Plasma Germany Mitgliederbereich...METALLISCHE UND ANDERE ANORGANISCHE ÜBERZÜGE Als Entwürfe sind...

Plasma Germany Fachausschuss Normung

Bericht Herbstsitzung 2015, Kahl

Dir. & Prof. Dr. Georg Reiners Leiter Abteilung 6 Materialschutz und Oberflächentechnik

Leiter Fachbereich 6.4 Nanomaterial Technologies

09.11.2015 PlasmaGermany – Bericht FA Normung, 09./10.Nov 2015, Kahl 2

• DIN NA 062-08-16 AA (Spiegelausschuss ISO/TC 201 Surface Chemical analysis)

• DIN NA 062-08-17 AA Nanotechnologien (Spiegelausschuss ISO/TC 229 Nanotechnologies + CEN/TC 352 Nanotechnologies )

• DIN NA 062-08-18 Elektronenmikroskopie und Mikrobereichsanalyse (Spiegelausschuss ISO/TC 202 Microbeam Analysis)

• DIN NA 062-01-64 Kohlenstoffschichten (Spiegelausschuss ISO/TC 107)

• DIN NA 062-01-72 „Chemische und elektrochemische Überzüge“ (Spiegelgremium zu ISO/TC 107)

• DIN NA 027-01-03 Dünne Schichten für die Optik (Spiegelgremium zu ISO/TC 172/SC 3/WG 2 Optical coatings)

• DIN NA 062-01-41 „Härteprüfung“ (Spiegelgremium zu ISO/TC 164/SC3)

• VAMAS (Versailles Project on Advanced Materials and Standards) TWA 2 Surface Chemical analysis

• VDI/VDE/GMA FA 3.41/3.43 Geometrische Messgrößen / Normale und Kalibrierung

Die wichtigsten Ausschüsse


DIN NA Kohlenstoffschichten

DIN EN ISO 26443 Rockwell-Eindringprüfung zur Bewertung der Haftung von keramischen Schichten‘ Einspruchsfrist (bis 25.11.) läuft noch. Zu beachten ist, dass die alte VDI-Richtlinie („Mercedes-Norm“ mit 6 HF-Klassen!) mittlerweile zurückgezogen, aber noch weit verbreitet ist.

Die neue DIN EN ISO 26443 enthält aber nur noch 4 HF Klassen !!! Ob das eine gute Idee ist, hatten bereits mehrere Industrievertreter (u.a. BOSCH) kritisiert.


DIN NA 062-01-64 KOHLENSTOFFSCHICHTEN In gedruckter Version erschienen ist DIN 4855 (September 2015) „Kohlenstoffschichten - DLC-Schichten – Beschreibung der Schichtarchitektur“ Mitarbeit BAM: Beck


ISO TC 107

„Metallic and other inorganic coatings“ Nächste Sitzung 26. bis 29.01.15, BSI, London • Einbringung der DIN 4855 „Kohlenstoffschichten - DLC-

Schichten – Beschreibung der Schichtarchitektur“ auf ISO Ebene. Hierzu gab es intensive Diskussionen mit Japan, das parallel einen Vorschlag zur Definition von Kohlenstoffschichten auf Basis der optischen Konstanten n und k (statt des sp2/sp3 Verhältnisses und des Wasserstoffgehaltes) eingebracht hatte, auf Basis ellipsometrischer Messungen. Im Ergebnis soll nun zunächst ein Ringversuch mittels Ellipsometrie durchgeführt werden, an dem sich auch die BAM beteiligen wird. Hierzu hat Japan folgenden Vorschlag eingebracht: NWIP JISC draft ISO Classification method for DLC by the spectroscopic ellipsometry; Projektleitung: Japan; Deutscher Vertreter: Dr.Gäbler,IST Braunschweig

• Revision von ISO 2819 „ Metallic coatings on metallic substrates – Electrodeposited and chemically deposited coatings – Review of methods available for testing adhesion“ Projektleitung: Dr. Beck, BAM, Berlin


DIN NA 062-01-61 METALLISCHE UND ANDERE ANORGANISCHE ÜBERZÜGE Als Entwürfe sind on-line erschienen: • DIN EN ISO 10309 „Metallische Überzüge - Prüfverfahren

zur Bestimmung der Porosität – Ferroxylprüfung (ISO 10309:1994)“

• DIN EN ISO 14647 „Metallische Überzüge – Bestimmung der Porosität von Goldschichten auf Metallsubstraten – Salpetersäure-Dampftest (ISO 14647:2000)“

• DIN EN ISO 4519 „Elektrolytisch abgeschiedene metallische Finishs – Stichprobenverfahren zur Qualitätskontrolle (ISO 4519:1980)“

NEU: DIN 50989 : Normenfamilie Ellipsometrie für on- und off-line Anwendungen außerhalb der Halbleitertechnik (Qualitätssicherung, Materialentwicklung, Prüflaboratorien) Projektleitung: Dr. Beck, BAM, Berlin Gegenwärtig in Abstimmung ist Teil 1 „Ellipsometrie — Grundlagen“


DIN NA 027-01-03 DÜNNE SCHICHTEN FÜR DIE OPTIK In gedruckter Version erschienen ist DIN ISO 9211-4 (Mai 2014) Teil 4: „Optische Schichten - Spezifische Prüfmethoden“, enthält Prüfmethoden zur Abriebfestigkeit, Haftfestigkeit, Gitterschnittfestigkeit, Löslichkeitsprüfung Mitarbeit BAM: Dr. Beck


DIN NA 092-00-28

QUALITÄTSSICHERUNG VON KLEBUNGEN: AA 1 „PROZESSKETTE KLEBEN“ und AA 2 „KLEBEN VON FASERVERBUNDKUNSTSTOFFEN“ Normen werden zeitnah wohl Ende 2015/Anfang 2016 veröffentlicht. Es gab intensive Diskussionen zwischen Klebstoffherstellern und Anwendern, wie die Qualität festgeschrieben, geprüft und garantiert werden kann und vor allem wer dafür verantwortlich ist. Im Ergebnis muss der Anwender für die jeweilige Applikation gerade stehen und auch die Eingangsbeschaffenheit des Klebstoffes überprüfen. u.a. auch Plasma-Vorbehandlung !! Mitarbeit BAM: Beck


CEN TC 262/WG 13 “Coating qualification tests” Convenor: Dr. Beck, BAM Scope: “Coating qualification tests in the fields of coulorimetric corrosion tests (STEP-test) and tests regarding the adhesive strength of coatings.” • prEN 16866 „metallic and other inorganic coatings –

Simultaneous thickness and electrode potential determination of individual layers in multilayer nickel deposits (STEP-test)“ Projektleitung: Dr. Vollmar, Helmut Fischer GmbH, Sindelfingen

• Proposed revision of EN 13144 „Metallic and other inorganic coatings- Method for quantitative measurement of adhesion by tensile test” Nächste Sitzung der WG 13: 18.11.2015 in Berlin

Nächste Sitzung TC 262: 17./18.12. 2015, BSI, London


ISO/TC 201 Surface Chemical Analysis

SC1 Terminology Ergänzung der Terminologie-Normen ISO 18115-1 (XPS, AES, SIMS, XRR, XRF) und 18115-2 (SPM) abgeschlossen. Die Inhalte sind (wie für alle Terminologie-Normen bei ISO) über den ISO.org Server frei zugänglich. Die deutsche Übersetzung dieser Normen wird für 2016 erwartet (Beuth-Verlag). Sie sind dann deutsche Normen. Wenn die Terminologie-Norm in Deutsch vorliegt, können weitere Normen von ISO TC 201 als deutsche Norm in englischer Sprache übernommen werden.

Vorschläge für Übernahmen an [email protected]

mailto:[email protected]


Aktuelle Normenentwicklungen unter deutscher Teilnahme bzw. Federführung: ISO 18516 (Revision):

Surface chemical analysis – Determination of lateral resolution, TC 201 SC 2 (DIS Status, Project leader BAM); finalized before May 2016.

ISO 20579-4

Surface Chemical Analysis - Sample handling, preparation and mounting - Part 4 – Reporting information related to the history, preparation, handling and mounting of nano-objects prior to surface analysis

ISO/WD TR 19693 Surface Chemical Analysis — Characterization of substrates for biosensing application, (CD status, Project leader BAM) ; TC 201 WG 4 Surface Characterisation of Biomaterials To be finalized before February 2016.

ISO/TC 201 Surface Chemical Analysis


ISO/TC 202 Microbeam Analysis Ongoing projects/activities (verstärkte Quality Assurance):

• Characterization of EDS geometrical detection efficiency

– for comparison of the new, highly-sensitive large-area SDD

EDS (silicon drift detector Energy dispersive X-ray

Spectrometer) detectors (USA/DE-Convenorship)

• Electron probe microanalysis (EPMA) instruments utilizing

wavelength dispersive spectrometers (WDX) - quality

assurance (ISO/WD 19463)

• Qualification of the SEM for quantitative measurements

• Guidelines for long period analysis using SEM/EDX

Alle Normen und Normungsprojekte auf: www.iso.org/iso/standards_development/technical_committees/list_of_iso_technical_committees.htm


ISO/TC 202 Microbeam Analysis

Ongoing projects/activities (andere Themen):

• Methods of the specimen preparation for particle analysis

• Guidelines for misorientation analysis by EBSD for

mechanical damage evaluation

• NWIP on an EBSD terminology

• Guide to practical chemical state analysis in EPMA

• Methods for determination of interface position in multi-

layered thin films

• Determination method of energy resolution for electron

energy loss spectrum (EELS) analysis

• TIFF (Tagged Image File Format) for SEM

• Method for Evaluating Critical Dimensions by CD-SEM


ISO/TC 202 Microbeam Analysis • Stärkung der Liaison mit ISO/TC 229 Nanotechnologies:

– Wegen Intensivierung der TC229-Aktivitäten (Ringversuche) bei der Charakterisierung von Nanopartikeln (Hodoroaba/BAM als co-Chair für einen Ringversuch zur Bestimmung der Grösse und Form von TiO2-NP)

– Experten von TC 202 sollen TC 229 mit methodischem Know-How unterstützen (SEM, TEM und EDX)

• Erweiterung des TC 202 Scopes – In Bearbeitung: Von (nur) Elektronen auch zu X-ray

(z.B. RFA am REM) und Ionen (z.B. FIB). – Verbleib des analysierten Messbereiches im MIKRO-

Bereich (keine “Konflikte” mit anderen, z.B. TC 201) – “Einigungs”gespräche auf nationaler Ebene mit NA 062-08-16 AA

„Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie“ und NA 062-08-15 AA "Grundlagen der analytischen Atomspektroskopie“ haben stattgefunden.


ISO/TC 202 Microbeam Analysis

• Weitere Übernahmen von ISO Normen als DIN-Normen: – DIN ISO 22029 (data exchange format),

DIN ISO 24173 (EBSD), DIN ISO 22309 (EDX-Quantifizierung), DIN ISO 15632 (EDS Performance Check), DIN ISO 13067 (EBSD), DIN ISO 16592 (C in Stählen) nach Relevanz für Deutschland ausgewählt und 2015 ins Deutsche übersetzt.

– Die DIN-Fassungen werden über den Beuth Verlag vertrieben


ISO/TC 229 Nanotechnologies ISO/DTS 8004-11 (already voted, will be published in 2016)


ISO/TC 229 Nanotechnologies


Vielen Dank für Ihre Aufmerksamkeit

Plasma Germany Mitgliederbereich...METALLISCHE UND ANDERE ANORGANISCHE ÜBERZÜGE Als Entwürfe sind...

Documents

Transcript of Plasma Germany Mitgliederbereich...METALLISCHE UND ANDERE ANORGANISCHE ÜBERZÜGE Als Entwürfe sind...