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D397-12-882Issue L

Betriebsanleitung

Turbo Controller

Bezeichnung Bestellnummer

TIC Turbo Controller 100 W D397-11-000

TIC Turbo Controller 200 W D397-12-000

Übersetzung der ursprünglichen Anleitung

Diese Seite bleibt absichtlich frei.

Dieses Produkt wurde im Rahmen eines nach ISO901:2008 zertifizierten Qualitätssicherungssystems hergestellt.

Konformitätserklärung

Wir, Edwards, Innovation Drive, Burgess Hill, West Sussex, RH15 9TW, GB

erklären in alleiniger Verantwortung als Hersteller und Person, die innerhalb der EU zur Zusammenstellung der technischen Unterlagen befugt ist, dass das Produkt bzw. die Produkte

TIC Instrument Controller D397-00-000 TIC Instrument Controller mit 6 Messröhren D397-01-000 TIC Instrument Controller mit 6 Messröhren, Kapazitätsmanometer D397-02-000 TIC Turbo Controller 100 W D397-11-000 TIC Turbo Controller 200 W D397-12-000 TIC Turbo & Instrument Controller 100 W D397-21-000 TIC Turbo & Instrument Controller 200 W D397-22-000

auf das bzw. auf die sich die vorliegende Erklärung bezieht, im Einklang steht bzw. stehen mit der (den) folgenden Norm(en) oder (einem) anderen normativen Dokument(en): EN 61010-1:2010 Sicherheitsbestimmungen für elektrische Mess-, Steuer-, Regel-

und Laborgeräte. Teil 1: Allgemeine Anforderungen EN 61326-1:2013 Elektrische Mess-, Steuer- und Laborgeräte. EMV-Anforderungen. (Emissionsklasse B, Allgemeine Anforderungen Industriestörfestigkeit) CAN/CSA-C22.2 Sicherheitsbestimmungen für elektrische Mess-, Nr. 61010-1-04 Steuer-, Regel- und Laborgeräte – Teil 1: Allgemeine Anforderungen UL61010-1, 2. Ausgabe Sicherheitsbestimmungen für elektrische Mess-,

Steuer-, Regel- und Laborgeräte – Teil 1: Allgemeine Anforderungen und alle einschlägigen Vorschriften erfüllt aus 2014/35/EU Niederspannungsrichtlinie 2014/30/EU Richtlinie zur elektromagnetischen Verträglichkeit 2012/19/EU Richtlinie über Elektro- und Elektronik-Altgeräte („WEEE“) 2011/65/EU Richtlinie zur Beschränkung der Verwendung bestimmter

gefährlicher Stoffe in Elektro- und Elektronikgeräten (RoHS) Hinweis: Diese Erklärung gilt für alle Produktseriennummern ab dem Unterzeichnungsdatum

dieser Erklärung.

Larry Marini, Senior Technical Manager

Datum und Ort

P200

-03-

140

DE Is

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G

20.09.2016, Eastbourne

© Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite iEdwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

InhaltD397-12-882 Issue L

Inhalt

Abschnitt Seite

1 Einführung ......................................................................................... 1

1.1 Umfang und Definitionen ............................................................................................... 11.2 Produktbeschreibung .................................................................................................... 1

2 Technische Daten ................................................................................. 3

2.1 Elektrische Daten ........................................................................................................ 32.2 Betriebs- und Lagerungsdaten ......................................................................................... 32.3 Mechanische Daten ...................................................................................................... 32.4 Anschlüsse ................................................................................................................ 42.4.1 Turbopumpen-Anschluss ................................................................................................ 42.4.2 Vorvakuumpumpen-Anschluss .......................................................................................... 52.4.3 Anschlussklemmen für Zusatzeinrichtungen ......................................................................... 62.4.4 Logik-Schnittstelle ....................................................................................................... 72.4.5 Serielle Datenübertragung ............................................................................................. 8

3 Installation ....................................................................................... 11

3.1 Auspacken und Kontrollieren .........................................................................................113.2 Aufstellung bzw. Einbau des Controllers ............................................................................113.3 Elektrische Anschlüsse des Controllers ..............................................................................153.3.1 Anschließen der Stromversorgung ....................................................................................153.3.2 Zusätzliche feste Erdungsverbindung ................................................................................153.3.3 Anschließen einer Turbopumpe .......................................................................................163.3.4 Anschließen einer Vorvakuumpumpe ................................................................................163.3.5 Anschließen eines Belüftungsventils .................................................................................163.3.6 Anschließen eines Luftkühlers ........................................................................................163.3.7 Anschließen der Logik-Schnittstelle .................................................................................173.3.8 Anschließen der seriellen Schnittstelle ..............................................................................19

4 Betrieb ........................................................................................... 21

4.1 Beschreibung des Bedienfeldes .......................................................................................214.2 Menüstruktur ............................................................................................................224.3 Menü-Navigation ........................................................................................................244.4 Die Displayanzeige ......................................................................................................244.5 Pumpen und Relais ein-/ausschalten ................................................................................244.6 Ändern von Listenelementen ..........................................................................................254.7 Ändern von numerischen Werten .....................................................................................254.8 Turbopumpeneinstellung ..............................................................................................254.8.1 Einführung ...............................................................................................................254.8.2 Standardoptionen für die Turbopumpeneinstellung ...............................................................264.8.3 Zusätzliche Einstellungsoptionen bei Verwendung einer DX oder nEXT-Pumpe ...............................274.9 Einstellen der Vorvakuumpumpe .....................................................................................294.10 Alarme ....................................................................................................................304.11 Das Hauptmenü .........................................................................................................314.12 Status der Turbopumpe ................................................................................................314.13 Status der Vorvakuumpumpe .........................................................................................324.14 Parameters/Units (Parameter/Einheiten) ..........................................................................334.15 Ausgänge für Schaltpunkte der Relais ...............................................................................334.16 Service-Informationen .................................................................................................344.17 Fehler in der Stromversorgung ........................................................................................34

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2016

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Inhalt

5 Wartung .......................................................................................... 35

5.1 Sicherheit ................................................................................................................355.2 Fehlersuche ..............................................................................................................355.3 Reinigen des Controllers ...............................................................................................365.4 Software-Updates .......................................................................................................365.5 Werkseitige Standardeinstellungen ..................................................................................36

6 Lagerung und Entsorgung ...................................................................... 37

6.1 Lagerung .................................................................................................................376.2 Entsorgung ...............................................................................................................37

7 Service, Ersatzteile und Zubehör ............................................................. 39

7.1 Einführung ...............................................................................................................397.2 Service ....................................................................................................................397.3 Ersatzteile ...............................................................................................................397.4 Zubehör ..................................................................................................................40

Bitte die HS-Formulare im Anhang dieses Handbuchs ausfüllen und Ihrer Rücksendung beilegen.

Abbildungen

Abbildung Seite1 Pinbelegung für eine 15-polige Sub-D-Buchse ....................................................................... 42 Pinbelegung für eine 15-polige Sub-D-Buchse ....................................................................... 53 4-poliger Schraubklemmenblock ...................................................................................... 64 Pinbelegung für eine 25-polige Sub-D-Buchse ....................................................................... 75 Pinbelegung für eine 9-polige Sub-D-Buchse ........................................................................ 86 Controller als Tischgerät – Abmessungen (mm) ....................................................................127 Abbauen der Frontplatte ..............................................................................................138 Rack-Montage eines TIC ................................................................................................139 Zeichnung Tafelaussparung ...........................................................................................1410 Anschlüsse auf der Geräterückseite .................................................................................1511 IBM-PC, RS232-Schnittstelle – 9-polig ................................................................................1912 IBM-PC, RS232-Schnittstelle – 25-polig ..............................................................................1913 RS485 Controller-Netzwerk ............................................................................................2014 Anzeigeelemente auf der Frontplatte ...............................................................................2115 Schnellzugriff auf Display-Ansichten .................................................................................2216 Menüstruktur ............................................................................................................2317 Pumpenstatus ...........................................................................................................2418 Ändern von numerischen Werten .....................................................................................2519 Setup-Bildschirm der Turbopumpe ...................................................................................26

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InhaltD397-12-882 Issue L

Tabellen

Tabelle Seite1 Mit dem Controller-Sortiment kompatible Geräte .................................................................. 22 Pinbelegung des Turbopumpen-Anschlusses ......................................................................... 43 Pinbelegung des Vorvakuumpumpen-Anschlusses ................................................................... 64 Pinbelegung des Anschlusses für Zusatzeinrichtungen ............................................................. 75 Pinbelegung am Anschluss der Logik-Schnittstelle ................................................................. 76 Pinbelegung am Anschluss für die serielle Datenübertragung .................................................... 97 Checkliste der einzelnen Komponenten .............................................................................118 Auf dem Bedienfeld verwendete Symbole und ihre Bedeutungen ..............................................219 Standardoptionen für die Turbopumpeneinstellung ...............................................................2610 Fehler/Diagnoseüberwachung, Pumpen .............................................................................2711 Unterschiede bei der Einrichtung der Turbopumpenbelüftung ..................................................2812 Belüftungs-Optionen für Turbopumpen .............................................................................2813 Typ der Turbopumpenbelüftung ......................................................................................2814 Einstellungsoptionen für DX-, nEXT- und nXDS-Pumpen ..........................................................2815 Fehler/Diagnoseüberwachung, DX-, nEXT- und nXDS-Pumpen ...................................................2916 Optionen des Standard-Setup der Vorvakuumpumpe .............................................................2917 Optionen des Standard-Setup der nXDS-Pumpe ....................................................................3018 nEXT Wartungsbildschirm („nEXT Service“) ........................................................................3119 Bildschirm zum Rücksetzen der nEXT-Wartung („nEXT Service Reset“) .......................................3220 nXDS Wartungsbildschirm ..............................................................................................3221 Bildschirm zum Rücksetzen der nXDS-Wartung ....................................................................3322 Fehlersuche ..............................................................................................................3523 Werkseitige Standardeinstellungen ..................................................................................3624 Zubehörteile .............................................................................................................40


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EinführungD397-12-882 Issue L

1 Einführung1.1 Umfang und Definitionen

Diese Anleitung enthält Informationen zu Installation, Betrieb und Wartung des Turbo Controllers von Edwards. Der Controller darf nur gemäß der vorliegenden Betriebsanleitung verwendet werden. Lesen Sie sich dieses Handbuch durch, bevor Sie den Controller installieren oder in Betrieb nehmen.

Wichtige Sicherheitsangaben werden durch WARNUNGS- und VORSICHTS-Anweisungen hervorgehoben; diesen Anweisungen ist Folge zu leisten. Die Verwendung der Signalwörter WARNUNG bzw. VORSICHT ist nachfolgend definiert.

VORSICHTMit Vorsicht werden Anweisungen gekennzeichnet, die unbedingt befolgt werden müssen, um Schäden an den Betriebsanlagen und den damit verbundenen Geräten und Prozessen zu vermeiden.

Die in dieser Anleitung durchgehend verwendeten Maßeinheiten entsprechen dem internationalen Maßeinheitensystem SI (System International).

Auf dem Controller sind die folgenden Warnschilder angebracht:

1.2 Produktbeschreibung

Es gibt zwei Varianten des Controllers, von denen jede mit einem großen, gut lesbaren Grafikdisplay, einer benutzerfreundlichen Bedienoberfläche mit einem auf Berührung reagierenden Tastenfeld, einer RS232/485-Schnittstelle für Steuerung und Datenüberwachung auf einem Remote-PC und einer Logik-Schnittstelle für die Anbindung an die verbundene System-Hardware ausgestattet ist.

Die kompatiblen Pumpen/Zubehörteile, die in Verbindung mit dem Turbo Controller verwendet werden können, sind in Tabelle 1 aufgelistet.

WARNUNG

Mit Warnung werden Anweisungen gekennzeichnet, die unbedingt befolgt werden müssen, um Verletzungen oder den Tod von Personen zu vermeiden.

Warnung – siehe beigefügte Dokumente.

Edwards bietet seinen Kunden in Europa einen Wiederaufbereitungsservice an.

WARNUNG

Unsachgemäßer Gebrauch des Gerätes könnte es beschädigen oder zu Verletzungen von Personen führen. Der Anwender ist für den sicheren Betrieb und die Überwachung der Geräte und Einrichtungen verantwortlich. An diese Einheit sollten keine gefährlichen Spannungen angeschlossen werden, wenn nichts anderes angegeben ist.

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Einführung

Tabelle 1 - Mit dem Controller-Sortiment kompatible Geräte

Controller-Variante Kompatibilität

TIC Turbo Controller 100 W EXT75DX – schneller HochlaufEXT255DX - langsamer HochlaufnEXT240/300/400-Familie - langsamer HochlaufnEXT85-Familie - schneller HochlaufEXT70H + EXDC80 – schneller HochlaufEXT255H + EXDC80 – langsamer HochlaufNetzspannungs-Vorvakuumpumpen, XDS Scroll-Pumpe, bis zu RV12 (über eine optionale Relaisbox)Luftkühler, ACX70 und ACX250Belüftungsventil, TAV5 und TAV6Heizmanschette (über eine optionale Relaisbox)24 V-Ventile für Vorvakuumleitung, LCPV16EKA und LCPV25EKA (über eine optionale Relaisbox)

TIC Turbo Controller 200 W Dasselbe wie die 100 W-Version und zusätzlich:24 V-VorvakuumpumpeEXT255H + EXDC160 – schneller HochlaufEXT255DX - schneller HochlaufnEXT-Familie - schneller Hochlauf


Technische DatenD397-12-882 Issue L

2 Technische Daten2.1 Elektrische Daten

2.2 Betriebs- und Lagerungsdaten

2.3 Mechanische Daten

Anschlusstyp CEE/IEC 320

Stromversorgung 100-240 V AC 50/60 Hz

Leistungsaufnahme

TIC Turbo Controller 100 W 215 VA max. (D397-11-000)

TIC Turbo Controller 200 W 350 VA max. (D397-12-000)

Einschaltstromspitze

11 A bei 110 V Wechselstrom D397-11-000

23 A bei 240 V Wechselstrom D397-12-000

Sicherung Das Gerät ist mit einem Eigenschutz ausgestattet und verfügt über keine durch den Anwender auszutauschende Schmelzsicherung. Das Gerät erholt sich, sobald alle Überlastungen entfernt sind.

Überspannungskategorie 2

Erdungsschraube M4

Umgebungstemperaturbereich (Betrieb) 0 °C bis 40 °C

Umgebungstemperaturbereich (Lagerung) -30 °C bis 70 °C

Maximale Luftfeuchtigkeit der Umgebung Max. 90% relative Luftfeuchte, nicht kondensierend bei 40 °C

Maximale Betriebshöhe 3.000 m max.

Schutzart (IP) 20

Schadstoffklasse 2

Nur für den Betrieb in Innenräumen

Gewicht

TIC Turbo Controller 100 W 1,8 kg

TIC Turbo Controller 200 W 1,9 kg

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Technische Daten

2.4 Anschlüsse

2.4.1 Turbopumpen-Anschluss

Abbildung 1 - Pinbelegung für eine 15-polige Sub-D-Buchse

Anschlusstyp 15-polige Sub-D-Buchse (siehe Abbildung 1)

Stromversorgung 24 V Gleichstrom

Maximale Ausgangsleistung

100 W-Controller 80 W Dauerleistung, 120 W Spitze

200 W-Controller 160 W Dauerleistung, 240 W Spitze (kombinierte Gesamtleistung der 24 V Turbo- und Vorvakuumpumpen)

Eingangsspannungsbereich -0,5 V bis 15 V

Ausgangs-ID-Strom 33 µA, 0 V bis 13 V

Steuerausgang

aktiv <1,1 V Gleichstrom (Iaus 20 mA max.)

<0,8 V Gleichstrom (Iaus <2 mA)

inaktiv offen (<24 V Gleichstrom, extern angelegt)

Steuereingang

niedrig <4,0 V Gleichstrom (Iaus<160 µA)

hoch 7,0 V bis 24 V Gleichstrom (intern auf 24 V angehoben)

RS232 transmit (RS232 Übertragung)

deaktiviert offen

aktiviert 0: > +8 V (Iaus max.: 8 mA)

1: < -8 V (Iaus max.: -8 mA)

RS232 receive (RS232 Empfang)

Markierung <4,0 V Gleichstrom (Iaus<160 µA)

Lücke 7,0 V bis 24 V Gleichstrom (intern auf 24 V angehoben)

Maximale Kabellänge 7 m

Tabelle 2 - Pinbelegung des Turbopumpen-Anschlusses

Pin Zuordnung

1 Stromversorgung, positiv

2 Signalerde

3 /Start signal output (Startsignal-Ausgang)

4 RS232 Tx

5 /Serial enable output (Ausgang Seriell aktivieren)


7 RS232 Rx

8 Stromversorgung, Masse



2.4.2 Vorvakuumpumpen-Anschluss

Hinweis: Gilt nur für den 200 W-Controller


9 Speed signal input (Eingang Drehzahl-/Saugleistungssignal)

10 Screen (Abschirmung)





15 Normal signal input (Eingang „Normal“-Signal)



Maximale Ausgangsleistung 160 W Dauerleistung, 240 W Spitze (kombinierte Gesamtleistung der 24 V-Turbo- und Vorvakuumpumpen)

Ausgangsspannungsbereich

Stop 0 V

Start 10 V (5 mA max.)

Ausgangs-ID-Strom 33 µA, 0 V bis 13 V

Steuerausgang

aktiv <1,1 V Gleichstrom (Iaus <20 mA)

<0,8 V Gleichstrom (Iaus <2 mA)

inaktiv offen (<24 V Gleichstrom, extern angelegt)

Steuereingang




deaktiviert offen

aktiviert 0: > +8 V (Iaus max.: 8 mA)

1: < -8 V (Iaus max.: -8 mA)


Markierung <4,0 V Gleichstrom (Iaus<160 µA)

Lücke 7,0 V bis 24 V Gleichstrom (intern auf 24 V angehoben)


Tabelle 2 - Pinbelegung des Turbopumpen-Anschlusses (Fortsetzung)

Pin Zuordnung

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Technische Daten

2.4.3 Anschlussklemmen für Zusatzeinrichtungen

Abbildung 3 - 4-poliger Schraubklemmenblock

Tabelle 3 - Pinbelegung des Vorvakuumpumpen-Anschlusses

Pin Zuordnung


2 Signalerde

3 /Start signal output (Startsignal-Ausgang)

4 RS232 Tx

5 /Serial enable output (Ausgang Seriell aktivieren)


7 RS232 Rx


9 Speed signal input (Eingang Drehzahl-/Saugleistungssignal)






15 Normal signal input (Eingang „Normal“-Signal)

Anschlusstyp 4-poliger Schraubklemmenblock (siehe Abbildung 3)

Drahtdurchmesser 1,5 mm2 max.


Maximale Ausgangsleistung

Ventilator 3 W max

Belüftungsventil 2 W max

Steuerausgang

aktiv <1,5 V Gleichstrom

inaktiv offen




2.4.4 Logik-Schnittstelle


Tabelle 4 - Pinbelegung des Anschlusses für Zusatzeinrichtungen

Pin Zuordnung

1 Fan control output (Ausgang Ventilatorsteuerung)

2 Fan 24 V (Ventilator 24 V)

3 Vent control output (Ausgang Belüftungssteuerung)

4 Lüfter 24 V



Maximale Ausgangsleistung 5 W

Steuerausgang

aktiv <1,1 V Gleichstrom (Iaus 20 mA)

<0,8 V Gleichstrom (Iaus 2 mA)

inaktiv offen

Steuereingang



Analogausgang 0 bis 10 V (5 mA max.)50 mV Auflösung

Tabelle 5 - Pinbelegung am Anschluss der Logik-Schnittstelle

Pin Zuordnung


2 Analogue output signal (Analoges Ausgangssignal)

3 Setpoint 1 output (Ausgang Schaltpunkt 1)

4 Vent control output (Ausgang Belüftungssteuerung)

5 Bakeout band control output (Ausgang Heizmanschettensteuerung)

6 N/C

7 Stromversorgung, gemeinsam

8 Backing pump control output (Ausgang Vorvakuumpumpensteuerung)

9 N/C





14 Analogausgang, Masse

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Technische Daten

2.4.5 Serielle Datenübertragung




17 Turbo normal output (Ausgang Turbo „Normal“)

18 Alarm output (Alarm-Ausgang)

19 Air cooler output (Luftkühler-Ausgang)

20 N/C

21 N/C

22 Backing pump enable input (Eingang Vorvakuumpumpe aktivieren)

23 Turbo stand-by control input (Steuereingang Turbo-Standby)

24 Turbo pump enable input (Eingang Turbopumpe aktivieren)

25 System interlock input (SYSI) (Eingang Systemverriegelung)



Markierung < -8 V (Iaus max.: -8 mA)

Lücke > +8 V (Iaus max.: -8 mA)


Markierung < +1,0 V (Iein max.: -2,0 mA)

Lücke > +2,0 V (Iein max.: +2,0 mA)

maximaler Eingang ±12 V

RS232-Protokoll 9600 Baud, 1 Stopp-Bit, 8 Datenbits, keine Parität

RS485

Ausgangsdifferenz > 1,5 V (Iaus max.: ± 25 mA)

Eingangsdifferenzschwelle >± 0,2 V (Iein max.: ± 1 mA)

Maximaler Eingang -7,0 V bis +12 V

Buslast Der Controller legt eine Lasteinheit an den RS485-Bus an

Tabelle 5 - Pinbelegung am Anschluss der Logik-Schnittstelle (Fortsetzung)

Pin Zuordnung



Tabelle 6 - Pinbelegung am Anschluss für die serielle Datenübertragung

Pin Zuordnung

1 N/C

2 RS232 transmit (RS232 Übertragung)

3 RS232 receive (RS232 Empfang)

4 N/C

5 RS232 common (RS232 Masse)

6 N/C

7 N/C

8 RS485 data A (RS485 Daten A)

9 RS485 data B (RS485 Daten B)

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InstallationD397-12-882 Issue L

3 Installation3.1 Auspacken und Kontrollieren

Entfernen Sie sämtliches Verpackungsmaterial und überprüfen Sie den Controller. Wenn der Controller beschädigt ist, gehen Sie nach dem am Schluss dieser Anleitung beschriebenen Verfahren zur Rücksendung von Geräten an Edwards vor. Nehmen Sie den Controller nicht in Gebrauch, wenn er beschädigt ist.

Prüfen Sie, ob in der Verpackung sämtliche in Tabelle 7 aufgeführten Artikel enthalten sind. Reklamieren Sie fehlende Teile binnen drei Tagen schriftlich bei dem Lieferanten. Wenn der Controller nicht sofort in Gebrauch genommen werden kann, lagern Sie ihn unter geeigneten Bedingungen, wie in Abschnitt 6.1 beschrieben.

3.2 Aufstellung bzw. Einbau des Controllers

VORSICHTGummifüße sind so zu montieren (Abbildung 6, Ziffer 1), dass ein korrekter Zwischenraum für die Luftzirkulation gewährleistet ist. Wenn Sie dies nicht beachten, kann die Leistung des Controllers bei hohen Betriebstemperaturen beeinträchtigt werden.

Der Controller kann als Tischgerät oder eingebaut in ein Rack oder einen Schrank eingesetzt werden. Abbildung 6 gibt die Abmessungen des Controllers an, die für den Einsatz als Tischgerät benötigt werden.

Hinweis: Wenn die Verriegelungen nicht genutzt werden, muss der Adapter der Logik-Schnittstelle auf den 25-poligen Steckverbinder montiert werden.

Tabelle 7 - Checkliste der einzelnen Komponenten

Menge Beschreibung geprüft ()

1 Controller

1 Kurzanleitung und Hinweise zu Gesundheit und Sicherheit

1 CD-ROM zum Controller

2 Rutschfeste Füße hinten

1 Stecker für Logik-Schnittstelle

WARNUNG

Wenn der Zugang zum IEC-Anschluss erschwert ist, sollte eine zusätzliche Trennvorrichtung vorgesehen werden, die für den Bediener problemlos erreichbar ist.

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Installation

Abbildung 6 - Controller als Tischgerät – Abmessungen (mm)

Wenn ein Controller in ein Rack, einen Schrank oder eine Tafel eingebaut wird, gehen Sie nach den Anweisungen der nachfolgenden Abbildungen 7, 8 und 9 vor.

VORSICHTLassen Sie hinten 150 mm Platz für Kabel. Lassen Sie oben und unten 50 mm und an den Seiten 15 mm Platz, um für ausreichende Luftzirkulation zu sorgen. Decken Sie keine der Belüftungsöffnungen ab.

VORSICHTDieses Gerät entspricht der Schutzart IP20. Sorgen Sie dafür, dass es nicht an Orten aufgestellt wird, wo Flüssigkeiten in den Controller eindringen können.

VORSICHTDie Einheit muss an der Rückseite gehalten werden.

WARNUNG

Sorgen Sie dafür, dass alle elektrischen Verkabelungen sicher befestigt sind, damit sie keine Stolperfallen bilden.

1. Gummifuß



Abbildung 7 - Abbauen der Frontplatte

Nehmen Sie den Tischgerät-Adapter (Abbildung 7, Ziffer 1) ab, indem Sie die vier Schrauben (Abbildung 7, Ziffer 2) entfernen.

Schieben Sie den Controller in das 19"-Rack oder in die Tafelaussparung. Wir empfehlen, Führungsschienen für das 19"-Rack (Abbildung 8, Ziffer 2) und eine Halterung an der Rückseite des Controllers, wie in Abbildung 8 dargestellt, zu verwenden. Die Angaben zur Tafelaussparung werden in Abbildung 9 festgelegt.

Befestigen Sie den Controller in der korrekten Position mit den vier zuvor entfernten Schrauben (Abbildung 8, Ziffer 1).

Abbildung 8 - Rack-Montage eines TIC

1. Tischgerät-Adapter2. Befestigungsschraube mit Scheibe

1. Befestigungsschraube mit Scheibe

2. Führungsschienen für 19"-Rack

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Installation

Abbildung 9 - Zeichnung Tafelaussparung



3.3 Elektrische Anschlüsse des Controllers

Abbildung 10 - Anschlüsse auf der Geräterückseite

3.3.1 Anschließen der Stromversorgung

Stellen Sie sicher, dass der Schalter der Stromversorgung auf „Off“ (Aus) steht, und schließen Sie danach den Controller mit einem geeigneten Kabel an die Stromversorgung an.

3.3.2 Zusätzliche feste Erdungsverbindung

Das Stromversorgungskabel ist normalerweise zur Gewährleistung der Sicherheit mit einer Schutz-Erdung ausgestattet. Wenn dies nicht der Fall ist oder eine zusätzliche feste Erdungsverbindung erforderlich ist, dann sollte die Erdungsschraube auf der Rückseite des Controllers (Abbildung 10, Ziffer 5) mit der Erde des Vakuumsystems verbunden werden.

Der Erdungsanschluss aller Belüftungsventile oder Luftkühler sollte ebenfalls mit dieser Erdungsschraube verbunden werden, um eine geeignete Erdung dieser Komponenten sicher zu stellen.

Verbinden Sie ein in geeigneter Weise geerdetes Kabel mit den zwei Muttern auf der Erdungsschraube auf der Rückseite des TIC.

Hinweis: Entfernen Sie die untere Mutter nicht von der Erdungsschraube.

WARNUNG

Wenn der Controller in Betrieb ist, liegen hohe Spannungen an. Stellen Sie sicher, dass der TIC geerdet ist, und treffen Sie alle geeigneten Sicherheitsvorkehrungen für eine sichere Installation und Handhabung der elektrischen Geräte. Wenn Sie dies nicht beachten, setzen Sie sich einer Verletzungs- oder sogar Todesgefahr durch Stromschlag aus.

1. Vorvakuumpumpe (nur 200 W)

2. Turbopumpen-Anschluss3. Logik-Schnittstelle4. Serielle Kommunikations-

schnittstelle5. Erdungsschraube6. Netzanschluss7. Netz ein/aus8. Anschlussklemmen für

Zusatzeinrichtungen

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Installation

3.3.3 Anschließen einer Turbopumpe

VORSICHTSofern dies nicht ausdrücklich in der jeweiligen Betriebsanleitung angegeben ist, sind die Pumpen nicht Hot-Swap-fähig. Bevor Sie eine Pumpe an den Controller anschließen oder von diesem trennen, müssen Sie die Stromversorgung ausschalten. Anderenfalls kann die Pumpe beschädigt werden.

Der Controller kann nur die Pumpe erkennen, die zum Zeitpunkt des Einschaltens angeschlossen ist.

Eine geeignete Turbopumpe kann am Turbopumpen-Anschluss an der Rückwand des Controllers angeschlossen werden.

Schließen Sie die Pumpe an der unteren der beiden 15-poligen Buchsen (Typ „D“) an und ziehen Sie die Sicherungsschrauben fest, um zu gewährleisten, dass sich der Anschluss nicht lockern kann.

3.3.4 Anschließen einer Vorvakuumpumpe

Sowohl der 100 W- als auch der 200 W- Controller kann eine mit Netzspannung betriebene Vorvakuumpumpe über die Logik-Schnittstelle steuern. Einzelheiten hierzu finden Sie in Abschnitt 3.3.7.3.

Der 200 W-Controller kann auch eine geeignete Vorvakuumpumpe über seinen zweiten Pumpenanschluss an der Rückwand antreiben.

Schließen Sie die Pumpe an der oberen der beiden 15-poligen Buchsen (Typ „D“) an und ziehen Sie die Sicherungsschrauben fest, um zu gewährleisten, dass sich der Anschluss nicht lockern kann.

Hinweis: Zur Steuerung einer 24 V-Vorvakuumpumpe der Baureihe XDD1 muss die Pumpe für „analoge Saugleistungssteuerung“ konfiguriert sein. Einzelheiten zur Konfiguration der Pumpe für diese Betriebsart finden Sie in der Betriebsanleitung der jeweiligen Pumpe.

3.3.5 Anschließen eines Belüftungsventils

Ein Belüftungsventil kann entweder über die Zusatzanschlüsse an der Rückseite des Controllers oder von der Logik-Schnittstelle angesteuert werden. Einzelheiten bezüglich der Verwendung der Logik-Schnittstelle zur Ansteuerung eines Belüftungsventils finden Sie in Abschnitt 3.3.7.3.

Hinweis: Wenn eine DX- oder nEXT-Pumpe verwendet werden soll, wird empfohlen, dass das Belüftungsventil an die Pumpe und nicht an den Controller angeschlossen wird. Wenn zwei Belüftungsventile benötigt werden, können der DX- und der Controller-Belüftungsausgang gleichzeitig benutzt werden (siehe Tabelle 12).

Schließen Sie den positiven Anschluss des Belüftungsventils an die Anschlussklemme mit der Kennzeichnung „Vent +“ und den negativen Anschluss des Belüftungsventils an die Anschlussklemme mit der Kennzeichnung „Vent–“ an, und klemmen Sie den Massedraht zwischen den Erdungsschrauben an der Rückseite des Controllers fest. Vergewissern Sie sich, dass die Schrauben und die Erdungsmuttern fest angezogen sind.

3.3.6 Anschließen eines Luftkühlers

Ein Luftkühler kann entweder über die Zusatzanschlüsse an der Rückseite des Controllers oder von der Logik-Schnittstelle angesteuert werden. Einzelheiten bezüglich der Verwendung der Logik-Schnittstelle zur Ansteuerung eines Luftkühlers finden Sie in Abschnitt 3.3.7.3.

Schließen Sie den positiven Anschluss des Luftkühlers an die Anschlussklemme mit der Kennzeichnung „Fan +“ und den negativen Anschluss des Luftkühlers an die Anschlussklemme mit der Kennzeichnung „Fan–“ an, und klemmen Sie den Massedraht zwischen den Erdungsschrauben an der Rückseite des Controllers fest. Vergewissern Sie sich, dass die Schrauben und die Erdungsmuttern fest angezogen sind.



3.3.7 Anschließen der Logik-Schnittstelle

3.3.7.1 Einführung

Hinweis: Für die meisten Anwendungen sollte die Leitung „Power supply common“ (Stromversorgung, Nullleiter) der Logik-Schnittstelle vorzugsweise nicht geerdet werden, um versehentlich auftretende Erdungsschleifen zu vermeiden.

VORSICHTLegen Sie keine Spannungen größer als 24 V an die Logik-Schnittstelle an.

Die Logik-Schnittstelle liefert eine Reihe von Signalen, die für die Überwachung des Status des Vakuumsystems und für die Steuerung bestimmter Aspekte des Betriebs genutzt werden können. Diese Signale lassen sich grob in drei Gruppen unterteilen: Steuereingänge, Steuerausgänge und Statusausgänge.

3.3.7.2 Verwenden der Steuereingänge

Steuereingänge bieten eine Möglichkeit, den Betrieb des Controllers und des angeschlossenen Vakuumsystems von externen Quellen aus zu steuern.

Turbo Stand-by: Um zu veranlassen, dass die Turbo-Pumpe mit Stand-by-Drehzahl läuft, verbinden Sie „Turbo Stand-by“ mit 0 V. Um die Pumpe auf volle Drehzahl bzw. Saugleistung zurückzuschalten, unterbrechen Sie die Verbindung zwischen „Turbo Stand-by“ und 0 V. Beachten Sie, dass nur Pumpen mit Stand-by-Drehzahlfunktion auf diese Eingabe reagieren.

Turbo Enable (Turbo aktivieren): Der Eingang „Turbo aktivieren“ kann zur Steuerung des Betriebs der Turbopumpe genutzt werden. Wenn der Eingang „Turbo aktivieren“ offen ist, kann die Turbopumpe nicht gestartet werden, und sie hält an, wenn sie läuft. Wenn der Eingang „Turbo aktivieren“ mit 0 V verbunden ist, wenn Spannung an den Controller angelegt wird, kann die Pumpe starten, wenn ein entsprechender Befehl gegeben wird. Wenn „Turbo aktivieren“ mit 0 V verbunden ist, während der Controller in Betrieb ist, startet die Turbopumpe, solange SYSI und die Software-Konfiguration dies zulassen.

Backing Pump Enable (Vorvakuumpumpe aktivieren): Der Eingang „Vorvakuumpumpe aktivieren“ kann zur Steuerung des Betriebs der Vorvakuumpumpe genutzt werden. Wenn der Eingang „Vorvakuumpumpe aktivieren“ offen ist, kann die Vorvakuumpumpe nicht gestartet werden, und sie hält an, wenn sie läuft. Wenn der Eingang „Vorvakuumpumpe aktivieren“ mit 0 V verbunden ist, wenn die Spannung an den Controller angelegt wird, kann die Pumpe starten, wenn ein entsprechender Befehl gegeben wird. Wenn der Eingang „Vorvakuumpumpe aktivieren“ mit 0 V verbunden ist, während der Controller in Betrieb ist, startet die Vorvakuumpumpe, solange „SYSI“ und die Software-Konfiguration dies zulassen.

SYSI: Der Systemverriegelungs-Eingang kann dazu genutzt werden, um den Controller durch ein Systemfehler- oder Steuersignal zu sperren. Wenn „SYSI“ offen ist, halten alle Pumpen an, und das Belüftungsventil wird geöffnet. Der Controller wird auch durch Fehlerbedingungen ausgelöst. Zum Aufheben der Systemverriegelung und um das Anlaufen der Pumpen und Messgeräte zu ermöglichen, verbinden Sie „SYSI“ mit 0 V.

3.3.7.3 Verwenden der Steuerausgänge

Steuerausgänge bieten eine Möglichkeit, um mit dem Controller externe Ressourcen zu steuern.

WARNUNG

„SYSI“ ist nicht ausfallsicher, und Sie sollten sich bei sicherheitskritischen Anwendungen nicht darauf verlassen.

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Installation

Vent valve control (Steuerung des Belüftungsventils): Der Belüftungsventil-Ausgang kann zur Steuerung der Funktion eines Belüftungsventils genutzt werden. Das Signal „Vent Valve“ wird niedrig geschaltet, um das Ventil anzusteuern, falls dies erforderlich ist. Schließen Sie den positiven Anschluss des Belüftungsventils an „24 V“ und den negativen Anschluss an „Vent Valve Control“ an. Die Erdleitung des Belüftungsventils muss mit „Screen“ oder einem geeigneten alternativen Massepunkt verbunden werden.

VORSICHTDer Belüftungsventil-Ausgang an der Logik-Schnittstelle wird bei einem Stromausfall nicht aufrechterhalten. Wenn das Belüften der Turbopumpe bei hohen Drehzahlen unerwünscht ist, verwenden Sie den Belüftungsventil-Ausgang der Anschlüsse für Zusatzeinrichtungen. Dieses Ausgangssignal wird bei einem Stromausfall aufrechterhalten.

Bakeout band control: Der Heizmanschetten-Steuerausgang kann zum Schalten eines Relais genutzt werden, das Energie an die Heizmanschette anlegen kann. Die Relaisbox ist mit einem eigenen Relais für diesen Zweck und mit Anschlüssen ausgestattet, um Energie an die Heizmanschette anzulegen. Weitere Informationen über die Ansteuerung einer Heizmanschette finden Sie in der Anleitung zur Relaisbox.

Um ein Relais ohne einer Relaisbox anzusteuern, verbinden Sie die Spule eines geeigneten 24 V Gleichstrom-Relais zwischen „Bakeout Band Control Output“ (negativ) und „Power Supply Positive“ (positiv).

Backing pump control (Steuerung der Vorvakuumpumpe): Der Vorvakuumpumpen-Steuerungsausgang kann zum Schalten eines Relais genutzt werden, das Energie an die mit Netzspannung betriebene Vorvakuumpumpe anlegen kann. Die Relaisbox ist mit einem eigenen Relais für diesen Zweck und mit einem Anschluss ausgestattet, um die Pumpe ein- und auszuschalten. Weitere Informationen über die Ansteuerung einer Vorvakuumpumpe finden Sie in der Anleitung zur Relaisbox.

Um ein Relais ohne eine Relaisbox anzusteuern, verbinden Sie die Spule eines geeigneten 24 V Gleichstrom-Relais zwischen „Backing Pump Output“ (negativ) und „Power Supply Positive“ (positiv).

Air cooler (Luftkühler): Der Luftkühler-Steuerausgang kann zur Steuerung der Funktion eines Luftkühlers genutzt werden. Das Luftkühler-Signal wird niedrig geschaltet, um den Luftkühler anzusteuern, falls dies erforderlich ist. Verbinden Sie dazu die positive Leitung des Luftkühlers mit dem positiven Anschluss der Stromversorgung und die negative Leitung mit „Air Cooler Control“. Die Erdleitung des Luftkühlers muss mit „Screen“ oder einem geeigneten alternativen Massepunkt verbunden werden.

3.3.7.4 Verwenden der Statusausgänge

Statusausgänge bieten externen Systemen eine Möglichkeit, auf den aktuellen Zustand des Controllers zu reagieren.

Analogue output (Analogausgang): Der Analogausgang liefert ein Signal von 0 V bis 10 V, das so konfiguriert werden kann, dass es dem Systemdruck, der Saugleistung bzw. Drehzahl usw. entspricht. Zur Konfigurierung dieses Ausgangs siehe Abschnitt 4.8.

Um diesen Ausgang mit einem externen System zu verbinden, schließen Sie „Analogue Output Signal“ an den positiven Eingang des Systems und „Analogue Output Common“ an die negative Seite an.

Relay setpoint (Schaltpunkte der Relais): Die Ausgänge für die Schaltpunkte können zur Herstellung der Verbindung mit einer externen Logik oder zur Ansteuerung eines Relais genutzt werden. Jeder Ausgang kann mittels Software so konfiguriert werden, dass er bei einer Pumpendrehzahl aktiviert wird. Zur Konfiguration dieser Ausgänge siehe Abschnitt 4.15. Jedes Relais kann manuell gesteuert werden. Siehe Abschnitt 4.5.

Die Relaisbox besitzt eingebaute Relais, die externe Lasten schalten können, und einen Anschluss, um mit einem externen System verbunden zu werden. Weitere Informationen über die Ausgänge für die Schaltpunkte finden Sie in der Anleitung zur Relaisbox.

Um ein Relais ohne eine Relaisbox anzusteuern, verbinden Sie die Spule eines geeigneten 24 V Gleichstrom-Relais zwischen „Setpoint Output“ (negativ) und „Power Supply Positive“ (positiv).



Turbo normal speed (Normaldrehzahl): Der Ausgang für normale Drehzahl der Turbopumpe kann zur Herstellung der Verbindung mit einer externen Logik oder zur Ansteuerung eines Relais genutzt werden. Dieser Ausgang ist normalerweise inaktiv und wird aktiv, wenn die Turbopumpe ihre definierte „Normal“-Drehzahl bzw. Saugleistung erreicht hat.

Um ein Relais anzusteuern, verbinden Sie die Spule eines geeigneten 24 V Gleichstrom-Relais zwischen „Turbo Normal Output“ (negativ) und „Power Supply Positive“ (positiv).

Alarm: Der Alarm-Ausgang kann zur Herstellung der Verbindung mit einer externen Logik oder zur Ansteuerung eines Relais genutzt werden. Dieser Ausgang ist normalerweise aktiv und wird im Fall eines Alarm-Zustandes inaktiv.

Um ein Relais anzusteuern, verbinden Sie die Spule eines geeigneten 24 V Gleichstrom-Relais zwischen „Alarm Output“ (negativ) und „Power Supply Positive“ (positiv).

3.3.8 Anschließen der seriellen Schnittstelle

Der Controller verfügt über zwei eingebaute serielle Datenübertragungsprotokolle, RS232 und RS485. RS232 ist einfachste Schnittstelle und kann dazu genutzt werden, dass ein Host-PC den Controller steuern kann. RS485 ermöglicht es einem Host-PC, ein kleines Netzwerk von Controllern zu steuern.

3.3.8.1 Anschließen der RS232-Schnittstelle

Der Controller verfügt auf der Rückwand über eine 9-polige Anschlussbuchse, Typ „D“. Die Schnittstelle verwendet zwei Leitungen für Datenübertragungen und eine zusätzliche Leitung als gemeinsame Signal-Masse. Hardware-Handshaking ist nicht implementiert.

Beim Anschluss eines IBM-kompatiblen PCs mit einer 9-poligen Anschlussbuchse (Typ „D“) kann ein „direkt durchgehendes“ 9-poliges Verlängerungskabel mit Stecker und Buchse verwendet werden, um den Controller mit dem Computer zu verbinden, wie in Abbildung 11 dargestellt. Der Anschluss an einen IBM-kompatiblen PC mit einer 25-poligen seriellen Anschlussbuchse sollte wie in Abbildung 12 dargestellt erfolgen.

Verwenden Sie für die Verbindungen abgeschirmte Kabel, um Interferenzprobleme zu reduzieren, und begrenzen Sie die Länge der RS232-Kabel auf weniger als 10 Meter. Bei längeren Verbindungsleitungen installieren Sie entweder Leitungstreiber, oder verwenden Sie RS485.

Abbildung 11 - IBM-PC, RS232-Schnittstelle – 9-polig

Abbildung 12 - IBM-PC, RS232-Schnittstelle – 25-polig

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Installation

3.3.8.2 Anschließen der RS485-Schnittstelle

RS485 ermöglicht es dem Controller, mit anderen Controllern und einem Host-PC in einem Netzwerk zu arbeiten, wie in Abbildung 13 dargestellt.

VORSICHTAlle Masseverbindungen werden zusammengeschaltet. Wenn in der lokalen Massespannung Potenzialunterschiede bestehen, kann dies zu Beschädigungen führen. Wenn die im Netzwerk zusammenarbeitenden Controller unterschiedlichen Massepotentialen ausgesetzt sein könnten, sollte ein geeigneter RS485-Isolator zwischen sie geschaltet werden.

Verwenden Sie abgeschirmte Kabel für die Verbindungen, um Interferenzprobleme zu reduzieren, und begrenzen Sie die Länge der RS485-Kabel auf weniger als 1000 Meter.

Bei langen Verbindungen sind eventuell zusätzliche 120 Ω-Abschlusswiderstände an jedem Ende der Verbindung erforderlich, um die Zuverlässigkeit der Datenübertragung zu verbessern.

Abbildung 13 - RS485 Controller-Netzwerk


BetriebD397-12-882 Issue L

4 Betrieb4.1 Beschreibung des Bedienfeldes

Abbildung 14 - Anzeigeelemente auf der Frontplatte

Tabelle 8 - Auf dem Bedienfeld verwendete Symbole und ihre Bedeutungen

Symbol Bezeichnung Funktion

UP (Aufwärts)Bewegen durch ein Menü in Aufwärtsrichtung.Schrittweise Erhöhung der ausgewählten numerischen Werte.Schrittweises Durchlaufen von ausgewählten Listenelementen.

DOWN (Abwärts)Bewegen durch ein Menü in Abwärtsrichtung.Schrittweise Verringerung der ausgewählten numerischen Werte.Schrittweises Durchlaufen von ausgewählten Listenelementen.

SELECT (Auswahl)Zugreifen auf das markierte Untermenü.Bearbeiten der markierten Liste oder des numerischen Elements.Weiter zur nächsten Dezimalstelle eines numerischen Wertes.Springen zum Setup-Bildschirm des hervorgehobenen Messgerätes.

MENU (Menü)Umschalten zwischen der Standardansicht und dem Hauptmenü.Verlassen des aktuellen Untermenüs oder des Setup-Bildschirms.Abbrechen der Bearbeitung eines ausgewählten Listenelements.Bewegen zur vorhergehenden Dezimalstelle eines numerischen Wertes.

CYCLE (Schalten) Ein- oder Ausschalten eines markierten Messgerätes.

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Betrieb

4.2 Menüstruktur

Die Abbildungen 15 und 16 zeigen die Schnellzugriffsmöglichkeiten auf die Display-Ansichten und die Menüstruktur des TIC. Dort finden Sie auch Hinweise darüber, welche Schaltfelder innerhalb der Menüs Sie an welche Stelle führen.

Abbildung 15 - Schnellzugriff auf Display-Ansichten

* Wo anwendbar; weitere Informationen in Abschnitt 4.8.3.

RELAY CONTROLRelays

SYSTEM CONTROLSystemBacking pumpTurboTurbo standbyHeater

TURBO SETUPTurbodrive

Start delaySystem on

Air coolerTIC vent optBacking optTurbo vent opt*Vent type*NormalStandby speedBrakingMax powerService opt

BACKING SETUPBack driveStart delaySystem ONSystem OFFAir coolerTIC vent optBacking optNormalStandby speedAutorunService opt

GAUGE SETUPGaugeGas typeFilterRangeSet zero DisplayDegasCalibrateName

ALARMSNo alarm or warnings

RELAY SELECTRelays

SYSTEM START MENUTurboBackingGaugesRelay

SYSTEM STOP MENUTurboBackingGaugesRelay

Cycle

Select

Menu

TurboBackGauge 1 type/nameGauge 2 type/nameGauge 3 type/name

AlarmUnits R1 R2 R3

CONTROL SETUP

CS/1

352/

A

To main menu



Abbildung 16 - Menüstruktur

* Nur nEXT85-Familie; weitere Informationen in Abschnitt 4.12

SYSTEM CONTROLSystemBacking pumpTurboTurbo standbyHeater

TURBO STATUSTurboTurbo pumpBacking pumpTurbo powerTurbo speedTIC int tempTurbo driveTurbo pumpTurbo rotor*

TIC vent

BACKING STATUSBackTurbo pumpBacking pumpTurbo powerTurbo speedTIC int tempTurbo driveTurbo pump

TIC vent

ALARMSNo alarm or warnings

CONTROLLER SETUPControl object Controlled by -- > Controlling objectUnits

On setpntSetpoint

Cycle

Select

Menu

MAIN MENUAlarmsCycleTurbo statusBack statusLink gauges/ pumpsParameters/ units

Relay setpoints

CS/1

353/

A

To normal screen

CONTROLLED ITEMGge1Gge2Gge3Trbo

PARAMETERS/UNITSUnitsSetup lockPanel lock0-10 V O/ PDisp contrastProtocolComms address

SCREEN OPTIONSShow all itemsShow three gaugesSet three gauge orderShow one gaugeSet one gauge orderShow turbo onlyShow one gauge and turbo

RELAY SELECTRelay 1Relay 2Relay 3

SERVICE INFORMATION5/W issueSerial numAnalogue O/PTurbo runReset DXReset TIC

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Betrieb

4.3 Menü-Navigation

In diesem Abschnitt wird die Anzeige-Navigationsmethode für den Controller zusammengefasst. Es gibt 4 Schaltfelder für die Menü-Navigation und für Konfigurationsaufgaben. Mit einem fünften Schaltfeld werden die Pumpen ein- und ausgeschaltet (ON/OFF). Für die meisten Konfigurationsaufgaben gibt es nicht mehr als drei Menüebenen.

Die Funktionen der Tasten des Bedienfeldes auf der Frontplatte werden in Tabelle 8 beschreiben.

4.4 Die Displayanzeige

Die Displayanzeige kann für verschiedene Anzeigeoptionen eingestellt werden. Im Folgenden wird die Displayanzeige beschrieben, auf der „all“ (alles) angezeigt wird. (Siehe Abbildung 17).

Im oberen Teil der Displayanzeige wird der Status der Vakuumpumpen dargestellt; die oberste Zeile zeigt die Drehzahl bzw. Saugleistung der Pumpe als Balkendiagramm an. In der rechten oberen Ecke wird der Status der Turbopumpe wie folgt dargestellt:

Die zweite Zeile stellt den Grundstatus der Turbopumpe und der Vorvakuumpumpe dar, die vom Controller gesteuert werden.

Der Status der Relais für die Schaltpunkte wird in der untersten Zeile der Displayanzeige dargestellt. Angezogene Relais werden invers dargestellt.

Abbildung 17 - Pumpenstatus

4.5 Pumpen und Relais ein-/ausschalten

Wenn die Taste „Cycle“ ( ) betätigt wird, während die Turbo/Vorvakuum-Statuszeile markiert ist, wird ein Menü mit schaltbaren Elementen angezeigt.

Hinweis: Wenn SYSI während des Vakuumzyklus offen ist, werden alle angeschlossenen steuerbaren Komponenten auf OFF geschaltet.

Off. Die Turbopumpe ist ausgeschaltet.>>>. Die Turbopumpe beschleunigt.<<<. Die Turbopumpe verlangsamt.Run. Die Turbopumpe läuft mit über 50% ihrer Drehzahl.Norm. Die Turbopumpe läuft mit oder über der „Normaldrehzahl“.Strt. Die Turbopumpe ist startbereit, wird aber erst anlaufen,

nachdem die Startverzögerung abgelaufen ist.Flt. Ein Fehler ist aufgetreten. Wählen Sie den Alarme-Bildschirm.



Wenn Sie die Relaisstatus-Zeile ausgewählt haben, wird eine Liste mit den Relais angezeigt. Navigieren Sie zum entsprechenden Relais und schalten Sie das Element mit der Schaltfläche „Cycle“ ( ) ein. Bei Aktivierung des Relais wechselt der Anzeigebereich auf dem Anzeigebildschirm zur Inversanzeige.

4.6 Ändern von Listenelementen

Um ein Listenelement zu ändern, gehen Sie in die entsprechende Zeile und drücken Sie die Taste „Select“ ( ). Sie können mit den Pfeiltasten nach oben und nach unten durch die Liste blättern ( / ).

Wenn Sie die Taste „Select“ ( ) betätigen, werden die Einstellungen übernommen, und die Hervorhebung kehrt zu dem Zeilenelement zurück, sodass Sie ein anderes Element wählen und gegebenenfalls ändern können.

Wenn Sie die Taste „Menu“ ( ) betätigen, werden die Einstellungen verworfen und die Hervorhebung kehrt zu dem Zeilenelement zurück, sodass Sie ein anderes Element wählen und gegebenenfalls ändern können.

4.7 Ändern von numerischen Werten

Um einen numerischen Wert zu ändern, gehen Sie in die entsprechende Zeile und drücken Sie die Taste „Select“ ( ). Die erste Zahl wird hervorgehoben und kann mit den Pfeiltasten nach oben und nach unten geändert werden ( / ).

Mit der Taste „Select“ ( ) wird die Markierung mit jeder Betätigung zur jeweils nächsten Ziffer bewegt, sodass die vollständige Zahl eingegeben werden kann. Wenn Sie die Taste „Select“ ( ) betätigen, während die letzte Ziffer markiert ist, werden die Einstellungen übernommen, und die Hervorhebung kehrt zu dem Zeilenelement zurück, sodass Sie ein anderes Element wählen und gegebenenfalls ändern können.

Fehleingaben können jederzeit durch Betätigung der Taste „Menu“ ( ) korrigiert werden. Dadurch wird die Markierung mit jeder Betätigung zur jeweils vorhergehenden Ziffer bewegt, sodass Korrekturen vorgenommen werden können. Wenn Sie die Taste „Menu“ ( ) betätigen, während die erste Ziffer markiert ist, werden die Einstellungen verworfen, und die Markierung kehrt zu dem Zeilenelement zurück, sodass Sie ein anderes Element wählen und gegebenenfalls ändern können.

Abbildung 18 - Ändern von numerischen Werten

4.8 Turbopumpeneinstellung

VORSICHTAlle im Controller vorgenommenen Einstellungen werden in einem nichtflüchtigen Speicher gespeichert. Die Anzahl der Male, die der Inhalt des nichtflüchtigen Speichers geändert werden kann, ist begrenzt. Die gegenwärtige Mindestlebensdauer liegt bei 100.000 Änderungen für einen bestimmten Abschnitt. Dies entspricht mehr als 1 Änderung pro Stunde jede Stunde für die Dauer von 10 Jahren. Wenn die Anzahl der Änderungen überschritten wird, werden möglicherweise zufällige Daten gespeichert, was zu einem unerwarteten Systemverhalten führt.

4.8.1 Einführung

Der Controller kann zum Konfigurieren der Bereiche für die EXT-, DX- und nEXT-Pumpen verwendet werden. Der Menübildschirm stellt je nach der angeschlossenen Pumpe unterschiedliche Funktionen dar. Der Controller erkennt die angeschlossene Pumpe, die auf dem Einstellungs- und Statusbildschirm der Pumpe angezeigt wird (siehe Abbildung 19).

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Betrieb

Abbildung 19 - Setup-Bildschirm der Turbopumpe

4.8.2 Standardoptionen für die Turbopumpeneinstellung

Tabelle 9 - Standardoptionen für die Turbopumpeneinstellung

Menüoption Beschreibung

Ramp Up Timer Der Anwender kann den Hochlauf-Zeitgeber von 1 bis 30 Minuten einstellen. Dieser Zeitgeber generiert einen Alarm, wenn die Pumpendrehzahl nach der eingestellten Zeit nicht über 50% der Drehzahl ansteigt.

Droop Timer Der Anwender kann den Abfall-Zeitgeber von 1 bis 30 Minuten einstellen. Dieser Zeitgeber generiert einen Alarm, wenn die Pumpendrehzahl länger als die eingestellte Zeit unter 50% der Drehzahl abfällt.

Heater time Der Anwender kann die Zeit von 0 bis 35 Stunden einstellen, in der die Heizmanschette die Turbopumpe ausheizt. Der Heizer wird während der eingestellten Zeit eingeschaltet, nachdem die Pumpe „normal speed“ (Normaldrehzahl) erreicht hat. Wenn die Pumpe unter „normal speed“ abfällt, schaltet sich die Heizmanschette aus, und der Zeitgeber wird zurückgesetzt.Sobald die Heizmanschette arbeitet, kann der Anwender deren Betrieb über die serielle Schnittstelle oder die TIC-Fronttafel unterbrechen und wieder aufnehmen.

Start delay Die Anlaufverzögerung ermöglicht es dem Anwender, das Anlaufen der Turbopumpe um 0 bis 99 Minuten zu verzögern.

System ON Ermöglicht es dem Anwender, die Komponenten des Systems zu definieren, die in Betrieb gehen, wenn das „System“ eingeschaltet wird.

System OFF Ermöglicht es dem Anwender, die Komponenten des Systems zu definieren, die außer Betrieb gehen, wenn das „System“ ausgeschaltet wird.

Hinweis: Mit den Befehlen „System ON“ und „System Off“ können die aufgelisteten Elemente manuell gesteuert werden. Falls möglich, werden dadurch Einstellungen wie beispielsweise Optionen für die Vorvakuumpumpe und das Verknüpfen von Messgeräten übersteuert.

Hinweis: Wenn die Vorvakuumpumpe-Option auf „50%“ oder „Stopp“ eingestellt wurde, wird mit „Seq“ angezeigt, dass die Vorvakuumpumpe auf eine der Optionen sequenziell geordnet ist.

Air cooler (Luftkühler) Der Anwender kann einstellen, wann ein Luftkühler von Edwards eingeschaltet sein soll. Der Luftkühler kann auf „ON“ geschaltet werden (permanent in Betrieb) oder auf „Turbo“ (in Betrieb, wenn die Turbopumpe läuft).



Zu Fehler- und Diagnoseinformationen für Pumpen siehe Tabelle 10.

VORSICHTWenn eine Edwards 24 V-Vorvakuumpumpe angeschlossen ist, wird empfohlen, dass die genutzte Gesamtleistung die in Abschnitt 2 angegebenen Werte nicht übersteigt.

4.8.3 Zusätzliche Einstellungsoptionen bei Verwendung einer DX oder nEXT-Pumpe

Der Controller ermöglicht es dem Anwender, zusätzliche Funktionen einzustellen, die bei DX-, nEXT- oder nXDS-Pumpen verfügbar sind.

VORSICHTLesen Sie die Anleitung der DX- oder nEXT-Pumpe, bevor Sie mit dem Controller das Setup der DX-, nEXT- oder nXDS-Pumpe durchführen.

Die Turbobelüftung kann je nach Pumpenfamilie eingestellt werden; siehe Tabelle 11. Der Anwender kann über die TIC-Belüftungsoption auch ein zusätzliches Belüftungsventil mit einem Vakuumsystem verbinden.

TIC vent options (Belüftungsoptionen)

Ein an den Controller angeschlossenes Belüftungsventil kann auf folgende Weise betrieben werden:„On Stopp“ zum Öffnen des Belüftungsventils 2 Sekunden nachdem der Stopp-Befehl gegeben wurde, oder „50%“ zum Öffnen des Belüftungsventils, wenn sich die Pumpe auf 50% ihrer Drehzahl verlangsamt hat.

Backing Pump (Vorvakuumpumpe)

Optionen

Eine an den Controller oder über eine Relaisbox angeschlossene Vorvakuumpumpe kann wie folgt betrieben werden:

None (Kein): Die Vorvakuumpumpe ist mit der Turbopumpe nicht sequentiell geordnet

50%: Die Vorvakuumpumpe wird nach 2 Sekunden ausgeschaltet, sobald die Turbo-Drehzahl auf 50% ihrer Geschwindigkeit abfällt. Durch die Verzögerung wird erreicht, dass Verunreinigungen beim Abschalten aus dem System entfernt werden können.

On stop (bei Stillstand): 4 Sekunden nachdem die der Befehl „Turbo off“ gesendet wurde, wird die Vorvakuumpumpe ausgeschaltet. Die Verzögerung von 4 Sekunden ermöglicht das Abschalten eines Ventils und das anschließende Entfernen von Verunreinigungen aus dem System.

Tabelle 10 - Fehler/Diagnoseüberwachung, Pumpen

Diagnosemeldungen Beschreibung

RampUp Timeout Prüfen Sie, ob die Pumpe zu heiß ist oder ob der Einlassdruck zu hoch ist.Prüfen Sie, ob die Vorvakuumpumpe funktionsbereit ist.Prüfen Sie das Vakuumsystem auf Lecks.

Droop Timeout Prüfen Sie, ob die Pumpe zu heiß ist oder ob der Einlassdruck zu hoch ist.Prüfen Sie, ob die Vorvakuumpumpe funktionsbereit ist. Prüfen Sie das Vakuumsystem auf Lecks.

Tabelle 9 - Standardoptionen für die Turbopumpeneinstellung (Fortsetzung)


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Betrieb

Tabelle 11 - Unterschiede bei der Einrichtung der Turbopumpenbelüftung

Pumpenfamilie Turbobelüftungs-option 1

Turbobelüftungs-option 2

Turbobelüftungs-typ 1

Turbobelüftungs-typ 2

DX X

nEXT85 X X X X

nEXT240/300/400 X

Tabelle 12 - Belüftungs-Optionen für Turbopumpen

Auf dem Display Beschreibung

50% Belüftungsventil öffnet vollständig unter 50% der vollen Drehzahl sowohl für den Stop- als auch den Fail-Befehl.

Hinweis: Dies ist die werkseitige Voreinstellung.

50% CvV Geregelte Belüftung von 100% – 50% der vollen Drehzahl; Belüftungsventil öffnet vollständig unter 50% der vollen Drehzahl sowohl für den Stop- als auch den Fail-Befehl.

STP 50% Belüftungsventil öffnet vollständig unmittelbar nachdem der Stop-Befehl empfangen wurde; Belüftungsventil öffnet vollständig unter 50% der vollen Drehzahl bei Fail.

STP CnV Belüftungsventil öffnet vollständig unmittelbar nachdem der Stop-Befehl empfangen wurde; Geregelte Belüftung von 100% – 50% der vollen Drehzahl, dann öffnet das Belüftungsventil vollständig unter 50% bei Fail.

FLT 50% Belüftungsventil öffnet vollständig unmittelbar bei Fail;Belüftungsventil öffnet vollständig unter 50% der vollen Drehzahl bei Stop.

FLT CnV Belüftungsventil öffnet vollständig unmittelbar bei Fail;Geregelte Belüftung von 100% – 50% der vollen Drehzahl, dann öffnet das Belüftungsventil vollständig unter 50%, nachdem der Stop-Befehl empfangen wurde.

STPFLT Belüftungsventil öffnet unmittelbar vollständig sowohl bei Stop als auch bei Fail.

FLTSTP Belüftungsventil öffnet unmittelbar vollständig sowohl bei Stop als auch bei Fail.

FAN Belüftung ist permanent aktiviert und kann verwendet werden, um einen Luftkühler von Edwards zu betreiben. Diese Option kann nicht eingestellt werden, wenn die Pumpe mit mehr als 50 % der maximalen Drehzahl läuft.

OPT 9 Nicht verwenden

OPT 10 Nicht verwenden

Tabelle 13 - Typ der Turbopumpenbelüftung

Auf dem Display Beschreibung

N/O Ausgang für ein in Ruhestellung offenes Belüftungsventil konfiguriert; nicht änderbar, wenn die Pumpe mit mehr als 50% der maximalen Drehzahl läuft.

N/C Ausgang für ein in Ruhestellung geschlossenes Belüftungsventil konfiguriert; nicht änderbar, wenn die Pumpe mit mehr als 50% der maximalen Drehzahl läuft.

Tabelle 14 - Einstellungsoptionen für DX-, nEXT- und nXDS-Pumpen


Normal Der Controller ermöglicht die Einstellung von „normal speed“ (Normaldrehzahl) als Prozentsatz der vollen Drehzahl.

Standby-Drehzahl Der Anwender kann die Standby-Drehzahl als Prozentsatz der vollen Drehzahl einstellen.



Zu Fehler- und Diagnoseinformationen für DX-, nEXT- und nXDS-Pumpen siehe Tabelle 15.

4.9 Einstellen der Vorvakuumpumpe

Max. power Der Anwender kann die maximale Leistung einstellen, mit der eine DX-Pumpe arbeiten kann.

Braking Off/Enabled (Aus/Aktiviert). Der Anwender kann diese Funktion benutzen, um die Turbopumpe schneller abzubremsen.

Service opt Anzeigeoptionen nEXT Wartung. LED Pumpen-Modul blinkt, Fehlerleitung, beide, keines.

Tabelle 15 - Fehler/Diagnoseüberwachung, DX-, nEXT- und nXDS-Pumpen


Serial ID Fail Eine DX-, nEXT-, nXDS- oder serielle Pumpe ist angeschlossen, aber der Typ wurde nicht erkannt. Vergewissern Sie sich, dass alle Leitungen angeschlossen sind.

Turbo Fault Prüfen Sie die blinkenden Fehlercodes am Pumpen-Modul, und schlagen Sie in der Betriebsanleitung der DX-, nEXT- oder nXDS-Pumpe nach.

SC Interlock Serielle Aktivierung der DX-, nEXT- oder nXDS-Pumpe ging verloren, während sie lief. Dies könnte durch einen vorübergehenden Stromausfall oder eine gebrochene Leitung verursacht worden sein. Es wird empfohlen, die Pumpe anzuhalten und erneut zu starten. Wenn der Alarm nicht gelöscht wird, setzen Sie den Controller zurück, und versuchen Sie es erneut.

Uload Timeout Vergewissern Sie sich, dass die Pumpe korrekt angeschlossen ist, und versuchen Sie danach den Upload noch einmal.

Dload Failed Vergewissern Sie sich, dass die Pumpe korrekt angeschlossen ist, und versuchen Sie danach den Download noch einmal.

nEXT Service due warning

Eines der nEXT-Elemente hat sein Wartungsintervall überschritten. Siehe nEXT Wartungsbildschirm für weitere Informationen. Wenden Sie sich an Edwards, um einen passenden Wartungssatz zu bestellen oder mit Edwards einen Wartungstermin zu vereinbaren.

nXDS Service due warning

Eines der nXDS-Elemente hat sein Wartungsintervall überschritten. Siehe nXDS Wartungsbildschirm für weitere Informationen. Wenden Sie sich an Edwards, um einen passenden Wartungssatz zu bestellen oder mit Edwards einen Wartungstermin zu vereinbaren.

Tabelle 16 - Optionen des Standard-Setup der Vorvakuumpumpe


Start delay Die Anlaufverzögerung ermöglicht es dem Anwender, das Anlaufen der Turbopumpe um 0 bis 99 Minuten zu verzögern.

System ON Ermöglicht es dem Anwender, die Komponenten des Systems zu definieren, die in Betrieb gehen, wenn das "System" eingeschaltet wird.

System OFF Ermöglicht es dem Anwender, die Komponenten des Systems zu definieren, die außer Betrieb gehen, wenn das "System" ausgeschaltet wird.

Hinweis: Mit den Befehlen "System ON" und "System OFF" können die aufgelisteten Elemente manuell gesteuert werden. Wenn möglich, werden dadurch Einstellungen, wie beispielsweise Vorvakuum-Optionen und Verknüpfung von Messgeräten, aufgehoben.

Tabelle 14 - Einstellungsoptionen für DX-, nEXT- und nXDS-Pumpen (Fortsetzung)


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Betrieb4.10 Alarme

Wenn ein Alarm ausgelöst wird, beginnt eine „Alarms“-Warnung in der unteren Hälfte des Displays zu blinken. Siehe Abbildung 17.

Der Alarm kann dann ausgewählt werden, indem der Cursor darauf bewegt und die Taste „Select“ ( ) gedrückt wird. Dies führt Sie zum Bildschirm „Alarms“. Alternativ kann der Bildschirm „Alarms“ auch über das Hauptmenü aufgerufen werden.

Der Alarm hört auf zu blinken, wenn er bestätigt wurde, und er verschwindet ganz, wenn die Alarmsituation nicht mehr besteht. Ein Alarm wird bestätigt, indem die Taste „Select“ ( ) betätigt wird, während der blinkende Alarm hervorgehoben ist.

Informationen zum Löschen eines Alarms finden Sie im Leitfaden zur Fehlersuche in Abschnitt 5 dieser Betriebsanleitung. Dieser Leitfaden bietet Informationen darüber, worum es bei dem Alarm geht, sowie mögliche Lösungen zum Löschen des Alarms.

In ähnlicher Weise kann eine Warnung angezeigt werden. Um sie zu löschen, gehen Sie wie bei den oben genannten Alarmen vor.

Hinweis: Wenn die Vorvakuumpumpe-Option auf "50%" oder "Stopp" eingestellt wurde, wird mit "Seq" angezeigt, dass die Vorvakuumpumpe auf eine der Optionen folgt.

Air cooler(Luftkühler)

Der Anwender kann einstellen, wann ein Luftkühler von Edwards eingeschaltet sein soll. Der Luftkühler kann auf "ON" geschaltet werden (permanent in Betrieb) oder auf "Turbo" (in Betrieb, wenn die Turbopumpe läuft).

TIC vent options (Belüftungsoptionen)

Ein an den Controller angeschlossenes Belüftungsventil kann auf folgende Weise betrieben werden: "On Stopp" zum Öffnen des Belüftungsventils 2 Sekunden nachdem der Stopp-Befehl gegeben wurde, oder "50%" zum Öffnen des Belüftungsventils, wenn sich die Pumpe auf 50% ihrer Drehzahl verlangsamt hat.

Backing Pump (Vorvakuumpumpe)

Optionen

Eine an den Controller oder über einen Relaiskasten angeschlossene Vorvakuumpumpe kann wie folgt betrieben werden:None (Kein): Die Vorvakuumpumpe ist mit der Turbopumpe nicht sequentiell geordnet. 50%: Die Vorvakuumpumpe wird nach 2 Sekunden ausgeschaltet, sobald die Turbo-Drehzahl auf 50% ihrer Geschwindigkeit abfällt. Durch diese Verzögerung können Abfallstoffe vom System beseitigt werden.On stop (bei Stillstand): 4 Sekunden nachdem der Befehl "Turbo off" gesendet wurde, wird die Vorvakuumpumpe ausgeschaltet. Durch die Verzögerung von 4 Sekunden kann ein Ventil geschlossen werden, anschließend können Abfallstoffe vom System beseitigt werden.

Tabelle 17 - Optionen des Standard-Setup der nXDS-Pumpe


Normal Der Controller ermöglicht die Einstellung von "normal speed" (Normaldrehzahl) der Vorvakuumpumpe als Prozentsatz der vollen Drehzahl.

Standby speed (Standby-Drehzahl)

Der Anwender kann die Standby-Drehzahl der Vorvakuumpumpe als Prozentsatz der vollen Drehzahl einstellen.

Autorun Durch diese Einstellung ist gewährleistet, dass die nXDS anläuft, sobald sie eingeschaltet wird.

Service opt Optionen der nXDS-Wartungsanzeige. Am Pumpenmodul blinkende LED, Ausfall Linie, beide, keine.

Tabelle 16 - Optionen des Standard-Setup der Vorvakuumpumpe (Fortsetzung)




4.11 Das Hauptmenü

Das Hauptmenü kann durch Drücken der Taste „Menu“ ( ) auf der Displayanzeige aufgerufen werden (siehe Abbildung 14). Von hier aus kann auf die folgenden Untermenüs zugegriffen werden.

4.12 Status der Turbopumpe

Auf diesem Bildschirm kann der Anwender den aktuellen Status der Turbo- und Vorvakuumpumpen sehen. Grundlegende Informationen wie zum Beispiel:

Ob die Turbopumpe ON oder OFF ist, sowie ein Graph ihrer Drehzahl.

Der Status der Turbopumpe, den der Anwender angefordert hat.

Ob die Vorvakuumpumpe ON oder OFF ist.

Die Leistung, welche die Turbopumpe aufnimmt.

Die Drehzahl der Turbopumpe als Prozentsatz der vollen Drehzahl.

Die Temperatur des Turbo-Antriebs. (Nur bei DX-und nEXT-Pumpen.)

Die Temperatur der Turbopumpe/des Motors. (Nur bei DX- und nEXT-Pumpen.)

Die Temperatur des Turborotors. (Nur bei Pumpen der nEXT85-Familie.)

Die Zykluszeit ist die Betriebszeit des aktuellen Zyklus. (Nur bei DX-und nEXT-Pumpen.)

Ob das TIC-Belüftungsventil "on/off" ist.

Menü "Service" (Wartung) - Enter, drücken Sie Enter, um zum nEXT Wartungsbildschirm zu gelangen.

Tabelle 18 - nEXT Wartungsbildschirm („nEXT Service“)

nEXT Service Beschreibung

Service due Zeigt an, welche Wartung erforderlich ist - None (keine), Oil (Öl), Bearing (Lager), Turbo, Controller. Wenn mehrere Wartungsarten erforderlich sind, werden nur die Anfangsbuchstaben angezeigt - O B T C.

Oil run Betriebsstunden Öl seit der letzten Wartung.

Oil until Verbleibende Betriebsstunden Öl bis zur nächsten Wartung.

Bearing run Betriebsstunden Lager seit der letzten Wartung.

Bear until Verbleibende Betriebsstunden Lager bis zur nächsten Wartung.

Turbo run Betriebsstunden Turbo seit der letzten Wartung.

Turbo until Verbleibende Betriebsstunden Turbo bis zur nächsten Wartung.

Contlr run Belastungsabhängige Betriebsstunden, die der Controller seit der letzten Wartung an gewesen ist. Belastungsanpassung - die Betriebszeiten können sich in Echtzeit je nach Temperatur und Last verlängern oder verkürzen.

Cntlr until Belastungsabhängige Betriebsstunden, die der Controller bis zur nächsten Wartung noch an sein kann.

Turbo cycle Anlauf-/Ausschaltzyklen seit der letzten Wartung.

Cycle until Verbleibende Anlauf-/Ausschaltzylen bis zur nächsten Wartung.

Knock count Reservelagerkontakte seit der letzten Wartung.

Reset Service Due ... Drücken Sie Enter, um zum Bildschirm zum Rücksetzender nEXT-Wartung zu gelangen.

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Betrieb

4.13 Status der Vorvakuumpumpe

Auf diesem Bildschirm kann der Anwender den aktuellen Status der Turbo- und Vorvakuumpumpen sehen. Grundlegende Informationen wie zum Beispiel:

Ob die Vorvakuumpumpe ON oder OFF ist, sowie ein Graph ihrer Drehzahl.

Der Status der Turbopumpe, den der Anwender angefordert hat.

Ob die Vorvakuumpumpe ON oder OFF ist.

Die Leistung, welche die Vorvakuumpumpe aufnimmt.

Die Drehzahl der Vorvakuumpumpe als Prozentsatz der vollen Drehzahl.

Die Temperatur des Antriebs der Vorvakuumpumpe. (Nur bei nXDS-Pumpen).

Die Zykluszeit ist die Betriebszeit des aktuellen Zyklus. (Nur bei nXDS-Pumpen).

Ob das TIC-Belüftungsventil "on/off" ist.

Menü "Service" (Wartung) - Enter, drücken Sie Enter, um zum nXDS Wartungsbildschirm zu gelangen.

Tabelle 19 - Bildschirm zum Rücksetzen der nEXT-Wartung („nEXT Service Reset“)

nEXT Service Reset Beschreibung

Select line below and press enter after servicing

Anweisungen folgen

Reset oil due Drücken Sie die Enter-Taste, um nur die fällige Öl-Wartung zurückzusetzen

Reset bearing due Drücken Sie die Enter-Taste, um nur die fällige Lager-Wartung zurückzusetzen

Tabelle 20 - nXDS Wartungsbildschirm

nXDS Service Beschreibung

Service due Zeigt an, welche Wartung erforderlich ist - None (keine), Tip Seal (Dichtung), Bearing (Lager), Backing (Vorvakuum), Controller (Controller). Wenn mehrere Wartungsarten erforderlich sind, werden nur die Anfangsbuchstaben angezeigt - O B T C.

TipSeal run Betriebsstunden Vorvakuumpumpe seit der letzten Wartung.

TipSeal til Verbleibende Betriebsstunden Lager bis zur nächsten Wartung.

Bearing run Betriebsstunden Vorvakuumpumpe seit der letzten Wartung.

Bear until Verbleibende Betriebsstunden Lager bis zur nächsten Wartung.

Back run Betriebsstunden Vorvakuumpumpe seit der letzten Wartung.

Cntlr run Belastungsabhängige Betriebsstunden, die der Controller seit der letzten Wartung an gewesen ist.Belastungsanpassung - die Betriebszeiten können sich in Echtzeit je nach Temperatur und Last verlängern oder verkürzen.

Back cycle Anlauf-/Ausschaltzyklen seit der letzten Wartung.

Reset Service Due ... Drücken Sie "Enter", um zum Bildschirm zum Zurücksetzen der nXDS-Wartung zu gelangen.



4.14 Parameters/Units (Parameter/Einheiten)

Auf diesem Bildschirm kann der Anwender die angezeigten Einheiten und andere Parameter ändern, wie zum Beispiel:

Setup lock - Wenn der 3-stellige Sperrcode eingegeben wird, ist die Sperre aktiviert, und ein Bediener kann keine der Einstellungen ändern, aber der Bediener kann immer noch durch die Menüs blättern und Pumpen starten und anhalten. Die Sperre wird durch Eingabe des 3-stelligen Entsperrcodes deaktiviert. Sperren - 501, Entsperren - 147.

Panel Lock - Diese Funktion sperrt vollständig das Bedienfeld auf der Vorderseite. Ein Bediener kann nur die Bildschirmanzeige sehen. Sperren - 509, Entsperren - 824.

Der 0 – 10 V Analogausgang („Analogue output“) auf der Logik-Schnittstelle kann so eingestellt werden, dass er jeder Turbo-Drehzahl folgt.

Mit dem „Display contrast“ (Anzeigekontrast) kann der Anwender den Kontrast der Anzeige ändern.

Das „Protocol“ (Protokoll) gibt an, ob RS232 oder RS485 benutzt wird.

Comms address – Zum Einstellen der Datenübertragungsadresse am Controller.

TMPI-Alarm off - Zur Deaktivierung/Aktivierung der Warnung bei Verwendung der TMPI-Leitung zum Starten der Turbopumpe.

BMPI-Alarm off - Zur Deaktivierung/Aktivierung der Warnung bei Verwendung der BMPI-Leitung zum Start der Vorvakuumpumpe.

4.15 Ausgänge für Schaltpunkte der Relais

Die Option für die Schaltpunkte der Relais ermöglicht die Verknüpfung der Schaltpunkt-Ausgänge auf der Logik-Schnittstelle mit der Saugleistung bzw. Drehzahl der Turbopumpe. Wenn diese Option gewählt wurde, wird eine Zusammenfassung der aktuellen Einstellungen angezeigt. Die Standard-Einstellung für die drei Relais ist „Not Linked“ (nicht verknüpft).

Richten Sie die Verknüpfungen wie folgt ein:

1. Wählen Sie das zu steuernde Relais. Blättern Sie bis zu dem Relais, das gesteuert werden soll, und drücken Sie die Taste „Select“ ( ).

2. Wählen Sie das steuernde Element. Die obere hervorgehobene Zeile dient zum Auswählen des steuernden Elements. Das steuernde Element kann entweder „Not Linked“ oder „Turbo Speed“ (%) sein. Drücken Sie die Taste „Select“ ( ), um die Auswahl zu bestätigen.

3. Geben Sie den erforderlichen Schaltpunkt ein. Die Schaltpunkte für „On“ und „Off“ können je nach der Anwendung angepasst werden. Für Pumpen wird die Einheit „Turbo Speed“ (%) verwendet.

Hinweis: Für Pumpen ist Schaltpunkt für „Off“ kleiner als oder gleich dem Schaltpunkt für „On“.

4. Aktivieren Sie den Schaltpunkt. Nach dem Konfigurieren sollte der Schaltpunkt aktiviert werden, indem die untere „Setpoint“-Zeile von „OFF“ auf „ENABLED“ geändert wird.

Tabelle 21 - Bildschirm zum Rücksetzen der nXDS-Wartung

nXDS Service Reset Beschreibung

Select line below and press enter after servicing

Anweisungen folgen

Reset Tip Seal due Drücken Sie die Enter-Taste, um nur die fällige Öl-Wartung zurückzusetzen

Reset bearing due Drücken Sie die Enter-Taste, um nur die fällige Lager-Wartung zurückzusetzen

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Betrieb

4.16 Service-Informationen

Die Service-Information enthalten die folgenden Angaben:

Software Issue – Dies ist die Version der aktuell installierten Software. Dies ändert sich, wenn in der Zukunft neue Software in den Controller herunter geladen wird.

Serial Number – Die Seriennummer des Controllers wird verwendet, wenn Sie bezüglich des Produkts mit Edwards Kontakt aufnehmen.

Analogue O/P – Der analoge Ausgabewert (interne Einheiten) wird verwendet, wenn Sie bezüglich des Produkts mit Edwards Kontakt aufnehmen.

PSU Temp - PSU-Temperatur.

TIC Temp - TIC-Temperatur.

Turbo run - Anzahl der Stunden, während denen die Turbopumpe in Betrieb war (nur DX- und nEXT-Pumpen).

Upload Turbo - Der Controller kann einen Satz der Konfigurationsdaten der Pumpe speichern. Diese Funktion lädt die aktuelle Konfiguration von der angeschlossenen Pumpe (nur DX- und nEXT-Pumpe).

Download Turbo - Der Controller kann einen Satz Konfigurationsdaten in DX- und nEXT-Pumpen herunterladen, nachdem eine Konfiguration geladen wurde. Mit dieser Funktion wird die gespeicherte Konfiguration in die angeschlossene Pumpe (nur DX- und nEXT-Pumpe) heruntergeladen.

Reset Trbo - Setzt die Turbopumpe auf ihre werkseitigen Standard-Voreinstellungen zurück (nur DX- und nEXT-Pumpen).

Reset TIC – Setzt den Controller auf seine werkseitige Standard-Konfiguration zurück und kann verwendet werden, um schnell alle Anwender-Einstellungen rückgängig zu machen (Relais-Schaltpunkte, Einheiten usw.).

4.17 Fehler in der Stromversorgung

Wenn in der Stromversorgung des Controllers ein Fehler auftritt, während die Turbopumpe mit hoher Saugleistung rotiert, beginnt die Pumpe, wie ein Generator zu arbeiten, wobei der Betrieb der Pumpenelektronik sowie der unterstützende Betrieb von direkt mit der Pumpe verbundenem Zubehör, wie z. B. einem Belüftungsventil oder einem Ventilator, aufrechterhalten wird.

Zusätzlich können bestimmte Turbopumpen einem TIC Strom zur Verfügung stellen, um den Betrieb der mit dem TIC verbundenen Belüftungsventile aufrechtzuerhalten.

Wenn die Leistung an den TIC zurückgeleitet wird, kann sie nicht den Messröhren, der Logik-Schnittstelle oder dem Luftkühler zur Verfügung gestellt werden. Alle diese Komponenten stellen den Betrieb ein, bis die Stromversorgung wiederhergestellt ist.

Wenn die Turbopumpen-Saugleistung unter 50% abfällt, öffnet das Belüftungsventil, und der Controller schaltet ab.

Informationen zur Verfügbarkeit dieser Funktion finden Sie in der jeweiligen Betriebsanleitung der Pumpe.

Turbopumpe Strom an TIC

EXT75DX Unterstützt

nEXT240/300/400-Familie Nicht unterstützt

nEXT85-Familie Unterstützt, wenn Option aktiviert


Wartung

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5 Wartung5.1 Sicherheit

Der TIC besitzt keine Teile, die Sie selbst warten können. Öffnen Sie das Gerät nicht. Schicken Sie es für alle erforderlichen Reparaturen an das nächstgelegene Edwards-Kundendienstzentrum.

Formulare für die Rücksendung von Geräten an Edwards finden Sie am Schluss dieser Anleitung.

5.2 Fehlersuche

WARNUNG

Beachten Sie die Sicherheitshinweise in diesem Abschnitt und die entsprechenden Vorsichtsmaßnahmen. Die Nichteinhaltung dieser Anweisungen kann zu Personen- oder Ausrüstungsschäden führen.

Tabelle 22 - Fehlersuche


Pum

pe RampUp Timeout Siehe Tabelle 10.

Droop Timeout Siehe Tabelle 10.

DX

und

nEXT

Serial ID Fail Siehe Tabelle 15.

Turbo Fault Siehe Tabelle 15.

SC Interlock Siehe Tabelle 15.

Uload Timeout Siehe Tabelle 15.

Dload Failed Siehe Tabelle 15.

nEXT Service Due Siehe Tabelle 15.

Allg

emei

nes

SYSI Inhibit Die Systemsperre wurde aufgehoben. Vergewissern Sie sich, dass der Stecker der Logik-Schnittstelle korrekt angeschlossen ist, oder prüfen Sie den Status der Systemsperren.

Ext Inhibit Aktivierungsleitungen wurden unterbrochen. Prüfen Sie die Turbo- oder Vorvakuumpumpen-Aktivierungsleitungen.

No Reading Ein Objekt hat innerhalb einer vorgegebenen Zeit keine Wertaktualisierung von seiner Quelle erhalten und kennzeichnet diesen Wert jetzt als alt. Prüfen Sie die Verbindungen zu Komponenten des Systems.

No Message

Brownout/Short

Ein Objekt hat innerhalb einer vorgegebenen Zeit keine Antwort auf eine von ihm ausgesandte Meldung erhalten. Prüfen Sie die Verbindungen der Logik-Schnittstelle, ob diese korrekt an den Controller angeschlossen sind.

Durch die Last an den Controller-Ausgängen wurde entweder ein bestimmter Strompegel überschritten, oder es kam zu einer Unterspannung im Netzstrom, während die Turbopumpe in Betrieb war und regenerierten Strom liefern konnte. Entfernen Sie den Kurzschluss oder die Überlast und bestätigen Sie dann den Fehler; der Controller versucht dann erneut, den Ausgang anzutreiben. Wenn ein Brownout auftritt, warten Sie diesen ab und bestätigen dann den Fehler.

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Wartung

5.3 Reinigen des Controllers

Wenn nötig, reinigen Sie die Außenflächen des Controllers mit einem weichen, trockenen Tuch. Verwenden Sie zum Reinigen keine harten Schleifmittel oder Flüssigkeiten.

Wenn das Innere des Controllers gereinigt werden muss, empfiehlt Edwards, den Controller an den Lieferanten oder das nächstgelegene Edwards-Kundendienstzentrum zu senden.

5.4 Software-Updates

Die Software im Controller und TIC-PC-Überwachungsprogramm wird als Teil des laufenden Entwicklungsprogramms von Edwards aktualisiert. Die Updates und die zugehörige Betriebsanleitungen finden Sie auf der Website www.upgrades.edwardsvacuum.com.

5.5 Werkseitige Standardeinstellungen

Die folgende Liste enthält die werkseitigen Standardeinstellungen für den Controller:

Tabelle 23 - Werkseitige Standardeinstellungen

Menüoption Standardwert

Pump and relay slaving - not slaved

Turbo pump start delay (Startverzögerung Turbopumpe) = 0

EXDC Ramp time = 8

EXDC Droop time = 8

Analogue out slaved = NONE

TIC vent = 50%

Heater band = 0 hrs

Luftkühler = Turbo

Setup lock = Off

Panel lock = Off

Display contrast = 5

PC comms = RS232

Multi-drop adress = 0

Default screen = All

System On = Backing

System Off = Turbo

Backing option = None


Lagerung und EntsorgungD397-12-882 Issue L

6 Lagerung und Entsorgung6.1 Lagerung

Lagern Sie den Controller in einer sauberen, trockenen Umgebung entsprechend den technischen Spezifikationen. Siehe Abschnitt 2.

6.2 Entsorgung

Entsorgen Sie den Controller und alle Komponenten sicher unter Einhaltung aller örtlichen und nationalen Sicherheits- und Umweltschutzbestimmungen.

Als Alternative können der Controller und/oder die Kabel möglicherweise dem Recycling zugeführt werden. Bitte wenden Sie sich an den Lieferanten oder an Edwards, um Informationen hierzu zu erhalten.

Der Controller und die zugehörigen Kabel unterliegen der Richtlinie 2002/96/EG über Elektro- und Elektronik-Altgeräte. Edwards bietet seinen europäischen Kunden einen Wiederaufbereitungsservice für den Controller und die Kabel nach Ablauf der Nutzungsdauer an. Wenden Sie sich an Edwards, um zu erfahren, was Sie bei der Rücksendung der zur Wiederaufbereitung bestimmten Controller und Kabel beachten müssen.

WARNUNG

Entsorgen Sie den Controller nicht durch Verbrennen. Wenn der Controller auf sehr hohe Temperaturen erhitzt wird, können gefährliche Gase ausströmen, und Bauteile im Innern können explodieren.

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Service, Ersatzteile und ZubehörD397-12-882 Issue L

7 Service, Ersatzteile und Zubehör7.1 Einführung

Produkte, Ersatzteile und Zubehör von Edwards sind über Edwards-Vertretungen in Belgien, Brasilien, China, Deutschland, Frankreich, Großbritannien, Israel, Italien, Japan, der Republik Korea, Singapur, den USA sowie über ein weltweites Vertriebsnetz erhältlich. Die meisten dieser Firmen beschäftigen Wartungstechniker, die umfassende Edwards-Schulungen absolviert haben.

Edwards empfiehlt, für die Wartung dieses Produkts die Wartungs- und Service-Kits von Edwards zu verwenden.

Bestellen Sie Ersatzteile und Zubehör bei der nächstgelegenen Edwards-Vertretung oder -Vertriebsstelle. Geben Sie bei der Bestellung für jedes gewünschte Teil Folgendes an:

Modell und Bestellnummer des Geräts

Seriennummer

Bestellnummer und Beschreibung des Teils.

7.2 Service

Produkte von Edwards werden über ein weltweites Netz von Edwards-Kundendienstzentren betreut. Jedes Kundendienstzentrum bietet eine große Auswahl an Optionen, wie zum Beispiel: Gerätedekontamination; Austausch im Rahmen des Kundendiensts; Reparatur; Umbau und Test nach Werksspezifikationen. Anlagen und Geräte, an denen Service-, Reparatur- oder Instandsetzungsarbeiten durchgeführt wurden, gehen mit voller Gewährleistung an den Kunden zurück.

Die Kundendienstzentren vor Ort können auch Ingenieure von Edwards als Vor-Ort-Support für Wartung, Service oder Reparatur von Anlagen bereitstellen.

Weitere Informationen über Serviceoptionen erhalten Sie beim Kundendienstzentrum in Ihrer Nähe oder bei einer Vertretung von Edwards.

7.3 Ersatzteile

Hinweis: Dieser Satz eignet sich für Kunden mit Fachkenntnissen in Elektro- und Elektronikreparaturen, die über ein tragbares Prüfgerät für Elektrogeräte verfügen. Wenn der Kunde die Reparatur nicht selbst durchführen kann, sollte der Controller zur vollständigen Reparatur und erneuten Sicherheitsprüfung an Edwards zurückgesendet werden.

Ersatzteil Bestellnummer

Frontrahmen-Satz für TIC D397-00-803TIC Logik-Schnittstelle D397-00-850Frontplatten-Satz D397-00-822

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Service, Ersatzteile und Zubehör

7.4 Zubehör

Tabelle 24 enthält das im Handel erhältliche Zubehör.

Tabelle 24 - Zubehörteile

Produktbeschreibung Bestellinformationen

TIC Controller

TIC-Profibus-Modul D397-50-000

Turbopumpen und Controller

EXT70H Bereich

(EXDC80 Steuermodul mit obigen Turbopumpen erforderlich) D396-45-000

EXT255H Bereich

(EXDC160 Steuermodul mit obigen Turbopumpen erforderlich) D396-46-000

EXT75DX Bereich

EXT255DX Bereich

nEXT Bereich

Verlängerungskabel DX/EXDC und 24 V-Vorvakuumpumpen

1 m DX/EXDC Verlängerungskabel (16/0,2) D397-00-835



Luftkühler

ACX70 B580-53-050

ACX250 B580-53-150

BelüftungsventileTAV5TAV6

B580-66-010B580-66-020

Beispiele kompatibler 24 V-Vorvakuumpumpen

XDD1 24 V Gleichstrom Membranpumpe A746-01-991

Beispiele für kompatible mit Netzspannung betriebene Vorvakuumpumpen

XDS10 220-240 V, 50 Hz, 1-phasig A726-01-903

XDS10 115-120 V, 60 Hz, 1-phasig A726-01-906

nXDS6i 100-127/200-240 V 50/60 Hz, 1-phasig A735-01-983




E2M1.5 220-240 V, 50/60 Hz, 1-phasig A371-22-919

E2M1.5 115-120 V, 50/60 Hz, 1-phasig A371-22-902

RV12 110-120 V, 60 Hz oder 220-240 V, 50 Hz, 1-phasig A655-01-903

E2M28 220-240 V, 50 Hz oder 230-240 V, 60 Hz, 1-phasig A373-15-903

E2M28, 115/230 V, 60 Hz, 1-phasig A373-15-981


Service, Ersatzteile und ZubehörD397-12-882 Issue L

Heizmanschette (über eine optionale Relaisbox)

BX70 240 V 30 W (EXT70H & EXT75DX) B580-52-060

BX70 110 V 30 W (EXT70H & EXT75DX) B580-52-040

BX250, 240 V, 60 W (EXT255H) B580-52-061

BX250, 110 V, 60 W (EXT255H) B580-52-041

24 V-Ventile für Vorvakuumleitung (über optionale Relaisbox)

LCPV16EKA 24 V Wechselstrom/Gleichstrom C417-51-200

LCPV25EKA 24 V Wechselstrom/Gleichstrom C417-52-200

Relaiskästen

Relaisbox für den Controller, 3 x 240 V 3 A D397-00-804

Controller-Relaisbox D397-11-805

Controller-Relaisbox Rechen D397-21-806

Schnittstellenkabel

2 m Kabel für Logik-Schnittstelle D397-00-833

2 m Kabel für RS232-Schnittstelle D397-00-834

Netzkabel (geeignet für TIC Controller)

Kabel 2 m mit Stecker (britische Norm) D400-13-025

Kabel 2 m mit Stecker (US-Norm) D400-13-120

Kabel 2 m mit Stecker (nordeuropäische Norm) D400-13-120

Sonstiges Zubehör und Unterstützungsprodukte

Software-Upgrade für Controller www.upgrades.edwardsvacuum.com

Tabelle 24 - Zubehörteile (Fortsetzung)

Produktbeschreibung Bestellinformationen

D397-12-882 Issue L



Betriebsanleitungdocs.edwardsvacuum.com/P450-00-000/pages/Documentation/Instruction...Wir, Edwards,...

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