Quelle sprudelnder Innovationen

www.platit.com - AMB Stuttgart 1Z140 - JIMTOF Tokio E2003IMTS Chicago W-1680 -

Quelle sprudelnder Innovationen

ALL : AlCrTiN® ®4 4

nACRo ®4

3CROMVIc ®

TiXCo ®4

TiB2

Lifetime-Garantiefür CEC-Kathoden

Neue Schichten

Neues superschnellesEntschichtungssystem

Basis: Beschichtungsanlagen der 11-Serie

Rotierende PVD-Kathoden mit Lifetime-Garantie

oder

Aktuelle Neuentwicklungen mit der π-Technologie

BESCHICHTEN

2 ● Werkzeug Technik 142 ● 10 September 2014

π111, π211, π311 & π411 – die magische „11“ ist das Kennzeichen der π-Anlagenbaureihe von

PLATIT mit der rotierenden Kathodentechnologie (Bild 1 [1]). Die „11“ verbindet PLATIT nicht

nur mit der Heimatstadt Solothurn [2]. Seit 11 Jahren sind PVD-Anlagen mit rotierenden

Kathoden auf dem Markt. Mittlerweile arbeiten 196 sg. π-Anlagen in 38 Ländern (Stand Anfang

Juni 2014). Durch die hohe Anzahl der in den verschiedensten Industriebranchen eingesetzten

Anlagen hat sich eine sehr große Erfahrungsbasis aufgebaut.

Die Technologie etablierte sich im Hochleistungsbereich, was natürlich nur durch die ständige

Weiterentwicklung möglich wurde. Dieser Artikel fasst die Zielsetzungen der neuen

Entwicklungen zusammen, die auf der AMB 2014 in Stuttgart vorgestellt werden.

Bild 1: Standard-PLATIT -Anlagen mit rotierenden

Kathoden.

PLATIT AG, Selzach, Schweiz

entlang des ganzen Schichtaufbaus freiprogrammierbar generiert werden. AlsBeispiel die neue Quad-Schicht ALL4®

(AlCrTiN4 [3] (Bild 2)– beginnt mit einem CrTiN-Haftlayer,– kreiert den Übergang mit guter Ko-

häsion zwischen Haft- und Kernlayermit einem AlCrTiN-Gradienten,

– baut in der Mitte einen elastischenKern als Multilayer mit Al/CrN auf,

– setzt den Hartschicht-Teil mit einerAlCrTiN Topschicht fort und

– kann die Komposition mit der Top-schicht CrCN als oberste Schmier-schicht abschließen.

BESCHICHTEN


1. Neue Schichten dank

Flexibilität (TiB2, CROMVIc3®,

ALL4®)Was heißt Flexibilität? Vielseitigkeit

und die Möglichkeit, die Wahl und denWechsel zwischen den vielen Optionenschnell durchführen zu können.

Die π-Anlagen decken das ganzeSpektrum der heutigen PVD-Schichtenab [1]:– Konventionelle Mono- und Gradient-

schichten,– Multi- und Nanolayers,– Nanocomposi tes und oxydische

Schichten,– DLC-Films sowie

Bild 2: Schichtstruktur derneuen Quad-Schicht ALL4®

(AlCrTiN4®).

Bild 3: Standwegvergleich vonHochleistungsschichten beim

Abwälzfräsen.

– Tripel- und Quad-Schichten sind mög-lich.Das absolut einmalige Flexibilitäts-

merkmal der Technologie ist die pro-grammierbare Stöchiometrie der Schich-ten. Die überwiegend nicht legiertenzylindrischen Hohltargets sind dicht ne-beneinander angeordnet. Gleichzeitigweisen die Targets einen sehr geringenAbstand zu den zu beschichtenden Tei-len auf. Dies hat den Vorteil, dass nichtnur die Vakuumkammer, sondern vorallem die ganzen Anlagen sehr kompaktaufgebaut sind. Die Höhe der Targetsist immer länger als die Höhe des be-schichtbaren Bereiches in der Kammer.Die Zusammensetzung der Schicht kann

BESCHICHTEN


2. Produktive Entschichtung

Entschichtung von nachzuschleifen-den Zerspanungswerkzeugen ist einewichtige Voraussetzung für deren Nach-beschichtung mit hoher Qualität.

“Produktive Entschichtung“ klingt eigentlich paradox. Entschichtung stelltkein neues Produkt her, sondern ent-fernt eine alte, gebrauchte Schicht, damitdie neue auf dem nachgeschliffenenWerkzeug gut haften und hohe Leis-tungen erzielen kann. Produktive Ent-schichtung bedeutet demzufolge in ers-ter Linie Schnelligkeit. Sie darf dieProduktion der neuen Schicht nicht “auf-halten“.

Und dies alles ohne teure legierte Targets mit drei nicht legierten Katho-den, Ti, Al und Cr. Zur Beschleunigungdes Prozesses kann man in der Mitteeine AlCr-Kathode als Booster einset-zen.

ALL4® ist ein Alleskönner, eine Uni-versal-Schicht, wird zum Fräsen, Ab-wälzfräsen (Bild 3 [4]), Feinstanzen undauch zum Umformen eingesetzt.

In Abhängigkeit der notwendigenSchichten und der an sie gestellten An-forderungen können die Prozesse in dergleichen Maschine als– ARC- (LARC®: Lateral Rotating Cath-

odes und CERC®: Central RotatingCathode),

– PECVD- (Plasma Enhanced ChemicalVapor Deposition) und

– Magnetron Sputter- (SCiL®: Sputte-red Coating induced by LGD®) -Tech-nologien verwirklicht werden.Die neue TiB2-Schicht wird mit der

letzteren Technologie aus einer speziells e g m e n t i e r t e n z e n t r a l e n S C i L -Kathode (Bild 4) abgeschieden. DieSchicht wird in erster Linie zur Alumi-niumzerspanung eingesetzt. Bei weicherAluminiumbearbeitung ist die Aufbau-schneidenbildung kritisch. Die Bilderder REM- und EDX-Analyse zeigen, dassdie neue TiB2-Schicht sowohl bezüglich – Aufbauschneidebildung (wenig Alu-

minium an der Schneide) als auch bezüglich

Bild 4: Vergleich der Aufbauschneidenbildung bei Aluminiumzerspanung.Segmentierte TiB2-kathode mit SCiL®-Technologie (SCiL: Sputtered Coating induced by LGD®).

REM und EDX nach 283 m Standweg. Material: 3.4365 AlZnMgCu1,5 - Wz: Torusfräser Ø12 – r=2.5 – z=2 - vc=377 m/min – ae=5 – ap=6 – fz=0.2 mm/U

Bild 5: EntschichtungsmodulPLATIT-CT.

– Verschleißfestigkeit ein sehr gutes Ver-halten zeigt (Wolfram aus dem Hart-metall ist kaum sichtbar durch dieSchicht). Die CROMVIc3®- (DLC3: ta:C) -Schicht

wurde in der neuen Beschichtungsanlageπ 211 abgeschieden, deren Entwicklungnoch nicht abgeschlossen ist. Sie weistdie kleinste Aufbauschneide auf. Aberdie EDX „sieht“ zu viel Wolfram, wasauf die noch ungenügende Verschleiß-festigkeit, z.B. durch zu niedrigereSchichtdicke (~0.5 μm), hinweist. DieBasis der neuen Anlage ist ein neuer,patentierter, Geradeaus-ARC-Filter [5],m i t d e s s e n H i l f e d i e D r o p l e t s bedeutend reduziert werden können [1].


Die aktuellen Entschichtungsverfah-ren sind langsam. Sie nehmen mehrereStunden, sogar Tage in Anspruch. Dasneue PLATIT-Verfahren [6] drückt dieEntschichtungszeiten mit Hilfe desneuen Moduls CT (Bild 5) unter eineStunde. Es wird in einer zu diesem Artikel zeitlich parallel erscheinendenVeröffentlichung detaillierter vorgestellt[7].

3. LGD® – neues Ätzverfahren

für optimale Schichthaftung

Ohne zusätzliche Vorrichtungen(Anode, Kathoden, Filament, Ionen-quelle, etc.) einbauen zu müssen, sor-gen die rotierenden Kathoden für optimale Schichthaftung. Das neueLGD®-Verfahren (LAteral Rotating Cat-hode Glow Discharge) generiert einhöchst effizientes Argonätzen [8]. BeimLGD-Ätzen wird eine Kathode in Rich-tung Kammertür gezündet während einezweite benachbarte Kathode als Anodegeschaltet wird, siehe Bild 6. Der Elek-tronfluss zwischen Kathoden 1 und 2erzeugt ein Plasma mit hoher Ionen-dichte. Bedingt durch die bauliche An-ordnung in der Vakuumkammer wird

BESCHICHTEN

das Plasma durch das Karussell mit denSubstraten geführt. Der Plasmastrom istnicht nur effizient, sondern vor allemauch sehr stabil, was der Entstehungunerwünschter Hohlkathoden-Plasmenvorbeugt.

Das Bild 6 zeigt ein extremes, aberanschauliches Beispiel. Die leicht ver-rostete Zange wurde in eine Werkzeug-hülse gesteckt und mit LGD geätzt. Aufden freien Flächen konnte der Rost ent-

Bild 7: Optimierter (extrem kurzer)Prozessablauf mit rotierendenKathoden der Anlage π411 bei

Abscheidung der komplexen Quad-Schicht nACRo4®.

Bild 6: Prinzip des LGD®-Verfahrens.

fernt werden, die Oberfläche wurdeglänzend. Die durch die Hülse abge-deckte Fläche blieb natürlich rostig.

Dank der einfachen Parametrierungdes flexiblen LGD-Ätzens kann diesesVerfahren sehr vorteilhaft sowohl fürverschiedenste Schaftwerkzeuge aberauch für Substrate mit komplexen Ober-flächen wie z.B. Umformwerkzeuge ef-fizient angewandt werden. Unentbehr-lich ist die Technologie zum Beschichtenvon Abwälzfräsern [4].

4. Niedrige Targetkosten

durch π-Kathoden

Wenn man einfache Monolayer-Schichten abscheidet, dann kann manalle Kathodenplätze mit den gleichenTargets belegen. Bei der Abscheidungfährt man alle Kathoden ständig mit vol-ler Leistung und erreicht höchste Pro-duktivität. Monolayer-Schichten sind natürlich heute durch weitaus komple-xere Schichtstrukturen ersetzt. Geradehier können die PLATIT Anlagen mitihrer Kathodenvielfalt das volle Poten-tial ausbauen. Im Vergleich dazu müssteeine Anlage mit herkömmlichen Spot-kathoden zur Abscheidung der oben beschriebenen Quad-Schicht mindestens3 verschiedene Kathodenreihen haben,

was die Produktivität drittelt. Mit denrotierenden Kathoden der Anlage π 411können Tür zu Tür Zykluszeiten unter4 Stunden verwirklicht werden (Bild 7).Und dies für komplexe Schichten. Sinddiese komplexen Schichten mit den her-kömmlichen Kathoden überhaupt mach-bar?

Unter den variablen Kosten bildendie Targetkosten einen wichtigen Anteil.Die π-Kathoden bieten eine wesentlichgrößere Targetfläche als die konventio-nellen flachen Kathoden:– π-mal größer als ein planares Target

mit der gleichen Breite und Länge,– 17-mal größer als ein Spottarget mit

dem gleichen Durchmesser.

Ein Vergleich der Targetkosten proCharge oder pro Werkzeug ist zwischenro t i e re n d e n u n d h e r k ö m m l i c h e n Kathoden leider nicht möglich, da dieLebensdauer der Spotkathoden für dieverschiedenen Schichten von den Anla-genherstellern nicht bekannt gegebenwird. PLATIT führte eine lange Ver-suchsreihe für die rotierenden Katho-den durch und sammelte Daten vonKunden weltweit.

Das Bild 8 zeigt ein Beispiel aus die-ser Datensammlung. Um wirtschaftli-cher zu sein, müsste das herkömmliche

Kathodenset minimum fünfzig nACo4®

ähnliche Schichtchargen ohne Wechselabscheiden können. (Natürlich unter dengleichen Bedingungen bezüglich Schicht-dicke, Beladung, Drehung etc.)

5. Kathodenwechsel-Zentren

ermöglichen Lifetime-Garantie

PLATIT hat in den letzten Jahren welt-weit Kathodenaustauschzentren (CEC=Cathode Exchange Centers [1], [9]) auf-gebaut (Bild 9). Den Anwender belastendurch die Kathodentauschzentren kei-nerlei Lagerkosten für Kathoden undTargets.

Mit Hilfe der Zentren bekommt derAnwender innerhalb kurzer Zeit immerwieder eine komplett aufbereitete Kathode, d.h.:– mit nur erstklassigen, geprüften Tar-

getmaterialien, wobei– alle Verschleißteile ersetzt werden,– die Kathode neu eingestellt und „ein-

gebrannt“ wird, – die Kathode in einem 24 Stunden

Check unter Vakuum geprüft und zer-tifiziert wird.

Jede Kathode wird mit neuer Garan-tie geliefert. D.h. der Anwender hat eineLifetime-Garantie für die Kathoden.

BESCHICHTEN


Bild 8: Vergleich derTargetkosten mit Spot- und

rotierenden Kathoden.

[3] Morstein, M., u.a.: Roads to tougher nanostructured coatings for cutting at Intermediate temperaturesICMCTF, B6-5, San Diego, USA, April, 2014.

[4] Lümkemann, A., u.a.: A new generation of PVD coatingsfor high performance gear hobbing Conference THE “A” COATINGS, Thessaloniki, Greece,Oct/2014.

[5] πsCOAT® : Filtered cathodic arc deposition apparatusand methodEuropäische Patentschrift, München, EP2602 354 A1,Dez/2011.

[6] Verfahren zum Entschichten von keramischen Hartstoffschichten von Stahl- und Hartmetall-SubstratenEuropäische Patentschrift, Den Haag, PCT/EP2014/055376.

[7] Wittel, u.a.: Produktive Entschichtung von PVD-SchichtenSchweizer Präzisionstechnik 2014, p.41-43.

[8] Glow discharge apparatus and method with lateral rotating cathodesEuropäische Patentschrift, München, PCT/EP2012/058092.

[9] www.platit.comNeue PLATIT-Website, 2014. (14214-??)

BESCHICHTEN


Resümee

Die Technologie der rotierenden PVD-Kathoden etabliertesich in der Zerspanungsindustrie in den letzten 11 Jahren. DieVorteile beeindrucken in ihrer Quantität und Qualität:

– Sehr hohe Flexibilität

• in der Schichtvielfalt,

• in der schnellen und leichten Umstellung der Produktion,

• in den eigenen Schichtentwicklungsmöglichkeiten,

– homogene Schichtdickenverteilung,

– extrem gute Schichthaftung durch das neue LGD-Verfah-ren,

– hohe Produktivität durch extrem kurze Prozesszeiten, besonders für komplexe Hochleistungsschichten,

– niedrige variable Kosten (wie z.B. Targetkosten) und

– die beispiellose Lifetime-Garantie für Kathoden.

References[1] PLATIT Kompendium

53. Ausgabe, 2014, Selzach, Schweiz.

[2] Cselle, T., u.a.: 11-er Anlagen mit vier Schichtgenera-tionen. Werkzeug-Technik, Boulogne, 8/2013.

Bild 9: Ablauf des Kathodentausches mit Hilfe der PLATIT-Kathodenaustauschzentren weltweit.(CEC= Cathode Exchange Center)

Schichtgenerationen undihre Strukturen

Monoblockoder Gradient

Kernlayer

NanocompositeToplayer

Haftlayer

CT=2.72µm

CT=2.5µm

MultilayerKernlayer

NanocompositeToplayer

Haftlayer

GradientKernlayer

CT=2.32µm

CT=1.92µm

1. Generation

2. Generation

3. Generation:

Monoblockstruktur ohne Haftlayer

Konventionelle Strukturen mit Haftlayer

Die Monoblockstrukturen ohne Haftlayer können durch den schnellsten, ökonomischsten Prozess erstellt werden. Alle Targets sind gleich und laufen während des gesamten Beschichtungsprozesses.

Monoblock

Besonders bei hohem Aluminiumanteil sollte die Monoblockschicht mit einem Haftlayer beginnen (z.B. TiN oder CrN).

Der Anteil harter Kom-ponenten (z.B. kubisches AlN) wird bei Gradient-struktur kontinuierlich erhöht, um die höchste Härte an der Oberfläche der Schicht zu erreichen.

Multilayerstrukturen sind bei niedrigerer Härte zäher als vergleichbare Monoblockschichten. Die "Sandwich"-Struktur absorbiert die Risse der Subschichten.

Nanolayer ist die konventionelle Struktur für die sogenannten Nanoschichten. Es ist eine feinere Version vom Multilayer mit einer Periode von < 20 nm.

Beim Beschichten von Nanocomposites werden harte, nanokristalline Körner (TiAlN oder AlCrN) in die amorphe SiN-Matrix eingebettet.

Gradient (G)Multilayer (ML)

Periode > 20 nmNanolayer (NL)

Periode < 20 nmNanocomposite

(NC)

CT=2.52µm

CT=1.84µm

5 nm

Triple 3Coatings ® 4. Generation: 4Coatings ®

Produktive Entschichtungvon PVD-SchichtenPlatit-CT entschichtet in weniger als einer Stunde

Werkstatt + Betrieb

Zeitschrift für spanende Fertigung

SPECIAL: Betriebstechnik // Seite 155

September 2014 / 147. Jahrgang www.werkstatt-betrieb.de

9/14

>

> BRANCHENSTUDIEZerspanen in Deutschland:2014 und 2015 werden zweiWachstumsjahre // Seite 26

> AMB STUTTGART 2014Messeneuheiten im Visier:In die Wettbewerbsfähigkeitinvestieren // Seite 34

> INDUSTRIE 4.0Genug der schnöden Theorie:Radnaben mit künstlicherIntelligenz fertigen // Seite 234

© Carl Hanser Verlag, München. 2014. Alle Rechte, auch die des Nachdrucks, der photomechanischen

Wiedergabe dieses Sonderdrucks und der Übersetzung behält sich der Verlag vor.

Sonderdruck aus der Fachzeitschrift WB Werkstatt+Betrieb 9/2014

PLATIT AGEichholz St. 9 - P.O.Box 151CH-2545 Selzach / SO, SwitzerlandPhone: +41 (32) 544 62 00Fax: +41 (32) 544 62 20eMail: [email protected]

2 > BeschichtungenW E R K Z E U G E

> Die Wichtigkeit und die Voraussetzun-gen von Entschichtung sowie die aktuellzur Verfügung stehenden Technologienwurden auf einem EFDS-Workshop imMai 2014 ausführlich herausgearbeitet [2].So kann dieser Beitrag auf eine entprechen-de Einleitung verzichten und sich voll aufden wirtschaftlich entscheidenden Aspektkonzentrieren: die Produktivität der Ent-schichtung.

›Produktive Entschichtung‹ klingt ersteinmal paradox.Denn Entschichtung stelltkein neues Produkt her, sondern entfernteine alte,gebrauchte Schicht,damit die neueauf dem nachgeschliffenen Werkzeug guthaften und hohe Leistungen erzielen kann.Produktive Entschichtung bedeutet dem-zufolge in erster Linie Schnelligkeit. Siedarf die Produktion der neuen Schichtnicht aufhalten.

Entschichtungsverfahren und -systemewerden von äußerst wenigen Unternehmenauf dem Markt angeboten.Das Know-howwird streng gehütet und in erster Linie nurin eigenen Lohnbeschichtungszentren an-

gewandt. Sehr wenige Daten der einzelnenVerfahren sind offen zugänglich. Bekanntist aber, dass die Entschichtungszeiten langsind. Sie nehmen mehrere Stunden, sogarTage in Anspruch [3, Seite 38].

Entschichtungssystem Platit-CT

und Prozessablauf

Das neue, nasschemische Entschichtungs-system (Bild 1) von Platit,Selzach/Schweiz,arbeitet mit einer frei programmierbaren,gepulsten Spannungsquelle, die über ei-nen einfachen Rechner gesteuert wird. DieWerkzeuge werden in isolierten Vorrich-tungen gehalten (Bild 2), während dieProzesse in zwei elektrolytischen Bädernablaufen:■ Chemie A: für Ti-, Al-basierte Schicht-

systeme (sauer)■ Chemie B: für (Al)Ti-, Cr- (Cr, CrTi,Al-

TiCr) basierte Schichtsysteme (basisch).Die Haltbarkeit der chemischen Bäder liegtje nach Häufigkeit des Gebrauchs zwischenzwei und drei Wochen. Ein ständiger Neu-ansatz der Bäder entfällt, was die variablenKosten der Entschichtung reduziert.

Der Prozessablauf ist in Bild 3 ersicht-lich. In Stufe 1 beginnt er mit einer gepuls-ten Entschichtung in Bad A oder B, deren

HERSTELLERiPlatit AGCH-2545 SelzachTel. +41 32 5446200www.platit.comAMB Stuttgart, Halle 1-Z140

Bild

er: P

latit

© Carl Hanser Verlag, München WB 9/2014

Platit-CT entschichtet in weniger als einer Stunde

Produktive Entschichtungvon PVD-SchichtenDie Entschichtung nachzuschleifender Zerspanungswerkzeuge ist eine wichtige

Voraussetzung für die Nachbeschichtung mit hoher Qualität [1]. Bisher praktizierte

Methoden sind langsam. Jetzt gibt es ein neues, schnelles Entschichtungsverfahren.

Das neue Entschichtungssystem Platit-CT1

VON BIRGIT WITTEL, CHRISTIAN

BÜCHEL, GUNNAR LAHTZ UND

TIBOR CSELLE

3

Dauer im Minutenbereich liegt. Ein even-tuell vorhandener dünner TiN-Haftlayerkann danach in Stufe 2 in einem her-kömmlichen Entschichtungsmodul – un-ter Schutzspannung [3] mit peroxidischenLösungen – in wenigen Minuten entferntwerden. Die Gesamtdauer der Entschich-tung beträgt demzufolge deutlich wenigerals eine Stunde. Das Ende des Prozesseskann durch die eingebaute Elektronik er-kannt werden, was dem Bediener die täg-liche Praxis stark vereinfacht. Zudem er-höhen die kurzen Entschichtungszeitendie Flexibilität der Anwender. Besondersfür kleinere Lohnbeschichter ist dieseFlexibilität gegenüber großen Beschich-tungszentren enorm wichtig. Der Ent-schichtungsprozess nimmt bei der Wie-deraufbereitung der Werkzeuge (Abholen,Entschichten, Nachschleifen, Nachbe-schichten, Liefern) nicht mehr die meisteZeit in Anspruch.

Entschichtungsrezepturen

und behandelte Werkzeuge

Die Entschichtungsrezepturen bilden na-türlich den Schlüssel des Verfahrens. Ausdem darin enthaltenen Know-how leitensich ab:■ Empfehlungen, welche speziellen Hal-

terungen für Schaftwerkzeuge und Ab-wälzfräser einzusetzen sind

■ Angaben, welche Bäder (basisch odersauer) für welche Schichten verwendetwerden sollten

■ das Programm zur elektronischen An-

steuerung der nasschemischen Prozes-se (Spannung, Strom, Frequenz, Ein-schaltdauer – duty cycle)

■ Angaben zur Beurteilung der Oberflä-chengüte und Empfehlungen für eineeventuelle Nachbehandlung.

Die Rezepturen lassen sich in drei Grup-pen einteilen (Bild 3):■ für Ti-, Al-basierte Schichten■ für Cr-basierte Schichten

■ für (Al)Cr-,Ti-basierte Schichten.Die Rezepturen weichen für Hartmetall-und HSS-Werkzeuge voneinander ab. Beider Entschichtung ist es für den Anwen-der enorm wichtig, dass die Werkzeugedank TiN-Haftlayer und zweistufigerEntschichtung kein Kobalt-Leaching auf-weisen. Außerdem verhindern speziellabgedichtete Halterungen, dass die Werk-zeugschäfte chemisch angegriffen werden.

Elemente des EntschichtungssystemsPlatit-CT

2

Prozessablauf der CT-Entschichtung: Nachdem in Stufe 1 in Bad A oder B gepulstentschichtet wurde, kann in Stufe 2 ein eventuell vorhandener dünner TiN-Haftlayer ineinem herkömmlichen Entschichtungsmodul entfernt werden

3

WB 9/2014 www.werkstatt-betrieb.de

4 > BeschichtungenW E R K Z E U G E

Damit ›überleben‹ sie die Entschichtungohne Maßänderungen.

Kurze Entschichtungszeiten – und da-mit hohe Produktivitäten – sind wichtig,damit die Neubeschichtung von nachzu-schleifenden Werkzeugen keinen Zeitver-lust erleidet. Bild 4 vergleicht am Beispielvon Hartmetall-Schaftwerkzeugen die Ent-schichtungszeiten herkömmlicher Ver-fahren mit denen von Platit-CT. Wegender großen Zeiteinsparungen wurde dasDiagramm mit logarithmischer Vertikal-achse gezeichnet. ❚

Birgit Wittel ist Projektmanagerin bei Platitin Selzach/Schweiz

Christian Büchel ist Produktmanager beiPlatit

Gunnar Lahtz ist Projektingenieur bei Platit

Dr. Tibor Cselle ist Geschäftsführer beiPlatit [email protected]

LITERATUR

1 J. Prochazka, C. Büchel, T. Cselle: Entschich-

tung gehört zum Beschichten. In: Werkzeugtech-

nik 11(2009), S. 40-44

2 Entschichtung von PVD-Schichten und Hybrid-

schichten. EFDS-Workshop, 6.5.2014, Dresden

3 Platit – Kompendium 2014. 53. Ausgabe, Platit

AG, Selzach 2014

4 Verfahren zum Entschichten von keramischen

Hartstoffschichten von Stahl- und Hartmetall-

Substraten. Patentanmeldung PCT/EP2014/

055376, Europäisches Patentamt, München

Vergleich der Entschich-tungszeiten von Hartmetall-Schaftwerkzeugen beiherkömmlichen und CT-Ver-fahren

4

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14

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TiAlN AlTiN CrN CrTiN-ML ZrN AlCrN AlTiCrN nACo nACRo

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[min

]

bisherStufe 2neu Stufe 1

© WB Werkstatt+Betrieb

Preprint from Conference, hessaloniki, Greece, Oct.1‐3, 2014

1

A NEW GENERATION OF PVD COATINGS FOR HIGH-PERFORMANCE GEAR HOBBING

A. Lümkemann², M. Beutner1, M. Morstein², M. Köchig1, M. Wengler1 T. Cselle², B. Karpuschewski1

1. Institute of Manufacturing Technology and Quality Management (IFQ), Otto von Guericke University, D-39106 Magdeburg, Germany

2. PLATIT AG, CH-2545 Selzach, Switzerland

ABSTRACT The aim of the paper was the development of a new high-performance coating tailored for hobs in dry cutting of gears. A range of AlCrN-based coatings was deposited in an industrial rotating arc cathodes PVD unit. These coatings were varied both in terms of their nanostructure and the chemical composition of their top layer. To examine the performance of the different coatings, cutting trials were carried out using the well-established fly cutter analogy test. Significant performance differences between the chemically and structurally modified coatings were found. Doping the coating top layer with titanium in combination with an optimized nanolayer structure lead to a substantial increase of tool life by about 50 % compared to AlCrN. KEYWORDS: gear hobbing, fly cutting test, coating development, PVD, AlCrSiN,

AlCrTiN

1 INTRODUCTION

In the current globalized trading situation it is mandatory for production companies to stay competitive. Advantages can be realized by reducing costs or delivery times, which requires an optimized manufacturing process. One example for this mechanism is the gear manufacturing industry. In 2005, the German turnover concerning gears amounted to 14 billion US-$ /1/. According to the Freedonia Group, there was a worldwide demand for gears of about 170 billion US-$ in 2013, 80% of which are accounted for by the automotive industry /2/. This demonstrates the enormous potential which can be harvested by gear manufacturing companies.

To manufacture automotive gears, the applied standard process chain consists of hobbing the steel blanks, followed by heat treatment and finish grinding. Generally, hobbing is the dominating green manufacturing technique for external spur gears. This manufacturing technique is characterized by an interrupted cut. This kind of cutting process is demanding special tool resistance against impacts and rapid changes in temperature. The performance of the hobbing process benefits both from an increased tool life and more productive cutting parameters. This can be achieved by using improved substrate materials and coatings.

Starting in the 1970ies, a continuous development of coatings took place, starting from the early TiN and TiCN thin films, followed by the successful broadband of TiAlN coatings (late eighties) towards recent AlCr-based coatings. Connected to the development there is a trend towards application tailored tool micro geometry and coating composition and structure /3, 4,5/. Today, more than 100 different coating systems are available /6/ which is an evidence for the importance of coatings. Depending on the coating elements and its structure, different properties regarding wear resistance can be achieved. Due to the type of substrate material mainly used for hobbing (HSS) and the required tool geometry, “Physical Vapor Deposition” (PVD) coatings dominate this field.

For the experimental trials a fly cutting analogy test, which is well established in research, was utilised at the IFQ. The fly cutter generation, measuring and the test execution was performed at IFQ test facilities. The pre-treatment of the tools, the coating development and the post-


2

treatment of the coatings was accomplished by PLATIT R&D. The tests are based on a tool geometry and on cutting parameters that largely correspond to production settings of a major Japanese transmission manufacturer.

2 FLY CUTTING – AN ANALOGY TEST FOR GEAR HOBBING

The fly cutting analogy test was developed in the 1970ies by the WZL of the RWTH Aachen /7/. Increasing research in gear hobbing prompted this improvement because it would be very time and material consuming to perform research using complete hobs. By using a single tooth of a hob, the newly introduced fly cutting analogy test is able to generate gears, equal to those machined by a real hobbing process.

Figure 1: Principle of the fly cutting test.

The kinematics of the analogy test (Figure 1) reproduces the wear behaviour of a shifted tooth of a hob. The fly cutter continuously moves with the tangential feed rate ft, following the shift axis of a real hob. After one full tangential motion, the fly cutter is discretely moved towards the next axial position with an offset corresponding to the axial feed fa (Figure 1b). This procedure repeats until the whole width of the wheel has been geared. Even though the machining time for a single gear is increased compared to the real hobbing process (15 to 60 times longer) a statement concerning wear behaviour is already possible after a few milled gears. Moreover, fly teeth can be examined much easier than a full hob tool by methods such as SEM/EDX analysis or optical profilometry.

3 MOUNTING DEVICE – BLASTING AND COATING

A real hob serves as source to gain the trial tools (fly cutters). These fly cutters are cut out from the hob by wire erosion machining. Extracting rows of teeth is the first step in this procedure, Figure 2b,c. The fragmentation of these rows into single fly cutter teeth is again done by wire erosion, Figure 2d.

Figure 2: Generation of teeth for fly cutting test.


3

A mounting device like the mentioned one is essential for coating and post-treatment, due to the specific behaviour of a real hob during such processes. While the hob is rotating inside the PVD coating chamber the teeth of one flute are covering the teeth of the following flute, which is comparable to shadowing, Figure 3. This shadow induces a reduction of the local coating thickness, which has an enormous influence on the tool life, as described in 4.4. Stand-alone fly cutting teeth do not reproduce this important characteristic, which results in a severe difference in both wear mechanism and tool life, compared to a real hob.

Figure 3: Shadowing effect during hob coating.

Similar effects can be suppressed in the pre- and post-treatment. During micro blasting, the cutting edges of free-standing single teeth would be exposed to increased erosion. Therefore, the mounting device is inevitable to carry out the analogy test as close to the real process as possible.

4 IMPROVING THE HOBBING PERFORMANCE

The schematic in Figure 4 shows the main factors influencing the tool performance. In this article we are focussing on the surface quality of the tools, the coating composition and structure. All other parameters influencing the performance were kept constant.

Figure 4: Project plan illustrating the investigated performance parameters.

4.1 TEST SETUP

A Liebherr LC180 hobbing machine has been used for the wear studies. Maintaining constant settings (cutting parameters, gear geometry) and gear blanks taken from a single batch, comparable trial conditions can be preserved. Table 1 is summarizing these settings.

Hobbing Conditions

Gear Geometry

Cutting Parameter

Hob Geometry (Makro)

Modulus

Number of Starts

Hob Geometry (Micro)

Surface Quality

Pre- & Post-Treatment

Dedicated Coating

Coating Type &

Structure

Coating Thickness


4

workpiece process

mn : 2,31 mm vc : 150 m/min

z2 : 48 fa : 1,69 mm/rev

da : 130 mm hcu,max : 0,40 mm

β2 : 24,5° T : 7,30 mm

b : 29 mm dry

20MnCr5 (147HB)

climb hobbing

Table 1: Parameters used in fly cutting test.

As implied by the title of this paper, a high-performance approach in hobbing is aimed at. In this case “high performance” refers to high productivity, where a the minimized cutting time can be achieved by using either high cutting speeds, axial feeds, numbers of starts or small tool diameters, respectively. In the actual industrial gear production case, the number of starts was used as the main variable to gain a higher productivity. The advantages of an increase in the number of starts and the comparison to the other control variables will be discussed in the next chapter.

4.2 HOB GEOMETRY (MACRO GEOMETRY)

The tests were carried out using a tool actually used in industrial production of a Japanese transmission manufacturer. Table 2 shows the major facts regarding tool profile and hob geometry. Two of them diverge from the norm: On one hand that is the small pressure angle to create an integer overlap ration and on the other hand that is the large number of starts.

TOOL

mn : 2,31 mm

da : 90 mm

z0 : 5

α : 14,5°

p : 14

PM-HSS

Table 2: Test tool geometry.

As mentioned in the previous chapter an increase in productivity can be achieved by using hobs with a large number of starts. When increasing this number from one to five, also the revolution speed of the workpiece increases fivefold. That way the tools’ axial speed increases keeping the revolution speed of the hob (cutting speed) at the same level. One effect of larger numbers of starts is a decrease of generating positions, causing an increase in chip thickness (hcu,max) and in generating cut deviations (δy). Despite having five starts in the applied case, the deviations in the generating cut do not exceed δy = 4,0 µm, thus still maintaining a surface quality matching well with the following production steps. The maximum chip thickness is of more importance, because it represents the load on the fly cutter. Using a CAD-based interpenetration calculation, a duplication of hcu,max altering the number of starts from two to five could be noticed, Figure 5a. To illustrate the benefit in productivity, the cutting speed and the maximum chip thickness depending on the number of starts while having a constant machining time are plotted in Figure 5b.

To achieve the same productivity as a hob with five starts, a hob with only two starts needs to be used with a cutting speed of vc = 375 m/min. Especially for old hobbing machines or for PM-


5

HSS-hobs this cutting speed is exceedingly high. For those applications, an increase of the number of starts is a more feasible solution.

Figure 5: Increasing number of starts and its effect on selected cutting parameters.

4.3 HOB GEOMETRY (MICRO GEOMETRY)

A ground, sharp cutting edge exhibits a series of micro-defects that can negatively impact the tool life. The idea of edge preparation is to stabilize the cutting edge, in other words to reduce the failure probability and to prolong the tool life. Edge pre-treatment technologies...

... reduce edge chipping ... flatten out surface defects and grinding grooves ... produce a "defined" micro geometry (edge radius, symmetry of rounding)

In the same way as the right choice of the hard coating, the edge treatment method must be adapted to its application. Rech et al. /8/ did show the important role of edge rounding on the tool life for gear hobbing tools. For comparison reasons all tested tools in that contribution had the same way of edge preparation and post polishing. So the influence of different micro geometries on the fly hobbing performance could be minimized in this study.

For edge preparation, all teeth were wet blasted using the above introduced fly teeth holder, again in order to have the same shadowing effects as for a real hob. The cutting edge radius for all tested teeth was kept in the range of 17 µm to 20 µm, measured before coating at the head of the teeth1. The symmetry of rounding /9/ was kept in the range of k = 0.8 - 1.0 for all teeth being tested.

However, the optimization of the micro geometry does already start even before edge rounding, when performing the final grinding step. The following images give an impression of the cutting

1 Measured with a GFM Mikrocad Premium Sensor using standard fit routine.


6

face of two gear hobbing fly teeth. They were taken at the end of tool tests. Outside the wear region, one can easily identify different kinds of grinding traces on the cutting faces, indicating different grinding qualities. The "original" tooth has big grinding grooves, while the other one shows a nicely ground, much smoother cutting face. Even though the differences in surface quality can easily be seen on the images, the measured surface roughness differs only on a small scale (Figure 6).

Figure 6: Influence of fly tooth grinding quality on tool life.

The graph on the left side in Figure 6 shows average Rz roughness values measured at the cutting face of original and resharpened fly teeth. On average, the resharpened cutting faces do have a roughness Rz = 1.9 µm, compared with Rz = 2.5 µm for the initial cutting faces showing the grinding traces. However, the relatively small difference in Rz does have a quite big impact on tool performance. The graph on the right in Figure 6 is correspondingly showing the tool life for original and resharpened tools, all coated in the same cycle by a nanostructured AlCrN PVD coating. In our fly hobbing tests, we found a noticeable gain of total tool life for the precisely resharpened teeth, and even more important, a much lower tool life variation. Therefore only very precisely reground teeth with excellent surface finish were used for the coating development described below.

4.4 DEDICATED COATING DEVELOPMENT

The preparation of the hard coatings took place in an industrial PLATIT π411 Arc PVD coating unit. Due to the simultaneous use of four cylindrical rotating arc cathodes /10/, a very high deposition rate (= short cycle times) together with a very high flexibility of coating composition and –structure can be achieved. The aim of these new multilayer high-performance QuadCoatings4® /11/ is to combine several different coating properties in one high-performance coating system for hobs, i.e.:

Starting with CrN for best coating adhesion Followed by multilayered tough layers such as AlCrN or AlTiCrN Ending with an hard nanocrystalline wear resistant skin on top

To achieve the full potential of coated high performance tools, the hard coatings need to be adapted for specific applications. A basic requirement when comparing different coatings is the reduction of other potentially overlapping influences. One important parameter to be kept constant for all tested fly cutters is the coating thickness. The following graph gives an impression of how much the tool life might depend on the coating thickness in the case of gear hobbing. A sample test revealed that an increase in coating thickness of 20% (0,7 µm) doubles the tool life. Further investigations on how the coating thickness is influencing the wear behavior were not carried out within this study.


7

Figure 7: Influence of coating thickness on gear hobbing tool life.

If not otherwise specified all investigated coatings (including the refererence market coating) have a coating thickness in the range of (4.0 ±0.1) µm, measured at the tooth head.

Gerth et al. /12/ reported having much lower coating thickness around the cutting edge than on the cutting and flank face. The reason for their observation is likely to be caused by too sharp cutting edges, that locally concentrate compressive coating stresses, resulting in coating cracking and edge chipping to relax the stress, leaving the cutting edge unprotected /13/. In contrast, the multilayered AlCr-based coatings show a relatively low range of internal stress (-4.0 GPa to -4.5 GPa on HSS). Together with the beneficial effect of rounding the cutting edge to R>15µm, the result is the typical coating thickness distribution seen in Figure 8. The decrease in cutting face coating thickness (Figure 8) is caused by the effects explained in chapter 3 (shadowing effect). The highest coating thickness is generally observed directly on the cutting edge as the SEM cross section image below proves.

Figure 8: Cross-sectional SEM image of the head region of a AlCrN-ML coated fly tooth.

4.5 FLY HOB CUTTING TEST RESULTS

Based on the above-described settings for tool micro geometry preparation and coating thickness, a set of fly cutter teeth was coated by different AlCrN-based coatings. All coatings follow the general structure described in section 4.4, where generally AlCrN was selected as the main center part of the coating and the composition of the microcrystalline toplayer was varied in between AlCrN, AlCrTiN and an AlCrN/SiNx nanocomposite. In part, the thickness and type of the coatings’ internal nanolayer structure was additionally varied. Usually three fly cutter teeth were tested per each coating type and the test results averaged.

4.5.1 TESTED COATING PARAMETERS

In this project we focused on aluminium chromium nitride (AlCrN) based coatings. TiAlN or AlTiN coatings were not taken into account, since in comparison with these coatings it is


8

reported that AlCrN shows a superior wear resistance, higher oxidation resistance and lower thermal conductivity at high temperatures /14/. Therefore AlCrN-based coatings can be considered the optimum choice to protect the underlying HSS against oxidation and softening during dry hobbing even at very high cutting speeds leading to crater wear for TiAlN-coated tools /15/.

For highly productive cutting conditions as reported in chapter 4.2, the high chip thickness is leading to crater wear, even using moderate cutting speeds. Massive chips apply more load on the cutting face, causing higher thermal and abrasive impact. Indeed, crater wear was observed during both the analogy test as well as the gear hobbing production in Japan using identical machining parameters. In order to prolong the tool life following coating parameters were varied:

Nanolayer Structure: Generate coatings with different nanolayer thickness by changing the tool rotation speed

Composition: Doping the AlCrN top layer with Si (respectively Ti) to influence the coating nanostructure and hardness

4.5.2 NANOLAYER STRUCTURE

Even for chemically identical coatings, their micro- and nanostructure can significantly influence the hob performance. With the help of a multilayer structure, simply controllable by periodic target power adjustments, PVD coatings can be optimized in terms of toughness and hardness by changing the composition of the individual sublayers /16/. Furthermore multilayering seems to significantly delay the occurrence of indentation induced large cracks as can be deduced from higher values of the fracture toughness and the critical load for cracking /17/. It is also reported that in nanostructured (Cr1-xAlx)N, alternating CrN/AlN does prevent crack propagation /18/. The composition and thickness of the single layers inside the multilayer is determined by the evaporation rate of the metallic targets /16/, the carousel rotation speed and the dimensions of the coating chamber. Particularly the use of elemental Cr and Al arc targets, as opposed to alloyed Al-Cr targets, has the potential to create a powerful nanolayered substructure (Figure 9).

Figure 9: Formation of the nanolayered multilayer structure.

To test the influence of the nanolayered substructure on the wear behaviour we varied the substrate carousel rotation speed, thus the nanolayer thickness for two otherwise identical sample coatings. Two different carousel rotation speeds were chosen: 6 rpm and 9 rpm. The resulting thickness distribution including nanolayer structure was simulated2 for a "dummy load" of Ø = 100 mm cylinders placed in the coating device. The result is a nanolayer thickness for the two rotation speeds in the range of 10 nm for 6 rpm compared with 7 nm for 9 rpm. On real tools the nanolayer thicknesses might be a bit different due to antenna effects resulting in an higher coating thickness on the cutting edges.

2 The principle of that simulation is shown elsewhere /19/.


9

The following two SEM images were taken at the end of tool life for "standard" AlCrN-ML and secondly for AlCrN-ML with optimized nanolayer structure. The wear on the fly hobbing teeth with cutting conditions described above (0) typically starts on the trailing flank, followed by wear on the leading flank and crater wear on the cutting face. The crater wear appearing on the cutting faces close to the edge does influences the flank wear. This may limit the total life time. It can be clearly seen that with optimized nanolayer structure (Figure 10) the crater wear is reduced even after a longer cutting distance.

Figure 10: SEM of cutting faces, left: AlCrN-ML-coated tooth at 27 m life time right: optimized AlCrN-ML coated tooth at 31 m life time.

As dry cutting is performed, the area where the chips rub on the cutting face heats up considerably. Thereby the martensitic microstructure of the underlying HSS starts to decompose above 550 °C /13/. Stein et. al /20/ measured a reduction of tool hardness in the range of 100 HV next to the crater wear, supporting the theory of friction-induced surface softening. It is assumed that a better thermal insulation, commonly found for high-Al AlCrN-based coatings, protects the steel and thus delays crack formation and consequent layer damage. An optimized nanostructure would add to that, by retarding coating crack formation.

4.5.3 COATING COMPOSITION

As already outlined, two versions of AlCrN-ML were tested alongside two new QuadCoatings4®, featuring toplayers doped with titanium and silicon, respectively. Figure 11 is illustrating the calotest images to show the architecture of both QuadCoatings4®.

Figure 11: Optical mircographs of calotests two QuadCoatings4®, nACRo4 and AlCrTiN4.

The graph below, Figure 12, is showing the flank wear VB on the trailing flank cutting edge. The tool life criterion was a maximum acceptable flank wear of VB = 130 µm. As reference coating,


10

we tested an AlCr-based coating from the Japanese market coated by a local hob manufacturer. Evidently, all newly developed coatings exceeded the life time of the reference. The graph furthermore shows that for AlCrN-ML with a slight addition of silicon, the tool life did increase in comparison with the undoped base layer. As shown in 4.5.2, the optimization of the nanolayered structure for AlCrN-ML enhances the wear resistance, too. Furthermore, by doping the optimized AlCrN-ML with a slight amount of Ti, an even further increase of tool life was achievable. In comparison with the initial AlCrN-ML the AlCrTiN4 (= opt. AlCrN-ML + AlCrTiN) increases the tool life by more than 50 %.

Figure 12: Wear curves of the trailing flank.

The three images on the very left in Figure 13 show the wear on cutting faces after the same cutting length of about 26 m/tooth. The Ti-doped version shows an impressive life time enhancement: In comparison to an equally thick market reference coating, this fly cutter can work twice as long (>46 m/tooth) until a flank wear comparable to the reference tooth (≈24 m/tooth) is reached. All in all, using an optimized micro-/nanostructure and Ti- respectively Si-doped top layers the crater wear that occurs for dry hobbing with HSS single teeth is significantly reduced.

Figure 13: Optical measurement (GFM) of crater wear depth on the cutting face.

5 CONCLUSIONS

In this study a sophisticated fly cutting analogy test for the optimization of gear hobbing tools was presented. The special mounting device for the fly teeth during edge preparation and coating ensured the important characteristic of shadowing effects and coating thickness distribution.


11

It is shown, that the grinding / polishing quality significantly affects the process stability in gear hobbing. In order to achieve low tool life variation, one has to pay attention to a precise grinding process with excellent surface finish.

By using a hob with a high number of starts it is possible to achieve high productivity. A drawback of this cutting strategy especially in dry cutting is that it creates a major increase in chip thickness, which induces crater wear. This effect could however be counteracted by using dedicated PVD coatings with tailored nanolayer structure and thickness.

Different structures and compositions of coatings were tested. The Ti-doped QuadCoating4® AlCrTiN4® (CrN + AlCrN-ML + AlCrTiN), with optimized nanolayer, protects the cutting face best. Much higher hob tool life can be achieved maintaining the same or even less crater wear in comparison to the reference coating or undoped AlCrN-ML.

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StandardschichtenDie "Eltern"-Schichten bestimmen die Applikationsfelder aller "Kinder"-Schichten in der selben Reihe. Die "Kinder"-Schichten spezifizieren PLATIT-

xStandardschichten, welche mit den Maschinen der Spalte beschichtet werden können. Der Exponent x (Schicht ) beschreibt die Schichtgeneration.

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TiN

TiN

TiCN-grey

TiCN-grey

TiAlN

TiAlN

AlTiN

AlTiN

CrN

CrN

CrTiN

CrTiN

ZrN

ZrN

AlCrN

AlCrN

AlTiCrN

AlTiCrN

nACo

nACo

nACRo

nACRo

TiXCo

TiXCo

Oxi-Nitride

Oxi-Nitride

nACoX

nACoX

DLC

DLC

SCiL

VIc

VIc

cVIc

cVIc

CROMVIc

CROMVIc

Nitride

Nitride

CROMTIVIc

CROMTIVIc

nACVIc

nACVIc

TiN-SCiL

TiCN-SCiL

211

PL1001

111

411

1 TiN

2 TiCN -grey

2 TiAlN -ML

2 AlTiN

1 CrN

2 CrTiN -ML

2 ZrN

2 AlCrN

3 AlTiCrN

3® 3 VIc : DLC

3® 3 cVIc : TiC+DLC

1® 1 1 cVIc : TiCN +CBC

3® 3 CROMVIc : CrC+DLC

2® 1 2 CROMVIc : CrN +DLC

2® 2 2 CROMTIVIc : CrTiN +DLC

1 TiN

1 TiN

2 TiCN -grey

2 TiCN -grey

2 TiAlN -ML

2 TiAlN -ML

2 AlTiN

2 AlTiN

1 CrN

2 CrTiN -ML

2 CrTiN -ML

2 ZrN

AlCrN -NL3

AlCrN -NL3

4 4: AlCrTiN = ALL

2® nACo

4® nACo

2® nACRo

4® nACRo

3® TiXCo

4® TiXCo

4® nACoX

VIc : DLC2® 2




2® 2 2 nACVIc : nACRO +DLC

1 ® TiN -SCiL1 ® TiCN -SCiL

80

311

1 TiN

1 TiN

2 TiCN -grey

2 TiCN -grey

TiAlN -ML2

TiAlN -ML2

2 AlTiN

2 AlTiN

1 CrN

1 CrN

2 CrTiN -ML

2 CrTiN -ML

1 ZrN

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AlCrN -NL3

AlCrN -NL3

3 AlTiCrN

nACo2®

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2® nACRo

3® nACRo

3® TiXCo

4® nACoX

2® 2 VIc : DLC



CROMVIc : CrN +DLC2® 1 2

CROMVIc : CrN +DLC2® 1 2

2 CROMTIVIc : CrTiN +DLC2® 2

2 CROMTIVIc : CrTiN +DLC2® 2

nACVIc : nACRO +DLC2® 2 2

nACVIc : nACRO +DLC2® 2 2

PL70

311-ECO

1 TiN

1 TiN

2 TiCN -grey

TiCN -grey2

2 TiAlN -ML

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CrN1

2 CrTiN -ML

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3 AlCrN -NL

3 AlTiCrN

3® nACo

2® nACRo

TiXCo3®

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1® 1 1cVIc : TiCN +CBC



2® 2 2 nACVIc : nACRO +DLC

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