Ventile - Leybold Online Shop...Werkstoffe Ventilgehäuse und Innenteile sind aus ausgesuchten,...

Ventile Hand-Antrieb Elektropneumatischer Antrieb Elektromagnetischer Antrieb Spezial-Ventile Schieber-Ventile Ultrahochvakuum-Ventile

Ventile

300.00.01Auszug aus dem Leybold Gesamtkatalog 2016Produkt-Kapitel VentileAusgabe Herbst 2016

leybold Leybold Gesamtkatalog Herbst 2016 3

Vent

ile

Ventile

Allgemeines

Das Leybold Ventilprogramm . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5

Produkte

Klein-Ventile der Baureihe „micro“

Übersicht . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9

Eck- und Durchgangsventile, federbalggedichtet, diverse Antriebsarten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10

Ventile mit ISO-KF Flansch

Übersicht . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13

Nennweiten DN 16 ISO-KF bis DN 50 ISO-KF

Eckventile, federbalggedichtet, Hand-Antrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14

Durchgangsventile, federbalggedichtet, Hand-Antrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15

Eckventile, federbalggedichtet, (elektro-)pneumatischer Antrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16

Durchgangsventile, federbalggedichtet, (elektro-)pneumatischer Antrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18

Eckventile, elektromagnetischer Antrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20

Ventile mit ISO-K Flansch

Übersicht . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23

Nennweiten DN 63 ISO-K bis DN 160 ISO-K

Eckventile, federbalggedichtet Hand-Antrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24 elektropneumatischer Antrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26

Nennweite DN 250 ISO-K

Eckventil, federbalggedichtet, elektropneumatischer Antrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28

Spezialventile mit ISO-KF / ISO-K / CF Flansch

Übersicht . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30

Vakuum-Sicherheitsventile SECUVAC . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31

Entstör-Bausatz, leuchtend . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33

Überdruck-Entlastungsventil . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34

Stromausfallfluter, elektromagnetischer Antrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35

Grob-Dosierventil ohne Absperrventil . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36

Dosierventil mit Absperrventil . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37

Belüftungsventile Hand-Antrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38 elektromagnetischer Antrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39

Gasschleusen und Verschluss-Ventile . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40

Kugelhähne . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42

Zubehör zu elektropneumatisch betriebenen Ventilen Vorsteuerventile mit ISO-KF / ISO-K Flansch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44 Entstör-Bausatz, leuchtend . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44 Magnetspulen für DN 250 ISO-K . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45

Spezialventile für Turbo-Molekularpumpen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46

Inhalt

leyboldLeybold Gesamtkatalog Herbst 20164

Nennweiten DN 16 CF bis DN 63 CF

Ultrahochvakuum-Ventile Ganzmetall-Eckventile . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48 Ganzmetall-Dosierventil . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49

Schieberventile mit ISO-KF / CF / ISO-F Flansch

Übersicht . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51

Mini Schieberventile, ISO-KF, Hand-Antrieb (Kniehebel) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52

Mini UHV-Schieberventile, ISO-KF und CF Hand-Antrieb (Handrad) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54 elektropneumatischer Antrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56

HV-Schieberventile, ISO-F Hand-Antrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58 elektropneumatischer Antrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60

UHV-Schieberventile, CF, Hand-Antrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62

UHV-Schieberventile, elektropneumatischer Antrieb ISO-F Flansch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64 CF-Flansch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66

Federbalg

AutomatischerDrehknopf-elektropneumatischer Antrieb-elektromagnetischer Antrieb

06.01.A.003 Schema D.eps

Ventilteller mitVakuum-Dichtung

Vakuum

Ventilsitz

Ventildeckel

Gehäuse-deckel

Vakuum

Gehäuse


Vent

ile

Allgemeines

Das Leybold Ventilprogramm

Die langjährige Erfahrung von Leybold in der Vakuumtechnik schlägt sich auch in der Auswahl und Ausführung der Absperrorgane und Vakuum-sicherungs-Elemente für viele Anwen-dungen nieder . Das Produkt-Programm ist so angelegt, dass für jede Anwen-dung in der Vakuumtechnik eine zuver-lässige Lösung angeboten wird . Die lang jährige Funktion und Betriebs-sicherheit der Ven tile ist durch die tech-nische Ausführung sicher ge stellt . In vie-len unterschiedlichen For schungs bereichen und industriellen Anwendun gen haben sich die Ley-bold-Ventile bewährt .

Aufbau eines Vakuumventiles

Umfang des VentilproduktProgramms

Die Palette der Leybold-Ventile umfasst:

- Kleinventile micro

- Eck- und Durchgangsventile der Nennweiten DN 16 bis DN 40 mit ISO-KF-Flanschen

- Eckventile der Nennweiten DN 63 bis DN 250 mit ISO-K-Flanschen

- Schieberventile in den Nennweiten DN 16 bis DN 250 mit unterschiedli-chen Flanschen

- Kugelhähne

- Spezialventile

Zielsetzung von Leybold ist es, mit dem angebotenen Programm seiner Absperrorgane und Ventile den Kundenanforderungen zu entsprechen . Aus diesem Grund sind alle Ventiltypen mit verschiedenen An triebs arten erhältlich .

Mit Ausnahme der Spezialventile kann eine Aus wahl unter Hand antrieben, einem elektropneumatischen Antrieb oder elektromagnetischen An trieb ge -troffen werden .

Die Eckventile DN 16 ISO-KF bis DN 40 ISO-KF sowie DN 63 ISO-K bis DN 160 ISO-K sind in den Gehäuse-material-Varianten Alu mi nium und bis DN 100 ISO-K in Edel stahl verfügbar .

Die Besonderheiten der jeweiligen An wendun gen führen zu speziellen Anfor derungen an bestimmte Merk-male der Ventile, z.B.:

- Beschichtungs-Technik - Kurze Schaltzyklen (z .B . 1,5 s) - Sehr hohe Anzahl von Öffnungs- und Schließzyklen (z .B . mehr als 10 Mio . Schaltungen)

- Analysen-Technik - Hoher Leitwert (ähnlich den ent- sprechenden Flanschbauteilen, wie z .B . ein Rohrbogen) - Hohe integrale Dichtheit der Ventile (Leckrate kleiner als 10-9 mbar l/s)

- Lampen- und Röhren-Herstellung - Temperaturbeständig - Mögliche Umgebungstemperatur max . 50 °C

- Beschleuniger-Technologie - Gleichzeitige Strahlen-, Tempera- tur- und Korrosions-Beständig keit der Werkstoffe

- Metallurgie und Ofenbau - Robustheit und Unempfindlichkeit gegenüber Verunreinigungen

- Chemie - Wählbarkeit der medienberührten Gehäusematerialien

Allen Anwendungen gemeinsam sind folgende Anforderungen:

- Geräusch- und schwingungsarmes Öffnen und Schließen

- Kompakte Bauweise, geringes Gewicht

- Gut sichtbare, eindeutige optische Stellungsanzeige

- Einsatz in Druckbereichen zwischen 10-8 und 2500 mbar, soweit nicht anders ange geben

- Volle Funktionsfähigkeit bei Einsatz im gesamten zulässigen Druck-bereich

Allen diesen Anforderungen werden die Leybold-Ventile gerecht, soweit in den tech nischen Daten nichts anderes angegeben ist.

Qualitätssicherung

In den verschiedensten Märkten, wie z .B . der Analysen- oder Beschich-tungs-Technik, werden für die neuen sowie die in Entwicklung befindlichen Geräte-Generationen sehr hohe An for-derun gen an bestimmte, wesentliche Merkmale der Ventil technik ge stellt . Gefordert werden u .a . eine hohe Be -triebssicherheit über eine lange Le -bens dauer, integrale Dichtheit der Ven-tile, hohe Anzahl an Öffnungs- und Schließzyklen sowie kurze Schaltzeiten .

Die Leybold- Ventile entsprechen diesen hohen Anforde rungen!

Weitere Informationen über Flansch-Verbin dun gen und Flanschbauteile ent-nehmen Sie bitte unseren Katalog-Tei-len „Flanschbauteile“ und „Durchfüh - rungen“ .


FlanschBezeichnungen

In diesem Katalog-Teil werden Flansch-Be zeich nungen verwendet, die der internationalen Norm sowie der gängi-gen Nomenklatur entsprechen:

Flansch-Typ Normvorschrift Bezeichnung mit genormter Nennweite 1) (DN)

Kleinflansche ISO 2861/I „ISO-KF“

DIN 28 403 z .B . DN 40 ISO-KF

Klammerflansche ISO 1609 „ISO-K“

DIN 28 404 z .B . DN 100 ISO-K

Festflansche/ ISO 1609 „ISO-F“

Überwurfflansch DIN 28 404 „F“ für Festflansch

mit Sprengring z .B . DN 250 ISO-F

Bei Schieberventilen mit CF-Flanschen ist Folgendes zu beachten: Die Bezeichnung DN 35 CF für UHV-Flansche änderte sich in DN 40 CF bei gleichen Dichtparameter, ebenso bei DN 150 CF in DN 160 CF .

Vorteile für den Anwender

- Kompakte Bauweise

- Integrale Leckrate kleiner als 10-8 mbar l · s-1

- FPM-gedichtet

- Einsatzbereich bis 2000 mbar

- In beide Richtungen dicht 2)

- Eckmaße sind kompatibel mit Leybold-Flansch-bauteilen gleicher Nennweite

- Funktionssicherheit in allen Einbau-lagen

- Optische Stellungsanzeige serien-mäßig (außer „micro“-Ventile)

- Elektrischer Stellungsgeber serien-mäßig (außer „micro“-Ventile)

- Betrieb elektromagnetischer ISO-KF-Ventile an Versorgungs-spannungen von 100 bis 230 V AC

- Der medienberührte Gehäuse-Innenraum ist durch Federbalg-Dichtung zur Atmosphäre schmier-mittelfrei abgedichtet

Alle weiteren technischen Daten so-wie mögliche Abweichungen von diesen Angaben sind bei den einzel-nen Ventil typen beschrieben.

Leybold bietet für die verschiedenen Anwen dungen und konstruktiven Son-derwünsche ihrer Kun den eine Reihe von Spezialventilen an:

- Vakuum-Sicherheitsventile SECUVAC (DN 16 ISO-KF bis DN 100 ISO-K)

- Belüftungsventile/Stromausfallfluter

- Gasschleusen/Verschluss-Ventile

- Dosierventile

- Kugelhähne (Durchgangsventil)

Zubehör

Alle zum Anschluss der Ventile be-nötigten Ver bin dungsele mente wie Zentrierringe, Klammern oder Spann ringe müssen separat bestellt werden (siehe dazu auch die Katalog-Teile „Flanschbauteile“ und „Durchfüh run gen“).

Werkstoffe

Ventilgehäuse und Innenteile sind aus ausgesuchten, vakuumtauglichen Materialien wie z .B . geschmiedetem Aluminium oder gegossenem rostfrei-em Edelstahl gefertigt .

Die Rohteile werden vor der Produk-tion einer 100%igen Eingangsprüfung unterzogen .

Die verwendeten Werkstoffe sind in den Tabellen am Ende des Abschnittes „Allgemeines“ beschrieben .

Dichtungen

Die Tabelle am Ende des Abschnittes „Allge meines“ zeigt die bei den Ven tilen eingesetzten Kopf- bzw . Teller-Dichtun-gen mit ihrer Kurz- bzw . chemischen Bezeichnung und ihrer thermischen Belastbarkeit .

Sonstige Materialien

Kunststoff: Polyamid 6 (PA 6) Grauguss: GG 20 (0 .6020) Messing: Ms 58 Messing (vernickelt): CuZn39Pb3 Nimonic Bronze Federstahl

1) Die genormte Nennweite (DN) entspricht an- nähernd dem lichten Durchmesser, ist jedoch mit ihm nicht unbedingt identisch .

2) Hochvakuum-Anlagen stellen sehr hohe Anfor - de rungen an die Dichtheit der eingesetzten Vakuum-Komponenten . Aus diesem Grund wird jedes einzelne Leybold- Ventil vor seiner Aus lieferung einer Helium- Leck prüfung unterzogen . Die Ventile gelten nur dann als dicht, wenn eine Gehäuse- und Teller- Dichtheit von kleiner 10-9 mbar · l · s-1 vorhan- den ist . Bei unseren Hochvakuum-Ventilen mit ISO-KF- und ISO-K-An schluss ist die Leckrate auch während der Betätigung kleiner als 10-9 mbar · l · s-1 . Dies bedeutet nichts anderes, als das bei ei - nem Gas durchlass mit der vorgenannten Leck- rate in einem Volumen von 1 Liter der Druck in 100 Jahren nur um etwa 3 mbar ansteigen würde .


Vent

ile

Materialbezeichnungen

Aluminiumlegierungen

Material-Nr. Kurzbezeichnung

DIN AA DIN

3 .0615 – AlMgSiPbF28

3 .2153 – G AlSi7Cu3

3 .2315 6081 AlMgSi1F28

3 .2341 – G AlSi5Mg wa

3 .2371 – G AlSi7Mg06

3 .2373 – G AlSi9Mg

3 .2381 – G AlSi10Mg wa

3 .3527 – AlMg2Mn0,8F20

Edelstähle (nicht rostend)


DIN AISI DIN

1 .4034 420 X 46 Cr 13

1 .4301 304 X5 CrNi 18 10

1 .4305 303 X10 CrNi 51 89

1 .4306 304 L X2 CrNi 18 10

1 .4308 – G-X6 CrNi 18 1

1 .4310 301 X12 CrNi 17 7

1 .4404 316 L X2 CrNiMo 17 13 3

1 .4435 316 L X2 CrNiMo 18 14 3

1 .4541 321 X10 CrNiTi 18 10

1 .4571 316 Ti X6 CrNiMoTi 17 12 2

Stähle


DIN DIN

1 .0388 St4/St14

1 .0425 H II

Dichtungsmaterialien

Kurzbezeichnung Chemische Bezeichnung Typischer Handelsname Ausheizbarkeit

FPM Fluor-Kautschuk Viton bis 150 °C

NBR Acrylnitril-Butadien-Kautschuk Perbunan bis 080 °C

PTFE Polytetrafluor-Äthylen Teflon bis 250 °C

EPDM Äthylen-Propylen-Dien-Kautschuk – bis 150 °C

Ventilbezeichnungskürzel

Kurzbezeichnung Bezeichnung

EMD Elektromagnetisches Durchgangsventil

EME Elektromagnetisches Eckventil

EPD Elektropneumatisches Durchgangsventil

EPE Elektropneumatisches Eckventil

MAN Manuelle Bedienung

PD Pneumatisches Durchgangsventil

PE Pneumatisches Eckventil


Notizen

2 3

5 6

7 8 9

1

4

21

8

6,5

27,5

ø35

8

34,5

66,1

Hub 2

M14x1

M14x1

16

Rohr ø6 x 0,5

Rohr ø1/4" x 0,731

DN 10 ISO-KF

26 14,5

SW 17

14,5

SW17

ø30h11

18

18

Klein-Ventile micro

Leybold micro-Ventile sind mit vier verschiedenen Antriebsarten, zwei Ge häuse typen und drei Adaptern ver-fügbar .

Antriebsarten

- Manuell (1)

- Pneumatisch (2)

- Elektropneumatisch (3)

- Elektromagnetisch (4)

Gehäusetypen

- Eckventil (5)

- Durchgangsventil (6)

sowie Adapter

- Flansch DN 10 ISO-KF (7)

- Rohr 1/4" (8)

- Rohr 6 mm (9)

Technischer Hinweis

micro-Ventile werden ohne Adapter ausgeliefert .

Die Adapter müssen zusätzlich bestellt werden .

Maßzeichnung des micro MAN Anschlussmaße für Klein-Ventile micro

Produkte

Übersicht


Vent

ile

6,5

6,5

30,5

29

29

8

21

59,5

ø4

20

16

M14x1

M14x1

8

6,5

ø4

32

29

6,5

8

21

64

10,3

16

M14x1

M14x1

29,5

5003,5

8

6,5M14x1

25/

2

6,5

6,5

302

500

88

SW19

500

16

8

21

8

82

M14x1 M14x1

76

M14x1

/

8

6,5

30/

25/


Maßzeichnung des pneumatisch betätigten Klein-Ventils micro

Maßzeichnung der elektropneumatisch betätigten Klein-Ventile micro

Maßzeichnung der elektromagnetisch betätigten Klein-Ventile micro

Eck- und Durchgangsventile,federbalggedichtet, diverse Antriebsarten


- Kleine Bauform

- Hoher Leitwert im molekularen Bereich

- Hohe Lebensdauer von > 2 Mio . Schaltzyklen

- Hohe Schaltfrequenz

- Schutzart IP 65

Typische Anwendungen

- Gashandling-Anlagen in Produk-tionsmaschinen

- Analysegeräte der neuen Gene ration

Technische Daten KleinVentile micro

Manuell Elektropneumatisch Pneumatisch Elektromagnetisch

Nennweite mm

Integrale Leckrate mbar · l/s

Schaltzyklen

Max. Differenzdruck bar abs.

Schließzeit ms

Öffnungszeit ms

Max. Schaltfrequenz min-1

Leitwert, molekular l/s

Versorgungsspannung V DC

Max. Leistung W

Werkstoff Gehäuse

Innenteil

Dichtungen

Antrieb

5 5 5 5

10-9 10-9 10-9 10-9

– 5 Millionen 5 Millionen 2 Millionen

4 3 3 1

– 35 35 7

– 35 35 30

– 150 150 300

0,4 0,4 0,4 0,3

– 24 (mit Steuerventil) – 24

– 1 – 10

Edelstahl Edelstahl (1 .4301) Edelstahl (1 .4301) Edelstahl (1 .4301) (1 .4301)

Edelstahl Edelstahl (1 .4301) Edelstahl (1 .4301) Edelstahl (1 .4301) (1 .4301)

O-Ringe O-Ringe aus FPM O-Ringe aus FPM O-Ringe aus FPM aus FPM

Aluminium/ Aluminium anodisiert Aluminium Edelstahl 1 .4105 Kunststoff anodisiert


Vent

ile

Bestelldaten

Kat.Nr. Kat.Nr. Kat.Nr. Kat.Nr.

284 48 – – –

– – 284 40 –

– 284 41 – –

– – 284 47 –

– – – 284 44

– – – 284 45

– – – 284 46

284 50 284 50 284 50 284 50 284 51 284 51 284 51 284 51 284 52 284 52 284 52 284 52

ES 105 80 105 81 105 81 108 82

105 85 105 82 105 82 –

– – – 105 83

– – – 105 84

Eckventile Typ

Manuell MAN

Ohne Steuerventil,

normal geschlossen PE

Mit Steuerventil,

normal geschlossen EPE

Ohne Steuerventil, normal geschlossen,

mit Flanschen DN 10 ISO-KF PE

Elektromagnetisch,

normal geschlossen EME

Durchgangsventile

Elektromagnetisch,

normal geschlossen EMD

Elektromagnetisch,

normal offen EMD

Adapter (1 Stück) Flansch DN 10 ISO-KF Rohr 1/4" Rohr 6 mm

Ersatzteile

Dichtungssatz

Ersatzteil Kit

Ersatzteilsatz für micro EME

Ersatzteilsatz für micro EMD

KleinVentile micro

Manuell Elektropneumatisch Pneumatisch Elektromagnetisch


Notizen


Vent

ile

Leybold ISO-KF Ventile sind mit vier verschiedenen Antriebs arten und vier Gehäusetypen in den Nennweiten DN 16, 25, 40 und 50 ISO-KF verfügbar .

Antriebsarten

- Drehknopf mit Federbalg-Dichtung

- Pneumatisch mit Federbalg-Dichtung

- Elektropneumatisch mit Federbalg-Dichtung

- Elektromagnetisch

Gehäusetypen

- Eckventil, Aluminium-Gehäuse

- Eckventil, Edelstahl-Gehäuse

- Durchgangsventil, Aluminium-Gehäuse

- Durchgangsventil, Edelstahl-GehäuseAbkürzungen für balggedich

tete Ventile

B Balggedichtet

A Eck(ventil)

I Durchgangs(ventil)

V Ventil

M Hand-Antrieb

P Pneumatischer Antrieb (ohne Vorsteuer-Ventil)

EP Elektropneumatischer Antrieb (mit Vorsteuer-Ventil)

EM Elektromagnetischer Antrieb

AL Aluminium-Gehäuse

SS Edelstahl-Gehäuse

BAV ... EP AL ...

Verwendete Materialien

Aluminium-Version Edelstahl-Version Gehäuse Aluminium (AlMgSi) Edelstahl (AISI 304) EN-AW 6060 1) Innenteil 1) Aluminium (AlMgSi) Edelstahl (AISI 304) Antrieb 2) Aluminium Aluminium Ventil-Teller AISI 316L AISI 316L Balg AISI 316 AISI 316 Kopf und Teller O-Ring Viton Viton Handrad Kunststoff Kunststoff Lagemeldehaube 2) Kunststoff Kunststoff Gehäuseverkleidung 1) Kunststoff Kunststoff

1) Nur bei elektromagnetischer Version2) Nur bei pneumatischer und elektropneumatischer Version

7

3

6

1

5

1 1

2

3

5

6

7

8

2

4

8

5

1

1

Ventile mit ISO-KF Flansch

4

5

Übersicht

V

Z

Q

D

A

B

B

A

L/L1


Bestelldaten

Maßzeichnung der Eckventile mit Federbalg, Hand-Antrieb

Eckventile, federbalggedichtet, Hand-Antrieb


Ventil mit Drehknopf- Ermöglicht auch reduziertes Belüften

von Anlagen

- Als Grob-Dosierventil zur Durchfluss-regelung von Hand geeignet

- Bis zu einem Differenzdruck von 2 bar in beiden Richtungen dicht und zu öffnen

- Einbaulage beliebig

Technische Daten DN 16 ISOKF DN 25 ISOKF DN 40 ISOKF DN 50 ISOKF

Aluminium Edelstahl Aluminium Edelstahl Aluminium Edelstahl Aluminium EdelstahlStandzeit Schaltungen

Leitwert bei Molekularströmung l · s-1

Leckrate mbar · l · s-1

Arbeits- bzw. Druckbereich mbar

Differenzdruck, Schließ- / Öffnungsrichtung bar

Umgebungs- / Betriebstemperatur, max. °C

Dichtung

Gewicht kg

30 .000 30 .000 30 .000 30 .000 30 .000 30 .000 30 .000 30 .000

5 5 14 14 45 45 50 50

1 · 10-9 1 · 10-9 1 · 10-9 1 · 10-9 1 · 10-9 1 · 10-9 1 · 10-9 1 · 10-9

10-8 - 5000 10-8 - 5000 10-8 - 5000 10-8 - 5000 10-8 - 5000 10-8 - 5000 10-8 - 5000 10-8 - 5000

5 / 2 5 / 2 5 / 2 5 / 2 5 / 2 5 / 2 5 / 2 5 / 2

80 80 80 80 80 80 80 80

FPM FPM FPM FPM FPM FPM FPM FPM

0,3 0,3 0,4 0,5 1,0 1,1 1,4 1,5

Maßtabelle ISO-KF 16 25 40 50

mm 40 50 65 70

mm 40 48 65 77

mm 16 25 40 50

mm 64,9 60,9 94,3 101,1

mm 67,4 64,3 97,3 104,1

mm 46,0 44,0 73,5 85,5

mm 40 40 60 60

mm 3,6 4,7 7,9 9,3

Kat.Nr. Kat.Nr. Kat.Nr. Kat.Nr. Kat.Nr. Kat.Nr. Kat.Nr. Kat.Nr.

215 375 – 215 376 – 215 377 – 215 378 –

215 384

V01 – – – – – – –

– 215 383 – 215 385 – 215 386 – 215 387

E 242 292 E 242 292 E 233 014 E 233 014 E 229 542 E 229 542 E 244 980 E 244 980

E 245 912 E 245 912 E 245 912 E 245 912 E 245 913 E 245 913 E 245 913 E 245 913

EK 242 324 EK 242 324 EK 241 077 EK 241 077 EK 241 079 EK 241 079 EK 245 556 EK 245 556

Eckventil, Drehknopf BAV ... M AL

BAV ... M AL EPDM

BAV ... M SS

Ersatzteile Balgdurchführung

Griff

Dichtungssatz besteht aus Tellerdichtung (O-Ring) und Kopfdichtung (O-Ring)

DN 16 ISOKF DN 25 ISOKF DN 40 ISOKF DN 50 ISOKF

Aluminium Edelstahl Aluminium Edelstahl Aluminium Edelstahl Aluminium Edelstahl

DN

A

B

D

L 1)

L1 2)

Q

V

Z 3)

1) Aluminium-Version2) Edelstahl-Version3) Tellerhub ist größer durch Übersetzung

AnschlussPiktogrammeVentilsitzseite

benötigte Ausbauhöhe

Mechanische Stellungsanzeige

Lecksuchbohrung

Ø16Ø16

92,7

463,6

80

40

40

ØV

B

Z

Q

A

D D

L/L1


Vent

ile

Durchgangsventil, Drehknopf BIV ... M AL

BIV ... M SS


Griff


Bestelldaten

Maßzeichnung der Durchgangsventile mit Federbalg, Hand-Antrieb; rechts DN 16 ISO-KF

Durchgangsventile, federbalggedichtet, Hand-Antrieb


Ventil mit Drehknopf- Ermöglicht auch reduziertes Belüften

von Anlagen

- Als Grobdosierventil zur Durchfluss -regelung von Hand geeignet

- Bis zu einem Differenzdruck von 2 bar in beiden Richtungen dicht und zu öffnen

- Einbaulage beliebig


Aluminium Edelstahl Aluminium Edelstahl Aluminium Edelstahl AluminiumStandzeit Schaltungen






Dichtung

Gewicht kg

30 .000 30 .000 30 .000 30 .000 30 .000 30 .000 30 .000

5 5 14 14 45 45 50

1 · 10-9 1 · 10-9 1 · 10-9 1 · 10-9 1 · 10-9 1 · 10-9 1 · 10-9

10-8 - 5000 10-8 - 5000 10-8 - 5000 10-8 - 5000 10-8 - 5000 10-8 - 5000 10-8 - 5000

5 / 2 5 / 2 5 / 2 5 / 2 5 / 2 5 / 2 5 / 2

80 80 80 80 80 80 80

FPM FPM FPM FPM FPM FPM FPM

0,4 0,8 0,5 0,5 1,3 1,2 2,2

Kat.Nr. Kat.Nr. Kat.Nr. Kat.Nr. Kat.Nr. Kat.Nr. Kat.Nr.

215 313 – 215 388 – 215 389 – 215 390

– 215 379 – 215 374 – 215 381 –

E 242 292 E 242 292 E 233 014 E 233 014 E 229 542 E 229 542 E 244 980

E 245 912 E 245 912 E 245 912 E 245 912 E 245 913 E 245 913 E 245 913

EK 242 324 EK 242 324 EK 241 077 EK 241 077 EK 241 079 EK 241 079 EK 245 556


Aluminium Edelstahl Aluminium Edelstahl Aluminium Edelstahl Aluminium

Maßtabelle

DN

A

B

D

L 1)

L1 2)

Q

V

Z 3)

1) Aluminium-Version2) Edelstahl-Version3) Tellerhub ist größer durch Übersetzung

ISO-KF 16 25 40 50

mm 80 100 130 178

mm 40 48 65 77

mm 16 25 40 50

mm 90,6 97 143,5 167,2

mm 92,8 105,8 152,5 172,1

mm 46 44 73,5 85,5

mm 40 40 60 60

mm 3,6 4,7 7,9 9,3




Lecksuchbohrung

33,7

Ø4

18,3 Q

Z27,2

D

L/L1

A

A

E/E1

35,4

F

B

23,5 B64,3 (DN40/50)57,3 (DN16/25)


Maßzeichnung der Eckventile, mit angebautem Vorsteuerventil

Eckventile, federbalggedichtet, (elektro-)pneumatischer Antrieb



- Kurze Öffnungs- und Schließzeiten

- Optische Stellungsanzeige serien-mäßig

- Sehr niedrige Leckrate und unemp-findlich gegenüber Partikel durch Federbalg-Abdich tung . Bei Druck-luftausfall stets ge schlossen

- Elektrischer Stellungsgeber serien-mäßig

- Serienmäßig mit und ohne Vor-steuer ventil

- Schutzart IP 50

- Normgerechter elektrischer und Druckluft anschluss

- Ventile werden durch mechanische Federkraft geschlossen

- Einbaulage und Strömungsrichtung beliebig

Maßtabelle

ISO-KF 16 25 40 50

mm 40 50 65 70

mm 40 48 65 77

mm 16 25 40 50

mm 65,2 60,6 87,7 96,0

mm 67,7 64,0 90,7 99,0

mm 46,0 44,0 73,5 85,5

mm 9 13 19 20

mm 2,0 4,0 9,5 10,0

mm 35,6 30,6 51,6 58,4

mm 38,1 34,0 54,6 61,4

DN

A

B

D

L 1)

L1 2)

Q

F

Z

E 1)

E1 2)

1) Aluminium-Version2) Edelstahl-Version




Lecksuchbohrung

elektrischer Anschluss

Pressluftanschluss


Vent

ile

Bestelldaten


Aluminium Edelstahl Aluminium Edelstahl Aluminium Edelstahl Aluminium EdelstahlStandzeit Schaltungen



Arbeits- / bzw. Druckbereich mbar

Differenzdruck, Schließ- und Öffnungsrichtung bar


Dichtung

Schließ- / Öffnungszeit ms

Schaltfrequenz 1/min

Stellungsgeber, Schaltleistung Spannung V AC / V DC Strom mA Leistung W Steuerventil V DC / W

Druckluft, Überdruck bar

Volumen Druckluftzylinder l

Druckluftanschluss mm

Gewicht, mit Steuerventil kg

10 Millionen 10 Millionen 10 Millionen 10 Millionen 10 Millionen 10 Millionen 10 Millionen 10 Millionen

5 5 14 14 45 45 80 80

1 · 10-9 1 · 10-9 1 · 10-9 1 · 10-9 1 · 10-9 1 · 10-9 1 · 10-9 1 · 10-9

10-8 - 5000 10-8 - 5000 10-8 - 5000 10-8 - 5000 10-8 - 5000 10-8 - 5000 10-8 - 5000 10-8 - 5000

5 / 2 5 / 2 5 / 2 5 / 2 5 / 2 5 / 2 5 / 2 5 / 2

80 80 80 80 80 80 80 80

FPM FPM FPM FPM FPM FPM FPM FPM

100 / 100 100 / 100 210 / 120 210 / 120 550 / 250 550 / 250 650 / 400 650 / 400

100 100 100 100 100 100 100 100

≤ 50 ≤ 50 ≤ 50 ≤ 50 ≤ 50 ≤ 50 ≤ 50 ≤ 50

5 - 100 5 - 100 5 - 100 5 - 100 5 - 100 5 - 100 5 - 100 5 - 100

≤ 1,0 ≤ 1,0 ≤ 1,0 ≤ 1,0 ≤ 1,0 ≤ 1,0 ≤ 1,0 ≤ 1,0

24 / 2,5 24 / 2,5 24 / 2,5 24 / 2,5 24 / 2,5 24 / 2,5 24 / 2,5 24 / 2,5

4 bis 8 4 bis 8 4 bis 8 4 bis 8 4 bis 8 4 bis 8 4 bis 8 4 bis 8

0,004 0,004 0,011 0,011 0,035 0,035 0,047 0,047

4 und 6 4 und 6 4 und 6 4 und 6 4 und 6 4 und 6 4 und 6 4 und 6

0,3 0,3 0,4 0,5 1,0 1,1 1 .4 1 .5

Kat.Nr. Kat.Nr. Kat.Nr. Kat.Nr. Kat.Nr. Kat.Nr. Kat.Nr. Kat.Nr.

215 315 – 215 316 – 215 317 – 215 318

– 215 335 – 215 336 – 215 337 – 215 338

215 319 – 215 320 – 215 321 – 215 322 –

– 215 339 – 215 340 – 215 341 – 215 342

215 323 – 215 324 – 215 325 – 215 326 –

215 395 215 394

V01 – V01 – 215 130 – – –

– 215 347 – 215 348 – 215 349 – 215 350

215 327 – 215 328 – 215 329 – 215 330 –

– 215 351 – 215 352 – 215 353 – 215 354

215 331 – 215 332 – 215 333 – 215 334 –

– 215 343 – 215 344 – 215 345 – 215 346

E 242 292 E 242 292 E 233 014 E 233 014 E 229 542 E 229 542 E 244 980 E 244 980

EK 242 324 EK 242 324 EK 241 077 EK 241 077 EK 241 079 EK 241 079 EK 245 556 EK 245 556

599998003 599998003 599998003 599998003 599998003 599998003 599998003 599998003

Eckventil, federbalggedichtet BAV ... P AL

BAV ... P SS

BAV ... EP AL 24 V AC

BAV ... EP SS 24 V AC

BAV ... EP AL 24 V DC

BAV ... EP AL 24 V DC, stromlos offen

BAV ... EP SS 24 V DC







Gegenstecker (im Lieferumfang des Ventils enthalten)


Aluminium Edelstahl Aluminium Edelstahl Aluminium Edelstahl Aluminium Edelstahl

1)

46

120,2

27,23

18,333,7

39,4

Ø4

Ø16Ø16

80

89,4

40

4061

E

Ø4

35,4

B33,7

18,3

Q

Z

27,2M/M1

L/L1

D D

A

1)


Maßzeichnung der Durchgangsventilemit angebautem Vorsteuerventil (EP)ohne Vorsteuerventil (P)(oben DN 16 ISO-KF, Edelstahl)1) Vorsteuerventil

Durchgangsventile, federbalggedichtet, (elektro-)pneumatischer Antrieb




- Optische Stellungsanzeige serien-mäßig

- Sehr niedrige Leckrate und unempfindlich gegenüber Partikel durch Federbalg-Abdich tung . Bei Druckluftausfall stets ge schlossen

- Elektrischer Stellungsgeber serien-mäßig

- Serienmäßig mit und ohne Vor- steuerventil

- Schutzart IP 50

- Normgerechter elektrischer und Druckluft anschluss


Maßtabelle ISO-KF 16 25 40 50

mm 80 100 130 178

mm 40 48 65 77

mm 16 25 40 50

mm 91,5 100,3 140,9 170,1

mm 46,0 44,0 73,5 85,5

mm 29,6 30,0 36,1 37,6

mm 2,0 4,0 9,5 10,0

mm 120 125 160 185

DN

A

B

D

L

Q

E

Z

M




Lecksuchbohrung

elektrischer Anschluss

Pressluftanschluss


Vent

ile

Bestelldaten


Aluminium Edelstahl Aluminium Edelstahl Aluminium Edelstahl AluminiumStandzeit Schaltungen




Differenzdruck,

Schließ- und Öffnungsrichtung bar

Umgebungs- / Betriebstemperatur,

max. °C

Dichtung

Schließ- / Öffnungszeit ms


Stellungsgeber, Schaltleistung

Spannung V AC / V DC

Strom mA

Leistung W

Steuerventil V DC / W


Volumen Druckluftzylinder l


Gewicht, mit Steuerventil kg

10 Millionen 10 Millionen 10 Millionen 10 Millionen 10 Millionen 10 Millionen 10 Millionen

5 5 14 14 45 45 80

1 · 10-9 1 · 10-9 1 · 10-9 1 · 10-9 1 · 10-9 1 · 10-9 1 · 10-9

10-8 - 5000 10-8 - 5000 10-8 - 5000 10-8 - 5000 10-8 - 5000 10-8 - 5000 10-8 - 5000

5 / 2 5 / 2 5 / 2 5 / 2 5 / 2 5 / 2 5 / 2

80 80 80 80 80 80 80

FPM FPM FPM FPM FPM FPM FPM

100 / 100 100 / 100 210 / 120 210 / 120 550 / 250 550 / 250 650 / 400

100 100 100 100 100 100 100

≤ 50 ≤ 50 ≤ 50 ≤ 50 ≤ 50 ≤ 50 ≤ 50

5 - 100 5 - 100 5 - 100 5 - 100 5 - 100 5 - 100 5 - 100

≤ 1,0 ≤ 1,0 ≤ 1,0 ≤ 1,0 ≤ 1,0 ≤ 1,0 ≤ 1,0

24 / 2,5 24 / 2,5 24 / 2,5 24 / 2,5 24 / 2,5 24 / 2,5 24 / 2,5

4 bis 8 4 bis 8 4 bis 8 4 bis 8 4 bis 8 4 bis 8 4 bis 8

0,004 0,004 0,011 0,011 0,035 0,035 0,047

4 und 6 4 und 6 4 und 6 4 und 6 4 und 6 4 und 6 4 und 6

0,3 0,8 0,5 0,5 1,3 1,2 2,2

Kat.Nr. Kat.Nr. Kat.Nr. Kat.Nr. Kat.Nr. Kat.Nr. Kat.Nr.

– 215 355 – 215 356 – 215 357 –

– 215 359 – 215 360 – 215 361 –

215 314 – 215 391 – 215 392 – 215 393

– 215 367 – 215 368 – 215 369 –

– 215 371 – 215 372 – 215 373 –

– 215 363 – 215 364 – 215 365 –

E 242 292 E 242 292 E 233 014 E 233 014 E 229 542 E 229 542 E 244 980

EK 242 324 EK 242 324 EK 241 077 EK 241 077 EK 241 079 EK 241 079 EK 245 556

599998003 599998003 599998003 599998003 599998003 599998003 599998003

Durchgangsventil, federbalggedichtet

BIV ... P SS

BIV ... EP SS 24 V AC

BIV ... EP AL 24 V DC

BIV ... EP SS 24 V DC



Ersatzteile

Balgdurchführung

Dichtungssatz besteht aus

Tellerdichtung (O-Ring) und

Kopfdichtung (O-Ring)

Gegenstecker

(im Lieferumfang des Ventils enthalten)


Aluminium Edelstahl Aluminium Edelstahl Aluminium Edelstahl Aluminium

V

Ø60

D

A

A

L/L1

Q

B

B


Maßzeichnung der elektromagnetischen Eckventile

Eckventile, elektromagnetischer Antrieb

Elektromagnetisch betriebene Ventile eignen sich besonders dann für Vakuumanlagen, wenn eine Fernsteue-rung der Ventile notwendig ist, aber kein Druckluftanschluss zur Verfügung steht .


- Betriebsart wählbar: - ferngesteuert durch SPS oder PC - Direktbetrieb durch Ein- und Aus- schalten der Versorgungsspan - nung

- Gut sichtbare, eindeutige optische Stellungs anzeige: geöffnet (grüne LED) und geschlossen (orange LED)

- Integrierter galvanisch entkoppelter Lagemelder (Optokoppler für 48 V DC)

- Optische Fehleranzeige (LEDs blin-ken)

- Schutzart IP 40

- Selbsttätig federschließend, daher bei Strom ausfall stets geschlossen

- Niedrige Betriebstemperatur


MaßtabelleDN

A

B

D

L

L1

Q

V

ISO-KF 16 25 40

mm 40 50 65

mm 40 48 65

mm 16 25 40

mm 100 93 114

mm 102,5 103,4 117,0

mm 46,0 44,0 73,5

mm 106,5 116,5 131,5


Benötigte Ausbauhöhe

Lecksuchbohrung

Elektrischer Anschluss


Vent

ile

Bestelldaten

Technische Daten DN 16 ISOKF DN 25 ISOKF DN 40 ISOKF

Standzeit Schaltungen




Differenzdruck,

Schließ- und Öffnungsrichtung bar

Umgebungs- / Betriebstemperatur,

min. / max. °C

Öffnungs- / Schließzeiten s


bei Umgebungstemperatur °C

Belastbarkeit, max. V AC/DC

Belastbarkeit des

Ventilstellungsgebers, max. mA

Leistungsaufnahme, max.

Anzug W

Halten W

Max. Versorgungsspannung V AC

Frequenz Hz

Schutzart IP

Gewicht kg

200 .000 200 .000 200 .000

5 14 45

< 1 · 10-9 < 1 · 10-9 < 1 · 10-9

10-8 bis 2 bar 10-8 bis 2 bar 10-8 bis 2 bar

≤ 2 ≤ 2 ≤ 2

0 bis +50 0 bis +50 0 bis +50

0,2 0,2 0,2

15 15 15

20 20 20

48 48 48

500 500 500

700 (~100 ms) 700 (~100 ms) 700 (~100 ms)

10 10 10

100 - 115 / 200 - 240 100 - 115 / 200 - 240 100 - 115 / 200 - 240

50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz

40 40 40

1,3 1,5 1,8

Kat.Nr. Kat.Nr. Kat.Nr.

Aluminium Edelstahl

215 004 V02 215 064 V02 215 124 V02

215 004 V01 215 064 V01 215 124 V01

215 006 V02 215 079 V02 215 134 V02

215 006 V01 215 079 V01 215 134 V01

EK 396 788 EK 388 499 EK 388 450

Eckventil, federbalggedichtet,

elektromagnetischer Antrieb,

mikroprozessorgesteuert

BAV ... EM AL

100-120 V, 50/60 Hz

200-240 V, 50/60 Hz

BAV ... EM SS

100-120 V, 50/60 Hz

200-240 V, 50/60 Hz

Ersatzteile

Dichtungssatz

DN 16 ISOKF DN 25 ISOKF DN 40 ISOKF


Notizen


Vent

ile

1

3 4

2

Leybold-Ventile mit ISO-K Flanschen gibt es in zwei An triebs arten und zwei Gehäusetypen .

Antriebsarten- Handrad (1)

- Elektropneumatischer Antrieb (2)

Gehäusetypen- Eckventile Aluminium-Gehäuse (3)- Eckventile Edelstahl-Gehäuse (4)

Nennweiten DN 63 ISO-K und DN 100 ISO-K in Aluminium und rost-freiem Edelstahl, DN 160 ISO-K nur in Aluminium . Nennweite DN 100 ISO-K nur mit pneumatischem oder elektropneumati-schem Antrieb


- Volle Austauschbarkeit der Bau-gruppen

- Zwei Antriebsarten

- Zwei Gehäusetypen

- Normgerechte Nennweiten nach DIN 28 404 und ISO 1609

- Vereinfachte Ersatzteil-Lagerhaltung

AnschlussPiktogramme

Stellungsgeberanschluss

Druckluftanschluss

Elektroanschluss

Optische Stellungsanzeige

Eckventile mit ISO-K Flansch

Übersicht

105

112

88 � 0,5

Ø 63

Ø 95

88 � 0,5

107,6

141,8

Ø 63

Ø 95


Maßzeichnung der Eckventile mit Federbalg, Hand-Antrieb, Maße in mm



- Abnehmbares Handrad

- Modulare Konstruktion

- Robust und kompakt

- Einfache Reinigung

- Behutsames Belüften von Anlagen

- Dicht in beiden Richtungen bis zu einem Differenzdruck von 1,5 bar

- Leichtgängiger Handbetrieb, der ohne große Anstrengung vakuum-dicht absperrt

- Eignung als Grob-Dosierventil zur Durchflussregelung


Diese universell einsetzbaren Ventile eignen sich besonders für Anlagen, für die eine Fernsteuerung nicht zwingend notwendig ist . Zudem können die Ventile zu Wartungszwecken von Vor-vakuum-Pumpen oder Kondensat-Abscheidern eingesetzt werden .

Technische Daten DN 63 ISOK





Differenzdruck am Ventilteller, Schließ- / Öffnungsrichtung bar

Öffnen gegen Differenzdruck bar


Dichtung

Gewicht Aluminium-Gehäuse kg Edelstahl-Gehäuse kg

Werkstoff Gehäuse Teller Balg

3 Millionen

160

1 · 10-9

1 · 10-8 bis 5000 (abs .)

< 5 / < 2

< 1 in beiden Richtungen

80

FPM (Viton)

2,9 2,8

Aluminium (AlMgSi) oder Edelstahl AISI 304 (1 .4301, 1 .4305)

Edelstahl AISI 316L (1 .4404,1 .4435) Edelstahl AISI 316L (1 .4404,1 .4435), 316 Ti (1 .4571)

Bestelldaten DN 63 ISOK

Eckventil, federbalggedichtet, Hand-Antrieb Aluminium-Gehäuse Edelstahl-Gehäuse

Ersatzteile Dichtungssatz Balgdurchführung

Kat.Nr.

107 80 V01 107 83 V01

EK 357 196 EK 248 442


Vent

ile

21

354,9

108

178

108

197

DN 100 ISO-K

DN

100

ISO

-K

Maßezeichnung (alle Maße in mm)



- Behutsames Belüften von Anlagen

- Dicht in beiden Richtungen bis zu einem Differenzdruck von 2 bar

- Leichtgängiger Handbetrieb, der ohne große Anstrengung vakuum-dicht absperrt

- Eignung als Grob-Dosierventil zur Durchflussregelung


Diese universell einsetzbaren Ventile eignen sich besonders für kleinere An -lagen, für die eine Fernsteuerung nicht zwingend ist . Sie können aber auch in







Öffnen gegen Differenzdruck auf Ventilteller bar


Dichtung

Gewicht Aluminium-Gehäuse kg Edelstahl-Gehäuse kg

Werkstoff Gehäuse Antrieb Platte Federbalg Handrad

10 .000

440

1 · 10-9

1 · 10-8 - 2000

Öffnungsrichtung ≤ 1,2 Schließrichtung ≤ 2

≤ 1

80

FPM

6,0 6,5

Aluminium EN AL 42000 oder Edelstahl (1 .4404)

Aluminium Edelstahl (1 .4404) Edelstahl (1 .4571)

Plastik

Bestelldaten DN 100 ISOK

Eckventil, federbalggedichtet, Hand-Antrieb Aluminium-Gehäuse Edelstahl-Gehäuse

Ersatzteile Dichtungssatz Innenteil

Kat.Nr.

107 81 V01 107 84 V01

ES 215 271

215 274

größeren Anlagen eingebaut werden, wo zu Wartungszwecken Vor vakuum-Pumpen oder Kondensat-Abscheider und ähnliche Einrichtungen in größeren Intervallen vom Wartungspersonal ab -gesperrt werden .


245.5

109

41,211,3

Ø 63

88

189,5

123

123

23,5

49

35

71,4

Ø 6

10533,7 18,3

DN 63 ISO-K DN 100 ISO-K DN 160 ISO-K

Maßzeichnung (alle Maße in mm)

Eckventile, federbalggedichtet, elektropneumatischer Antrieb


- Pneumatisches oder elektropneu-matisches Öffnen


- Optische Stellungsanzeige

- Elektrischer Stellungsgeber

- Serienmäßig mit und ohne Vor-steuerventil

- Schutzart IP 50



Elektropneumatisch betriebene Eck-ventile finden in automatischen Vaku um anlagen Anwen dung, die elek-trisch gesteuert werden .

245,5

Ø 102

Ø 130

108 � 0,5

Ø 102

Ø 130

170

197

Ø 178

108 � 0,5

PneumaticExhaust

7 st

roke

7 st

roke

248,7

Ø 153

Ø 180

138 � 0,5

Ø 153

Ø 180

248

PneumaticExhaust

Ø 220

138 � 0,5

200

Eckventile mit Federbalg, elektropneumatischer Antrieb, Edelstahl, DN 100 ISO-K (links), Aluminium DN 160 ISO-K (rechts)


Vent

ile

DN 63 ISOK DN 100 ISOK DN 160 ISOKBestelldaten

Technische Daten DN 63 ISOK DN 100 ISOK DN 160 ISOK

Standzeit / Zyklen Mio





Öffnen gegen Differenzdruck auf Ventilteller bar

Umgebungs- / Betriebstemperatur °C

Dichtung

Schließ- / Öffnungszeit s


Stellungsgeber, Belastbarkeit V AC / DC mA


Druckluftvolumen cm3


Gewicht mit Steuerventil Aluminium-Gehäuse kg Edelstahl-Gehäuse kg

1 1 1

160 440 1000

1 · 10-9 1 · 10-9 1 · 10-9

1 · 10-8 - 5000 (abs .) 1 · 10-8 - 2000 (abs .) 1 · 10-8 - 2000 (abs .)

≤ 4 / ≤ 1,2 ≤ 2 / ≤ 1,2 ≤ 2 / ≤ 1,2

≤ 1 ≤ 1 ≤ 1

80 80 80

FPM (Viton) FPM (Viton) FPM (Viton)

≤ 1 ≤ 1 ≤ 1,5

≤ 30 ≤ 30 ≤ 20

≤ 50 ≤50 ≤ 50 5 - 100 5 - 100 5 - 100

4 bis 8 4,5 bis 7 4,5 bis 7

112 330 650

6 6 6

3,9 9 14 3,7 9 14


107 90 V01 107 91 V01 107 92 V01 107 93 V01 107 94 V01 –

108 00 V01 108 01 V01 108 02 V01 108 10 V01 108 11 V01 –

108 03 V01 108 04 V01 108 05 V01 108 13 V01 108 14 V01 –

108 20 V01 108 21 V01 108 22 V01 – – –

108 25 V01 108 26 V01 108 27 V01 108 35 V01 108 36 V01 –

EK 357 196 ES 215 271 ES 215 291 E 248 442 E 215 273 E 215 293

599998003 599998003 599998003

Eckventil, federbalggedichtet, elektropneumatischer Antrieb, ohne Steuerventil Aluminium-Gehäuse Edelstahl-Gehäuse

Ventil mit Steuerventil 24 V DC Aluminium-Gehäuse Edelstahl-Gehäuse

Ventil mit Steuerventil 24 V AC Aluminium-Gehäuse Edelstahl-Gehäuse

Ventil mit Steuerventil 100 - 115 V AC Aluminium-Gehäuse Edelstahl-Gehäuse

Ventil mit Steuerventil 200 - 240 V AC Aluminium-Gehäuse Edelstahl-Gehäuse

Ersatzteile Dichtungs-Satz Balgdurchführung

Gegenstecker (im Lieferumfang des Ventils enthalten)

DN

DN1

h

c

b

ed

h1

f

a a3

DN

1a

DN1

DN3

DN2

a2

a4

Antrieb um90° versetztgezeichnet


Maßzeichnung der Eckventile mit Federbalg

Eckventil, federbalggedichtet, elektropneumatischer Antrieb


- Keine Vibrationen beim Öffnen und Schließen des Ventils

- Niedrige Leckrate (< 10-9 mbar · l · s-1)

- Antrieb weitgehend unempfindlich gegen Partikel

- Berührungslose Ventilstellungs-geber zur sicheren Anzeige für die Ventilstellung (geöffnet/geschlossen)

- Große Auswahl von verschiedenen Magnet spulen für alle gängigen Steuerspannungen

- Zusätzlicher Flansch für Bypass- Leitungen und den Anschluss von Vakuum-Messgeräten (siehe Katalog-Teil „Vakuum messen, steuern, regeln“)

Maßtabelle

DN

h, ca.

a

a1

a2, a4

a3

h1

DN1, für Bypass 1

DN2, für Bypass 2

DN3, für Messanschluss

b

c

d

e

f

Hub

Hub/DN 1)

1) z .B . Hub = 1/4 DN

DN 250 ISO-K

mm 261

mm 650

mm 250

mm 200

mm 208

mm 205

mm 163

50 ISO-KF

40 ISO-KF

16 ISO-KF

mm 69,5

mm 218

mm 250

mm 58

mm 363

mm 62,5

mm 1/4

Eckventile dieser Nennweite finden ihre Anwen dung z .B . in der Metallurgie, großen Beschich tungsanlagen oder Bereichen der Weltraumsimulation .


Vent

ile


Standzeit, vertikal ca. Schaltungen



Öffnungs- / Schließzeit,

bei 6 bar Druckluft s


Schlauch-Durchmeser mm

Druckluftzylinder, Volumen cm3

max. Umgebungstemperatur °C

Gewicht kg

Versorgungsspannung V

Werkstoff

Gehäuse, Ventilteller

Antrieb / Druckluftzylinder

Kolbenstange, Zwischenflansch

Dichtungen

Deckel

Haube

1 · 106

2700

1 · 10-9

6 / 6

4 bis 8

6 x 1

2100

40

66

Diverse Spannungen möglich;

siehe Abschnitt „Spezialventile mit ISO-KF/ISO-K/CF Flansch“,

Absatz „Zubehör zu elektropneumatisch betriebenen Ventilen“,

Produkt „Magnetspulen“

Edelstahl

Aluminium / Aluminium-Guss (3 .2153)

Edelstahl (1 .4305)

FPM

Aluminium (3 .2341)

Kunststoff (PA 6)

Bestelldaten

Kat.Nr.

281 84

X

Y

E 105 65

E 105 75

Eckventil, federbalggedichtet,

elektropneumatischer Antrieb,

ohne Magnetspule

Edelstahl-Gehäuse

Magnetspulen für unterschiedliche

Versorgungsspannungen

Entstör-Bausätze

für verschiedene Spannungen

Ersatzteile

Dichtungssatz

Innenteil

X = Kat .-Nrn . siehe Abschnitt „Spezialventile mit ISO-KF/ISO-K/CF Flanschen“, Absatz „Zubehör zu elektropneumatisch betriebenen Ventilen”, Produkt „Magnetspulen“ Y = Kat .-Nrn . siehe Abschnitt „Spezialventile mit ISO-KF/ISO-K/CF Flanschen“, Absatz „Zubehör zu elektropneumatisch betriebenen Ventilen”, Produkt „Entstör-Bausatz“

DN 250 ISOK


5

6

4

1

6

25

4

3

1

2

3

4

Spezialventile mit ISO-KF / ISO-K / CF Flansch

Übersicht

Leybold bietet für die verschiedenen Anwendungen und konstruktiven Sonderwünsche seiner Kunden eine Reihe von Spezialventilen an .

Hierzu gehören:- Vakuum-Sicherheitsventile

SECUVAC (DN 16 ISO-KF bis DN 100 ISO-K)

- Belüftungsventile

- Stromausfallfluter

- Gasschleusen

- Verschluss-Ventile

- Dosierventile

- Kugelhähne

Diese Ventile stellen eine ideale Ergän-zung des ISO-KF und ISO-K Ventilpro-gramms dar .

06.02.M.030-SECUVAC KF

h2

h1

a

høD

a

b

h

D

06.02.M.031-SECUVAC ISO-K

h2

a

a

h1

b


Vent

ile

Maßzeichnung der SECUVAC-Ventile mit Kleinflanschen ISO-KF

Vakuum-Sicherheitsventile SECUVACDiese elektromagnetisch gesteuerten Eckventile wurden speziell zum An-schluss an rotierende Vakuumpumpen ohne eingebautes Saugstutzen ventil entwickelt . Das SECUVAC-Sicherheitsventil schützt die Vakuumanlage vor ungeplanter Be -lüftung durch die Vor va kuum-Pumpe bei einem Stromausfall und ge währ lei-stet, dass die Vakuum anlage so lange verschlossen bleibt, bis die Vor vakuum -Pumpe nach einem Wieder anlauf die Leitungen evakuiert hat .

Maßtabelle Spezialventile (ISOKF)

a

b

D

h

h1

h2

DN 16 ISO-KF 25 ISO-KF 40 ISO-KF

mm 40 50 65

mm 49 49 49

mm 44 56 82

mm 138,6 161,8 178,3

mm 62,3 82,5 100,0

mm 24 27 26

Maßzeichnung der SECUVAC-Ventile mit Klammerflanschen ISO-K

Maßtabelle Spezialventile (ISOK)

a

b

D

h

h1

h2

DN 63 ISO-K 100 ISO-K

mm 88 108

mm 49 49

mm 124 164

mm 220,5 263,5

mm 150 175

mm 18,2 36,2


Zwei Ventil-Funktionen in einem:

- Schnellschließendes Hochvakuum-Absperr ventil zum Absperren des Vakuumbehälters oder der Treib-dampfpumpe (z .B . Diffusions pumpe) von der Vorvakuumpumpe

- Belüftungsventil zum Belüften des Ventil gehäuses und damit der Pumpe (Vorpumpe)

- Sofortiges Schließen bei Stromaus-fall

- Öffnen erst nach Evakuieren der Ansaug leitung

- Absperrung des Vakuum behälters und Belüftung der Vorvakuumpum-pe zeitlich versetzt („Luftschluck“ vernachlässigbar gering)


- Sicherheits-Ab sperrventil zwischen Vor vakuumpumpe und Vakuum-behälter bzw . Treibdampfpumpen (Schutz des Vakuum behälters vor Belüftung bei Stromausfall)


Technische Daten SECUVACVentil

DN 16 ISOKF DN 25 ISOKF DN 40 ISOKFLeitwert bei Molekularströmung l · s-1

Nennleistung DC W

Anzug / Halten AC VA

Gehäuse-Dichtheit mbar · l · s-1

Ventilteller-Dichtheit mbar · l · s-1

Einbaulage


Differenzdruck

zum Öffnen mbar

zum Schließen mbar

Öffnungszeit s

Schließ- / Reaktionszeit ms

Umgebungs-Temperatur °C

Schutzart IP

Gewicht kg

Werkstoffe

Gehäuse

Dichtungen

3,8 11,0 30,5

2,5 2,5 2,5

5,0 / 3,7 5,0 / 3,7 5,0 / 3,7

< 1 · 10-9 < 1 · 10-9 < 1 · 10-9

< 1 · 10-5 < 1 · 10-5 < 1 · 10-5

beliebig beliebig beliebig

1 · 10-8 - 1000 1 · 10-8 - 1000 1 · 10-8 - 1000

150 150 150

150 150 150

< 15 < 15 < 15

< 100 / < 50 < 100 / < 50 < 100 / < 50

+5 bis +50 +5 bis +50 +5 bis +50

65 65 65

0,3 0,5 0,9

Aluminium Aluminium Aluminium

FPM FPM FPM

Technische Daten SECUVACVentil

DN 63 ISOK DN 100 ISOKLeitwert bei Molekularströmung l · s-1

Nennleistung DC W

Anzug / Halten AC VA

Gehäuse-Dichtheit mbar · l · s-1

Ventilteller-Dichtheit mbar · l · s-1

Einbaulage


Differenzdruck

zum Öffnen mbar

zum Schließen mbar

Öffnungszeit s

Schließ- / Reaktionszeit ms

Umgebungs-Temperatur °C

Schutzart IP

Gewicht kg

Werkstoffe

Gehäuse

Dichtungen

126 300

2,5 2,5

5,0 / 3,7 5,0 / 3,7

< 1 · 10-9 < 1 · 10-9

< 1 · 10-5 < 1 · 10-5

beliebig beliebig

1 · 10-8 - 1000 1 · 10-8 - 1000

150 150

150 150

< 30 < 30

< 100 / < 50 < 100 / < 50

+5 bis +50 +5 bis +50

65 65

2,4 5,1

Aluminium Aluminium

FPM FPM

06.01.I.001_Entstoerbausatz


Vent

ile

Bestelldaten

Kat.Nr. Kat.Nr.

215 205 215 225

215 206 –

215 207 215 227

E 105 07 E 105 08

E 215 242 E 215 242

E 215 241 E 215 241

E 215 240 E 215 240

215 701 215 701

SECUVAC-Ventil

024 V DC

100 - 115 V AC

200 - 230 V AC

Ersatzteile

Dichtungssatz

Magnetspulen für SECUVAC-Ventile und Stromausfallfluter 024 V DC

100 - 115 V AC / 50/60 Hz

200 - 230 V AC / 50/60 Hz

Filter für SECUVAC-Ventile und Stromausfallfluter (Satz mit 5 Stück)

SECUVACVentil

DN 63 ISOK DN 100 ISOK

Bestelldaten


215 015 215 065 215 135

215 016 215 066 215 136

215 017 215 067 215 137

E 105 02 E 105 04 E 105 05

E 215 242 E 215 242 E 215 242

E 215 241 E 215 241 E 215 241

E 215 240 E 215 240 E 215 240

215 701 215 701 215 701

SECUVAC-Ventil

024 V DC

100 - 115 V AC

200 - 230 V AC

Ersatzteile

Dichtungssatz

Magnetspulen für SECUVAC-Ventile und Stromausfallfluter 024 V DC

100 - 115 V AC / 50/60 Hz

200 - 230 V AC / 50/60 Hz

Filter für SECUVAC-Ventile und Stromausfallfluter (Satz mit 5 Stück)

SECUVACVentil


Entstör-Bausatz, leuchtendAls Option zur Magnetspule wird ein Entstör- Bausatz angeboten, um Stö-rungen empfindlicher Geräte im nahen Umfeld der Magnetspulen sicher aus-zu schließen .

Bestelldaten

Kat.Nr.

104 96Entstör-Bausatz

024 V DC

EntstörBausatz

32

28

DN 16 KF


Überdruck-Entlastungsventil

Typische Anwendung

- Sicherung abgeschlossener Vakuum-Systeme wie z .B . Kryo-pumpen, Kryostate, Heber, etc . gegen inneren Überdruck

- Pflicht bei im Kaltzustand abtrenn-baren Systemen als Sicherung ge gen Überdruck

Bestelldaten

Überdruck-Entlastungsventil

auf Flansch DN 16 ISO-KF

ÜberdruckEntlastungsventil

Technische Daten

Ansprechdruck mbar

Durchfluss bei 140 mbar l · h-1

Ventilteller

Leckraten in geschlossenem

Zustand mbar · l · s-1

Anschluss DN

Durchmesser mm

Gesamthöhe mm

Gewicht kg

ÜberdruckEntlastungsventil

1150 ±40

500

Federbelastet, mit Rund-Dichtring gedichtet

< 1 · 10-8

16 ISO-KF

32

28

0,3

Kat.Nr.

890 39

Maßzeichnung zum Überdruck-Entlastungsventil

DN 10 ISO-KF

30 27

65,8

64

41

06.02.M.029-Stromausfallfluter


Vent

ile

Bestelldaten

Maßzeichnung des Stromausfallfluters

Stromausfallfluter, elektromagnetischer Antrieb

Stromausfallfluter sind im stromlosen Zustand geöffnet und werden zur au to-matischen Belüftung von Pumpen, An lagen oder Vakuum-Behältern bei Strom ausfall eingesetzt . Zulässiger Differenzdruck ≤ 2,5 bar (vakuumseitig 0 bar) .


- Beliebige Einbaulage

- Schutz vor Verunreinigung durch Filterung der einströmenden Luft

- Einfache Montage des Ventils

- Einfacher Tausch des Filters

Technische Daten Stromausfallfluter

elektromagnetischer AntriebDichtheit mbar · l · s-1

Belüftungszeit eines 50 l-Behälters s

Öffnungszeit / Schließzeit 1) ms

Schutzart nach DIN 40 050 IP

Zulässige Umgebungstemperatur °C

Gewicht kg

Abmessungen (B x H x T) mm

Werkstoff

Gehäuse

Dichtung

Polrohr

Filter

< 1 · 10-7

270

30 / 30

65

50

0,1

64 x 66 x 30

Aluminium

NBR

Messing

Bronze

Kat.Nr.

174 26

174 46

883 50

siehe SECUVAC-Ventile

215 701

Stromausfallfluter DN 10 ISO-KF,

elektromagnetischer Antrieb,

mit Ansaug-Filter

230 V / 50/60 Hz

024 V DC

Zentrierring DN 10 ISO-KF mit Sinter-Filter

Ersatz-Magnetspulen

Filter für SECUVAC-Ventile und

Stromausfallfluter (Satz mit 5 Stück)

1) bei Differenzdruck = 0 bar

Stromausfallfluter

elektromagnetischer Antrieb

06.01.K.004_Grobdosierventil

00

1

2

3

4

Gasstrom

200 400 600 800 1000 1200 1400 1800mbar · l/s

Spi

ndel

-Um

dreh

unge

n

30

Ø 40

DN 10 ISO-KF

30

DN 10 ISO-KF101

96


Bestelldaten

Grob-Dosierventil ohne Absperrventil

Mit Grob-Dosierventilen können genau definierte Gasmengen pro Zeiteinheit in evakuierte Behälter eingelassen wer-den .

Anwendungen

- Mit einer Gaseinlassrate von 1700 bis 40 mbar · l · s-1 eignet sich ein Grob-Dosierventil für nahezu alle Einsatzfälle

Technische Daten GrobDosierventil

ohne AbsperrventilGaseinlassrate mbar · l · s-1

Dichtheit mbar · l · s-1

Differenzdruck bar

Ausheiztemperatur, Gehäuse °C

Wekstoff (Gehäuse / Ventilteller)

Dichtung

Gewicht kg

40 - 1700

1 · 10-8

3

100

Aluminium / Edelstahl

FPM

0,2

Kat.Nr.

215 020

Grob-Dosierventil ohne Absperrventil

DN 10 ISO-KF

GrobDosierventil

ohne Absperrventil

Dosier-Kennlinie des Grob-Dosierventils ohne Absperrventil

= Bevorzugte Strömungsrichtung

Maßzeichnung des Grob-Dosierventils ohne Absperrventil

DN 16 ISO-KF

DN 16 ISO-KF

A

ø42 (1,65")

30 (1,18")

117,5(4,63")

130(5,12")

30(1,18")

06.01.M.011-Dosier ventil

Ansicht A

Close

2 4 3Schnell-Absperr-Ring

06.01.K.003_Dosierventil

1

10-6 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 100 101mbar · I/s

103

10

100

1000

Ska

lent

eile

Gasstrom für Luft und N 2


Vent

ile

Dosierventil mit Absperrventil

Dosierventile mit Absperrventil ermögli-chen die Unterbrechung der Gaszu fuhr, ohne die eingestellte Gasein lass rate zu verändern .

Anwendungen

- Mit einer Gaseinlassrate von 1000 bis 5 · 10-6 mbar · l · s-1 eignet sich ein Dosierventil für nahezu alle Ein-satzfälle

- Durch die integrierte Ziffern anzeige kann der Öffnungspunkt jederzeit genau eingestellt oder ein bestimm-ter Gasstrom definiert werden

- Absperrventil

Technische Daten Dosierventil mit Absperrventil

Gaseinlassrate mbar · l · s-1


Differenzdruck bar

Totvolumen cm3

Betriebstemperatur °C

Ausheiztemperatur, Flansche °C

Werkstoff (Gehäuse, Nadel, Filter)

Dosierbüchse

Dichtung

Gewicht kg

5 · 10-6 - 1000

1 · 10-9

2,5

0,032

80

150

Edelstahl

Fluor Plastomer

FPM

0,4

Bestelldaten

Kat.Nr.

215 010Dosierventil mit Absperrventil, DN 16 ISO-KF

Dosierventil mit Absperrventil

Dosier-Kennlinie des Dosierventils mit Absperrventil

Maßzeichnung des Dosierventils mit Absperrventil

Maße in ( ) = Maße in inch = Bevorzugte Strömungsrichtung

DN 10 ISO-KF

51

42


Bestelldaten

Maßzeichnung des Belüftungsventils, Hand-Antrieb

Belüftungsventile, Hand-Antrieb

Belüftungsventile dienen zum Belüften von kleinen Vakuumapparaturen .


- Einfaches Öffnen und Schließen des Ventils durch Lösen bzw . Anziehen der Schraubkappe

Technische Daten Belüftungsventil

HandAntrieb


Gewicht kg


Werkstoff

Gehäuse

Innenteil

Dichtung

Schraubkappe

< 1 · 10-9

0,15

51 x 42 x 30

Aluminium (3 .0615), Edelstahl (1 .4301)

Aluminium (3 .0615), Edelstahl (1 .4301)

FPM

Messing (vernickelt)

Kat.Nr.

173 24

173 37

Belüftungsventil DN 10 ISO-KF,

Hand-Antrieb (Schraubkappe)

Aluminium

Edelstahl

Belüftungsventil

HandAntrieb

Ø 42

30

60

DN

DN

105

30


Vent

ileBestelldaten

Maßzeichnung des Belüftungsventils, elektromagnetischer Antrieb

Belüftungsventile, elektromagnetischer Antrieb

Belüftungsventile dienen zum Belüften von kleinen Vakuumapparaturen und sind im stromlosen Zustand geschlos-sen .


- Bei Strom geöffnet, stromlos ge-schlossen

- Einseitig gegen Atmosphärendruck dicht

- Schutz vor Verunreinigung durch Filter

Technische Daten Belüftungsventil

elektromagnetischer AntriebDichtheit mbar · l · s-1

Belüftungszeit eines 100 l-Behälters s

Netzanschluss V / Hz V / Hz V DC

Leistungsaufnahme, Anzug / Halten VA

Differenzdruck, Öffnungs- / Schließrichtung bar

Kann bis zu einem Differenzdruck von ... geöffnet werden bar



Zeiten zum Öffnen / Schließen ms


Gewicht kg


Werkstoffe Gehäuse Dichtung

< 1 · 10-9

23

230 / 50/60 115 / 50/60

24

35 / 15

5 / 1

2

1,5 Mio .

50

60 / 45

1

0,46

105 x 120 x 42

Aluminium

FPM

Kat.Nr.

215 021 215 024

883 50

Belüftungsventil DN 10 ISO-KF, elektromagnetischer Antrieb 024 V DC 230 V AC

Zentrierring mit Sinter-Metall-Filter DN 10 ISO-KF

Belüftungsventil

elektromagnetischer Antrieb

DN

a

h

a

h2

d


Maßzeichnung des Verschluss-Ventils

Gasschleusen und Verschluss-Ventile

Innerhalb des Rohransatzes des Ver-schluss-Ventiles ist ein schraubbares Verschluss-Element mit Innensechs-kant integriert, in welches die Spindel der Gasschleuse zur Be tätigung einge-setzt wird .

Die Gasschleuse wird nach der Gas-einfüllung oder Evakuierung des Be -hälters vom Kleinflansch abgenommen und kann somit zur Betätigung einer unbegrenzten Zahl von Verschluss-Ventilen eingesetzt werden .


- Einfache Handhabung, griffiger Drehknopf

- Kompakt, geringes Gewicht

- Auch zur Betätigung von Leybold -Verschluss- Ventilen älterer Bauart bestens geeignet

- Großer Hub und hoher Leitwert, daher kurze Auspumpzeiten

- In der Endstellung arretierbare Betätigungs spindel

Maßtabelle

a

d

h

h2


mm 40 50 65

mm 16 25 38

mm 124 160 190

mm 30 30 40

- Doppelte O-Ring-Abdichtung mit hoher Dicht heit (Leckrate < 1 · 10-7 mbar · l · s-1) und hoher Lebensdauer

- Im gesamten Grob- und Fein- Vakuumbereich einsetzbar

- Hohe Lebensdauer

- Gesichert gegen unbeabsichtigtes Öffnen

- Temperaturbeständig Gasschleuse 060 °C Verschlussventil 100 °C

- Sicherung gegen Verschmutzung mittels Standard-Blindflansch mög-lich


- Verschließen von evakuierten oder mit Gas gefüllten Behältern

- Nachevakuieren von Behältern

- Ergänzen und Auswechseln der Gasfüllung im Behälter

- Verschluss-Ventile mit Edelstahl ISO-KF -An schluss und Edelstahl-Rohransatz zum An schweißen an den Behälter


Vent

ile

Technische Daten Gasschleuse / VerschlussVentil


Leckrate

Gasschleuse mbar · l · s-1

Verschluss-Ventil mbar · l · s-1

Hub der Schleuse mm

Freier Durchgang

im Verschluss-Ventil mm

Absolutdruck bar

Gewicht

Gasschleuse kg

Verschluss-Ventil kg

Werkstoff

Lagerdeckel

Dichtung

1 · 10-7 1 · 10-7 1 · 10-7

1 · 10-9 1 · 10-9 1 · 10-9

56 76 108

3 8 18

2,5 2,5 2,5

0,35 1,0 1,8

0,04 0,1 0,12

Aluminium Aluminium Aluminium

FPM FPM FPM

Bestelldaten


283 25 283 26 283 27

283 21 283 22 283 23

183 41 183 42 183 43

883 46 883 47 883 48

EK 215 055 EK 215 056 EK 215 057

Gasschleuse, Aluminium-Gehäuse

Verschluss-Ventil mit Rohransatz,

Edelstahl-Gehäuse

Spannring

Zentrierring

Reparatursätze

Gasschleuse

Gasschleuse / VerschlussVentil


DN

h1

h2

DN

b

b1

D

h


Maßzeichnung der Kugelhähne

Kugelhähne

Kugelhähne sind robuste und preiswer-te Durch gangsventile mit geringen Ab -messungen, die durch einfache Hebel-be wegung geöffnet bzw . geschlossen werden . Die Ventilstellung (AUF/ZU) ist durch die Stellung des Hebels zu er -kennen . Der Hebel kann leicht abge-nommen werden . Kugelhähne sind zur Abdichtung mit geschmierten Dicht-ringen versehen und haben im geöffne-ten Zustand einen völlig freien Durch-gang .


- Beidseitig gegen Atmosphären druck dicht und gegen Atmosphärendruck zu öffnen

Technische Daten Kugelhahn

DN 10 ISOKF DN 16 ISOKF DN 25 ISOKF DN 40 ISOKFLeckrate mbar · l · s-1

Leitwert bei Molekularströmung l x s-1

Absolutdruck, min. / max. mbar / bar

Gewicht kg

Werkstoff

Gehäuse

Dichtungen

Kugel

ISO-KF -Flansche

< 1 · 10-6 < 1 · 10-6 < 1 · 10-6 < 1 · 10-6

1,5 3,0 9,0 30,0

10-5 / 5 10-5 / 5 10-5 / 5 10-5 / 5

0,35 0,4 0,75 2,6

Messing (vernickelt) Messing (vernickelt) Messing (vernickelt) Messing (vernickelt)

PTFE PTFE PTFE PTFE

Messing Messing Messing Messing

(hartverchromt) (hartverchromt) (hartverchromt) (hartverchromt)

Aluminium (3 .0615) Aluminium (3 .0615) Aluminium (3 .0615) Aluminium (3 .0615)

Bestelldaten

Kat.Nr. Kat.Nr. Kat.Nr. Kat.Nr.

174 94 174 95 174 96 174 97

Kugelhahn

Messing-Gehäuse (vernickelt)

Kugelhahn


Maßtabelle

b

b1

h

h1

h2

D

DN 10 ISO-KF 16 ISO-KF 25 ISO-KF 40 ISO-KF

mm 75 100 130 160

mm 80 80 110 138

mm 55 55 62 90

mm 55 58 80 110

mm 15,0 15,0 20,0 27,5

mm 26 30 42 60


Vent

ile

Notizen


Bestelldaten

Zubehör zu elektropneumatisch betriebenen Ventilen

Vorsteuerventil

Für den Betrieb der elektropneumati-schen DOT-Ventile steht eine Auswahl von Vorsteuerventilen zur Verfügung, die alle gängigen Steuerspannungen abdeckt .


- Problemloser Anbau an den Pneu-matik-Zylinder, Adapter liegt DOT-Ventil bei

Lieferumfang

- Schlauchverschraubung und Dich-tung zum Anschluss der Druckluft-Zufuhr

Bestelldaten

Kat.Nr.

280 70

E 280 72

E 280 74

ISO-KF Vorsteuerventil für DOT-Ventile

(inklusive Magnetspule)

230 V AC / 50/60 Hz

(stromlos geschlossen)

110 - 120 V AC / 50/60 Hz

(stromlos geschlossen)

24 V DC (stromlos geschlossen)

ISOKF Vorsteuerventile für DOTVentile

(inklusive Magnetspule)

Kat.Nr.

E 200 07 927

Ersatz-Vorsteuerventil für

DN 250 ISO-K bis DN 630 ISO-K

ErsatzVorsteuerventile für ISOK Ventile ab DN 250

ohne Spule

Bestelldaten

Kat.Nr.

auf Anfrage

Entstör-Bausatz

110 V AC

EntstörBausatz

für verschiedene Spannungen

Entstör-Bausatz, leuchtendAls Option zu Magnetspulen und Vor-steuerventilen wird ein Entstör- Bau-satz angeboten, um Störungen empfindli-cher Geräte im nahen Umfeld der Mag-netspulen sicher auszu schließen .

Vorsteuerventile

12,5

35,5

29

48

29,5

60,5


Vent

ile

Bestelldaten

Technische Daten Magnetspulen für Vorsteuerventile

V= VSpannung V

Zulässige Spannungsschwankung %

Zulässige Frequenzschwankung %

Leistungsaufnahme

bei Normalspannung W

Einschaltdauer

Schutzart nach DIN 40 050 IP

Leitungsverschraubung

Isolierstoffklasse nach VDE 0580

Prüfzeichen

Maximale Anzugzeit ms

Gewicht kg

Anzugmomente der Rändelschraube,

min. / max Ncm

24 DC 24/110/230 AC; 50/60 Hz

±10 ±10 bei Nennfrequenz

– ±10 bei Nennfrequenz

4,1 bei 12 V / 4,5 bei 24 V Anzug: 7,5 VA / Halten: 6,0 VA

100 % ED 100 % ED

65 65

Pg 9 Pg 9

F F

VDE VDE

10 10

0,065 0,055

100 / 150 100 / 150

Maßzeichnung der Magnetspulen

Magnetspulen für DN 250 ISO-K

Zur Anpassung des elektropneuma-tisch betriebenen Ventils an die ver-schiedenen gebräuchlichen Steuer-spannungen bietet Leybold eine Aus wahl von Magnet spulen an .


- Einfache Montage (Aufstecken und mit Rändelmutter festziehen)

Kat.Nr.

E 280 77

auf Anfrage

E 280 79

E 280 80

Magnetspulen für Vorsteuerventile

230 V AC / 50/60 Hz

110 - 120 V AC / 50/60 Hz

024 V AC / 50/60 Hz

024 V DC

Magnetspulen für Vorsteuerventile


Sperrgas und BelüftungsVentilBestelldaten

Sperrgas und BelüftungsVentilTechnische Daten

Sperrgas und BelüftungsVentil


Bestelldaten

StromausfallFluterBestelldaten

StromausfallFluterTechnische Daten

BelüftungsVentilBestelldaten

BelüftungsVentilTechnische Daten

Elektromagnetisches BelüftungsVentil

Antriebs-Spannung V DC

Leistungs-Aufnahme W

Anschluss-Flansch DN

Gewicht, ca. kg

24

4

16 ISO-KF

0,3

Elektromagnetisches Belüftungs-Ventil,

stromlos geschlossen

Kat.Nr.

800120V0011

StromausfallFluter

Antriebs-Spannung V DC

Leistungs-Aufnahme W


Gewicht, ca. kg

24

4

16 ISO-KF

0,3

Stromausfall-Fluter, stromlos offen

Kat.Nr.

800120V0021



Gewicht, ca. kg

10 ISO-KF

0,7

Sperrgas- und Belüftungs-Ventil, 230 V

0,2 mbar · l · s-1

0,4 mbar · l · s-1

Kat.Nr.

855 19

855 29

Anschluss-Flansch

Einlass

Auslass

Sperrgas-Druck, abs. bar

Gewicht, ca. kg

Rohr 1/4"

pumpenspezifisch oder DN 16 ISO-KF

1,5 bis 6,0

0,5

Sperrgas- und Belüftungs-Ventil

24 V DC; 0,6 mbar · l · s-1

Weitere 0,6 mbar · l · s-1 Ventile auf Anfrage

Kat.Nr.

121 33


Spezialventile für Turbo-Molekularpumpen


Vent

ile

Sperrgas und BelüftungsVentil für ClassicLine und SLPumpen

Sperrgas und BelüftungsVentilBestelldaten


Anschluss-Flansch

Pumpenseite DN

Gasanschluss G

Sperrgas-Druck, abs. bar

Gewicht, ca. kg

10 KF

1/4"

1

0,3

Sperrgas- und Belüftungs-Ventil bei 1 bar

0,2 mbar · l · s-1 (12 sccm), 24 V DC

0,2 mbar · l · s-1 (12 sccm), 110 - 115 V DC

0,2 mbar · l · s-1 (12 sccm), 230 V DC

0,4 mbar · l · s-1 (24 sccm), 24 V DC

0,4 mbar · l · s-1 (24 sccm), 110 - 115 V DC

0,4 mbar · l · s-1 (24 sccm), 230 V DC

0,6 mbar · l · s-1 (36 sccm), 24 V DC

0,6 mbar · l · s-1 (36 sccm), 110 - 115 V DC

0,6 mbar · l · s-1 (36 sccm), 230 V DC

Kat.Nr.

113 50

800152V0041

800152V0019

800152V0013

800152V0042

800152V0014

800152V0012

800152V0043

800152V0040

AdapterSet für Sperrgas und BelüftungsVentil zu den SLPumpen

AdapterSetBestelldaten

AdapterSetTechnische Daten

Pumpen-Flanschadapter M8/DN 10 ISO-KF

inkl. Übergangs-Zentrierring

DN 10/DN 16 ISO-KF mit Sinter-Filtereinsatz

und Spannring

Adapter-Set für

Sperrgas- und Belüftungs-Ventil

Kat.Nr.

800110V0011

Gasfilter auf G 1/4" für Sperrgas und BelüftungsVentil

GasfilterBestelldaten

GasfilterTechnische Daten

Gasfilter

inkl. Verschraubung G 1/4" und 2 Dichtringe

Gasfilter auf G 1/4"

für Sperrgas- und Belüftungs-Ventil

Ersatzfilter für Gasfilter auf G 1/4"

für Sperrgas- und Belüftungs-Ventil

Kat.Nr.

800110V0012

E 200 18 515

SW

B DN

B

DNA

C


UHV-Ganzmetall-EckventileDie Ganzmetall-Eckventile sind kom-plett verschweißt . Der Ventilteller kann durch den seit lichen Flansch ausge-tauscht werden .

Durch eine geeignete Wahl der Werk-stoffe entfällt eine Schmierung des Ven-tilstempels nach jedem Ausheizzyklus .

Die Antriebsspindel der Ventile über-trägt die Bewe gung über eine Druck-platte auf einen ge führten Stempel, auf den der Ventilteller aufge schraubt ist . Der Ventilteller besteht aus einer Kupfer- Platte .

Diese Konstruktion hat aufgrund der spezi fischen Eigenschaften des Kup-fers (gute Verformbarkeit) gegenüber anderen Dicht-Materialien große Vor-teile: lange Lebensdauer und geringer Kraftauf wand bei der Betätigung des Ventils .

Eine sehr hohe Dichtheit wird schon bei geringem Schließdruck erreicht .

Die kompakte Bauweise gewährleistet ein günstiges Verhalten bei Tempera tur-ände rung, bietet einen kurzen Strö-mungsweg und damit einen besseren Leitwert .


- Versenkte Bauweise

- Leckrate am Ventilsitz < 10-11 mbar · l · s-1

Technische Daten

Maßzeichnung zum UHV-Ganzmetall-Eckventil

DN CF

Anschlussflansch, drehbar DN

Standzeit Zyklen

Leitwert bei Molekularströmung l/ s

Druck, absolut min. mbar max. bar

Einbaulage mm

Ausheiz-Temperatur ohne Handrad °C

Ausheiz-Temperatur mit Handrad °C

Aufheiz- und Abkühl-Geschwindigkeit °C/min

Balg Werkstoff

Gehäuse Werkstoff

Ventilteller Werkstoff

Ventilteller-Dichtung Werkstoff

Gewicht kg

UHVGanzmetallEckventile, Anschlussflansch beidseitig drehbar

16 40 63

16 CF-R 40 CF-R 63 CF-R

1000 1000 1000

3 38 100

1 · 10-11 1 · 10-11 1 · 10-11 4 4 4


350 350 350

80 80 80

4 4 2

Edelstahl 1 .4541 Edelstahl 1 .4541 Edelstahl 1 .4541

Edelstahl 1 .4301 Edelstahl 1 .4301 Edelstahl 1 .4301 verschweißt verschweißt verschweißt

Kupfer Kupfer Kupfer

Kupfer Kupfer Kupfer

0,4 2,0 5,0

- Absolut zuverlässige Sitzdichtung

- Einfachste Bedienung

- Kein Schmieren der Spindel nach jedem Ausheizen notwendig

- Großes abnehmbares Handrad zur schnellen Betätigung

MaßtabelleDN A B C SW

16 CF-R 88,0 38,0 15,5 8,0

40 CF-R 140,0 63,0 26,0 17,0

63 CF-R 211,0 105,0 36,4 22,0

UHV-Ganzmetall-Eckventil

Ersatz Ventil-Teller, 2 Stück

Ersatz Handrad, Kunststoff


289 80 289 81 289 82

215 410 – –

215 412 215 442 –

UHVGanzmetallEckventileAnschlussflansch beidseitig drehbar

Technische Daten UHVGanzmetallEckventileAnschlussflansch beidseitig drehbar

Ø46

DN 16 CF-R

DN 40 CF-R

32,5

98,2

M55085,5


Vent

ile

UHV-Ganzmetall-Dosierventil

Maßzeichnung zum UHV-Ganzmetall-Dosierventil

Technische Daten UHVGanzmetallDosierventil

Bestelldaten

Kat.Nr.

289 90

E 289 87

E 289 88

E 290 97

Anschlussflansche Einlass DN Auslass DN

Gasfluss, min. für Reinstgas mbar · l · s-1 Luft mbar · l · s-1

Gasfluss max. mbar · l · s-1 einstellbar, max. mbar · l · s-1

Dichtigkeit mbar · l · s-1

Druck, absolut min. mbar max. bar

Leitfähigkeit bei Molekularströmung l · s-1

Betriebs-Temperatur °C

Ausheiz-Temperatur °C

Ventil-Sitz Werkstoff

Ventil-Teller Werkstoff

Gehäuse Werkstoff

Gewicht kg

UHV-Ganzmetall-Dosierventil

Ersatz Ventil-Teller

Ersatz Ventil-Sitz

Werkzeugsatz für Ventil-Sitz

UHVGanzmetallDosierventil

16 CF-R 40 CF-R

10-10 10-9

600 100

1 · 10-11

1 · 10-10 30

0,7

200

350

Kupferlegierung

Saphir

Edelstahl

1,4


Notizen


Vent

ile

Mini UHV-Schieber ISO-KF Flansche

Mini UHV-Schieber, CF Flansche

UHV-Schieber

HV-Schieber

Schieberventile mit ISO-KF / CF / ISO-F Flansch

3

2

1

4

Übersicht

Die genauen Einbaumaße entneh-men Sie bitte der, dem Produkt ent-sprechenden, Gebrauchsanleitung.

1

4

3

2

U

V

L

Q

BD

HI

K OA

N

T

M


Maßzeichnung der Mini UHV-Schieberventile mit Kniehebel-Antrieb, ISO-KF -Flansch

Mini Schieberventile, ISO-KF, Hand-Antrieb (Kniehebel)


- Preisgünstiger Schieber für Indus-trie -An wendungen mit elastomer-gedichteter Schiebe -Durchführung

- Aluminium-Gehäuse

- Schlank und leicht

- Geringster Verriegelungsschlag und Abrieb

Maßtabelle

A

B

D

H

I

K

L

M

N

O

Q

T

U

V


mm 40 50 51

mm 30 40 55

mm 15 24 39

mm 17,2 26,2 41,2

mm 3 3 3

mm 25 32 31

mm 100 139 208

mm 15,0 22,0 32,5

mm 39 59 93

mm 30 44 65

mm 25 35 55

mm 37 50 85

mm 25 32 40

mm 30 30 50


Vent

ile

Bestelldaten

Technische Daten Mini Schieberventil


Dichtheit

Gehäuse mbar · l · s-1

Ventilsitz mbar · l · s-1

Druckbereich, abs.

Leitwert im Hochvakuum l · s-1

Differenzdruck am Ventilteller bar

Max. Differenzdruck beim Öffnen mbar

Standzeit bis zur ersten Wartung Zyklen

Ausheiztemperatur

Ventil offen / geschlossen °C

Handantrieb °C

Einbaulage

Gewicht kg

Werkstoff

Ventilgehäuse

Ventilteller

Dichtung (Kopf/Teller)

< 1 · 10-9 < 1 · 10-9 < 1 · 10-9

< 1 · 10-9 < 1 · 10-9 < 1 · 10-9

1 · 10-7 mbar bis 2 bar 1 · 10-7 mbar bis 2 bar 1 · 10-7 mbar bis 2 bar

10 34 140

≤ 2 in beiden Richtungen ≤ 2 in beiden Richtungen ≤ 2 in beiden Richtungen

≤ 30 ≤ 30 ≤ 30

50 000 50 000 50 000

100 / 100 100 / 100 100 / 100

80 80 80


0,4 0,4 0,7

AlMgSi1 (3 .2315) AlMgSi1 (3 .2315) AlMgSi1 (3 .2315)

AISI 301 (1 .4310) AISI 301 (1 .4310) AISI 301 (1 .4310)

Viton/Viton Viton/Viton Viton/Viton


286 06 286 08 286 09Mini Schieberventil mit Hand-Antrieb

(Kniehebel)

Mini Schie

Ventile - Leybold Online Shop...Werkstoffe Ventilgehäuse und Innenteile sind aus ausgesuchten,...

Documents

Transcript of Ventile - Leybold Online Shop...Werkstoffe Ventilgehäuse und Innenteile sind aus ausgesuchten,...