XT H

NIKON METROLOGY I VISION BEYOND PRECISION

Röntgen- und CT-Technikfür industrielle Anwendungen

XT H Serie

EINBLICKE IN DAS INNENLEBEN

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Röntgen- und CT-Systeme für industrielle Einsätze erzielen eine hohe Genauigkeit und ermöglichen die gleichzeitige Messung innerer und äußerer Strukturen, ohne das Prüfteil zu zerstören. Darüber hinaus bieten sie zusätzliche Einblicke in die vierte Dimension der Materialdichte und verwandeln die Steuerungstechnik rasch zu einem unabdingbaren Werkzeug für Ihre Qualitätsprüfung.

Erhalten Sie Einblicke in komplexe, industrielle Bauteile, indem Sie die inneren Strukturen sichtbar machen. Nutzen Sie dann die CT-Funktion, um zerstörungsfrei die inneren und äußeren Abmessungen zu qualifizieren und quantifizieren.

Seit mehr als 25 Jahren Pionier in der Röntgen- und CT-TechnikDen Ursprung des Röntgen- und CT Produktportfolios von Nikon Metrology findet man in Tring, Großbritannien, bei X-Tek Systems.

Mit seiner über 25-jährigen Erfahrung hat X-Tek bereits über Tausend Röntgen- und CT-Installationen weltweit getätigt. CT-Spezialisten in Tring konstruieren, entwickeln und produzieren industrielle Systeme: von eigenentwickelten Mikrofokus Röntgenquellen und vollständig programmierbaren 5-Achsen-Präzisionsmanipulatoren bis zu schneller Aufnahme- und Rekonstruktionssoftware.

VIELFÄLTIGE EINSATZBEREICHE

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Schneckenfossile Schenkelknochen

Turbinenschaufel

Stecker

Dosierspender Stecker

Überall da, wo es um Innenstrukturen geht, bieten sich röntgen- und CT-basierte Technologien als effiziente Instrumente an, um wertvolle Informationen zu gewinnen. Die detailgetreue Erfassung und Messung innen liegender Merkmale ist oft ein entscheidender Faktor bei der Qualitätskontrolle, Fehleranalyse und Materialforschung in verschiedensten Industriezweigen.

• Fehlersuche und Fehleranalyse• Montageprüfung komplexer Mechanismen • Dimensionale Messung innen liegender Komponenten • Teil-gegen-CAD-Vergleich• Erweiterte Materialforschung• Analyse biologischer Strukturen• Digitale Archivierung von Modellen

Automotive• Elektrische Anschlüsse• Einspritzdüsen• Sensoren (z.B. Lambdasonde)• LED-Lichtleiter• Kleine Druckgussformen• Dieselpartikelfilter

Luft- und Raumfahrt• Kernpositionierung in Wachs für Turbinenschaufeln • Prüfung von Turbinenschaufeln• Rissanalyse für Bauteile• Schweißnahtanalyse

Spritzgusstechnik• Komplexe Kunststoffteile (z.B. Ventilatoren)• Weiche, durchsichtige Materialien, für die taktile oder optische

Messsysteme ungeeignet sind• Ultraschallschweißen von Kunststoffteilen

Pharmazeutik/Medizin• Arzneimittelspender • Kleine Instrumente• Kleine Kunststoff- oder Verbundteile• Knochenstrukturen

Forschung • Materialprüfung und -analyse (z. B. Struktur, Porosität, Defekte)• Paläontologie (z. B. Knochen, Schädel, Fossilien) • Geologie und Bodenkunde• Archäologie

Turbinengehäuse

Libelle Versteinerter Eckzahn

180 kV Transmissionstarget-Röhre Die Tansmissionstarget-Röhre kann bei Prüfobjekten eingesetzt werden, die kleiner als 10 mm sind, wie kleinen Gesteins- oder Knochenproben. Sie erreicht eine Leistung von bis zu 180 kV bei einer Brennfleckgröße von 1 µm für die hochauflösende CT-Darstellung.

225 kV Ultrafokus und rotierendes TargetMit 225 kV Leistung und einer Minimum Brennfleckgröße von 3 µm bildet die 225 kV Mikrofokus Quelle das Herzstück der Nikon XTH 225 Serie.

Nikon Metrology ist das einzige Unternehmen, das eine 225 kV Mikrofokusröhre mit rotierendem Target herstellt. Bei Verwendung eines rotierenden Targets trifft der Elektronenstrahl auf eine bewegliche statt auf eine statische Fläche, sodass eine insgesamt effektivere Kühlung erreicht wird. Auf diese Weise können Objekte schneller oder dichtere Objekte mit höherer Genauigkeit gemessen werden als jene, die mit der standardmäßigen 225 kV Röhre gemessen werden.

Statische 450 kV Röhre für hohe Bildbrillanz Die 450 kV Mikrofokus Röntgenquelle zählt zu den marktführenden Quellen in der Industrie, wenn es um die Prüfung von filigranen Gussteilen mit einer hohen Dichte geht.

Die 450 kV Röhre für hochbrillante Bilder liefert eine Dauerleistung von 450 W – ohne Einschränkung der Messzeit. Gleichzeitig bietet sie eine kleine Brennfleckgröße für schnellere CT-Scans. In derselben Aufnahmezeit wie die standardmäßige 450 kV Röhre erfasst sie Daten bis zu fünf Mal schneller bzw. mit höherer Genauigkeit.

320 kV Mikrofokusröntgenröhre Die 320 kV Röhre ist eine einzigartige Mikrofokusröntgenröhre, die sich für Prüfobjekte, die zu groß oder zu dicht für 225 kV Röhren sind, eignet und gleichzeitig eine kleine Brennfleckgröße bietet. Diese ideale Lösung für die Prüfung von Steinkernen und kleinen Gussformen ist wahlweise für das XT H 320 in Kabinenausführung erhältlich.

750 kV MikrofokusröntgenröhreDie weltweit erste 750 kV Mikrofokus-Röntgenquelle prüft zerstörungsfrei große oder dichte Objekte wie z. B. Motorblöcke, Turbinenschaufeln sowie große Verbundwerkstoffe mit beispielloser Genauigkeit. Es ist die einzige 750 kV Mikrofokus Röntgenquelle auf dem Markt, die eine derart überlegende Auflösung und Genauigkeit im Vergleich zu herkömmlichen Mikrofokus Quellen bietet.

Die von Nikon Metrology entwickelten Röntgenröhren sind das Herzstück der Röntgen- und CT-Technologie. Schon ab 1987 wurden sie im eigenen Hause entwickelt und hergestellt – das bedeutet ein Know-how von mehr als 25 Jahren. Aufgrund dieser fundierten praktischen Erfahrung in der Röntgentechnik kann Nikon Metrology schnell auf Marktveränderungen reagieren und universelle, innovative Lösungen für neue Anforderungen und Anwendungen entwickeln. Bei allen Röntgensystemen kommt eine offene Röntgenröhre zum Einsatz (Open-Tube-Technologie), die sehr wirtschaftlich im Betrieb ist. Nikon Metrology bietet Röntgenröhren in verschiedenen Leistungsvarianten von niedrig (160 kV), mittel (225 kV) bis hoch (750 kV) an, die allesamt Auflösungen im Mikrometerbereich bieten.

Planung und Konstruktion im eigenen Hause

RÖNTGENQUELLEN

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XT H 160 / 225

Die detailgetreue Erfassung und Messung von innen liegenden Bauteilen und Montagebauteilen ist oft ein entscheidender Faktor bei der Qualitätskontrolle, Fehleranalyse und der Materialforschung. Das Einsteigermodell XT H 160 und das vielseitige XT H 225 System bieten eine Mikrofokusröntgenröhre, ein großes Messvolumen, eine hohe Bildauflösung und sind für die extrem schnelle CT-Rekonstruktion vorbereitet. Es deckt ein breites Spektrum an Anwendungen ab, einschließlich der Prüfung von Kunststoffteilen, kleinen Gussteilen und komplexen Mechanismen sowie Materialforschung und Prüfobjekte aus der Natur.

Computertomografie Zur Erstellung eines dreidimensionalen CT-Volumens wird nacheinander eine Reihe von 2D-Röntgenbildern von dem Objekt aufgenommen, das um 360 Grad gedreht wird. Diese Bilder werden dann rekonstruiert, um eine dreidimensionale Darstellung des Objekts zu generieren. Neben den Informationen zu den Außenflächen enthält das rekonstruierte Volumen alle Daten zu innen liegenden Flächen und Strukturen – sowie Informationen zur Materialstruktur. Das CT-Volumen kann an jedem Punkt, durch alle Ebenen hinweg, angesteuert werden. Daher können selbst innen liegende Messungen problemlos durchgeführt werden. Gleichzeitig können strukturelle Materialfehler und Montagefehler lokalisiert werden, die normalerweise nicht mit den traditionellen zerstörungsfreien Messverfahren sichtbar gemacht werden können.

Bedienerfreundlich Bediener sind bereits nach wenigen Einarbeitungstagen mit dem System vertraut. Ein CT-Assistent führt den Bediener durch alle Schritte der Datenerfassung. Der Messablauf kann durch benutzerdefinierbare Makros automatisiert werden und die enge Integration mit Anwendungen zur Nachbearbeitung nach Industriestandard verkürzt den Entscheidungsprozess.

Geringe BetriebskostenUnabhängig von der Auswahl des Targets kommt im XT H 225 System eine offene Mikrofokusröntgenröhre zum Einsatz, die besonders wirtschaftlich im Betrieb ist. Die offene Röntgenröhre ermöglicht die vor-Ort-Wartung interner Komponenten im Rohr, sodass ein kompletter Austausch der Röhre entfällt. Dank drei integrierter Räder kann das Gerät einfach durch doppelflügelige Türen manövriert werden. Eine besondere Verstärkung des Aufstellbodens für die Installation eines XT H 225 Systems ist nicht erforderlich.

Vielseitige CT Manche Anwendungen erfordern detailgetreuere Bilder oder eine höhere Genauigkeit. Das XT H 225 kann mit verschiedenen Flachdetektoren (Varian, Perkin Elmer) oder Röhrenkomponenten (Reflexions-/Transmissionstarget) konfiguriert werden, sodass Sie die ideale Auflösung für Ihre Anforderungen erhalten: Darstellung des vollständigen Prüfobjekts in niedrigerer Auflösung und des Bereichs von Interesse (ROI) in höherer Auflösung. Eine kleine Brennfleckgröße und ein hochauflösender Flachdetektor sorgen für unvorstellbar scharfe Bilder.

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Prüfvolumen Das XT H 225 ST ist eine erweiterten Variante des XT H 225 Systems. Es kann verschiedenste Prüfobjekte aufnehmen und besonders jene, die zu groß oder zu schwer für andere Systeme dieser Größenordnung sind. Das große Prüfvolumen, die Neigungsachse sowie die Auswahl an verschiedenen Röhren vom 180kV Transmissionstarget bis hin zur leistungsstarken 225kV Röhre machen dieses System zu einem vielseitigen Instrument zur Prüfung von kleinen und leichten bis hin zu großen und schweren Prüfobjekten in allen Industriezweigen.

Verblüffende Bilder Unterschiedliche Materialien oder Objekte mit geringerer Röntgenschwächung werden aufgrund der höheren dynamischen Bandbreite dieses Detektortyps besser mit Perkin Elmer-Flachdetektoren vermessen. Bei CT-Aufnahmen werden hochauflösende Voxel-Daten erfasst, wenn hochauflösende Flachdetektoren mit flächenmäßig hoher Pixelanzahl eingesetzt werden. Die ST Schutzkabine ist mit Perkin-Detektoren eines höheren Auflösungsvermögens von 2000 x 2000 Pixeln konfigurierbar. Sie bieten eine zweifach höhere Auflösung als die kleineren Systeme XT H 160 und 225.

Mit allen Nikon Metrology CT-Systemen können Sie • komplexe innen liegende Strukturen überprüfen• eingeschlossene Bauteile isolieren und prüfen • Maße nachmessen, ohne das Objekt zerteilen zu müssen• interne Lunker/Volumina automatisch auffinden und messen• innen- und außen liegende Flächen einfach sichtbar machen• die gesamte Prüfzeit verkürzen• die Anzahl der Wiederholungen zur Feinabstimmung der

(Vor-)Produktionsparameter verringern

Motorisierte FID Der Detektor kann über die Rechnersteuerung in der Kabine näher an die Röntgenquelle gebracht werden. Die Röntgenabschwächung verringert sich während der Bewegung des Röntgenstrahls vom Brennfleck zum Bildgeber. Eine kürzere FID (Distanz zwischen Brennfleck und Bildgeber) ist gleichbedeutend mit einer Erhöhung der Röntgenintensität und einer kürzeren Belichtung des Bildgebers. Das Ergebnis ist eine kürzere Aufnahmezeit. Alternativ kann eine kürzere FID hellere Bilder erzeugen, wenn Röntgenstrahlen niedrigerer Intensität eingesetzt werden. Beide Ergebnisse haben ihre Vorteile, wenn es nicht auf eine hohe Vergrößerung ankommt.

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Das XT H 225 ST ist ein Computer-tomografie (CT) Prüfsystem, das ideal für unterschiedliche Materialien und Objektgrößen geeignet ist. Dies gilt besonders für Objekte, die zu groß oder zu schwer für andere Systeme dieser Größenordnung sind. Das System verfügt über drei untereinan-der austauschbare Röhren: die 225 kV Reflexionstarget-Röhre, die 180 kV Transmissionstarget-Röhre und die 225 kV Röhre mit rotierendem Target. In Verbindung mit einer großen Auswahl an Flachdetektoren ist das ST System ein vielseitiges Instrument für den Einsatz in Qualitätslabors, Produktionsanlagen und die Forschung.

XT H 225 ST

320 kV MikrofokusröntgenröhreNikon Metrology eröffnet neue Wege in der Mikro-CT und ergänzt sein Portfolio an Lösungen durch leistungsfähigere Mikrofokus-röntgenröhren. Das XT H 320 Prüfsystem zeichnet sich durch eine leistungsstärkere Mikrofokusröhre aus, die äußerst präzise Prüfungen an hochdichten Industriewerkstücken durchführen kann. Die große begehbare Kabine, die über eine breite Zugangstür verfügt, kann mit weitaus größeren Prüfobjekten beladen werden als die kleineren XT H 225 Kabinen, die nur Prüfobjekte bis zu einem Gewicht von 100 kg aufnehmen können.

Größere und dichtere PrüfobjekteDie meisten Systemanbieter bieten lediglich Mikrofokusröhren mit einer Leistung von maximal 225 kV an, während die leistungsstärkeren Röntgenröhren ihres Angebots mit Minifokus ausgestattet sind. Größere Objekte erfordern häufig eine intensivere Durchstrahlung. Aus diesem Grund bietet Nikon Metrology die einzigartige 320 kV Mikrofokusröntgenröhre an. Da die Brennfleckgröße dieser Röntgenröhren im Vergleich zu Minifokusröhren um einige Größenordnungen kleiner ist, profitieren die Endnutzer von einer höheren Auflösung und vielfältigeren Möglichkeiten für die Teilemessung.

Zylinderkopf

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Das XT H 320 ist ein System in großer Kabinenausführung für das Röntgen, CT-Scannen und die Vermessung großer Bauteile. Es ist mit einer 225 kV oder rotierenden 225 kV oder 320 kV Mikro-fokusröhre ausgestattet, die bis zu 320 W Röntgenleistung bietet.

Unter Verwendung eines hochauflösen-den Flachdetektors werden hochwer-tige Bilder des Prüfobjekts erstellt. Die Steuerung des Systems erfolgt durch Inspect-X, ein Programm, das die Erfas-sung von CT-Daten und die Einrichtung von Messungen zu einer einfachen An-gelegenheit macht. Das Programm kann Volumendaten an eine Viewer-Software nach Industriestandard ausgeben.

XT H 320

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450 kV MikrofokusDie von Nikon Metrology entwickelte 450 kV Röntgenquelle ist weltweit die einzige Mikrofokusröntgenröhre dieser Energieklasse, die eine Wiederholbarkeit und Genauigkeit von 25 Mikrometern bietet! Da die Brennfleckgröße dieser Röntgengröhre im Vergleich zu Minifokusröhren um einige Größenordnungen kleiner ist, profitieren die Endnutzer von einer beispiellos hohen Auflösung. Mit der hochbrillanten 450kV Röntgenröhre können Details nun um bis zu fünf Mal schneller erfasst werden oder mit einer höheren Genauigkeit, als bei einer vergleichbaren Aufnahme mit der standardmäßigen 450 kV Röhre.

Einzigartige CLDA-TechnikWenn Röntgenstrahlen Material durchdringen, werden sie aufgefangen, aber auch gestreut; ein Phänomen, das sich proportional zur Teiledichte verstärkt. Die Streustrahlung, die von allen Punkten des Prüfteils ausgeht, verringert die Kontrastempfindlichkeit, wie auf den Bildern am Flachdetektor erkennbar ist. Nikon Metrology hat einen eigenen CLDA-Detektor entwickelt, der für eine optimale Erfassung der Röntgenstrahlen sorgt, die das Teil durchdringen, und verhindert, dass die unerwünschte Streustrahlung aufgenommen wird. Ein linearer Detektor dieser Art erzielt verblüffende Bildschärfen und Kontraste, indem er Bildrauschen und damit verbundene Kontrastverluste ausschließt. Die linearen Dioden sind gekrümmt angeordnet. Dadurch wird die Bildqualität zusätzlich optimiert, da der Abstand der Röntgenstrahlen zu den Diodenempfängern im Vergleich zu einer geraden Anordnung gleich bleibt. Dies ermöglicht den Einsatz längerer Kristalle, um die Röntgenempfindlichkeit und damit die Signalgüte zu optimieren.

Das XT H 450 System bietet genügend Röntgenleistung, um hochdichte Prüfobjekte zu durchstrahlen und streuungsfreie CT-Volumina mit einer Genauigkeit im Mikrometerbereich zu erzeugen. Herzstück des leistungsfähigen Systems ist eine 450 kV Mikrofokusröntgenröhre. Sie bietet

eine überragende Auflösung und Genauigkeit bis zu einer Leistung von 450 W und eine Röntgenintensität,

die hoch genug ist, um auch sehr dichte Musterteile zu durchstrahlen. Das System wird mit einem im eigenen Hause entwickelten Curved Linear Diode Array

(CLDA)-Detektor angeboten („2D“), der für eine optimale Erfassung der Röntgenstrahlen sorgt, die das Teil durchdringen, und verhindert, dass die unerwünschte Streustrahlung aufgenommen wird.

Manipulator mit großer AufnahmekapazitätPrüfobjektgewicht von bis zu 100 kg

Geringe BetriebskostenWartungsfreundliche offene Röntgenröhre

XT H 450

Messung von GussformenMikrofokusröhren dieser Energieklasse werden für die präzise Prüfung von hochdichten Industriewerkstücken, wie beispielsweise großen Gussteilen, benötigt. Das XT H 450 3D wurde als System entwickelt, das beim Scannen großvolumiger Objekte, bei denen Streuung kein Thema ist, d. h. Gussteilen mit niedriger Materialdichte

etc. beste Ergebnisse erzielt. Bei Gussteilen höherer Dichte, die nicht streuungsfrei aufgenommen werden können, kann das XT H 450 in Verbindung mit zweidimensionalen CT-Schnitten aus CLDA-Aufnahmen ein 3D-Volumen konstruieren.

Prüfung von TurbinenschaufelnEine 450 kV Röhre in Verbindung mit einem CLDA-Detektor ist ideal für die Röntgen- und CT-Prüfung sowie Messung kleiner bis mittelgroßer Turbinenschaufeln aus Metalllegierung. Ein solches Röntgensystem bietet genügend Röntgenleistung, um das Prüfteil zu durchstrahlen und ein

streuungsfreies CT-Volumen zu erzeugen In der Fertigungsumgebung führt das System automatisch die Datenerfassung, die sehr schnelle CT-Rekonstruktion und -Prüfung aus und erstellt eine Ausschussanalyse für jedes geprüfte Objekt. Turbinenschaufelhersteller nehmen detaillierte CT-Prüfungen an Turbinenschaufeln (z.B. Wandstärke) vor. Dadurch können sie den Kraftstoffverbrauch von Düsentriebwerken optimieren.

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SchutzkabineKeine Gefahr durch Röntgenstrahlung

Flachdetektor und CLDAWahlweise Flachdetektor oder CLDA oder beide Varianten, je nach Anwendung

Geringe BetriebskostenWartungsfreundliche offene Röntgenröhre

Einzelbildschirm 30“ oder Doppelbildschirm 22“Vollbildmodus undSoftwaresteuerung

Große ZugangstürBegehbare Kabine mit druckluftgesteuerter TürNikon Metrology 450 kV

Die einzige 450 kV Mikrofokusröntgenröhre der Welt, nun in hochbrillanter Ausführung erhältlich

Mikro-CT-Prüfung von Materialien mit höherer DichteSollten Sie kein Standardröntgen- oder CT-Prüfsystem auf dem Markt finden, das den besonderen

Anforderungen Ihres Unternehmens gerecht wird, kann Nikon Metrology das richtige System für Ihre Zwecke bauen. Die CT-Experten von Nikon Metrology bauen komplette Systeme mit individuell für den Kunden entwickelten Prüfkabinen, Manipulatoren, Detektoren, Softwarefunktionen etc.

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BEDIENERFREUNDLICHKEIT• ‘CT-Assistent’/’Unterstützer Arbeitsablauf’ sorgt für eine schnelle

Lernkurve und ein vereinfachtes CT-Verfahren• Makrobasierte Automation erfordert keine Programmierkenntnisse• Per Knopfdruck Erzeugung eines Re-Scans der letzten Probe• Benutzeroberfläche ist an Workflow angepasst

MAXIMALE PRODUKTIVITÄT• CT-Batchprogramm für die Messung mehrerer Prüfobjekte• Spezielles Verfahren für die Messung hoher Objekte• Mit der Funktion ‘Zeitversetzte CT’ können auf Wunsch

Verzögerungen zwischen den Scans festgelegt werden. Sie ermöglicht die Analyse von Veränderungen an organischen Stoffen im Zeitverlauf oder die Überwachung der Auswirkungen unterschiedlichen Drucks auf ein bestimmtes Objekt.

• Interprozesskommunikation I(IPC) für eine benutzerdefinierte Systemkontrolle und die Automatisierung komplexer Aufgaben, einschließlich Volume Graphics Makros.

LEISTUNGSSTARKE DATENVERARBEITUNG • Schnellster Rekonstruktionsalgorithmus der Welt für einen Einzelplatz-Industrierechner• Automatische Strahlaufhärtungskalkulation für Einzelwerkstoff• Automatisierte CT-Rekonstruktion• Makrobasierte Automation der Datenanalyse

DATENVERWALTUNG • Archivieren Sie CT-Profile in einer internen Bibliothek für

einen schnellen Abruf bereits gescannter Objekte• Verschiedenste Volumenformate und TIFF-Bildstapel• Verknüpfung von Metadaten mit CT-Profilen• Funktionen für die Erstellung von Berichten und Ausgabe im

HTML und CSV Format

ECHTZEIT-RÖNTGEN• Intuitive Joystick-Steuerung zur interaktiven Bauteilpositionierung• Ultraschnelle Erfassung von Röntgenbildern• Messen am Bildschirm und Kommentieren von Daten• C.Clear Echtzeit Bildbereinigung

INTELLIGENTE SOFTWARE

Eine interaktive und bedienerfreundliche Software ist unerlässlich bei der Bewertung komplexer innerer Strukturen und der Durchführung genauer Untersuchungen. Mit Inspect-X können Sie äußerst effektiv Röntgenbilder erfassen und CT-Volumen rekonstruieren. Konzipiert, um CT-Messprozesse zu verkürzen, führt diese Software die Prüfung innen liegender Strukturen in Minuten, statt in Stunden oder Tagen, durch.

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BILDANALYSE UND -VERBESSERUNG• Präzise Rekonstruktion in einem 3D-Volumendatensatz mittels handelsüblicher

PC-Hardware• Schnelle Rekonstruktion des kompletten Objekts für die allgemeine Analyse• Detaillierte Rekonstruktion für die ROI-Analyse • Direkte Erstellung von 2D-Schnittbildern

CT-ANALYSE OFFLINE• Offline-Analyse an einer speziellen Anzeigestation• CAD-Vergleich von Außen- und Innenflächen (optional)• Geometrische Formeinpassung in innen liegende 3D-Merkmale (optional)

PRODUKTIVITÄT IM MITTELPUNKT

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Weitere Niederlassungen und Vertretungen finden Sie unter www.nikonmetrology.com

TECHNISCHE DATEN

XT H

160

XT H

225

XT H

225

ST

XT H

320

XT H

450

kund

ensp

ezifi

sche

s G

ehäu

se

Mikrofokus Röntgenquelle Max. kVMax.

Anschlussleistung Brennfleckgröße

160 kV Xi, Reflexionstarget 160 kV 60 W 3 µm bis 7 W 60 µm bei 60 W ● ●

160 kV Reflexionstarget 160 kV 225 W 3 µm bis 7 W 225 µm bei 225 W ● ●

180 kV Transmissiontarget 180 kV 20 W 1 µm bis 3 W 10 µm bei 10 W ● ● ●

225 kV Reflexionstarget 225 kV 225 W 3 µm bis 7 W 225 µm bei 225 W ● ● ● ●

225 kV Rotierendes Target 225 kV 450 W 10 µm bis 30 W 113 µm bei 450 W ● ● ●



Hochbrillante 450 kV Röntgenquelle 450 kV 450 W 80 µm bis 200 W 113 µm bei 450 W ● ●

750 kV mit integriertem Generator 750 kV 750 W 30 µm bis 70 W 190 µm bei 750 W ●

Detektoren # Bits Aktive Pixel Pixel GrößeMax. Bildfrequenz

bei 1x1 BinningMax. Bildfrequenz

bei 2x2 Binning

Varian 1313 14-bit 1000 x 1000 127 µm 10 fps 30 fps ● ●

Varian 2520 14-bit 1900 x 1516 127 µm 7.5 fps 15 fps ● ● ● ● (1)

●

Varian 4030 14-bit 2300 x 3200 127 µm 3 fps 7 fps ● ● ●

Perkin Elmer 0820 16-bit 1000 x 1000 200 µm 7.5 fps 15 fps ● ● ● ● ●

Perkin Elmer 1620 16-bit 2000 x 2000 200 µm 3.75 fps 7.5 fps ● ● ● ●

Perkin Elmer 1621 EHS 16-bit 2000 x 2000 200 µm 15 fps 30 fps ● ● ● ●

Nikon Metrology CLDA 16-bit 2000 415 µm 50 fps ● ●

Kombination PE162x & CLDA Konfiguration sowohl mit “Flat Panel” als auch “Curved Linear Diode Array” Detektor ● ●

XT H 160 XT H 225 XT H 225 ST XT H 320 XT H 450

Manipulator

# Achsen 5 5 5 4 (optional: 5. Achse)

4 (optional: 5. Achse)

Achsenverfahrweg (X) 185 mm(Y) 250 mm(Z) 700 mm(Tilt) +/- 30°

(Rotate) n*360°

(X) 185 mm(Y) 250 mm(Z) 700 mm(Tilt) +/- 30°

(Rotate) n*360°

(X) 450 mm(Y) 350 mm(Z) 750 mm(Tilt) +/- 30

(Rotate) n*360°

(X) 510 mm(Y) 610 mm(Z) 800 mm

(Rotate) n*360°

(X) 400 mm(Y) 600 mm(Z) 600 mm

(Rotate) n*360°

Max. Probengewicht 15 kg 15 kg 50 kg 100 kg 100 kg

Generelle Informationen

Kabinenabmessungen (LxTxH) 1.830 mm x 875 mm x 1.987 mm

1.830 mm x 875 mm x 1.987 mm

2.414 mm x 1.275 mm x 2.202 mm

2.695 mm x 1.828 mm x 2.249 mm

3.613 mm x 1.828 mm x 2.249 mm

Gewicht 2.400 kg 2.400 kg 4.200 kg 8.000 kg 14.000 kg

Sicherheitshinweis Sämtliche Nikon Metrology Röntgensysteme werden gemäß IRR99 hergestellt

Steuerung Sämtliche Nikon Metrology Röntgensysteme werden von der im Hause Nikon Metrology entwickelten Software Inspect-X gesteuert.

(1) nur mit 225 kV Quelle ● Grundlagenkonfiguration ● Alternativkonfiguration

NIKON METROLOGY NVGeldenaaksebaan 329B-3001 Leuven, Belgiumphone: +32 16 74 01 00 fax: +32 16 74 01 [email protected]

NIKON CORPORATIONShinagawa Intercity Tower C, 2-15-3, Konan,Minato-ku, Tokyo 108-6290 Japanphone: +81-3-6433-3701 fax: +81-3-6433-3784www.nikon-instruments.jp/eng/

NIKON METROLOGY EUROPE NVtel. +32 16 74 01 [email protected]

NIKON METROLOGY GMBHtel. +49 6023 [email protected]

NIKON METROLOGY SARLtel. +33 1 60 86 09 76 [email protected]

NIKON METROLOGY, INC.tel. +1 810 [email protected]

NIKON METROLOGY UK LTD.tel. +44 1332 [email protected]

NIKON INSTRUMENTS (SHANGHAI) CO. LTD.tel. +86 21 5836 0050tel. +86 10 5869 2255 (Beijing office)tel. +86 20 3882 0550 (Guangzhou office)

NIKON SINGAPORE PTE. LTD.tel. +65 6559 3618

NIKON MALAYSIA SDN. BHD.tel. +60 3 7809 3609

NIKON INSTRUMENTS KOREA CO. LTD.tel. +82 2 2186 8400

XT H

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