Universität Stuttgart Pfaffenwaldring 9Institut für Konstruktion und Fertigung in der Feinwerktechnik 70550 Stuttgart

Veröffentlichungen am IKFF

Integrierte Wegmessung in Lineardirektantrieben

C. Welk, B. Gundelsweiler, W. Schinköthe (IKFF, Stuttgart)

Beitrag zur

GMM−IMM−FachtagungInnovative Klein− und Mikroantriebe

Mainz 15./16. Mai 2001

Veröffentlicht im GMM−Fachbericht 33:

Innovative Klein− und Mikroantriebe 2001Vorträge der GMM−IMM−Fachtagung vom 15. bis 16. Mai 2001 in Mainz

VDE Verlag, Bismarckstraße 33, 10625 BerlinISBN 3−8007−2612−2

ISSN 1432−3419

© 2001 VDE/VDI GMM

Integrierte Wegmessung in LineardirektantriebenDipl.-Ing. C. Welk, Dipl.-Ing. B. Gundelsweiler, Prof. Dr.-Ing. W. SchinkötheUniversität Stuttgart, Institut für Feinwerktechnik, Pfaffenwaldring 9, 70569 Stuttgart, Deutschland

Kurzfassung

Positioniersysteme mit elektrodynamischen Lineardirektantrieben erfordern zur Realisierung eines geschlossenenRegelkreises ein Wegmesssystem, wobei Kostenaufwand und Bauraum meist erheblich sind. In den Antrieb inte-grierte Messsysteme, die ohne zusätzliche Bauelemente auskommen, erschließen deshalb insbesondere in derFeinwerktechnik neue Anwendungsfelder. Aufgezeigt werden das Funktionsprinzip, zur Zeit erreichbare Sy-stemeigenschaften sowie konstruktive Voraussetzungen, um diese Messmethodik in Linearantrieben verschiede-ner Bauart einzusetzen.

1 Einleitung

Für die Ausführung einer linearen Bewegung werdenin Fein- und Mikrotechnik zunehmend elektrodynami-sche Lineardirektantriebe statt rotatorischer Antriebemit Rotations-/Translationsumformern eingesetzt. DieGründe hierfür sind unter anderem höhere Dynamik,einfacherer und damit kostengünstiger Aufbau, höhe-res Miniaturisierungspotenzial und bedingt durch denWegfall des Getriebes, eine Steigerung der Stellge-nauigkeit.Diese Anforderungen und die Berücksichtigung vonUmgebungsbedingungen führen zu Antriebseinheiten,deren Parameter genau aufeinander abgestimmt wer-den müssen, um die im jeweiligen Anwendungsfallgewünschten Eigenschaften zu erreichen. Bild 1 zeigtbeispielhaft einen solchen, für seinen Einsatz als Fo-kussierantrieb einer Endoskopoptik optimierten Aktor.

Da solche Motoren keine interne Maßverkörperungbesitzen, erfordern komplette Positioniersysteme einzusätzliches externes Wegmesssystem, um einen ge-schlossenen Regelkreis zu realisieren. Durch entspre-

chend angepasste Motorkonstruktionen können aberdie dem Motor inhärenten sensorischen Eigenschaftenzur integrierten Wegmessung ausgenutzt werden.

Am Institut für Konstruktion und Fertigung in derFeinwerktechnik (IKFF) der Universität Stuttgartwurde deshalb begonnen, durch duale Nutzung derMotorspulen sowohl als Antriebs-, als auch als Mess-wicklung ein wegproportionales Signal für die Läufer-stellung in feinwerktechnischen Gleichstrom-linearmotoren direkt abzuleiten und damit ein zusätz-liches Wegmesssystem zu umgehen. Kerngedanke istdabei, die Induktivitätsänderung in den Teilspulen desMotors bei Verschiebung des magnetbehafteten Läu-fers als wegproportionales Signal zu erfassen. Hervor-zuheben ist dabei, dass dieses Messsystem motorseitigkeine zusätzlichen Bauteile erfordert. Die Signalaus-wertung kann in die ohnehin vorhandene Ansteuere-lektronik verlagert werden. Bild 2 zeigt die Abhän-gigkeit der Motorteilspulinduktivitäten von der Läu-ferposition des Fokusierantriebs.Es existieren zwei verschiedene Konzepte zur Erzeu-gung eines Wegsignals aus den Spannungsabfällenüber den Teilspulen eines entsprechenden Motors, die

0

5

10

15

20

25

30

35

0 0,5 1 1,5 2

Läuferposition in mm

Indu

ktiv

ität i

n µH

Spule 1 Spule 2

Bild 2: Wegabhängigkeit der beiden Motorteilspulin-duktivitäten des Fokusierantriebs

Bild 1: Fokussierantrieb für Endoskopoptik, Durch-messer 7 mm

Nutzung eines analogen Stellgliedes mit überlagerterMesswechselspannung sowie die Nutzung eines puls-weitenmodulierten, getakteten Stellgliedes ohne zu-sätzliche Messwechselspannung.Analoge Stellglieder werden vorzugsweise für kurz-hubige, homopolare Motoren kleiner Leistung einge-setzt. Getaktete Stellglieder kommen in der Regel inaufwändigeren, heteropolaren und elektronisch kom-mutierten Antrieben zur Anwendung und eignen sichauch für höhere Leistungen.

2 Motor- und Messprinzip

Die vorgestellten Motorprinzipien stellen elektrody-namische Lineardirektantriebe mit bewegten Perma-nentmagnetläufern und feststehenden Spulensystemendar. Diese Motorbauarten eignen sich insbesonderedurch die entfallende Anschlusskabelmitführung desSpulensystems und den damit bedingten Standzeitpro-blemen für feinwerktechnische Antriebe im Kraftbe-reich bis 100 N.

2.1 Anforderungen an den Motorauf-bau (Läufer- und Spulensystem)

Das zur Positionsauswertung eingesetzte Prinzip ba-siert auf der Funktion eines Differentialdrossel-wegaufnehmers. Die Induktivität einer Teilspule solltesich möglichst stark erhöhen, bzw. im gleichen Maßdie Induktivität der anderen Teilspule vermindern. Ei-ne Induktivitätsänderung kann dabei durch das Ein-schieben bzw. Ausfahren eines hochpermeablen Mate-rials in das Spulensystem erfolgen. Bei der Verwen-dung von Permanentmagnetläufern besitzen diesejedoch nur eine geringe Permeabilität des Magnetma-terials und eine dadurch bedingte geringe Induktivität-sänderung.

Die typischen Entmagnetisierungskennlinien der Ma-gnetwerkstoffe sind in Bild 3 dargestellt. Die Per-meabilität µ = µ0µp ist dabei das Verhältnis der ma-gnetischen Induktion B zum magnetischen Feld H.Die typischen permanenten Permeabilitäten der Ma-gnetwerkstoffe betragen allerdings nur µp = 1,05 ... 1,1für die Ferrite, µp = 5 ... 7,5 für AlNiCo und µp = 1,02... 1,1 für die Seltene-Erden. Zusätzliche hochpermea-ble magnetische Flussführungen, welche in die Läu-ferkonstruktion integriert sind, können hier Abhilfeschaffen.Bei axial magnetisierten Permanentmagneten könnendann zusätzliche Polschuhe zur Flussführung undFormung eingesetzt werden. Eine andere Bauform mitradial bzw. diametral magnetisierten Magnetschalenkann durch einen massiven Kern, welcher den magne-tischen Fluss leitet, aufgewertet werden. Die mögli-chen auftretenden Sättigungserscheinungen sind in derDimensionierungsphase zu überprüfen und durch ent-sprechende Materialquerschnitte und Materialauswahlzu minimieren, um den magnetischen Kreis nicht zuschwächen. Die beiden genutzten unterschiedlichenMagnetisierungsarten sind in Bild 4 dargestellt.

Bei Motoren nach Bild 1 kommt eine axiale Magneti-sierung zum Einsatz, bei Motoren mit innenliegendemmassiven Kern eine radiale Magnetisierung, wobeijedoch einzelne Magnetsegmente genutzt werden. Dieim feststehenden Stator befindlichen Spulensystemekönnen ein- oder mehrphasig ausgeführt werden. DasAufbauprinzip eines einsträngigen Antriebes zeigtBild 5.

Bild 3: Entmagnetisierungskennlinie [1], 1 AlNiCo,2 Seltene-Erden, 3 Ferrite

Bild 4: Magnetisierungsarten

Bild 5: Einsträngiges Antriebsprinzip

Diese Motorbauform ist durch einen einfachen Aufbaugekennzeichnet, mit dem kurzhubige, schnelle Antrie-be realisiert werden können.Bei den mehrsträngigen Antriebssystemen, die durcheine elektronische Kommutierung über große Wegeverfahren können, gestaltet sich das Funktionsprinzipnach Bild 6. Die Darstellung zeigt eine Hälfte des ro-tationssymmetrischen Aufbaus.

Am Beispiel eines zweisträngigen Spulensystems zei-gen die Schritte 1 ... 4 schematisch das Zuschalten undUmpolen der einzelnen Spulenstränge und die Bewe-gung des Läufers. Die Kraftanteile der beiden Einzel-stränge überlagern sich und es ergibt sich ein resultie-render Gesamtkraftverlauf, der mit einer Restwellig-keit behaftet ist.Die Anforderungen der integrierten Wegmessung andiesen Motoraufbau beziehen sich auf die Länge desLäufers und die Ausführung bzw. Verschaltung desSpulensystems.Ein Läufersystemausschnitt mit wechselpolig diame-tral magnetisierten Schalenmagneten und hochper-meablem Flussführungskern ist in Bild 7 dargestellt.Die Länge des Läufers muss so abgestimmt werden,dass beim Durchfahren des Spulensystems immer auseiner Teilspule herausgefahren und in die andere Teil-spule hineingefahren wird.

Diese beiden Teilspulen müssen in getrennten Halb-strängen des gleichen Stranges liegen. Dies wird durcheine ungeradzahlige Magnetanzahl und eine gerad-zahlige Spulenanzahl jedes Teilstranges im Gesamts-trang erreicht. Die Teilstränge sind mit einer Mittelan-zapfung zu Verschalten, wodurch sich eine gleicheWickelrichtung der Einzelspulen ergibt. Die Ver-schaltung des zweisträngigen Spulensystems mit Mit-telanzapfung zeigt Bild 8.

2.2 Motoransteuerung

Üblich und allgemein bekannt sind zwei Methoden,um Motoren der obigen Bauart mit Strom zu beauf-schlagen: Es sind dies zum einen das Einspeisen einesreinen Gleichstroms, dessen Betrag und Vorzeichenmit guter Näherung in einer linearen Beziehung zurerzielbaren Läuferkraft steht.

Zum anderen kann ein im zeitlichen Mittel konstanter,einstellbarer Stromfluss durch eine sogenannte Puls-weitenmodulation erzielt werden, Bild 9.Bild 7: Darstellung des Magnetsystems

Bild 8: Spulensystem mit Mittenanzapfung

-UB

+UB

Spg.

0

-Imax

+Imax

Strom

0

t

t

Bild 9: Pulsweitenmodulation

Bild 6: Zweisträngiges Antriebsprinzip

In schneller Folge wird der Motor dabei wechselweisean positive bzw. negative Versorgungsspannung ge-legt. Über die Steuerung dieser Schaltzeiten kann beiausreichend hoher Ansteuerfrequenz ein quasikonti-nuierlicher Motorstrom eingestellt werden.Die analoge Ansteuerung lässt sich sehr einfach reali-sieren, hat aber den Nachteil, dass in der Leistungse-lektronik recht hohe Verlustleistungen anfallen. Diegetaktete Variante vermeidet dieses Problem weitge-hend und kommt deshalb vorzugsweise bei leistungs-stärkeren Antrieben zum Einsatz.

2.3 Integrierte Wegmessung bei analo-ger Ansteuerung

Das Prinzip der integrierten Wegmessung beruht beimanalogen Stellglied auf einer Wechselspannung, dieder eigentlichen, zur Krafterzeugung notwendigen,Motorspannung überlagert ist. Wie von der Differen-tialdrossel her bekannt, lässt sich mit Hilfe diesesWechselanteils eine Änderung des Induktivitätsver-hältnisses beider Motorteilspulen messen.Die Frequenz der Messwechselspannung wird so hochgewählt, dass der Motor ihr mechanisch nicht folgenkann und keine akustischen Auswirkungen auftreten,üblicherweise 20kHz.Zur Wegmessung werden die mit dem Läuferweg ver-änderlichen Induktivitäten der beiden Antriebsteil-spulen L1 und L2 ausgewertet. Es entsteht ein kom-plexer Spannungsteiler, dessen beide komplexen Wi-derstände sich mit dem Läuferweg ändern.Betrachtet man den Wechselspannungsanteil am Mit-tenabgriff der Motorspulen, so zeigt sich eine Abhän-gigkeit der Signalamplitude von der Läuferstellung,Bild 10.

Mit der in Bild 11 gezeigten Elektronik kann dieseausgewertet und einem Mikrocontroller zugeführtwerden, der dann mit geeigneten Algorithmen die Re-

gelung übernimmt und die Leistungsendstufe in ge-eigneter Weise ansteuert.Es muss an dieser Stelle darauf hingewiesen werden,dass der Einsatz eines Controllers optional ist. FürEinfachstsysteme kann die Elektronik auch ohne Di-gitalteil rein analog aufgebaut werden, wie dies bereitsbei einigen Projekten, siehe etwa Bild 1, gezeigt wur-de.

2.4 Integrierte Wegmessung bei getak-teter Ansteuerung

Wird der Antrieb mittels einer pulsweitenmoduliertenSpannung betrieben, so ist kein zusätzliches Mess-signal erforderlich, um eine Läuferpositionsbestim-mung durchzuführen. Der prinzipielle Motoraufbau istmit dem analoger Ansteuerung identisch und somitergeben sich auch gleiche elektrische Ersatzschaltbil-der. Damit steht wieder ein komplexer Spannungstei-ler zur Verfügung, der von den beiden Antriebsspulengebildet wird. Nur bei Läufermittelstellung sind diebeiden Teilinduktivitäten gleich groß und es ergibtsich am Mittenabgriff ein Wechselspannungsanteil vonNull. Bei jeder anderen Läuferstellung ergibt sich einWechselsignal, aus dessen Verlauf sich die aktuellePosition ableiten lässt, Bild 12. Dazu wird der Span-nungsverlauf zwischen den Flankenwechseln analy-siert, in dem zu zwei verschiedenen ZeitpunktenSample&Hold-Glieder die am Mittenabgriff anliegen-de Spannung abtasten, siehe Bild 13. Über einenAnalog-Digital-Wandler können diese Werte dann in

t

U

t

t

U

U

Bild 10: Wechselspannungssignale am Mittenabgriffbei 3 verschiedenen Läuferpositionen

Bild 11: Blockschaltbild

einen Mikrocontroller eingelesen werden, der darausdie Steigung der abgetasteten Funktion errechnet.

Mittles weiterer Algorithmen kann dann die aktuelleLäuferposition errechnet werden. Durch geeigneteProgrammierung lassen sich noch verschiedene Feh-lereinflüsse eliminieren, Motorkennlinien linearisierenoder Regelvorschriften realisieren. Ebenso ist eineRechner- oder Feldbusanbindung möglich.

2.5 Integrierte Wegmessung in mehr-strängigen Antrieben

Grundsätzlich lassen sich auch in kommutierten mehr-strängigen Antrieben Läuferpositionsmessungen mitbeiden Stellgliedkonzepten verwirklichen, wenngleichhier sicherlich Pulssteller zu bevorzugen sind. Die er-forderliche Kommutierung wirft zwar zusätzliche Pro-bleme bei der Signalauswertung auf, diese lassen sichaber beherrschen.Ein mehrsträngiges System kann man sich gedanklichaus mehreren, hintereinander angeordneten, einsträn-gigen Systemen zusammengesetzt vorstellen. Damitwird auch klar, dass sich für jeden Teilabschnitt einWegsignal ergibt, sich diese Wegsignale jedoch ent-sprechend der Anzahl der hintereinander angeordne-ten Systeme wiederholen. Damit steht eine analog-inkrementale Positionsinformation zur Verfügung. Ausdiesem Grund muss vom Motor bei Betriebsbeginneinmal eine bekannte Referenzposition angefahrenwerden, wie dies auch bei anderen inkremental arbei-tenden Messsystemen üblich ist.Die Darstellung eines zweisträngigen Lineardirektan-triebes zeigt Bild 15. Der Motor besteht aus dem Läu-fersystem, Spulensystem, Führungssystem, Stator undAbschlussdeckeln. Die Hauptabmessungen betragenfür den Motordurchmesser 22 mm und die Motorlänge201 mm. Der Hub des Antriebes beträgt 46,5 mm.Das Läufersystem ist in Bild 14 dargestellt. Es bautsich aus fünf wechselpolig diametral magnetisiertenMagnetringen auf, die jeweils aus acht Segmentma-gneten bestehen. Als Magnetwerkstoff ist NdFeB ein-gesetzt worden. Als innere Flussführung dient einhochpermeabler Kern aus Vacoflux 50.

t

U

t

U

t

U

Bild 12: Wechselspannungssignale am Mittenab-griff bei 3 verschiedenen Läuferpositionen

Bild 13: Blockschaltbild

Bild 14: Läuferaufbau

Die Führung des Läufers erfolgt durch eine Nutwellemit Kugelumlauführung, wodurch eine zusätzlicheVerdrehsicherung entsteht. Zur Abstützung des Ma-gnetsystems im Motorinneren dient eine Gleitführung.Das zweisträngige Spulensystem ist auf einen Wickel-körper in Form einer Hülse mit Kammern gewickelt,Bild 16. Durch die exakte geometrische Lage der ein-zelnen Kammern sind die Kommutierungspunkte ge-nau definiert.

Die bei dieser Motorbauform möglichen auftretendenSättigungserscheinungen sind mittels einer FEM-Analyse optimiert worden.In Bild 17 sind dazu die Verläufe der magnetischenFlussdichte und überlagerten Feldlinien dargestellt.Der Einsatz von Hochenergiemagnetwerkstoffen ver-ursacht im Läuferkern sehr hohe magnetische Fluss-dichten. Diese Sättigungserscheinungen sind durchentsprechende Wahl der Magnetlänge mit Werkstoff-bzw. Materialquerschnittsauswahl zu minimieren, umkeine hohen magnetischen Potentialverluste zu erhal-ten.Als Flussführungswerkstoff im Kern ist deshalb derhochpermeable Sonderwerkstoff Vacoflux 50 einge-setzt worden, der eine Sättigungsinduktion von bis zu2,3 Tesla erreicht.Die erzielbare Dauervorschubskraft des Antriebes be-trägt 7 N. Durch den fertigungstechnisch günstig ge-

stalteten Aufbau, der sich nur auf wenige Einzelteilebeschränkt, entstehen kompakte Antriebseinheiten, dieleicht montiert werden können.

Ferner sind durch den modularen Antriebsaufbau Sy-steme in verschiedenen Durchmesser- und Verfahrbe-reichen möglich. Antriebsvarianten für den Kraftbe-reich bis 100 N wurden ebenso realisiert.

3 Integrierte Wegmessung inanderen Motorkonzepten

Für Sonderlösungen bietet es sich an, integrierteWegmessung auch in anderen Antriebskonzepten ein-zusetzen:

Asynchronlineardirektantriebe ermöglichen zum Bei-spiel extrem lange Verfahrwege bei minimalen Motor-kosten, da hier keine Magnete benötigt werden undder einfachst aufgebaute Läufer beliebig lang gestaltetwerden kann. Am IKFF ist ein Konzept entwickeltworden, um auch hier eine integrierte Wegmessung zuermöglichen. Bei geringerem Kraftbedarf oder kurzerEinschaltdauer können somit preisgünstige Antriebs-

Bild 17: FEM-Analyse (Stromdichte 15 A/mm2)

Bild 16: Wickelkörper in Kammerbauform

Bild 15: Zweisträngiger Lineardirektantrieb

systeme realisiert werden, die zum Beispiel in Hand-ling- und Transportsystemen oder der Textil- und Ver-packungsindustrie zum Einsatz kommen. Bild 18 zeigtdas Labormuster eines solchen, rotationssymmetri-schen, dreiphasigen Asynchronmotors. Die Einfüh-rung einer integrierten Wegerfassung ist hier zur ZeitGegenstand der Forschung.

Spezielle Induktionsmotoren lassen sich für Sonder-anwendungen einsetzen, wenn geringe Massen anfestgelegten Punkten mit extremen Beschleunigungenbeaufschlagt werden sollen. Hier sind allerdings Son-derkonstruktionen für den jeweiligen Einsatzfall not-wendig, diese können dann aber durch den ebenfallsmagnetlosen und einfachen Aufbau inklusive inte-grierter Wegmessung wirtschaftlich sehr interessantsein. Ein derartiges System befindet sich zur Zeit imAufbau, um den Funktionsnachweis zu erbringen.

Drehschubmotoren vereinen das Prinzip von mehr-strängigem Lineardirektantrieb mit einem elektronischkommutierten rotatorischen Elektromotor, so dass derLäufer sowohl eine Dreh- als auch eine lineare Bewe-gung, auch gleichzeitig, ausführen kann. Die Baumaßesind dabei erheblich kleiner als bei einer getrenntenRealisierung beider Freiheitsgrade mittels je eines ei-genen Aktors. Zudem kann durch die integrierteWegmessung der Linearbewegung wieder ein Messsy-stem entfallen, was zusätzlich Raum und Kosten spart.Wenn auch die Motorkräfte im Vergleich zu einemreinen Linear- oder rotatorischen Antrieb bei gleicherBaugröße deutlich geringer ausfallen, könnten damitzahlreiche Anwendungsgebiete erschlossen werden,zum Beispiel Pick&Place-Aufgaben, Roboter-, Hand-ling- oder Montagetechnik.

4 Ergebnisse und Ausblick

Wie dargelegt wurde, existiert für elektrodynamischeLineardirektantriebe mit bewegten Magneten bei Be-achtung einiger Randbedingungen ein kostengünsti-ges, einfaches und bauraumsparendes Konzept zur Po-sitionsmessung. Bild 19 zeigt am Beispiel eines ho-

mopolaren Motors mit 50 mm Hub dasAuflösungsvermögen beider Messsysteme. Für eineVielzahl von Anwendungen sind die erreichten Wertebereits ausreichend. Werden an die Messgenauigkeitbesondere Anforderungen gestellt, so lassen sich dieAntriebe auch noch weiter optimieren. Dies kann dann

allerdings bei anderen Motoreigenschaften zu Einbu-ßen führen, so zum Beispiel bei der Linearität derKraft-Weg-Kennlinie. Bild 20 zeigt einen so opti-mierten einsträngigen Miniaturmotor mit den Maßen40 mm × 8,5 mm × 11 mm und 5 mm Hub. Die We-gerfassung wird durch hochpermeables Kernmaterial,die Anordnung der Magnete sowie Spulen großer In-duktivität erleichtert.

Die Praxistauglichkeit wurde inzwischen durch meh-rere Applikationen und Prototypen bewiesen. Gegen-stand aktueller Entwicklungsarbeit ist die Ausweitungder Messmethode auf möglichst kostengünstige Line-ardirektantriebe, andere elektrodynamische Lineardi-rektantriebe wie zum Beispiel Asynchronmotoren so-wie eine Steigerung der Messgenauigkeit.

Bild 18: Asynchronlineardirektantrieb

Bild 20: Für die integrierte Wegmessung optimierterMiniaturmotor, Baulänge 40mm

0 12,5 25 37,5 50

0

0,01

0,02

0,03

Läuferposition in mm

Analoges System Getaktetes System

Stan

dard

abw

eich

ung

in

mm

Bild 19: Messsystemauflösung; homopolarer Antrieb

5 Literatur

[1] Dr. E. Steingroever, Dr. G. Roos: Magnetisieren,Entmagnetisieren und Kalibrieren von Perma-nent - Magnetsystemen, Magnet-Physik GmbHKöln, 1997.

[2] Hartramph, R.; Schinköthe, W.; Welk, Ch.:Elektrodynamische Lineardirektantriebe mit in-tegriertem Wegmeßsystem. 41. InternationalesWissenschaftliches Kolloquium der TU Ilmenau1999, Ilmenau 20. – 23.09.1999, Reihe 6 Me-chatronik, Tagungsband S 63-68.

[3] Hartramph, R.: Integrierte Wegmessung in fein-werktechnischen elektrodynamischen Lineardi-rektantrieben. Eingereichte Dissertation, Univer-sität Stuttgart, IKFF, 2001.

[4] Schinköthe, W.; Voss, M.; Irion, K.: Endoskop.Patentanmeldung, OS DE 196 18 355.

[5] Schinköthe, W.; Voss, M.; Hartramph, R.:Gleichstromlinearmotor mit integriertem Weg-meßsystem. Gebrauchsmuster DE 297 05 315.9,25.

[6] Hartramph, R.; Schinköthe, W.: Elektromagneti-sches Antriebssystem mit integrierter Wegsi-gnalerzeugung. Patentanmeldung, OS 197 48647 A1.

[7] Hartramph, R.; Schinköthe, W.: Electromagneticdrive system with integrated path signal genera-tion. US-Patent US 6 037 739, 14.03.2000.

[8] Schinköthe, W.; Welk, C.: Verfahren zur inte-grierten Wegsignalerzeugung in Asynchronline-armotoren. Patentanmeldung, Aktenzeichen 10025 885.9, 25.05.00.

[9] Schinköthe, W.; Welk, C.: Verfahren zur inte-grierten Wegsignalerzeugung in Induktionsmoto-ren nach Elihu Thomson. Patentanmeldung, Ak-tenzeichen 100 36260.5, 26.07.00.

Neue Telefon- und Telefaxnummer:

Telefon: +49 (0)711 685 – 6 6402Telefax: +49 (0)711 685 – 6 6356

Neue E-Mail-Adressen:

ikff@ikff.uni-stuttgart.delinearantriebe@ikff.uni-stuttgart.depiezoantriebe@ikff.uni-stuttgart.de

spritzguss@ikff.uni-stuttgart.dezuverlaessigkeit@ikff.uni-stuttgart.de