Sachverzeichnis - link.springer.com978-3-642-29942-1/1.pdf · Sachverzeichnis 1569 mit Gassensoren,...

1567

AAbbildungslinse, 662Abhebetechnik, 267Ableitelektrode, 1138Ableitung, partielle, 176Abscheiden, 210Absolutdruck, 460Absolutdrucksensor, 489Absolute Temperatur, 223Absorption, 1161Abstandsmessung, 616, 618Abstrahlverhalten

Elektronikplatine, 1487kleine Platine über angeschlossene

Koaxialkabel, 1487Abtasttheorem, räumliches, 1409Abtragen, elektrochemisches, 348

E-Feld, 350mit oszillierender Werkzeugelektrode, 351Prozessaufbau, 349Prozessenergiequelle, 350Spülung, 350

Abweichungbekannte systematische, 24unbekannte systematische, 23, 24von der Linearität, 40

Adatom, 224Adiabatenkoeffizient, 613Adsorption, 1063Adsorptionschromatographie, 1120Advanced Materials, 324Advanced Silicon Etching (ASE), 281Aerodynamik, 880Aerosol, 1009, 1010, 1015, 1050

monodisperses, 1059

Aerosolelektrometer, 1019, 1047Aufbau, 1048

Aerosolsensor, 1047Auflader-Elektrometer-Kombinationen,

1047photoakustischer, 1056photoelektrischer (PAS), 1047, 1055, 1057

Aerosolstrahl, 1029, 1031Aethalometer, 1054-1056Alarmgerät, 996Ammoniakelektrode, 1166Amperometrie, 1148Amplituden-Auswerteverfahren, 710AMR-Effekt, 74AMR-Sensor mit Barberpolen, 598Analog-Digital-Umsetzung, 1183

mit Zeit als Zwischengröße, 1183nach dem Kompensationsprinzip, 1186schnelle, 1187

Anemometerschaltung, 878Anemometrie, 114Anfangswertprobleme, 172Anglasen, 298Anguss, 357Anisotrop-Magneto-Resistive- (AMR-)Prinzip,

711Anisotropie, 265Anisotropiewandler, magnetoelastischer, 529Annealing, 387Anodic Bonding, 287, 465Ansaugrauchmelder, 1473

mit Rohrsystem, 1475Anschlussunsicherheit an Messeinrichtungen,

495Apertur, synthetische, 1406, 1410

Sachverzeichnis

H. Tränkler und L. Reindl (Hrsg.), Sensortechnik, DOI: 10.1007/978-3-642-29942-1, © Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2014

1568 Sachverzeichnis

Autokollimationsprinzip, 1100Auxiliary Partikelfilter (APF), 1249Avalanche-Photodiode, 972Azimutfrequenz, 1235

BBackground Limited Infrared Photondetector-

(BLIP-)Detektivität, 968Badewannenkurve der Ausfallrate von

Elektronik, 402Bahnerosion, 334Balgengaszähler, 796Ball-Wedge-Bonden, 298, 300Bändermodell, 81, 82, 96

zur Photoemission, 93Bandgap-Engineering, 112Bandstrahlungspyrometer, 982, 984Barber Pole, 77

Anordnung, 598Barrel-Reaktor, 264Basis-Emitter-Spannung von Transistoren, 909Basisfunktion, unisolvente, 182Bauelement, Zuverlässigkeit, 401Bayes-Klassifikator, 1433Bayes-Rekursion, 1237, 1241

Assoziationsproblem, 1255Näherungslösungen für vektorwertige

Zustände, 1244Bayes’sche Inferenz, 26Bayes’sche Wahrscheinlichkeitstheorie, 22Behälterverwiegung, 525Belegtheitsgitter, 1264Beleuchtungsazimut, 1235Berechnungsindex, 1023Bernoulli’sches Gesetz, 811, 817Bernsteinpolynom, 169Beschleunigungsgrenzwertschalter, 559Beschleunigungsmessung, 497Beschleunigungssensor, 543

Amplitude, 549Bandbreite, 550Blockschaltbild, 546Empfindlichkeit, 550induktiver, 556kapazitiver, 554Kreisstruktur, 546magnetischer, 556Messprinzip, 544mit Rückkopplung, 546

Application Layer, 1548Approximation, 162Approximationsverfahren, 1196

L1-Approximation, 1196L2-Approximation, 1196Tschebyscheff-Approximation, 1196

Argon-Ionenlaser, 653Aspect Ratio Dependent Etching

(ARDE), 282Ätzen

anisotropes, 272elektrochemisches, 271, 278

in anisotropen Lösungen, 279in einem HF-Elektrolyt, 278

isotropes, 260, 272nasschemisches, 260Passivierungsschichten, 275

Ätzgefäß, doppelwandiges öltemperiertes, 274

Ätzlösung, 262Ätzprozess, 260Ätzrate

für Silizium, 274Richtungsabhängigkeit, 274von Siliziumdioxid, 276

Ätzverhaltenanisotropes, 260isotropes, 260

Aufdampfanlage, thermische, 444Aufdampfen, reaktives, 229Auflichtprinzip, 708Aufnehmer, siehe auch Sensor

induktiver, 579magnetischer, 5995mit Änderung der Induktivität, 579mit Änderung der Kapazität, 592mit Widerstandsänderung, 574optischer, 646

Aufweckverfahren, 1338Ausbreitungsdämpfung, 616Ausgangsgröße

Erwartungswert, 31Unsicherheitsfortpflanzung, 31

Ausgangssignal, 6elektrisches, 56

Ausgangsspanne, 454Temperaturgang, 455

Auslaufzähler, 795Autofokustaster, 701

Messprinzip, 702

1569Sachverzeichnis

mit Gassensoren, 1477Brandmeldeanlage

Aufbau, 1455Feldbus, 1459Gleichstromlinientechnik, 1458Primärleitung, 1458prinzipielle Struktur, 1457Verbindung Melder Zentrale, 1457

Brandmelder, 1046mit Streulichtmesskammer, 1471Prüfverfahren, 1460

Brandmeldetechnik, 1449Ansaugrauchmelder, 1473Lüftungskanalmelder, 1473Messprinzipien, 1460Sonderformen von Meldern, 1473Wärmemelder, 1472

linearer, 1475Wärmestrahlungsmelder, 1472

Brechzahlschwankung, 696Breitbandstörgröße, 1484Bricard-Konstante, 1466Brown’sche Bewegung, 147Brückenschaltung, 1178Buckingham π-Theorem, 145, 149Bulk Micromachining, 271Bündelausgleichsrechnung, 693Burn-in-Test, 420Burst, 609, 618, 846Bus-Schnittstelle, 3Busphysik, 1543

drahtlose Medien, 1545Lichtnetz, 1545Lichtwellenleiter, 1545

Bussystem, 1459serielles, für die Sensorebene, 1536

CCAN-Bus, 1459

Kollisionsauflösung, 1547Cantilever, 1098Carrier Burst, 1342Cellular neural network (CNN), 691Charge-Balancing-Umsetzer, 1185Charged-Coupled-Devices (CCD), 110Chemical Vapour Deposition (CVD), 446Chemilumineszenz-Gerät, 1109Chemisorption, 1064

optischer, 558Phasengang, 549piezoelektrischer, 557piezoresistiver, 556Rauschen, 550, 553resonanter, 559statisches Verhalten, 544thermischer, 558

BESOI-Prozess, 290Best Fit, 458beta-Staubmeter, 1051Bewegungsdetektion, 998

mit Dopplerverfahren, 624Bewegungsmelder, 996, 997Bézier-Splines, 170Bias-Sputtering, 233Bias-Zerstäubung, 233Biegebalken-Sensorelement, 446Biegeschwinger, 640Biegewandler, piezoelektrischer, 1369Bildauswertung, 676

Linienextraktion, 676Schnittlinienauswertung, 676

Bildfusion einer Fokusserie, 1231Bildsensor, 659Biosensor, 1165Bit-plane-stack, 680Black Silicon, 282Blendenmessung, 823Block-Code, 716Bohren, 378

Maskentechnik, 379Bolometer, 952, 999

Arrays, 954Empfindlichkeit, 952

Boltzmann-Transportgleichung, 147Bonden, eutektisches, 296Bondwerkstoff, 119

gebräuchliche Drähte, 121Bootstrap-Filter, 1248Borosilikat, 288Boyle-Mariottesches Gesetz, 821Brandalarm, 1449Branderkennung, 1450, 1461

Kenngrößen, 1452Messgrößen, 1452

Integration über dem Ort, 1454Integration über der Zeit, 1453organisatorische Verfahren, 1454


Kriechen, 520Messkörperformen, 516Messverstärker, 522reale Verschaltung, 519Teilauslastung, 522TK0, 521typische Kenngrößen, 520

Messtechnik, 507Bauformen, 510Dehnung, 508k-Faktor, 508physikalische Zusammenhänge, 508Temperaturganganpassung, 510

Sensor, 433Tracking, 453

Dehnungstensor, 60Designprozess, 144Desorption, 1064Detektionskonzepte, 665Detektor, 656

für die Brandmeldetechnik, 1449positionsempfindlicher, 658, 665

Diamant-Hohlbohrer, 327, 328Diamantwerkzeug, rotierendes, 324Diazonaphthochinon, 259Dickschichttechnik, 290

Siebdruckverfahren, 291Die-Bonden, 467Dielektrika, 129Dielektrizitätszahl, 744Differential-Photodiode, 667Differentialdrossel, 580Differentialgleichung

eindimensionale, 159Fundamentallösung, 160gewöhnliche, 154

numerische Lösung, 172partielle, 144, 154, 156, 174

erster Ordnung, 156integrale Form, 180zweiter Ordnung, 156

quasilineare, 156schwache Form, 181

Differentialoperator, 174Differentialtransformator, 581

linearer variabler (LVDT), 581Dreikammersystem, 581Sensor, 582Zweikammersystem, 581

Chemisorptionsaktivierungsenergie, 1067Chi-Quadrat-Test, 40Chopperfrequenz, 91Clip-On-Gage, 578Clustering, 1257CMOS

Kamerachip, 989Sensor, 661

CO2-Laser, 370Coated-wire-Elektroden, 1145Coriolis-Massedurchflussmessung, 888

Anwenderaspekte, 895Messrohre, 892typische Bauformen, 896

Coriolis-Massemesser, 893Corioliskraft, 888Corona-Auflader, 1019Coulomb-Streuung, 113Coulter-Prinzip, 1017Coulter-Zähler, 1037, 1038CSMA/CA, 1546CSMA/CD, 1546Cunningham-Korrektur, 1019Curie-Temperatur, 81Czochralski-Verfahren, 204

DD-Flip-Flop, 624Data Link Layer, 1546Datenassoziation, probabilistische, 1260Datenintegration durch Fuzzy Logic, 1296Datensätze, diskrete, 162Dauermagnet, 599Dauermagnetdraht, 599DC-Sputtern, 231Debye-Temperatur, 79Deep Reactive Ion Etching (DRIE), 279, 280Defekterkennung mittels Beleuchtungsserien,

1233Dehnungsänderung, 436Dehnungsmessstreifen (DMS), 434, 576

Drehmomentaufnehmer, 534berührungslose Übertragung, 536Messkörperformen, 535Schleifringübertragung, 536

Kraftaufnehmer, 514Anwendung, 523Hysterese, 520

1571Sachverzeichnis

Drehmomentsensor, 493Drehratensensor, 560

Messprinzip, 560Lock-in-Effekt, 568

Drehschleusenzähler, 796Drehwinkelsensor, 604Drehzahlmessung, 775

Koinzidenz-Verfahren, 787mit Wiegandsensor, 783optische Verfahren, 784Zählverfahren, 787

Drehrichtungserkennung, 790Dynamik und Genauigkeit, 789Frequenzmessung, 788Mittelwertverfahren, 790Periodendauermessung, 788

Drehzahlsensor, 775Drei-Elektrodensensor, 1071Dreielektrodensystem, 1150Drift-Diffusions-Gleichung, 149Driften, 43Drosselspule, 580Druckaufnehmer, 434

Kenngrößen, 450Messelementeformen, 441Messgrößentransformation, 435mit Dünnfilm-DMS, 443mit Metallfolien-DMS, 438

Druckhysterese, 466Druckmessumformer, 436, 767Drucksensor, 43, 129, 460

Anforderungen, 488Anwendungen, 488für Automobilanwendungen, 489in der industriellen Automatisierungstech-

nik, 490kapazitiver, 472, 476

Ausführungsformen, 484Funktionsprinzip, 476Herstellungsverfahren der Messzelle, 479Kennlinien, 486Linearität, 485Signalverarbeitung, 481Temperaturdrift, 485

Kenndaten, 470Messdaten, 44miniaturisierter, für medizinische

Anwendungen, 490piezoelektrischer, 487

Differenzdividierte, 163finite, 172

Differenzdruck, 460Differenzdrucksensor, 460Differenzprinzip, 12-14Differenzsignal, 15Differenzverstärker

mit Offsetkorrektur, 1180zweistufiger, 1179

Diffusion, 238Diffusionsgleichung, 148Diffusionsgrenzstrom, 1148Diffusionsofen, 213Diffusionsprofil, 240Diffusionsspannung, 1136Digital-Analog-Umsetzer, 1186Digitalumsetzung, 1183Dimensionsanalyse, 145, 149Dioden-Array-Spektrometer, 1099Diodenlaser, 370, 376, 654Diodenlaserspektroskopie, 1106Direktpotentiometrie, 1146Direktschreiben von Metallen, 388Distanzsensor, 607, 608

Bewegungsdetektion mit Dopplerverfahren, 624

Doppelstabsonde, kapazitive, 746Dotieratom, 239, 244Dotierung von Halbleitern, 238Drahtbonden, 298Drahterosion, 334Drahtpotentiometer, 575Drallreduzierer, 825Drallzähler, 815, 816Drehen, 340Drehflügelmelder, 740Drehgeber, 604Drehkolbengaszähler, 797Drehkondensator, 606Drehmomentaufnehmer nach dem

induktiven Prinzip, 538Drehmomentkalibrieranlage, 532Drehmomentmessung, 531

Messung des Aktionsmomentes, 532Messung des Reaktionsmomentes, 534mittels Tauchanker, 539nach dem piezoelektrischen Prinzip, 540nach dem Wirbelstromprinzip, 540


Messrohrgestaltung, 847Messrohrquerschnitt, 848Mitführungseffekt, 841unvollständige Profilintegration, 856Wandlereinbau, 850Wärmezähler, 864

V-Konus-Verfahren, 826Venturikanalmessung, 837Verdrängungszähler, 796

Drehkolbengaszähler, 797Drehschleusenzähler, 796Ovalradzähler, 798Trommelgaszähler, 799

Volumenzähler mit Messflügeln, 800volumetrische Messverfahren, 794Wandlertechnik, siehe auch dort, 859

Wanddurchschallung, 862Wandentkopplung, 863

Wirbelzähler, 802Wirkdruckverfahren, 825

Durchflussrechner, 805Durchflusssensor mit axial versetzten

Wandlern, 852Durchflusssonde, magnetisch-induktive, 834Durchlassspannung, 909Durchlicht-Verfahren, 784, 785Durchlichtprinzip, 706, 707Durchlichtrauchmelder, 1470, 1471Dynode, 94

EEchoprofil, 1416, 1423

Korrelationsergebnisse, 1429Lageerkennung, 1425

Echoprofilspeicherung, 1422Echtzeitethernet in der Sensoranbindung, 1555Edlén-Formel, 698Effekt

anisotroper magnetoresistiver (AMR-Effekt), 74

direkter piezoelektrischer, 61inverser piezoelektrischer, 61magnetoresistiver, 72, 597piezoresistiver, 63pyroelektrischer, 91thermoelektrischer, 89

Eimerkettenschaltung, 660Einelement-IR-Pyrometer, 987

piezoresistiver, 461, 464Abgleich, 473analoge Signalverarbeitung, 474Chipmontage, 466Gehäusevarianten, 466Signalverarbeitung, 473Temperaturkompensation, 473Versorgungsspannung, 475weiche Montage, 467

verschiedene Herstellungstechnologien, 486Drucksensormembran, 281Dual-Stope-Umsetzer, 1184Dükerleitung, 836Dunkelfeld-Maske, 251Dunkelreferenz, 680Dünnfilm-Druckaufnehmer, 433, 449

Aufbau, 448Dünnfilm-Metall-Temperatursensor, 914Dünnschicht-Widerstand, 293Dünnschichtbolometer, 953Dünnschichtheizwiderstände, 117Dünnschichttechnik, 291Durchflussgleichung, 822Durchflusskoeffizient, 820Durchflussmessung, 793

Auslaufzähler, 795Federscheibendurchflussmesser, 829Flügelradzähler, 802Klappendurchflussmesser, 829konventionelle Messung mit Höhendiffe-

renzverfahren, 836Laufzeitmessung, 843magnetisch-induktive, 829

an offenen Gerinnen, 838Aufbau, 831Bewertung, 835Diagnoseverfahren, 834Störsignale, 832Wertigkeitsfunktion, 831

Messung in offenen Gerinnen, 836Pegelmessung, 836thermische Luftmassenmessung,

siehe auch dort, 868Turbinenradzähler, 800Ultraschall, 840

Fehlereinfluss, 853Laufzeitmessung, 843Laufzeitverfahren, 838Luftmassenmesser, 864

1573Sachverzeichnis

Enzymelektroden, 1165Epitaxie, 113, 238, 241Erdgasindustrie, 1123Erosion von nicht-leitfähigen Materialien, 335Erosionstheorie, elektrothermische, 332Ersatzschaltbild, elektrisches, 98Erstarrungstemperatur, 120Erweichungstemperatur, 120Euler-vorwärts-Integration, 173Excimer-Laser, 372, 386Exergie, 1348Extinktionseffizienz, 1026Extinktionssensor, 1028Extraordinary MagnetoResistance Effekt

(EMR), 596

FFabry-Perot-Etalon, 1091Fahrdynamik, 1210Failure Mode and Effects Analysis (FMEA), 421Fanningscher Reibungsfaktor, 153Faraday’scher Käfig, 1047Faraday’sches Induktionsgesetz, 829, 830Faserkreisel, 564

interferometrischer, 566Faserlaser, 370FD-Gitter, 179Federscheibendurchflussmesser, 829Fehler

absoluter, 7relativer, 7systematischer, 10

Fehlerfortpflanzung, 10Fehlerfortpflanzungsgesetz, 10Fehlerphysik, 405Fehlerrechnung, klassische, 22, 23

relevante Größen, 24Fehlerselektivität, 1405Feld-/Leitungskopplung, 1512Feldbus, 1459Feldeffekttransistor, 961

gassensitiver, 1072ionenselektiver, 1146

Feldmesssonde, 330Feldplatte, 73, 596, 597, 784Fermi-Energie, 78Fernfeld, 610Ferroelektrika, 57

Einflusseffekt, 10Einflusskorrektur, 13Einfügedämpfung, 629Eingangsgröße

Bewerten, 36Darlegen der Kenntnisse, 34mathematisches Bewerten der

Kenntnisse, 28Einkristall, 200Einmassenschwinger, 562Einperlmethode, 769Einrichtung, elektrische, 1484Einstein-Gleichung, 85, 92Einsteinsche Summenkonvention, 61Einzelsensor, 1175Electrochemical Machining (ECM), 348Electrostatic Discharge (ESD), 411

Ausfallmodelle, 412Klassen der ESD-Empfindlichkeit, 412

Elektret-Mikrophon, 1055Elektroden

gasselektive, 1144ionenselektive, 1138

Elektromagnetische Verträglichkeit (EMV), 1483

Elektrometer, 1053Elektron Hopping, 84Elektronenbindungsenergie, 92Elektronenstrahl-Schreibverfahren, 249, 250Elektronenstrahlverdampfer, 225, 227Elektronic Grade Silicon (EGS), 204Elektronikhardware

Ausfallursachen, 404Stressfaktoren, 404

Elementar-DrucksensorKenndaten, 470zeitliche Drift, 471

Elementarsensor, 914Emissionsspektrometrie, 266Empfangsempfindlichkeit, 630Empfangsverstärker, 620Encoder, 604Endpunkterkennung, 265Energy Harvesting, 1348

Transponder, 1326Entladestrom, 333Entladung, elektrostatische, 411Entladungslampe, elektrodenlose, 1101Environmental Testing, 417


Fouriertransformation, 160schnelle, 1417

Franklin-Oszillator, 1182Fräsen, 340Fraunhofer’sche Zone, 610Fremdatom, 80

im Silizium, 239Frequenz-Digital-Umsetzung, 1188Frequenzbereichsabtastung, 1380Fresnel’sche Zone, 610FTIR-Spektrometer, 1097Füllstandmessung, 725, 729

Drehflügelmelder, 740Druck- und Kraftmessungen, 766Einperlmethode, 769elektrische Verfahren, 744Flüssigkeiten, 727gebräuchliche Prozessanschlüsse, 734Grenzstandmessung, 732hydrostatische, 767, 768Impulsradar mit Hornantenne, 756kapazitive Messung, 745

Messung zwischen Sonde und Behälterwand, 745

Messung zwischen zwei Sonden, 748Näherungsschalter, 749

konduktive Messtechnik, 750kontinuierliche Messung, 732Laufzeitmessung, 752Lichtlaufzeitmessung, 765Lotsystem, 743Messgeräte, 730

analoge Ausgangssignale, 731Baugruppen, 730elektrischer Anschluss, 731Prozessanschluss, 733

Messverfahrenberührendes, 728berührungsloses, 728

optische Grenzstandmessung, 771pneumatische, 769potentiometrische Messung, 751quasikontinuierliche Messung, 732Radarmesstechnik, 755

FMCW-Radar, 760geführtes Radar, 761, 762Impulslaufzeitverfahren, 758

Radiometrie, 770Schüttgüter, 726

Fertigungsstreuung, 1202Festkörpermembranelektroden, 1142Festpunktmethode, 457Feuchtesensor, 1398Feuermelder, 1456Fiber Optical Gyroscope (FOG), 566Fick’sches Gesetz, 238Field-assisted Bonding (FAB), 286Filterfotometer, 1091Finite Differenzen, 172

für die Lösung von PDEs, 176Operatoren, 174, 175

durch Shiftoperator ausgedrückt, 176Wirkung, 175

Finite set statistics (FISST), 1256Flächenkamera, 691Flachspule, 1200Flammenionisationsdetektor, 1116, 1117, 1121Flammenmelder, 1472Fleißfaktor, 23Fließinjektionsanalyse, 1147Flip-Chip-Bonding, 302, 303Float-Zone-Verfahren, 205Flügelradzähler, 802Fluorid-Elektrode, 1142Fluorpolymer, 1367Flüssiganalyse, 1134Flüssigmembranelektroden, 1143Flussspannung, 88

von Dioden, 909Flycutting, 340, 342FMCW-Entfernungsmessung, 626Fokussierlinse, 662Folie, modulkompensierende, 439Folien-DMS, 511, 577

Aufbau, 512Kriechanpassung, 513

Folienpotentiometer, 575Foliensensor, magnetischer, 603Formabtrag mit Laserstrahlung, 384Formanisotropie, 75Formwerkzeug, mikrostrukturiertes, 366

Herstellung, 366Fotoätztechnik, 438Fotolithografie, 470Fotometrie, photoakustische, 1108Fotovoltaik, 1356Four-Terminal-Gauge, 464Fourier’sche Wärmeleitungsgleichung, 146

1575Sachverzeichnis

Cross- Flow Modulation, 1090MULTOR, 1085NDIR-Geräte, 1079nicht fotometrisch arbeitendes, 1111Personen- und Anlagenschutz, 1093Ultramat, 1085UNOR, 1084

Gaschromatographie, 1119, 1123Gasfilterkorrelation, 1092, 1094Gaslaser, 653Gassensor, 1063

elektrochemischer, 1069Gassignal, 1470Gasströmungsmessung, 851Gastheorie, kinetische, 1074Gate-Oxid, 1072Gating, 1257Gauge-Faktor, 435, 461Gauß-Effekt, 68, 72Gauß-Profil, 239Gauß’sche Fehlerfortpflanzung, 31Gauß’sche Normalverteilung, 29, 244Gauß’sche Unsicherheitsfortpflanzung, 32Gaußkurve, 1426Gebäudethermografie, 994, 995Gefahrendetektor, 1451Gefahrenmeldeanlage, 1450, 1455

Versagen, 1456Gegenkopplung, 16Gehäusewerkstoff, 129

Anwendungsbereiche, 138Keramik, Anwendungsbereiche, 140Kunststoff, 140

Eigenschaften, 140Generations-Rekombinationsrauschen, 944Gesamtfehler, Aufspaltung, 9Gesamtrauschen, 945Gesamtstrahlungspyrometer, 982Geschwindigkeitssonde, magnetisch-induktive,

834Gesetz von Stefan und Boltzmann, 938Gewichtskraftmessung, 497Giant Magnetoresistance, (GMR), 77, 115Gitterebene, 200Gitterspektrometer, 1100Glaselektroden, 1138, 1147Gleichlichtprinzip, 951Gleichlichtpyrometer, 981Gleichspannungs-Sputteranlage, 445

Schwimmer, 737Sonden- und Antennenbauformen, 734Technologien, 736thermische, 773Ultraschallmesstechnik, 753Verdränger, 737Vibrationsgrenzschalter, 741Wägetechnik, 769

Füllstandsensor, 729, 745, 763Fundamentallösung

der Diffusionsgleichung, 160der Poissongleichung, 162der Wellengleichung, 161

Funkkanal, 1327Fernfeld, 1327Nahfeld, 1329

Funkkommunikation, 1336Funkschalter, 1371Funksensor, 1324Funksensorsystem, 1324

Aufbau, 1324Fusion einer Fokusserie, 1230Fuzzifizierung, 1298Fuzzy Logic, 1208, 1296

Andock-Manöver, 1304Anwendungsfelder, 1301Einsatzbereiche, 1296Grundbegriffe, 1297Grundlagen, 1296Kollisionsvermeidung, 1304Objekterkennung mit Ultraschall, 1434Realisierung, 1296

Fuzzy-Mengen, 1298

GGaAlAs-Diodenlaser, 655Galerkinmethode, 181Gallium-Arsenid-Diodenlaser, 653Galvanometerscanner, 376Gas filter correlation, 1102Gas Sensitive MOSFET, 1073Gas-Halbleiter, 1063Gas-Nitrieren, 383Gasanalysator, siehe GasanalysegerätGasanalyse, physikalische, 1079Gasanalysengerät, 1079, 1124

Binos-Gerät, 1093Conthos, 1113


Halbleiterwafer, 248Halbleiterwerkstoffe für die Sensorik, 106Halbwellen-Longitudinalresonator

Schallabstrahlung, 633Schwingungsform, 633

Halbzeug, 362Abkühlen, 368Aufbringen der Prägekraft, 367Erwärmung, 367Evakuieren der Prozesskammer, 367Herstellung, 366

Hall-Effekt, 67, 595Drucksensor, 1192, 1193

Hall-Koeffizient, 71Hall-Sonde, 330Hallgenerator, 596, 597, 784Hallspannung, 70Hamming-Distanz, 1535Harmonischer Oszillator, 155Harmonisches Radar, 1382Harnstoffsensor, 1165, 1166Hartlote, 122Hartstoffbearbeitung mit Ultraschall, 311

Verfahrensbeschreibung, 312HDRC-Chips, 661Heaviside’sche Stufenfunktion, 172Heißfilm, zylindrischer, 875Heißfilmluftmassenmesser, 875Heißleiter, 905Heißprägen, 362, 369

großflächiges, 368Helium-Ionisationsdetektor, 1121Helium-Neon-Laser, 653Hellfeld-Maske, 251Heterodyn-Detektion, 686Heterostruktur-Halbleiterkristallbauelement,

112HF-Kathodenzerstäubung, 232HgCdTe-Photodiode, 972Hilbert-Transformation, 1421Hilfselektrode, 332Hochfrequenz-Feldeffekttransistor, 113Hochleistungsdiodenlaser, 376Hochvakuumverfahren, 222Hohlraumstrahler, 941Holographie, 1420Homoepitaxie, 241Hooke’sches Gesetz, 515Hopping-Prozess, 85

Gleichspannungsmessverstärker, 522Gleichstromlinientechnik, 1458Gleichungstypen, 154Glucose, 1165GMR-Sensor, 599Gray-Code, 715Green’sche Funktion, 161Grenzschichttheorie, 876Grenzstandmessung

kapazitive, 749mit Mikrowellen, 772mit Ultraschall, 772optische, 771

Grenzwert für die Abweichung von der Linearität, 39

Grenzwertsatz, zentraler, 33Größenklassierer, elektrostatischer, 1018Großwasserzähler, 802Guard-Prinzip, 593Guide to the Expression of Uncertainty

in Measurement (GUM), 22Bestimmen der erweiterten Messunsicher-

heit, 37Ermittlungsmethode Typ A/B, 29Kombinieren der Erwartungswerte und

der Standardunsicherheiten, 37Linearisierungseffekt, 32Unsicherheitskonzept, 24Workbench, 37

GUM, siehe Guide to the Expression of Uncertainty in Measurement

Gyroscopes, 541

HHalbleiter, 83, 111

Detektor, 656, 668extrinsischer, 906intrinsischer, 906optische Materialien, 110Reinraumbereiche, 197unkompensierter, 83

Halbleiter-Adsorbat-Komplex, 1067Halbleiter-Dioden-Laser, 1106Halbleitergassensor, 1066Halbleiterlaser, 370, 653Halbleiterprozess, 387Halbleiterverbindung für die

Hybridintegration, 138

1577Sachverzeichnis

Informationsreduktion im Sensor, 1213Informationsverarbeitungssystem (IVS), 4Infrarot-Flammenmelder, 1472Infrarot-Strahlungssensoren zur berührungslo-

sen Temperaturmessung, 929Infrarotsensor

Ansprechzeit, 948Anwendungen, 975Frequenzabhängigkeit, 948Frequenzverhalten der Empfindlichkeit, 949Kenngrößen, 976Modulationsübertragungsfunktion, 976Photonensensor, 965physikalische Detektivitätsgrenze, 950punktförmige Temperaturmessung, 976pyroelektrischer, 960, 998rauschäquivalente Leistung, 947Rauschen, 943Seebeck-Effekt, 956Sensorkenngrößen, 941Sicherheitstechnik, 996Spannungsempfindlichkeit, 962Spektralbereich, 942spektrale Empfindlichkeit, 942spezifische Detektivität, 947Temperaturkoeffizient der Empfindlichkeit,

963thermische, 948thermoelektrische, 1956Wärmeleitwert, 950Zeitkonstante, 948

Infrarotstrahlung, 931Inner-Lead-Bonden, 303Instrumentenverstärkerschaltung, 489Instrumentierungssystem, 4, 5

dominierende Struktur, 19, 20Integration, numerische, mittels Interpolation,

170Interdigitalwandler, 1386Interferenz, 694Interferenzeffekt, 694Interferenzfilter, 1096Interferometer, 694, 696, 1097

holografischer, 700zur Messung mehrdimensionaler

geometrischer Größen, 699zur Wegmessung, 698

Interpolation, 716Abtastung

Horizontal-Rohrreaktor, 220Anordnung der Elektroden und

Substrate, 221Hybrid, 1382Hydrosol, 1009Hydrosolstrahl, 1029Hypothesendichte-Filter,

probabilistischer, 1262Hysterese, 458, 471

IImager, 989Immunoelektroden, 1168Immunosensor, 1168Impedanz, akustische, 613Impedanzauswertung, 601Importance-Sampling, 1247Impuls-Drehzahlsensor, 780Impuls-Echo-Prinzip, 618Impulsbildung

aktiver induktiver Sensor, 781passiver induktiver Sensor, 782

Impulsdrahtsensor, 600Impulsformung, 785Impulsgenerator, 763Impulsradar, 759Impulsstromauswertung, 601In-situ-Fotometer, 1095Inductively Coupled Plasma (ICP), 283Inductosyn, 710Induktionswandler, 1368

Funktionsprinzip, 1370Inertialsensor, 541Information, stochastische

auf Digitalrechnern, 1238Informationsfusion

für multisensorielle Systeme, 1209Abstraktionsebenen, 1228Datenfusion, 1228Entscheidungsfusion, 1229Hard Decision Fusion1224Informationserfassung, 1212JDL-Modell, 1223Merkmalsfusion, 1228Omnibus-Modell, 1224Strukturen, 1222Symbolfusion, 1229Verarbeitungsschema, 1225


dynamische, 719mit Trägerfrequenz, 720statische, 716

digitale, 717, 719durch Kettenbrüche, 167mit Hilfsphasen, 717mit kubischen Splines, 1195numerische Integration, 170rationale, 168

Interpolationsfunktion, 162Ionenätzen, reaktives, 264Ionenimplantation, 238, 244Ionenstrahlätzen, 261, 263Ionenstrahllithographie, 248Ionenstrom, 1463Ionentiefenätzen, reaktives, 279, 280, 957Ionisationskammer, 1046, 1464, 1465Ionisationsrauchmelder, 1463, 1466

Ionisationsrauchmelder, 1463schematischer Aufbau, 1464

IR-Filterfotometer, 1091, 1097ISFETs, 1145ISO-GUM-Verfahren, 24

als schrittweises Verfahren, 33, 34Bayes-Laplace’sche Grundlage, 28Grundprinzipien, 26

Isolatoren für die Hybridintegration, 137Isolierwerkstoff, 129, 130Isotopenverdünnungs-Massenspektrometrie,

22

JJacobi-Matrix, 185, 1281JEDEC-Normen, 412Johnson-Rauschen, 943Joint Integrated Probabilistic Data Association

(JIPDA), 1260Joint Probabilistic Data Association (JPDA),

1260Justiereinrichtung, 12

KK-Faktor, 577Kalibrierfaktor, 39Kalibrierfaktorverschiebung, 813

durch Abrieb und Korrosion, 814durch Temperaturänderung, 813

Kalibrierpunkt, 41Kalibrierung, 12, 43

Stabilität, 42von linearen Sensoren, 39von nichtlinearen Sensoren, 46

Kalman-Filter, 1208, 1243, 1251, 1265adaptives, 1284erweitertes, 12, 44, 1280

Herleitung der Kovarianzmatrizen, 1316, 1317

Herleitung der Algorithmen, 1271in der Praxis, 1276unscented, 1244Variationen, 1284vergrößertes, 1278

Kaltleiter, 906Strom-Spannungskennlinie, 922

Kaltleiterwiderstand, 907Kamera

3-D-Kamera, 687TOF-Kamera, 688

Kapazitätsmessbrücke, 481Kapillarsäule, 1121Kármán’sche Wirbelstraße, 806, 810Kaskadenimpaktor, 1018Katodenzerstäubung, 222, 229

herstellbare Schichten, 237Kelvin-Durchmesser-Spektrum, 1034Kennlinien-Linearisierung, 483Keramikwerkstoff, physikalische Daten, 141Keramikwiderstände

mit Heißleitercharakteristik, 84mit Kaltleitercharakteristik, 86

Kettenbruch, 167Keyhole, 374Kirchhoff'sches Strahlungsgesetz, 936Klappendurchflussmesser, 829Klassierer, elektrostatischer, 1017Klebstoff, 122

Anwendungsgebiete, 125Eigenschaften, 125Übersicht, 124

Knallgasreaktion, 213Koaxialleitung, 1521Kodierter Lichtansatz, 679, 680KOH-Ätzlösung, 273Kohlendioxid-Laser, 653Kohlrausch-Prinzip, 1153Koinzidenz-Verfahren, 787

1579Sachverzeichnis

Kollektorstrom, 99Kolloid, 1009

Konditionierung, 1040Kollokationsmethode, 181Kompensationsprinzip, 12, 16, 1176Kompensationssensor, magnetischer, 602Kompensationsstruktur, 277Kondensationskernzähler, 200, 1032, 1034Konduktometrie, 1152

Anwendungen, 1160elektrodenlose Verfahren, 1157Kohlrausch-Prinzip, 1153Messzellenkontrolle, 1160Temperatur, 1158Vierelektroden-Zellen, 1157Zweielektrodensystem, 1153

Kontakt-Metallisierung, 268Kontaktbelichtung, 253Kontaktierverfahren, 298

Drahtbonden, 298Kontaminationsquellen in Verbindung

mit Reinräumen, 198Konzentrationsmessungen in Flüssigkeiten,

1133optische Detektion, 1161

Absorption, 1161Brechungsindex, 1163Membranen, 1163Reflexion, 1162

Koppelschwinger, 638richtscharfer, 641

Kopplungsimpedanz, 1522Kopplungsreduzierung, 1519, 1520Korrektur von statischen Sensoreigenschaften,

12Korrekturfunktion, Restabweichung, 49Kostendegression, 17Kraft auf angeströmte Körper, 827Kraftaufnehmer, 495, 496

dynamische Messungen, 504induktiver, 529Kriechen, 501Lasteinleitungsfehler, 503magnetoelastischer, 528parasitäre Belastungen, 502, 503piezoelektrischer, 525

Eigenschaften, 526Reproduzierbarkeit, 501Temperatureinflüsse, 500

Umwelteinflüsse, 504Vorschriften und Normen, 496Wiederholbarkeit, 501

Krafterzeugung, Totlastanlage, 494Kraftmessbolzen, magnetoelastischer, 530Kraftmessung, 493

Einflussfaktoren, 498Genauigkeitsangaben, 498Hysterese, 499Kenngrößen, 498Linearitätsabweichung, 498Messprinzipien, 497Temperatureinflüsse, 500

Kraftnormale, nationale, 495Kraftsensor, 493Kreis, magnetischer, 580Kreismembran, isotrop geätzte, 464Kreuzkorrelationsfunktion, 1428Kristallatom, 57Kristallebene, 200Kronecker-Delta, 1254Kugelwelle, 612Künstliche Intelligenz (KI), 1308Kunststoffschweißen, 377Kupferspule, 258

LLab-On-Chip-Anwendung, 257Labor-Gaschromatographie, 1120Ladungstransfer-Modell, 1065Lagertankmessung, 756Lagrange-Interpolation, 164

baryzentrische Form, 165Lambdasonde, 1077

Funktionsweise, 1078Lambert-Beer’sches Gesetz, 1026, 1082, 1161Lambert-Strahler, 936Längenmesssystem, 705

inkrementales, 703Längenskala, 146Langevin-Ionen, 1045Langwegsensor, 589

induktiver, 591mit induktiven Näherungsschaltern, 590mit magnetfeldempfindlichen Aufnehmern,

600mit Schirmrohr, 592

Laplace-Gleichung


2D FD-Lösung, 1772D FE Lösung, 183

Laplacetransformation, inverse, 160Laser

Lichtlaufzeitmessung, 752Schweißverfahren, 476Speckles, 667

Laserabtrag, 384Laserbonden, 389

von Glas und Silizium, 388Laserdiode, 667, 1022Laserdistanzsensor, Schwimmertechnologie,

739Laserfotometer, 1106Laserhärtung, 382Laserinterferometrie, 266Laserpartikelzähler, 1032Laserscanner, 688, 689

3D-Laserscanner, 688Laserstrahl, 370, 651, 674

Abtragen, 384Beschriften, 383Bohren, 378Brennschneidverfahren, 380Direktschreiben von Metallen, 388Kapillarbildung, 375Löten, 381Ritzen/Perforieren, 380Schweißen, 372Trennen, 379Wärmeleitung, 373

Laserstrahldurchschweißen, 377Laserstrahltransmissionsfügen, 389Lasertrimmen, 293Laufzeitmessung, 752

Füllstandmessung, 752Laufzeitverfahren, 682

Profilmessung, 687LC-Transponder, induktiv gekoppelter, 1374Leerstellendiffusion, 241Legierung, 118, 383

für die Hybridintegration, 135Leitkleber, 122Leitung

Ein-/Auskopplung, 1499Leitungskopplung/Signalintegrität, 1494leitungsungebundene Kopplung, 1504symmetrische, 1507unsymmetrische, 1507

Leitungskopplung, 1494Leitungsschirm, 1520Lenz’sche Regel, 584Lesegerät, 1375, 1379Leuchtdiode, 647, 650, 667

schematischer Aufbau, 651weiße, 652

Lichtblitz-Stroboskop, 777Lichtextinktion, 1055Lichtfleck, 665Lichtgeschwindigkeit, 682Lichtlaufzeitmessung, 765Lichtlaufzeitverfahren, 687Lichtlinie, 673Lichtpunkt-Triangulationssensor, 662

Aufbau, 663Eigenschaften, 668Einsatzmöglichkeiten und -grenzen, 669

Lichtquelle, 648, 667Lichtschnittsensor, 671

3D-Vermessung, 678Aufnahmegeometrie, 675Detektoren, 671Lichtquellen, 671Streifenprojektion, 677

Lichttaster, 771Lichtvorhang, 672Lichtwellenleiter, 1107Lift-off-Technik, 267LIGA-Verfahren, 257, 304

Fertigungsschritte, 305Lignin, 354Linear-Positionssensor, gepulster induktiver,

582, 583, 591Linearfehlersignal, 499Linearisierung, 1269

durch Differenzprinzip, 15durch inverses Korrekturglied, 14in der Messkette, 13, 14

Linearisierungspolynom für PT-100-Sensoren, 1530

Linearität, eingeschränkte, 45Linearitätsabweichung, 457Linearitätsfehler, 9Linearmesssystem, 705Linienstreuer, 617Lithiumniobat, 62Lithographie, 247Local Area Network (LAN), 1529

1581Sachverzeichnis

Longitudinaleffekt, 57Lorentz-Kraft, 69Lorentz-Sensor, magnetischer, 428Lote, 119

Anwendungsbereiche, 122Löten, 381Lotka-Volterra-Gleichung, 155Lotsystem, 743Lotwerkstoff, 123Low angle scattering instrument (LASI), 1030Low Pressure Chemical Vapour Deposition

(LPCVD), 217, 276, 446Prozessparameter, 218

Low Temperature Oxid-Schicht, 284Luftmassenmesser

Einbauspiele, 886Kombination von Sensoren, 885mechanischer Aufbau, 884mikromechanischer, 877mit Zusatzsensorik, 887

Luftmassenmessung, thermische, 868Aufbau, 872Auswerteschaltung, 878Funktionsprinzipien, 871Kontaminationsschutz, 883Sensoren, 873

Luftspule, 588Luftultraschall

Distanzsensor, 609Entfernungsmesser, 1422

Lüftungskanalmelder, 1473, 1474Lumineszenzdiode, 1027Lumineszenzstrahler, 648, 650LVDT, siehe Differentialtransformator,

linearer variabler

MMachzahl, 811Mackereth-Sensor für Sauerstoff, 1150, 1151Magnetfeld, 595

Sensorwerkstoff, 113Magnetostriktion, 77, 603Magnetowiderstandswerkstoff, 115Magnetronkathoden, 236Magnetronsputtern, 234, 235Manufacturing Message Specification

(MMS), 1551Markoff-Prozess, 422

Mask-Aligner, 252Masken-Justier- Belichtungsmaschine, 252Maskenherstellung, 248

mittels Pattern Generator, 250Trägermaterial, 250Transmission von Gläsern, 251

Massenbestimmung, 1053partikelgrößenabhängige, 1053

Massenstrommessung von Gasen, 868Massenträgheitsmoment, 889Masterfertigung, 338Materialbearbeitung mit dem Laserstrahl, 370Materialkosten, 18Matrixmethode, 173Matrixnotation, 60Maxwell′sche Gleichung, 1519Mean-time-to-failure (MTTF), 398Mehrgangpotentiometer, 604Mehrkomponenten-Prozessanalysen-

Spektrometer, 1099Mehrkomponenten-Prozessfotometer, 1091Mehrkomponentenkraftmessung, 527Mehrobjekt-Poisson-Verteilung, 1262Mehrschichtmetallisierung, 269Mehrwellenlängenholographie, 700Membran-Biegebalkensystem, 451Mengen, unscharfe, 1297Mengenmesseinrichtung, 793Merkmalskarten, 1265Messabweichung, 26Messaufnehmer, optischer, 648Messbrücken, 1177

Brückendiagonalspannung, 1177Messen

digitales, 704einer Länge, 704eines Winkels, 704

Messergebnis, 38Messunsicherheitsangabe, 38Messunsicherheitsbudget, 38

Messgerät, 26Antwort, 44eingeschränkte Auflösung, 41gekapseltes, 705kalibrierter Bereich, 47Korrektur für die Nichtlinearität, 50lineares, 40

Ursache-Wirkungs-Schema, 40Messabweichung, 26


Messunsicherheitsbilanz für eine Messung, 46

Nichtlinearität, 48offenes, 705Unsicherheitsbalken, 46Verhalten, 46

MessgrößeMessen eines unbekannten Wertes, 45Umsetzung in ein elektrisches

Ausgangssignal, 55Zuverlässigkeit, 18

Messgrößentransformation, 434Messionisationskammer, 1465Messkette, Linearisierung, 13, 14Messmedien, flüssige, 1133Messoszillator, 1181Messprinzip

induktives, 709, 710interferentielles, 712, 713magnetisches, 711optisches, 712photoelektrisches, 706, 709

Messprozess, 28Messrohr, 892

Rohrgeometrie, 892, 893Messsignal, elektrisches, 3Messsystem, 705Messtechnik, optische, 647

Strahlungsquellen, 648Messung

Modellieren, 35reale, 43Ursache und Wirkung, 26, 27

Messunsicherheit, 21Ermittlung bei Messungen mit

Sensoren, 38erweiterte, 33, 37

Messunsicherheitsanalyse, 30Bewertung von Eingangsgrößen, 30

Messunsicherheitsansatz, 22, 23Messunsicherheitsbilanz, 38, 43, 45, 48-50Messverfahren

absolutes, 714inkrementales, 705, 707

Messzellenkapazitive, 472keramische mit Dickschicht, 487piezoresistive, 467, 472

Metall, 118für die Hybridintegration, 133

für Leiterbahnen, 119Verdampfungsrate im Hochvakuum, 224

Metallfolien-DMS, 439Druckaufnehmer, 442

Metallisierung, 268Metalloxid-Halbleiter, 1065Metalloxidgassensor, 1066, 1068

mikromechanische Sensorplattformen, 1068prinzipieller Aufbau, 1068

Metallwiderstands-Temperatursensor, 917Methode

der kleinsten Quadrate, 181der Unterdomänen, 181

Metropolis-Hastings-Sampling, 1246Microhotplates, 1068Mie-Theorie, 1020, 1467Mikrobolometer, 954Mikrocontroller, 19, 1203Mikrodrahtschneiden, elektrochemisches, 350Mikroenergiewandler, 1348

für Strömungen, 1372Mikrofräsen, elektrochemisches, 350Mikrofunkenerosion, 332, 336Mikromechanik, 271Mikrometerskala, 146Mikroschaltkreise, 1006Mikrospiegel, 689Mikrospritzguss, 358

Anwendungsbeispiele, 360Maschinen, 359

Mikrostreifenleitung, 1490Mikrosystemtechnik, ultrapräzise

Fertigung, 338Mikrotechnologie, 193Mikrowellen, Grenzstandmessung, 772Mikrowellenschranke, 772Miller’sche Indizes, 200Modco-Folie, 439Modell der Auswertung, 26, 27, 35Modellbildungsverfahren, 35

Anzeige-/Ausgabeeinheiten (IND), 36Assistenzsystem, 25Parameterquellen (SRC), 36Transformationseinheiten (TRANS), 36

Modellierung, 12, 143der Messung, 35diskretes Modell, 147kontinuierliches Modell, 147

Moiré-Effekt, 671, 706

1583Sachverzeichnis

Moiré-Streifen, 679Molekulardynamik, 147Molekularsieb-Chromatographie, 1120Molybdän, Temperaturabhängigkeit des spezi-

fischen elektrischen Widerstandes, 81Monte-Carlo-Simulation, 31, 33, 45Moody-Diagramm des Reibungsfaktors, 154MR-Effekt, 72Multi-Bernoulli-Verteilung, 1240Multi-Chip-Module (MCM), 19Multi-Hopp-Netzwerk, 1340Multi-Hypothesen-Tracking, 1258Multi-Periodendauermessung, 1189Multi-Sensorsystem, 10Multialkalikathode, 112Multikomponenten-Spektrometer, 1096, 1119Multilayer-Platine, 1490, 1491Multisensordatenfusion, 1290Multisensorsystem, 1206

Datenfusion, 1207Multispektralpyrometer, 940, 985

NNachdiffusion, 241Nachtsichtgerät, 992Näherungsschalter, 588, 600

induktiver, 605kapazitiver, 749

Nahfeld, 610NDIR-Gerät, 1087NDT-Silizium, 206Negative Temperature Coefficient Thermistor,

905Neodym-YAG-Laser (Nd:YAG), 370Nernst-Gleichung, 1137, 1139Nernst-Sonde, 1077Netze, neuronale, 1307

Funktionsweise, 1313Konzept, 1309Vorteile, 1313

Netzwerkssimulation, 145, 1492Neumann’sche Randbedingung, 183Neutron Transmutation Doping (NTD), 206Newton-Approximation, 163Newtonscher Algorithmus, 163Nichtlinearität, 47Niederdruckimpaktor, elektrischer, 1053Nikolsky-Gleichung, 1140, 1141

Normale, 704Normecho, 1416, 1426

Subtraktion, 1425Novolak, 259npn-Phototransisor, 98

bipolarer, 98NTC-Thermistor, 915, 919

Widerstands- und Temperaturtoleranz, 922Nulldurchgangsdetektion, 843Nullpunktfehler, 9Nullpunktsdrift, 43Nullpunktverschiebung, 42, 45Nullsignal, 450

thermische Änderung, 451Nutzsignalverfälschung, 1501

OOberflächen-Mikromechanik, 283Oberflächendiffusion, 224Oberflächenmikromechanik, 480, 484Oberflächenwellen (OFW)

akustische, 1386Identifizierungsmarken, 1391strahlungsgekoppelte, 1391Temperaturtransponder, 1394Transponder zur Messung der Temperatur,

1392Objekterkennung mit Ultraschall, 1403

Anwendungen, 1437Aufnahme von Objektsituationen, 1405

Abtast-Systeme, 1407Anordnung der Wandler, 1406Auflösungsvermögen, 1411Einsatzparameter, 1405

Auswertung der Phaseninformation, 1441Auswertung des Empfangsechos, 1422

Differenzprofile, 1424inverses Filter zur Objektidentifikation,

1430Korrelationsanalyse, 1427Subtraktion des Normechos, 1425

bildgebendes System, 1403Einsatzparameter, 1405Inspektionssystem, 1404Klassifikation, 1431

mit Methoden der Fuzzy-Logik, 1434neuronale Netze, 1434numerische, 1432


objektselektives System, 1403positionsinvariante Objekterkennung, 1442Rekonstruktion der Objekteigenschaften,

1413Holographie, 1420räumliche Übertragungsfunktion, 1416Rückfaltung, 1417Übertragungsmodell, 1413zeitliche Übertragungsfunktion, 1414

Occupancy Grids, 1208, 1237ODE (ordinary differential equation), 154Offline-Photogrammetrie, 693Öffnungswinkel, 614Offsetspannung, 473OFW-Transponder, 1388, 1395

Messung von Druck, Drehmoment und Beschleunigung, 1396

Open Gate FET, 1072Opferschicht, 283Optik, 646Ortsselektivität, axiale, 1405Oszillator

freischwingender, 585gedämpfter harmonischer, 1364

Oszillatorfrequenz, feste, 585Oszillatorschaltung, 588Oszillatorsignal, 582Outer-Lead-Bonden, 303Ovalradzähler, 798Ozonanalysator, 1105

PParabolantenne, 757Parabolspiegeloptik, 1035Parallel-Umsetzer, 1187Parallelplattenreaktor, 219, 264Parametermodell, konzentriertes, 145Partialecho, 1416, 1426Partikel, 1006

Lichtstreuung, 1020Partikel-Messtechnik, 1005

Coulter-Zähler, siehe auch dort, 1037Diffusionseffekt, 1015Kondensationskernzähler, 1032optische Partikelzähler für Gase, 1029optische Sensoren, 1020Partikeleigenschaften aus photometrischen

Sensorsignalen, 1028

Probennahme, 1010anisokinetische, 1013

Trägheits- und Gravitationseffekte, 1010Partikeldurchmesser, 1012, 1040

aerodynamischer, 1017, 1019beweglichkeitsäquivalenter, 1017Streulichtintensität, 1024, 1025

Partikelfilter, 1246Bootstrap-Filter, 1248Mehrmodell-Filter, 1252mit Hilfsvariable, 1249Rao-Blackwellisierter, 1250, 1253Vorschlagsfunktion, 1247

Partikelgrößensortierung, 1016Partikelgrößenverteilung, 1040Partikelkonzentrationsmessung, 1014Partikelmassen-Sensor, 1048Partikelmessung

elektroresistivein Flüssigkeiten, 1037für Gase, 1045

Partikelsensor, 1007Eichung, 1057, 1058

Partikelstromsensor, optischer, 1035Partikelzähler, optischer, 200, 1029

für Flüssigkeiten, 1035, 1036Pulsverarbeitung, 1041Randeffekt, 1044Streusignal, 1036Verminderung der Zähleffizienz, 1043

Partikelzählermessung, 1041Fehler aufgrund der Zählstatistik, 1041Fehler aufgrund von inhomogener Emp-

findlichkeit im Messvolumen, 1043Koinzidenzfehler, 4042

Parts-count-Modellierung, 421Parts-stress-Methode, 421Pascalsches Gesetz, 767Passivierung, 269Pattern-Generator, 249PDE (partial differential equation), 154Pegelmessung, 836Pegelverschiebung, 1179Pellistor, 1076Peltier-Effekt, 911, 1359Perkussionsbohren, 379Permanentmagnet, 781Permutationsmatrix, 186Phased Array, 1408

1585Sachverzeichnis

Phasen-Auswerteverfahren, 710Phasenlaufzeitmessung, 685Phasenschiebe-Verfahren, 681Phosphorsilicat-Glass-Schicht, 284Phosphorsilikatglas, 217, 270Photodiode, 96, 98, 656, 970

Ausführungsformen, 657effektive Quantenausbeute, 972für höchstauflösende Thermobildgeräte, 972Mehrelementsensor, 973spezifische Detektivität, 970Strom/Spannungskennlinie, 657Stromempfindlichkeit, 970

Photodiodenmatrixsensor, 974Photoeffekt

äußerer, 92innerer, 94

an einem pn-Übergang, 96Photoelektronenvervielfacher, 112Photoelement, 96, 98

analoge Signale, 706Photoemissionszelle, 1056Photogrammetrie, 690, 692Photoionisationsdetektor, 1118Photokathode, 112Photolack, 251

hochaufbauender, 256Photolawinendiode, 657Photoleiter (Photowiderstände), 969Photolithographie, 241

Herstellung von Reticle und Masken, 249Prozessschritte, 252

Photomaske, Polarität, 251Photometer, 1162Photomultiplier, 109, 112Photonenausstrahlung, spektrale, 966, 967Photonensensor, 938, 965

Eigenhalbleiter, 965Snapshot Funktion, 992Störstellenhalbleiter, 965

Photoresiste, 256Phototransistor, 98Photowiderstand, 94, 969Photozelle

Beschaltung, 93schematischer Aufbau, 93

Physical Vapour Deposition (PVD), 222Physics-of-failure-Modell, 405Physisorption, 1064

Piezoeffekt, 57longitudinaler Schereffekt, 58Transversaleffekt, 58transversaler Schereffekt, 58

Piezoelektrizität, 57Piezokonstante, 461Piezokristall-Massensensor, 1049Piezowerkstoff, 108Piezowiderstandskoeffizient, 64Piezowiderstandswerkstoff, 113PIN-Diode, 658

Grenzfrequenz, 659Pitot-Rohr, 816Plancksches Wirkungsquantum, 936Plasma Enhanced Chemical Vapour

Deposition (PECVD), 218, 276, 446Plasma-Nitridschicht, 218Plasmaabscheidung, 218Plasmaätzen, 263, 265Plasmastrippen, 264Platin-Temperatursensor, 914

charakteristische Kenndaten, 920Platine, 1486Plattenkondensator, 747

pyroelektrischer, 92Plattformwaage, 524Plattformwägezellen, 505PLCD-Wegsensor, 601

typische Kennwerte, 602Ploughing Process, 345pn-Halbleiterübergang, 97

Beschaltung, 98pn-Übergang, 279Poissongleichung, Fundamentallösung, 162Poisson’sche Querzahl, 63Polisilizium-Mikrobrücke, 284Polyetheretherketon, 512Polygonscanner, 378Polygonzug-Interpolation, 1194Polymer

bei GehäusenAnwendungsbereiche, 138

thermoplastisches, 363, 364Polymerfolien, piezoelektrische (PVDF), 628Polymethyldisiloxan, 366Polymethylmethacrylat (PMMA), 260Polynom, 165

Integration, 171Interpolation, 1195


Polysilizium, 66, 265, 285Positionssignal, lineares, 599Positive Temperature Coefficient, 906Potentialabschätzung für verschiedene

Materialsysteme, 1354Potentiometer, 575Potentiometrie, 1134

Bezugselektrode, 1136Geräteausstattung, 1135Redoxmessung, 1136

Potenzfunktion, 11Poynting-Vektor, 1329Präsenzdetektion, 622, 624Prinzip der maximalen Informationsentropie,

28, 30Probabilistic Data Association (PDA), 1260Probability Density Function, siehe auch Wahr-

scheinlichkeits-Dichteverteilung, 28Problem

inverses, 36schlecht gestelltes mathematisches, 36

Produktfunktion, 11Profilmessung mit Laufzeitverfahren, 687Projektionsbelichtungsgerät, 254Proportionalitätsgrenze, 515Proximity-Belichtung, 253Prozess-Gaschromatographie, 1120Prozessgaschromatograph, 1123Prüftechnik, zerstörungsfreie, 419

automatisierte, 419Pseudo-Halleffekt, 65Pseudo-Random-Code, 716Pseudorauschsignal, 685PTC-Thermistor, 915, 919Puls-Weiten-Modulation, 481, 482Pulscodemodulation (PCM), 1190Pulsed Electrochemical Machining (PEM), 351

Oszilation, 353Pulskompressionsradar, 1380Pulslaufzeitmessung, 684Pulsradar, 685, 1380Pulsverarbeitung bei Partikelzählern, 1041Punktschweißen, 375Punktstreuer, 616pvT-Diagramm, 364, 365Pyrolyse, 258Pyrometer, 976

Kenngrößen, 977punktförmig messender, 986

QQuanten-Topf-Photodiode, 972Quanten-Topf-Struktur, 1005Quantenausbeute, 109Quantenstruktur, 112Quantenzähler, 95Quantisierung, digitalen, 41Quarz, 62, 203Quarz-Halogen-Lampe, 1031Quarz-Temperatursensor, 913Quarzkristall, 58Quarztiegel, 204Quecksilberanalysator, 1103Queranker, 580

RRadargleichung, 617Radarmesstechnik, Füllstandmessung, 755Radarsensor, Schwimmertechnologie, 739Radial-Dickenkoppler-Prinzip, 859Radialdehnung, 436Radiant, 704Radio Frequency Identification, siehe RFIDRadiometer, 770, 989, 992Raman-Streuung, 1476Randwertprobleme, 173Rapid Thermal Annealing (RTA), 246Räuber-Beute-Gleichung, 155Rauchansaugsystem, 1474Rauchmelder, 1453

deckenbündiger, 1478Kombination mit Temperatur- und Gassen-

sor, 1469optischer, 1467, 1468punktförmige, 1461

Rauschanalyse, 946Rauschen

1/f-Rauschen, 945weißes, 946

Rauschminimierung, 946Rayleigh-Länge, 674Rayleigh-Streuung, 1023RC-Oszillator, 593Reactive Ion Etching (RIE), 264Reaktionsdrehmomentmessung, 535Rechtecksignal, 707Redoxelektrode, 1136Redoxmessung, 1136

1587Sachverzeichnis

Reedketten, 738Referenzimpuls, 714Referenzmarken, 714

abstandscodierte, 714Reflektronomie, 1476Reflexions-Verfahren, 784Reflexionsphotometer, 1162Reflow-Lötverfahren, 381

Abgleichen, 382Vergüten von Oberflächen, 382

Refraktometer, 698Regression, lineare, 40Regressionsmodell, 40Reibungsfaktor

Moody Diagramm, 154Reinraum

Kontaminationsquellen, 197mit turbulenter Verdünnungsströmung, 196mit turbulenzarmer Verdrängungsströ-

mung, 196, 197Partikelmessung, 199und Mensch, 197

Reinraumklassen, 194nach US Federal Standard, 195

Reinraumkleidung, 198, 199Reinraumkonzept, 194Reinraumtechnik, 193Relativdruck, 460Relativitätstheorie, spezielle, 563Relaxationsoszillator, 483, 1181, 1182Reliability Block Diagram (RBD), 422Replikationsverfahren, 338Resampling, 1248Réseau (Bezugsgitter), 692Residuen, gewichtete, 180Resolver, 710Resonanzfrequenz, 551Resonanzscanner, 378Reticle-Herstellung, 248Reynolds-Zahl, 806

minimale, 810RFID-Sensor, 1344RFID-Transponder, 1390Richtgewinn G, 614Riesenmagnetowiderstand, 77Ring Laser Gyroscope (RLG), 567Ringlaserkreisel, 567Robustness Validation, 411Runge-Kutta-Methode, 174

Ruß-Sensor, 1054Rußbestimmung

aufgrund des photoakustischen Effekts, 1055

durch Echtzeitmessung von Filterschwär-zungsgraden, 1054

Rußpartikel, 1054, 1059

SSagnac-Effekt, 562, 568Sandstrahltrimmen, 293Sättigungsstrom, 910, 1465Sauerstoffmessung, magnetische, 1113Sauerstoffsensor, 1077, 1150

magnetopneumatischer, 1115Schallabstrahlung, Wirkungsgrad, 632Schalldruck, 609

Winkelabhängigkeit, 635Schalldruckgrenzwerte, 633Schallfeldgröße, 609Schallführung, 847Schallgeschwindigkeit, 609, 613Schallgeschwindigkeitskompensation,

automatische, 844Schallintensität, 614

entfernungsabhängige Abnahme, 616Schallleistung, 614Schallschnelle, 609Schallsender, Entfernungs- und

Richtungsabhängigkeit, 634Schallstrahler, isotroper, 614Schallweg, parasitärer, 857Schallwellenwiderstand, 613Schalter-Kondensator-Technik, 483Schaltkontakt, 118Scheiben-Verbindungstechnik, 465Scheimpflugkorrektur, 662, 663Schereffekt

longitudinaler, 58transversaler, 58

Scherkraftaufnehmer, 521Schichttechnik, 290Schlichten, 384Schlitzsensor, 589

als Langwegaufnehmer, 590Schmalbandstörgröße, 1484Schmelzschneiden, 380Schmitt-Trigger, 620, 786


Schnecken-Extruder, 356Schneiden von Blechen, 380Schnittstelle, serielle, 716Schrotrauschen, 944Schruppen, 384Schwarzer Körper, 933

Ausstrahlungsmaximum, 937Gesamtphotonenausstrahlung, 939Photonenausstrahlung, 938

Schwarzer Strahler, 937Schwebekörper-Durchflussmessung, 827, 828Schweißen mit dem Laserstrahl, 372Schwimmerschalter, 737, 738Schwingkörpersensor, 1050Sechsleiterschaltung, 455, 523Seebeck-Effekt, 911, 956, 1359Seebeck-Koeffizient, 89, 912, 958Sekundärpassivierung, 270Semiconductor Equipment and Material

International, 207Sende-Empfangs-Wandler, 619Sendeempfindlichkeit, 630Senkerosion, 334Sensitivitätskoeffizient, 32, 50Sensor, siehe auch Aufnehmer

aktive Fehlererkennung, 427Anforderungen, 5Anwendungsgebiete, 5ausfallende Elemente, 403Ausfallkinetik, 403Ausfallmechanismus, 406Ausfallraten, 400Ausfallwahrscheinlichkeit, 396Begriff, 3, 4busfähiger, 3, 1530

Abtastung, 1532digitale versus analoge Übertragung,

1533Digitalisierung, 1532Vorteile, 1530

dynamische Eigenschaften, 18dynamische Korrektur, 19eingeschränkte Auflösung, 41elektronische Bauelemente

End- of -Life-Tests, 417Losqualifikation, 416

Entwurfskonzept, 16, 17Fehlerdaten, 400Fehlerkurve, 7Fehlerphysik, 400

Frühausfallmodell, 401funkauslesbarer, 1323in der Flüssiganalyse, 1134in technischen Systemen, 3induktiver, 1199Informationsreduktion, 1213Ist-Kennlinie, 7kapazitiver, 594

mit Guard-Elektrode, 594konfokaler, 701Kosten, 17Lebensdauerkennwerte, 398linearer, 39

Kalibrierung, 39magnetoresistiver, 77

Schwimmertechnologie, 739mikromechanischer, 882nichtlinearer, 46objekterkennender, 607Partikelmesstechnik, 1007passive Fehlererkennung, 426Prüfkonzepte, 418Selbsttest, 426

integrierter, 427Soll-Kennlinie, 7statische Eigenschaften, 6

Korrektur, 12Totalausfall, 397Überlebenswahrscheinlichkeit, 396Werkstoffe, 106Zuverlässigkeit, 395

Konzepte, 420Prüfabfolgen, 408Prüfnormen, 410Redundanz, 422Testverfahren, 408

Zuverlässigkeitskenngrößen, 398Sensorbus, 1529

Application Layer, 1548Auswahlkriterien, 1556Branchenanforderungen, 1539Busvernetzung im Automobil, 1562Data Link Layer, 1546ISO-OSI-Schichtenmodell, 1540, 1541Kommunikationsaufgaben, 1538Kostenanalyse, 1561Messdatenerfassung, 1537nationale und internationale Normung,

1563Nutzenanalyse, 1561

1589Sachverzeichnis

Physical Layer, 1542Prozessregelung, 1536verfügbare Systeme, 1551wesentlichen Systeme, 1552wirtschaftliche Aspekte, 1560zur Prozessregelung mit überlagerter

Messdatenerfassung, 1537Sensordaten

Dimensionalität, 1215Homogenität, 1215Informationsgehalt, 1218

komplementäre Information, 1219orthogonale Information, 1221redundante Information, 1218verteilte Information, 1220

Kollokiertheit, 1216Kommensurabilität, 1215Virtualität, 1216

Sensordatensätze, 1217Sensoreffekt, 107

physikalischer, 55piezoelektrischer, 57zur Umsetzung mechanischer Größen, 57zur Umsetzung optischer und strahlungs-

technischer Größen, 92zur Umsetzung thermischer Größen, 77

SensorelementGeometrien, 440, 446mit Dünnfilm-DMS, 447

Sensorfehler, parametrischer, 427Sensorfusion, 1206Sensorgrößen mit zugehörigen SI-Einheiten, 56Sensorik

Einführung, 3Halbleiterwerkstoffe, 106Schichtmaterialien, 210zur Durchflussmessung, 793zur Füllstandmessung, 725zur Temperaturmessung, 903

Sensorkalibrierung, 22Sensorkennlinie

Approximationsverfahren, 1196Grundfunktion, 1198ideale, 6, 7Interpolation mit kubischen Splines, 1195Interpolationsverfahren, 1194mathematische Modelle, 1194nichtlineare, 13Polygonzug-Interpolation, 1194Polynom-Interpolation, 1195

reale, 6tabellarische Abspeicherung, 1194

Sensorschicht, Werkstoffe, 106Sensorsignal, frequenzanaloges, 1181Sensorsignalverarbeitung, 1175, 1308Sensorsystem

Entwurfskonzept, 16, 17fusionsrelevante Eigenschaften, 1214in MultiChip-Technologie, 20redundantes, 19Zuverlässigkeit, 18

Sensorwerkstoff, 105Severinghaus-Elektrode für Kohlendioxid, 1144Shiftoperator, 174Shockley-Gleichung, 87, 88Shooting-Methode, 173SI-Einheit, 55Sichtgerät, 989Siebdruckverfahren, 291Signalintegrität, 1494Signalinterpolation mit Hilfsphasen, 718Signalprozessor, 1311

digitaler, 1418Signaltripeln, 1470Signalübertragung, 1189, 1503

amplitudenanaloge, 1190Differenztaktübertragung, 1525Differenztaktübertragung, 1527digitale, 1190elektromagnetisch verträgliche, 1483frequenzanaloge, 1190Signaleingänge, 1523Übertragungsstrecken, 1523Übertragungsverfahren, 1523

Signalumformung, analoge, 1177Signalverarbeitung

bei Multisensoren, 1205digitale, 1191, 1199

Korrektur von Einflussgrößen, 1197physikalische Modellfunktionen, 1191

sensornahe, 477sensorspezifische, 607

Signalverstärkung, 1178Silan, 217Silicon Fusion Bonding, 285, 288, 289Silicon-Direct-Bonding, 485Silicon-on-Insulator-Technik, 289Silizium, 200, 1356

dreidimensionale nasschemische Strukturie-rung, 271


Drucksensoren, 459Einheitszelle, 201einkristallines, 204feuchte Oxidation, 214Fremdatom, 239Herstellung, 203

Zonenziehverfahren, 206Heteroepitaxie, 244Millersche Indizes wichtiger Ebenen, 202thermische Oxidation, 210, 212

Schichtdickenverhältnis, 211trockene Oxidation, 214

Silizium-Spreading-Resistance-Temperatursen-sor, 84, 916, 621

Silizium-Wafer, 208, 480Durchbiegung, 216Spannungsverhältnisse, 216

Siliziumchip, 480Siliziumdioxid, 275

Kenngrößen, 215Partikel, 1035Schichtdicken, 215thermisches, 215

Siliziumnitrid, 217, 265, 276Abscheidung durch PECVD, 221

Siliziumoxid, Abscheidung durch PECVD, 221Siliziumsensor, 269

kapazitiver, 476Siliziumtechnologie, 200

piezoresistive Drucksensoren, 461Schichterzeugung, 209technologische Grundprozesse, 209

SIMOX-Technologie, 246Simulation, 143

Modell und Wahl der Methode, 144Simultane Lokalisierung und Kartierung

(SLAM), 1264Simultankontaktierverfahren, 302Skalierung, 12Skineffekt, 584Smart Camera, 691Soft-bake-Prozess, 252Sohlschwelle, 836Solarzelle

Wirkungsgrad, 1351Zwei-Dioden-Modell, 1353

Sondertechnologie, 311Sonotrode, 300, 314, 318Sorptionsisotherme, 1065Spanentstehung, 346

Spannung, mechanische, 59, 463Spannungsänderung, 437Spannungsreihe, thermoelektrische, 114Speckle-Interferometrie, 700Spektralpyrometer, 982, 984SPICE-Netzwerksanalyse, 1494Spiderkontaktierung, 119Spin-coating-Verfahren, 259Spline-Funktion, 1195Spreading-Resistance-Effekt, 83Spreading-Resistance-Prinzip, 1202Spritzgießen, 354

Universalmaschine, 356Werkzeuge, 357

Sputterätzen, 261, 263Sputtering/Sputtern, 222, 229, 268, 444

Schichten, 231Zerstäubungsmechanismus, 229

Standard-FZ-Silizium, spezifischer Widerstand, 207

Standard-GUM-Verfahren, 24, 33als schrittweises Verfahren, 33, 34

Standardunsicherheit, 30Steifigkeitsmatrix, lokale, 186Steigungsfehler, 9Steuerung, speicherprogrammierbare (SPS), 4Stimmgabelgyroskop, 561Stirnthermometer, 982Stokes-Zahl, 1011Störgleichspannung, 833

elektrochemische, 832elektrothermische, 832

Störgröße, 10elektrische, 1483

Störquelle, 1483Störschwelle, 1483Störsignal, 621Störstelle, 82Störstellenerschöpfung, 83Störstellenreserve, 83Stoßen, 340Strahldivergenzdämpfung, 616Strahler, thermischer, 648, 649Strahlungsfluss, 932Strahlungsflussänderung, 998Strahlungsgleichgewicht, 937Strahlungskopplung, 632, 639Strahlungspyrometer, 975Strahlungsrauschen, 945, 950Strahlungsthermometrie, 988

1591Sachverzeichnis

Streckensensor, 607, 608Streifeninterpolationssoftware, 681Streifenprojektion, 682Stress-Test- Driven Qualification of

Integrated Circuits, 415Streulicht-Verfahren, 785Streulichtintensität, 1022, 1027Streulichtkoeffizient, 1021Streulichtmelder, 1470Streulichtphotometer, 1026, 1027Streulichtrauchmelder, 1467, 1468

mit zwei Wellenlängen, 1468Streulichtsensor, 1024Streulichtsignal, 1471Streulichtzähler, 1031

mit Weißlicht, 1029Stroboskop, 776Strom-Spannungs-Kennlinie eines

pn-Übergangs, 97Strommitnahmesensor, 777Stromsensor, 1398Strömungsbypass, 881, 882Strömungsgleichrichter, 825Strömungswandler, 1372Stromverstärkungsfaktor, 95Strouhal-Zahl, 812

Kalibrierfaktor, 806Stückkosten, 17

Degression, 18Stückkostenkurve, 17Stützstellen, äquidistante, 165

alternative Formulierung166SU-8, 259Sub-Pixel-Auflösung, 692Sublimationsschneiden, 380Summenfunktion, 11Summenrahmentelegramm, 1547Supergitter, 972Surface Micromachining, 283Suspended gate FET, 1073Suszeptibilitätsmessung, magnetische, 1113Swirlmeter, 815Systemwafer, 465

TTAB-Technik, 119Tachometer-Generator, 777

Unipolarmaschine, 780Wechselstrom-Generator, 779Wirbelstromsensor, 777

Tape Automated Bonding, 304Tapered Element Oszillating Microbalance

(TEOM), 1050, 1051Tastplatte, 739Tauchankersystem, 589Tauchkernaufnehmer, 580Tauchspulsystem, 16Taylor-Reihen-Entwicklung, lineare, 31Taylor’sche Reihe, 14Teach-in-Pyrometer, 985Teach-in-Verfahren, 587Temperatureffekt bei Halbleiterübergängen, 87Temperaturmessung, 903

berührungslose, 929Infrarot- Strahlungssensor, 929

Dünnfilm-Metall-Temperatursensor, 914Metall-Thermoelemente, 924Metallwiderstands-Temperatursensor, 917Platin-Temperatursensor, 914Quarz-Temperatursensor, 913Sensorprinzipien und -materialien, 904Silizium-Spreading-Resistance-Temperatur-

sensor, 916thermoelektrische Effekte, 911Thermoelemente, 924thermoresistive Prinzipien, 904

Temperatursensor, 903Anwendungen, 925aus Platin, 905, 914busfähiger, 1531integrierter, 923linearer

auf Basis des temperaturabhängigen Kabelwiderstands, 1476

auf Basis einer Druckerhöhung, 1476mit Glasfasern, 1476

Temperaturstrahler, 936Temperung, 268Tensornotation, 60Tetraethyl-Orthosilicate (TEOS), 217Thermalisierung, 1352Thermalisierungsverlust, 1352Thermistor, 905Thermistorbolometer, 952, 953Thermobildgerät, Geräteklassen, 990Thermoelement, 113, 924Thermometer, 903Thermopaare

zur Messung tiefer Temperaturen, 116zur Messung von hohen Temperaturen, 116


strahlungsgekoppelter resonanter, 1385unkooperativer ohne IC, 1373

Transversaleffekt, 58Trennschichtmessung, 726Trepannieren, 379Triangulationsprinzip, 680Triangulationssensor, 662, 668

Dickenmessung, 670Trichlorsilan, 203Trimm-Methoden, 293Trockenätzprozess, 257Trockenätzverfahren, 260, 261Trockenfilmresiste, 256Trommelgaszähler, 799Trommelzähler, 795Tschebyscheff-Approximation, 1196Tunnel Magnetowiderstandseffekt (TMR), 115Tunneleffekt-Beschleunigungssensor, 559Turbinenradzähler, 800, 801TWIST®-Konzept, 378

UÜberdeckungswahrscheinlichkeit, 37Übertragungsmaß, 630Ultra Precision Machining (UPM), siehe

UltrapräzisionsbearbeitungUltrakurzpulslaser, 372, 386Ultrapräzisionsbearbeitung (UPM), 338

Anwendungen, 343Diamant als Schneidstoff, 343Maschinenkonzepte, 341Prozessanpassungen, 347

Ultrapräzisionszerspanung, 344Ultraschall

Abstandsmessung, 616Aktorsystem, 325Ausbreitung, 609Bearbeitung, 311

Abtragsraten, 320, 321Bearbeitungsanlagen, 325Bearbeitungswerkzeuge, 318Bearbeitungszeiten, 320, 322Fertigungshinweise, 320Labormaschinen, 317Qualitätssicherung, 324Standmenge der Werkzeuge, 319technische Möglichkeiten, 313

Breitbandwandler, 643

Thermopile, 999Chip, 957Empfindlichkeit, 958

Temperaturkoeffizient, 959Matrixsensoren, 975Seebeck-Koeffizient, 958Sensormodule, 982

Thermoplasten, 363amorphe, 367

Thermosäule, 957Thermosonic-Ball-Bonden, 298Thermospannung, 89

von gebräuchlichen Thermopaaren, 115Thermowandler, 1358, 1361Thermowiderstands Effekt, 77

in Metallen, 78Thomson-Effekt, 911Tiefschweißen, 374, 376Tieftemperaturbolometer, 954Tiegelziehanlage, 205Tiegelziehverfahren, 204TISAB-Lösung, 1146TOF-Kamera, 688Token Passing, 1546Torschaltung, 788Totlastanlage, 494Track-before-detect (TBD), 1263Tracking

mit mengenwertigen Messungen und mengenwertigem Zustand, 1255

mit vektorwertigen Messungen und mengenwertigem Zustand, 1263

Tracks, 1256Trägerfrequenzmessverstärker, 522Trägerwafer, 465Transceiver, 1334Transformator-Ersatzschaltbild, 1332Transistor-Thermometer, 1192Transmissionsgrad, spektraler, 935Transmissometer, 1028Transponder, 1324

batteriegestützter, 1326aktiver, 1334

Blockdiagramm, 1339feldgespeister, 1343

mit eigenem Transceiver, 1346Impedanz-übertragender, 1398strahlungsgekoppelter frequenzumsetzen-

der, 1382

1593Sachverzeichnis

Umkehrung der Wirkungsrichtung durch Gegenkopplung, 16

Umschmelzen, 383Unipolarmaschine, 780Unisolvenzbedingung, 182Universalmaschine, 356Unscented-Transformation, 1244Unsicherheit, erweiterte, in Abhängigkeit

von der Messgröße, 50Unsicherheitsbeitragskoeffizient, 49Unsicherheitsbilanz, 48Unsicherheitsbudget, 38

Angeben und Bewerten, 38Unsicherheitsfortpflanzung, 31Unterätzung konvexer Ecken, 277Unterdomänen

Gitter, 184Simulationsgebiet, 184

Urformverfahren, 338, 354USB als Bussystem für die Laborumgebung,

1554UV-Fotometer, 1101, 1105UV-Kontaktlithographie, 258

VV-Konus-Verfahren, 826Vakuumbedampfen, 222

Dreizonenmodell für das Schichtwachstum, 225

herstellbare Schichten, 228van der Pauw-Scheibe, 596van-der-Pol-Oszillator, 155van-der-Waals-Kräfte, 1064Venturikanalmessung, 837Verbindungstechnik, 294

Anglasen, 298eutektisches Bonden, 296Kleben, 295Weichlöten, 295

Verbindungsverfahren, feldunterstützte, 286Verbindungswerkstoff, elektrischer, 118Verbrennungsgas, 1469Verdampferquellen, widerstandsbeheizte, 226Verdränger, 737, 739Verdrängungszähler, 796Verhältnispyrometer, 985Versorgungsspannung, 475Verteilungschromatographie, 1120

Impulsantwort, 645Distanzsensor

Auswertebereich, 622Detektierbarkeit, 622Erfassungsbereich, 621, 622Leistungsbilanz, 629räumliche Detektionseigenschaften, 620

Durchflussmessung, 840Erosion, 316, 329

Mehrfachwerkzeug, 317mit Schleifmittelabsaugung, 317

Füllstandmessung, 736, 753Gaszähler für Haushalte, 866

Kennlinienverlauf, 867Grenzstandmessung, 772Koppelschwinger, 638Linienstreuer, 617Luftmassenmesser, 864, 865Objekterkennung, 1403Präsenzdetektor, 622, 624, 643Punktstreuer, 616Schichtwandler, 644Sonar-Sensor, 607, 608Spindel, 326Wärmezähler, 864Wedge-Bonden, 300, 301

Ultraschallerzeugung, 314Ultraschallimpuls, 636Ultraschallschwingung, 326, 329

überlagerte, 324Ultraschallsensor

Klassifizierung, 608zur Abstandsmessung, 607zur Präsenzdetektion, 607

Ultraschallwandler, 620, 625Abschätzung des Erfassungsbereichs, 636elektrodynamischer, 626elektrostatischer, 626Koppelschwinger, 641magnetostriktiver, 627piezoelektrischer, 628richtscharfer, 641

Richtdiagramm, 642Wirkprinzipien, 627Wirkungsgrad, 631

Umfeldwahrnehmung, 1236Umfeldzustand, 1237Umgebungstemperaturkompensation, 976Umkehrspanne, relative, 458


photovoltaischer, 1350resonanter

elektromagnetischer, 1365kapazitiver, 1356piezoelektrischer, 1356

Wandlerprinzip, physikalisches, 434Wandlertechnik, 859

Verbundwandler, 861Wandler für Flüssigkeiten, 862Wandler für Gas, 859

Wandlerwerkstoff, 105, 107optoelektronischer, 109

Wärmebildgerät, 976, 989Anwendungen, 993Elementkorrektur, 991Kenngrößen, 977Matrixsensor, 989Zeilensensor, 989

Wärmedifferentialmelder, 1472Wärmeleitfähigkeit, spezifische, 1074Wärmeleitfähigkeitsdetektor, 1121Wärmeleitfähigkeitssensor, 1074, 1075Wärmeleitgerät, 1111Wärmeleitung in einem Balken, 173Wärmeleitungsschweißen, 374Wärmemelder, 1472Wärmestrahlungsmelder, 1472Wasserstoffflamme, 1116Wechsellichtprinzip, 951Wechsellichtpyrometer, 976, 980Wechselstromgenerator, 779Wegaufnehmer, induktiver, 579Wegmessinterferometer, 696Wegmesssystem, 705Wegmessung, induktive, 1199, 1201Wegsensor, 16, 573, 593

kapazitiver, 594typische Kennwerte, 594

magnetostriktiver, 603potentiometrischer, 575rechnerkorrigierte, 1203

Wehr, 836Weibullverteilung, 399Weichlote, 123Weißlichtinterferometer, 700Weißlichtzähler, 1023Weiß’sche Bezirke, 528Welle, ebene, 612Wellengleichung, 159, 610

Vertical Redundancy Check (VRC), 1535Vibrationsenergie, 1348, 1367Vibrationsgrenzschalter, 741

Blockschaltbild, 743Montagepositionen, 742technische Daten, 743

Vier-Stock-Oxidations-Ofen, 213Vierelektroden-Zellen, 1157Voltammetrie, 1148Volumenzähler mit Messflügeln, 800Vorgeschwindigkeitsfaktor, 820Vorwärts-Differenzenoperator, 178Vorwärtsdifferenz, 175

WWaagenbau, 524Wachstumsgesetz

lineares, 212parabolisches, 212

Wachstumshormon, 22IDMS-Ergebnisse, 22

Wachstumskonstantelineare, 212parabolische, 212

Wafer-Level-Packaging, 257Wafer-Level-Reliability (WLR), 419Wafer-Reinigen, 388Waferherstellung, 207Waferkennzeichnung, 207Waferleve-Test, 427Waferstepper, 252Waferverbindungstechnik, 285Wägetechnik, 769Wägezellen, 495

Anwendung, 523Eckenlastfehler, 506Eichordnung, 505Einbauhilfen, 505Gewichtsmessung, 504Parallelschaltung, 505Prüfberichte, 505

Wahrscheinlichkeitsdichteverteilung, 28, 30, 37Wahrscheinlichkeitstheorie, 25Wandler

für Flüssigkeiten, 862für Gas, 859kinetischer, 1362nicht-resonanter kinetischer, 1368

1595Sachverzeichnis

Anwendungsbereich, 807Auswerteelektronik, 805Betriebsbereich, 808Druckabnahme, 806Durchflussrechner, 805Einsatz, 814Funktion, 805Messunsicherheit, 812mit Staukörperquerschnitt, 804Staukörper, 803Staukörperbreite, 803Staukörpergeometrie, 803Wirbeldruckabnahme, 804Wirbelerzeugung, 805

Wirkdruck-Zähler, 822Wirkdruckverfahren, 817, 825

physikalische Grundlagen, 818Wolfram, spektrales Emissionsvermögen, 649Woltman-Rad, 800

YYouden-Diagramm, 22

ZZählverfahren, 787Zeemann-Effekt, 695, 1103Zeilenkamera, 691Zeilensensor, 666Zeitbereichsabtastung, 1380Zeitbereichsreflektometrie, 761Zeitdehnung, 759Zeitdiskretisierung, 1268Zeitfenster, 618, 622, 623Zeitschlitzverfahren, 1337Zeitslotverfahren TDMA, 1547Zentraler Differenzenoperator, 178Zentraler Grenzwertsatz, 33Zerstäuben, reaktives, 234Zerstäubungausbeute, 230Zerstäubungsmethoden, 231Zonenziehverfahren, 205, 206Zufallsbewegung in einer Dimension, 148Zufallsgrößen

diskrete, 1239normalverteilte, 1239

Zufallsmenge, endliche, 1240Zustandsraummodell, 1266

Fundamentallösung, 161Werkstoff

für die Hybridintegration, 129für Dünnschichtheizwiderstände, 117metallischer, 139piezoelektrischer, 107pyroelektrischer, 109

Werkstoffprüfmaschine, 497Wert, wahrer, 23Wertigkeitsfunktion, 831Wheatstone-Brücke, 435, 450, 468, 517, 1075

Widerstandsverhältnisse, 518Widerstands-Temperaturkennlinie

eines Heißleiters (NTC), 86eines integrierten Temperatursensors, 89eines Kaltleiters, 87

Widerstandsänderung, 436, 437, 577Widerstandsarten, 117Widerstandsgeometrie, 85Widerstandsrauschen, thermisches, 943Widerstandsthermometer, 9, 80, 903

zulässige Toleranzgrenzen, 9Widerstandswerkstoff, 113

zur Temperaturmessung, 114Wiegand-Draht, 599Wiegandsensor, 783Wien'sches Verschiebungsgesetz, 937Winkel, 704Winkelaufnehmer, 604

induktiver, 605potentiometrischer, 604, 605

Winkelbeschleunigung, 560Winkelgeschwindigkeit

Messung über den Sagnac-Effekt, 562Messung über die Corioliskraft, 561

Winkelmesssystem, inkrementales, 703Winkelsensor, 573

potentiometrischer, 575Wirbelablösefrequenz, 812Wirbelstrom-Aufnehmer, 583Wirbelstromdrehzahlmesser, 775, 776Wirbelstromsensor, 777, 778

mit fester Oszillatorfrequenz, 585mit freischwingendem Oszillator, 585mit integriertem ferromagnetischen

Kern, 587typische Kennwerte, 587Verschiebung der Resonanzkurve, 586

Wirbelzähler, 802


Zweimassenschwinger, 561Zweiplatten-Mikro-Spritzprägewerkzeug, 361Zweipunktkalibrierung, 41, 45, 48Zweistrahlinterferenz zur Wegmessung, 694Zweistrahlinterferometer nach Micholson, 695Zwischengitterdiffusion, 241Zylinderkondensator, 746Zylindersonotrode, 319

Zuverlässigkeit von Sensoren, 395Auswahlredundanz/Majoritätsredundanz,

425Badewannenkurve, 401Definitionen, 396diversitäre Redundanz (Prinzipredundanz),

424Lebensdaueruntersuchungen, 413Losqualifikation, 415Vergleichsredundanz, 425

Zuverlässigkeitsblockdiagramm, 422Zuverlässigkeitstest, 406Zweielektrodensystem, 1153

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