in 2008

Clean Room (Class 100)

DIN EN ISO 9001 Certification in 2000

HSG-IMIT

Institut für Mikro- und Informationstechnik

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Cleanroom Service Center (RSC)

Facility 600 m² (class 100)

Silicon Micromachining

CMOS Post-Processing

4“ (6“) - Wafers

Services Process Development

Wafer Processing

Maintenance

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Energie aus Maschinenumgebungen

Vibration-Energy-Harvesting

Bernd Folkmer

Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard Gesellschaft e.V.

HSG-IMIT

Wilhelm-Schickard-Str. 10, D-78052 Villingen-Schwenningen, Germany

phone: +49 7721 943-145 fax: +49 7721 943-210 email:[email protected]

Mikro-Energietechnik

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In Zukunft

wird sich unsere Lebensweise unwiderruflich ändern,

denn dann

werden Mikrochips sich so allgemein verbreiten,

dass intelligente Systeme zu Millionen

in allen unseren Lebensbereichen anzutreffen sind.

[aus Zukunftsvisionen von Michio Kaku]

Vision

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Vision (II)

• unauffälliger allgegenwärtiger Betrieb:

ubiquitous computing

• vollständige Systemautonomie

• Unbegrenzte Betriebszeit

• keine Wartungskosten

• zuverlässiger Betrieb

an „entfernten Stellen“

• monolithisch integrierte

single-Chip Lösung als Fernziel

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Hintergrund und Motivation

Ziel

• Kabellose Sensor- /Aktor- /Regelsysteme

Einsatzgebiete

• Kraftfahrzeuge

• Maschinen und Anlagen

• Medizin

• Gebäude

• Flugzeuge

• Intelligente Kleidung

• Militär

• ....

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Solarzelle

Thermogeneratoren

Vibrationswandler

Solare Energie

Thermische Energie

Akustische Energie

Kinetische Energie

u.v.m.

Was ist „Energy Harvesting“

Energieversorgung

• RFID

• Batterien, Akkumulatoren

• Brennstoffzellen

• Umgebungsenergie

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Kinetischer Energy-Harvester

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Ziele:

• Erschließung alternativer Energiequellen zur Verlängerung der Betriebszeit, Erzeugung von kontinuierlicher Leistung

• Implementierung von innovativen stromsparenden Techniken

• Anwendung drahtloser Kommunikationstechnologien

• Management/ Optimierung von energieeffizienten Systemen

Lösungen (Stand heute)

• Induktionsgeneratoren

• Piezogeneratoren

• Kapazitive Generatoren

• Thermogenerator

Energieeffiziente autonome Systeme

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Wireless

Übertragungs-

einheit

Anwendung:

Sensor & Signalverarbeitung

System-

Management Spule

Magnet

mit Federelement

Energie-Autarke-Systeme

Vibrationsgenerator in schwer zugänglicher Umgebung

Zukunft

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Ausgangssituation / Stand der Technik

Condition Monitoring

• Energieautark

• Drahtlos

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PSP A/021272

Energie/ Vibration elektrische Energie

aus Umwelt an Sensorsystem

Energy-Harvester mit Power Management

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Wirkprinzip

• Energiewandlung durch elektrische Dämpfung

• System 2. Ordnung

• Eigenfrequenz

• Resonanzüberhöhung bei Anregung der Eigenfrequenz

• Verstärkung der äußeren Vibrationsamplitude

• Große innere Auslenkungen

Feder-Masse-Dämpfer System

xmFa

)( yxkFS )( yxcFc

m

m

me ccck

)(tx

)(tz

)(ty

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Leistungsabschätzung - Einschränkung

• Absolute Obergrenze der möglichen Ausgangsleistung

• Unabhängig vom Wandlerprinzip

• Unabhängig von der Generatorarchitektur

• Resonanzbetrieb

• Keine Berücksichtigung von Verlusten

• Effektivität der Energiewandlung von 100%

• Konditionierungselektronik (Gleichrichter, Stabilisator, Energiespeicher)

• Einfluss wesentlicher Parameter

Bemerkungen zur Leistungsabschätzung

2

_

_

2

max)(4 mopten

opte

DD

DmAP

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Herausforderungen: Vibrationsprofile

• Vibrationsprofile können sehr unterschiedlich sein

• Lage und Amplitude dominanter Frequenzen sehr anwendungsspezifisch

• Dominante Frequenz(en) können sich zeitlich ändern

• Temporäres Auftreten dominanter Frequenzen

• Breitbandige Anregung (stochastisch): keine dominante Frequenz

86 87 88 89 90 91 92 93 94

-200

0

200

Time (s)

acc (

m/s

²)

Acceleration Profile

0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 1000

20

40

60

80

Frequency (Hz)

PS

D (

dB

/Hz)

Power Spectral Density

86 87 88 89 90 91 92 93 94

-200

0

200

Time (s)

acc (

m/s

²)

Acceleration Profile

0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 1000

20

40

60

80

Frequency (Hz)

PS

D (

dB

/Hz)

Power Spectral Density

0 20 40 60 80 100 120 140 160 180 200-60

-40

-20

0

20

40

60

Time (s)

acc (

m/s

²)

Acceleration Profile

0 50 100 150 200 2500

10

20

30

Frequency (Hz)

PS

D (

dB

/Hz)

Power Spectral Density

0 20 40 60 80 100 120 140 160 180 200-60

-40

-20

0

20

40

60

Time (s)

acc (

m/s

²)

Acceleration Profile

0 50 100 150 200 2500

10

20

30

Frequency (Hz)

PS

D (

dB

/Hz)

Power Spectral Density

201 202 203 204 205 206 207 208

-200

-100

0

100

200

Time (s)

acc (

m/s

²)

Acceleration Profile

0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 1000

20

40

60

80

Frequency (Hz)

PS

D (

dB

/Hz)

Power Spectral Density

201 202 203 204 205 206 207 208

-200

-100

0

100

200

Time (s)

acc (

m/s

²)

Acceleration Profile

0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 1000

20

40

60

80

Frequency (Hz)

PS

D (

dB

/Hz)

Power Spectral Density

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Energy-Harvester Design

0 50 100 150 200 250 300-100

-50

0

50

100

Zeit [s]

Be

sc

hle

un

igu

ng

[m

/s²]

0 20 40 60 80 100 120 140 160 180-30

-20

-10

0

10

20

30

Frequency (Hz)

Po

we

r/fr

eq

ue

nc

y (

dB

/Hz

) Power Spectral Density

a

b

Analyse der Zielumgebung

• Mobile Messungen d. Schwingungen

• Bewertung der Daten

Auswahl physikalischer Prinzipien

• piezoelektrisch, induktiv,

kapazitiv, …

Modellierung der Generatoren

auf Basis der Messungen

• Analytische Simulation

• Finite Elemente Simulation

Technologische Umsetzung

• Werkstatt

• Reinraum

• Partner vor Ort

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Herausforderungen: Resonanzverhalten

60 70 80 90 100 110 120 130 140ferr (Hz)

100

200

300

400

500

P (mW)

100 g

2

_

22

3

_

2

max

21n

mopte

n

n

opte

DD

DmA

P

• Schmalbandig

• Starker Effektivitätsverlust

bei Anregung außerhalb

der Eigenfrequenz

Eigenschaft:

• Allround Generator mit

hoher Effektivität schwer

realisierbar

• Geringe Effektivität bei •zeitveränderlichen dominanten

Frequenzen

•stochastischer Anregung

Schlussfolgerung:

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Mikro Generatoren am HSG-IMIT

?

?

?

… oder die Suche nach

mehr Bandbreite

niedrigen Eigenkreisfrequenzen

leichte Skalierbarkeit

dynamische Anpassung

Vibrations-

Generatoren

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Vibrations-

Generatoren

M1IT

Mode One Induktion Transducer

wenn Vibrationsfrequenz bekannt

und nahezu konstant ist

NMIT

No Mode Induktion Transducer

wenn Vibrationsfrequenz unbekannt ist

und sich mit der Zeit ändert

LFTT

Low Frequency Tunable Transducer

Konversion variabler niederer Frequenzen

und Stöße bei kleinem Generatorvolumen

Mikro Generatoren am HSG-IMIT

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Stand der Technik - Systemübersicht

Resonante

Systeme

Nicht-Resonante

Systeme

Feste Eigenfrequenz

Einstellbare Eigen-

Frequenz

Verbesserung der

Bandbreite

Resonanz Tuning

Frequenz-

Vervielfacher

Resonator Array

Multi-Mode

Rotatorische Systeme

Federfreie Systeme

...

Nicht-Linearitäten

Nicht-lineare Feder

Mechanische Anschlag

Bi-stabiles System

Nicht-lineare Kopplung

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Aktivitäten am HSG-IMIT

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EASy: Energieautonome Systeme

Entwicklung applikationsspezifischer Prototypen

in Kooperation mit unseren industriellen Partnern

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EASy: Energieautonome Systeme

Entwicklung applikationsspezifischer Prototypen

in Kooperation mit unseren industriellen Partnern

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weitere Induktive Mikrogeneratoren

PolyMig-n Harvesters

Technologie Demonstratoren

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Piezoelektrische Energiegeneratoren

PZT - Generatoren

LiNbO3 - Generatoren

M1PT-n Harvesters

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Mikrotechnische Vibrationswandler

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0.2cm³, 1-10µW

200cm³, 100-800mW Parameter Elektromagnetisch Piezoelektrisch Elektrostatisch

Anregung 39 m/s² 13 m/s² 59 m/s²

Spannung (AC) 9 V 39 V 1.1 V

Strom (AC) 90 mA 385 µA 1.9 µA

Leistung (AC) 800 mW 15 mW 2.2 µW

Betriebsfrequenz 30 Hz 150 Hz 1220 Hz

Generatorgröße 190 cm³ 18 cm³ 0.2 cm³

Funktionsmuster

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Transducer for Fluid Quick Connector

Measurement point

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Energy Harvesting in Railroad Applications

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Anwendung Betonsteinfertigung

Energieautonome Sensorik

• Drahtlose Prozessüberwachung in

hochbeanspruchten Komponenten

• Versorgung durch Energy-Harvester,

mehrere 100 mW kontinuierliche Leistung

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Anwendung Wasserwächter

Energieautarkes Sicherheitssystem zum Schutz

vor Schäden durch defekte Wasserverbraucher

• Low Power Leckagedetektion von Tropfmengen bis zu hohen Durchflussraten

• Wasserfluss wird automatisch gestoppt

• Einsatzgebiete: Wasch- und Spülmaschinen

Kaffeeautomaten

Wasserspender

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Anwendung Notrufsystem

Notrufsysteme für hilfebedürftige Menschen

• Verbesserung des Tragekomforts (Bewegungsfreiheit, Haptik, Unauffälligkeit)

Hoch-flexibles waschbares Textilarmband

• Vermeidung von Fehlalarmen

Auslösen eines Notrufs durch das Umgreifen des Armbandes

Erfassung des Auslösevorgangs mit Drucksensor

Intelligente Sensordatenauswertung

• Wartungsfreiheit: Energieautonomer Betrieb

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Size of bubble is proportional to the excitation amplidtude

(ielectromagnetic ipiezoelectric)equals 40 m/s²

equals 1m/s²

0.00

0.01

0.10

1.00

10.00

0 25 50 75 100 125 150 175 200 225 250 275 300

frequency (Hz)

po

we

r d

en

sity (

mW

/cm

³)

Funktionsmuster

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Unternehmen Wandlertyp Spezifikation

AdaptivEnergy Piezoelektrisch 130 µW rms @ 15 Hz, 0.4g

Advanced Cerametrics Inc. Piezoelektrisch 3 V DC @ 30 Hz / 60 Hz / 120 Hz / 220 Hz, 3g

CEDRAT Technologies Piezoelektrisch 95 mW @ 110 Hz, 1.1g

EnOcean GmbH Elektromagnetisch Push Button

Ferro Solutions Inc. Elektromagnetisch 5.3 mW DC (3.3 V, 1.6 mA) @ 60 Hz, 0.1g

KCF Technologies Inc. Elektromagnetisch 4.1 mW DC @ 360 Hz, 0.24g 1.5 mW DC @ 120 Hz, 0.08g

Perpetuum Ltd Elektromagnetisch 5 mW (4.5 V, 1.1 mA) @ 100 Hz, 0.1g

Piezo Systems Inc. Piezoelektrisch 7.1 mW rms @ 52 Hz,

Mide Piezoelektrisch 15 mW (17 V, 0.8 mA) @ 80 Hz, 1g

Kommerzielle Produkte

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Ausgangssituation / Stand der Technik

Condition Monitoring

• Energieautark

• Drahtlos

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Energiegenerator

• Energy Harvester mit optimierter Energiespeicherung

• Generator und Elektronik in kompaktem Gehäuse:

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Microelectronic Power Management

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HSG-IMIT EH-ASIC´s

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Multi-Power-Source Sensor System

UART

SPI

1CH

Mikroprozessor

Hardware

MSP430F2410

UART

SPI

Enocean STM 300

Sensor-

interface

12bit SAR

AD8 Ch

UART

SPI3 Ch

UART

SPI

56k Rom

4K Ram

GPIO

5*8bit

SPI

Master/Slave

Slave/Master

max 8bit

Au

sta

usch

bar

od

er

An

dere

Oszillator

32768 Hz

Timer 16bit 3CCR

Timer 16bit 7CCR

WDT

Power-

Bus-

Interface

+VCC

Gnd

1 Wire

Spannungs-

regler

Schwellen-

erkennung

Anlauf-

speicher

Ladekontrolle

Autonomie-

speicher

Systemspannung

PwGd- Signal

1 Wire RX

1 Wire TX

UART

1 Wire RX

1 Wire TX

Anschluss

Funkmodule

P-Sensor

T-Sensor

Q-Sensor

H-Sensor

Endschalter

Positionsschalter

max. 5*8bit

TI CC2400

UART

SPI

Interface

Solar-

generator

El.

Speicher

Interface

Power

Bus

Solar- Harvester

El.

Speicher

Interface

Power

Bus

Interface

Solar-

generator

Vibrations- Harvester

Interface

Turbinen

generator

El.

Speicher

Interface

Power

Bus

Durchfluss- Harvester

Primärenergie

Interface

Power

Bus

Interface

Power

Bus

Akku

Interface

Power

Bus

Interface

induktive

Übertra-

gung

Induktive Enegieübertragung

Interface

Therm-

generator

El.

Speicher

Interface

Power

Bus

Thermo- Harvester

[1] MIKOA Projekt

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HSG-IMIT Evaluation Kit

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Mikro-Energietechnik

Energie aus Maschinenumgebungen

Vibration-Energy-Harvesting

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Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard Gesellschaft e.V.

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Wilhelm-Schickard-Str. 10, D-78052 Villingen-Schwenningen, Germany

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