Betriebsanleitung -...

B760-10-882Issue B

Betriebsanleitung

EXT406PX

Beschreibung Bestellnummer

24 Volt EXT406PX-Turbomolekular-Vakuumpumpe Rootspumpenanschluss DN1001ISO-K B760-11-991

24 Volt EXT406PX-Turbomolekular-Vakuumpumpe Rootspumpenanschluss DN1601ISO-K B760-21-991

24 Volt EXT406PX-Turbomolekular-Vakuumpumpe Rootspumpenanschluss DN100CF-K B760-12-991

24 Volt EXT406PX-Turbomolekular-Vakuumpumpe Rootspumpenanschluss DN100CF-K B760-22-991

24 Volt EXT406PX-Turbomolekular-Vakuumpumpe Standardpumpenanschluss DN100ISO-K B760-31-991

24 Volt EXT406PX-Turbomolekular-Vakuumpumpe Standardpumpenanschluss DN160ISO-K B760-41-991

24 Volt EXT406PX-Turbomolekular-Vakuumpumpe Standardpumpenanschluss DN100CF-K B760-32-991

24 Volt EXT406PX-Turbomolekular-Vakuumpumpe Standardpumpenanschluss DN100CF-K B760-42-991

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Konformitätserklärung

Wir, Edwards Limited, Crawley Business Quarter, Manor Royal, Crawley, West Sussex, RH10 9LW, GB erklären in alleiniger Verantwortung als Hersteller und Person, die innerhalb der EU zur Zusammenstellung der technischen Unterlagen befugt ist, dass das Produkt bzw. die Produkte, EXTPX-Compound-Turbomolekularpumpe:

EXT406PX Rootspumpenanschluss DN100ISO-K B760-11-991 � EXT406PX DN100ISO-K B760-31-991 EXT406PX Rootspumpenanschluss DN160ISO-K B760-12-991 � EXT406PX DN160ISO-K B760-32-991 EXT406PX Rootspumpenanschluss DN100CF B760-21-991 � EXT406PX DN100CF B760-41-991 EXT406PX Rootspumpenanschluss DN160CF B760-22-991 � EXT406PX DN160CF B760-42-991

auf das bzw. auf die sich die vorliegende Erklärung bezieht, im Einklang steht bzw. stehen mit der (den) folgenden Norm(en) oder (einem) anderen normativen Dokument(en): EN1012-2:1996, A1: 2009 Kompressoren und Vakuumpumpen. Sicherheitsanforderungen. Vakuumpumpen EN61010-1: 2010 Sicherheitsbestimmungen für elektrische Mess-, Steuer-, Regel- und

Laborgeräte. Allgemeine Anforderungen EN61326-1: 2006 Elektrische Mess-, Steuer- und Laborgeräte. EMV-Anforderungen. Allgemeine

Anforderungen C22.2 61010-1-04: 2004# Sicherheitsbestimmungen für elektrische Mess-, Steuer-, Regel- und

Laborgeräte Teil 1: Allgemeine Anforderungen UL61010-1, 2. Ausgabe # Sicherheitsbestimmungen für elektrische Mess-, Steuer-, Regel- und

Laborgeräte Teil 1: Allgemeine Anforderungen EN50581: 2012 Technische Dokumentation für die Prüfung elektrischer und elektronischer

Produkte im Einklang mit den Einschränkungen für gefährliche Substanzen # 24V-Pumpen sind nur bei Verwendung mit Controllern der Serie EXDC 24V mit Canadian Standard Authority und Underwriters Laboratory konform. und alle einschlägigen Vorschriften erfüllen aus 2006/42/EG Maschinenrichtlinie 2006/95/EG Niederspannungsrichtlinie 2004/108/EG Richtlinie zur elektromagnetischen Verträglichkeit (EMV) 2011/65/EU** Richtlinie zur Beschränkung der Verwendung bestimmter gefährlicher Stoffe

(RoHS) ** d. h. das/die Produkt(e) enthält/enthalten weniger als 0,1 Gew.-% sechswertiges Chrom, Blei, Quecksilber, PBB und PBDE; 0,01 Gew.-% Kadmium in homogenen Materialien (im Rahmen der von der Richtlinie erlaubten Ausnahmen). Die RoHS-Richtlinie findet bis Juli 2019 (Juli 2017 für Instrumente) keine rechtliche Anwendung auf Vakuumgeräte.

Hinweis: Diese Erklärung gilt für alle Produktseriennummern ab dem Unterzeichnungsdatum dieser Erklärung.

13.01.2014, Burgess Hill

Peter Meares GV Technical Support Manager

Datum und Ort

P200

-02-

122

Issu

e E

Dieses Produkt wurde im Rahmen eines nach ISO9001:2008 zertifizierten Qualitätssicherungssystems hergestellt.

© Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite iEdwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

InhaltB760-10-882 Issue B

Inhalt

Abschnitt Seite

1 Einführung ......................................................................................... 1

1.1 Umfang und Definitionen ............................................................................................... 1

2 Technische Daten ................................................................................. 3

2.1 Allgemeines ............................................................................................................... 32.2 Pumpmedien .............................................................................................................. 52.3 Belüftungsgas-Spezifikationen und Daten zur Belüftungsregelung ............................................... 72.4 Spülgas-Spezifikation und -Daten ..................................................................................... 72.5 Den gepumpten Gasen ausgesetzte Materialien .................................................................... 7

3 Installation ....................................................................................... 13

3.1 Auspacken und Kontrollieren .........................................................................................133.2 Typische Installation ...................................................................................................133.3 Anschluss an das Vakuumsystem .....................................................................................153.3.1 Mechanische Befestigung ..............................................................................................153.3.2 Ansaugsiebe ..............................................................................................................153.3.3 Anschluss des Einlassflansches und Einbaulage ....................................................................163.3.4 Vorvakuumanschluss ....................................................................................................183.3.5 Rootspumpenanschluss (nur Rootspumpenvarianten) .............................................................183.4 Belüftungsoptionen, Belüftungsventilanschluss und -steuerung .................................................183.5 Spülgasanschluss ........................................................................................................193.6 Elektroinstallation ......................................................................................................193.6.1 EXDC-Antriebsmodule ..................................................................................................203.6.2 TIC-Controller ...........................................................................................................203.7 Kühlung ...................................................................................................................203.7.1 Einführung ...............................................................................................................203.7.2 Druckluftkühlung ........................................................................................................213.7.3 Wasserkühlung ..........................................................................................................213.8 Magnetfelder ............................................................................................................21

4 Betrieb ........................................................................................... 23

4.1 Anlauf .....................................................................................................................234.2 Abschalten ...............................................................................................................244.3 Sicherheitsverriegelungen und Steuersystem ......................................................................244.3.1 EXDC-Antriebsmodule ..................................................................................................244.3.2 TIC-Controller (falls verwendet) .....................................................................................244.4 Ausheizen (nur ConFlat®-Variante) ..................................................................................24

5 Wartung .......................................................................................... 25

5.1 Einführung ...............................................................................................................255.2 Lagerwartung ............................................................................................................255.3 Lebensdauer des Rotors ................................................................................................255.4 Reinigen der Pumpe ....................................................................................................265.5 Fehlersuche ..............................................................................................................26

6 Lagerung und Entsorgung ...................................................................... 29

6.1 Lagerung .................................................................................................................296.2 Entsorgung ...............................................................................................................29

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495

02/

2014

B760-10-882 Issue B

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Inhalt

7 Service, Ersatzteile und Zubehör ............................................................. 31

7.1 Einführung ...............................................................................................................317.2 Kundendienst ............................................................................................................317.3 Ersatzteile ...............................................................................................................317.3.1 Ansaugsiebe ..............................................................................................................317.3.2 Ansaugfilter (nur Rootspumpenvarianten) ..........................................................................317.3.3 HV-Flansch-Dichtungen ................................................................................................327.4 Zubehör ..................................................................................................................327.4.1 Installation ...............................................................................................................327.4.2 EXDC-Antriebsmodule ..................................................................................................327.4.3 TIC-Controller ...........................................................................................................327.4.4 TAV-Belüftungsventil und Belüftungsanschluss-Adapter ..........................................................347.4.5 VRX-Belüftungsdrossel .................................................................................................347.4.6 PRX-Spülgas-Drosselventil .............................................................................................347.4.7 ACX-Luftkühler ..........................................................................................................357.4.8 WCX-Wasserkühler ......................................................................................................357.4.9 Heizmanschette (nur ConFlat®-Version) ............................................................................35

Bitte die HS-Formulare im Anhang dieses Handbuchs ausfüllen und Ihrer Rücksendung beilegen.

Abbildungen

Abbildung Seite

1 Rootspumpenanschlussleistung - Leitungen mit konstantem Druck .............................................. 52 Abmessungen der DN100 ISO-K-Pumpe - Rootspumpenvariante gezeigt (in mm) .............................. 83 Abmessungen der DN160 ISO-K-Pumpe - Standardvariante gezeigt (in mm) ................................... 94 Abmessungen der DN100 CF-Pumpe - Standardvariante gezeigt (in mm) ......................................105 Abmessungen der DN160 CF-Pumpe - Rootspumpenvariante gezeigt (in mm) ................................116 Schematische Darstellung eines typischen EXT406PX-Systems ..................................................147 Korrekte Installation des Ansaugsiebs ...............................................................................168 Korrekte Einbaulage der Pumpe ......................................................................................179 Installation optionaler Zubehörteile .................................................................................33

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InhaltB760-10-882 Issue B

Tabellen

Tabelle Seite

1 Allgemeine Daten ........................................................................................................ 32 Technische Daten ........................................................................................................ 33 Daten zu Belüftungsgasen und zur Belüftungssteuerung .......................................................... 74 Spülgas-Spezifikation .................................................................................................... 75 Zum Lieferumfang gehörende Artikel ...............................................................................136 Bohrungsdurchmesser der Belüftungsdrossel

(mit Atmosphärendruck am Einlass des Belüftungsventils) .......................................................197 Zufuhranforderungen für Wasserkühlungsblock ....................................................................218 Fehlersuche ..............................................................................................................279 Ersatzteil-Kits ...........................................................................................................3210 EXDC-Antriebsmodul ....................................................................................................3211 TIC-Controller ...........................................................................................................3212 TAV-Belüftungsventil und Belüftungsanschluss-Adapter ..........................................................3413 VRX-Belüftungsdrossel .................................................................................................3414 PRX-Spülgas-Drosselventil .............................................................................................3415 ACX-Luftkühler ..........................................................................................................3516 WCX-Wasserkühler ......................................................................................................3517 BX-Heizmanschetten ...................................................................................................35

Weiterführende Publikationen

Titel der Publikation Nummer der Publikation

EXDC-Turbomolekularpumpen-Antriebsmodul D396-45-882Zubehör für EXT-Pumpen B580-65-880TIC (100 W und 200 W) D397-22-882TIC-Serie CD D397-00-879


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EinführungB760-10-882 Issue B

1 Einführung

1.1 Umfang und Definitionen

Das vorliegende Handbuch enthält Hinweise zu Aufstellung, Betrieb, Wartung und Lagerung der Edwards Turbomolekular-Vakuumpumpe EXT406PX. Die Pumpe darf nur gemäß der vorliegenden Betriebsanleitung verwendet werden. Lesen Sie die vorliegende Anleitung vor Aufstellung und Inbetriebnahme der Pumpe aufmerksam durch.

Die Pumpe ist für den Einsatz in Verbindung mit einem EXDC160-Controller von Edwards ausgelegt. Lesen Sie die zusammen mit dem Controller gelieferte Betriebsanleitung, bevor Sie versuchen, das Gerät zu installieren oder in Betrieb zu nehmen.

Wichtige Sicherheitsangaben werden durch WARNUNGS- und VORSICHTS-Anweisungen hervorgehoben; diesen Anweisungen ist Folge zu leisten. Die Verwendung der Signalwörter WARNUNG bzw. VORSICHT ist nachfolgend definiert.

VORSICHTMit VORSICHT werden Anweisungen gekennzeichnet, die unbedingt befolgt werden sollten, um Schäden an den Betriebsanlagen sowie den damit verbundenen Geräten und Prozessen zu vermeiden.

Folgende Warnschilder sind an der Pumpe angebracht:

Die in dieser Anleitung durchgehend verwendeten Maßeinheiten entsprechen dem internationalen Maßeinheitensystem SI (System International). Ebenso wird in dieser Betriebsanleitung für die Spezifikation von Durchsatzwerten immer die Abkürzung „sccm“ verwendet, was dem standardmäßigen cm3min-1 entspricht. Hierbei handelt es sich um den Volumenstrom von 1 cm3min-1 bei einer Umgebungstemperatur von 0 °C und einem Druck von 1013 mbar (1,013 x 105 Pa).

WARNUNG

Mit WARNUNG werden Anweisungen gekennzeichnet, die unbedingt befolgt werden müssen, um Verletzungen oder den Tod von Personen zu vermeiden.

Warnung – siehe beigefügte Dokumente.

Warnung – Stromschlaggefahr.

Warnung – heiße Oberflächen.

Schutzleiterendstück.

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Technische D

atenB760-10-882 Issue B

2 Technische Daten

2.1 Allgemeines

Tabelle 1 - Allgemeine Daten

Allgemeine Merkmale Referenzwerte

Leistung Siehe Tabelle 2

Abmessungen Siehe Tabelle 2 und Abbildung 2 bis 5.

Maximaltemperatur Hochvakuumflansch 70 °C

Maximales radiales und axiales Magnetfeld 3,5 mT

Installationskategorie EN61010 Teil 1, Kategorie 1

Schadstoffklasse EN61010 Teil 1, Kategorie 2

Umgebungstemperaturbereich (Betrieb) 5 ºC bis 35 ºC

Umgebungs-Luftfeuchtigkeit (Betrieb) 10 bis 90 % relative Luftfeuchtigkeit (nicht kondensierend)

Maximale Betriebshöhe 2000 m

Umgebungstemperaturbereich (Lagerung) -30 ºC bis 70 ºC

Tabelle 2 - Technische Daten

Parameter EXT406PX Anmerkungen

Gewicht 8 kg (DN100/160ISO-K), 13 kg (DN100/160CF)

Haupteinlassöffnung DN100ISO-K, DN160ISO-K, DN100CF, DN160CF

Rootspumpenanschluss DN25KF, wo angebracht

Abgasanschluss DN25KF

Belüftungsanschluss 1/8"-BSPP-Rohrgewinde

Spülanschluss 1/8"-BSPP-Rohrgewinde

Haupteinlass-SaugvermögenN2, He, H2 and Ar (l s-1)

CF/ISO100 CF/ISO160 Angegebene Saugvermögenswerte gelten ohne Ansaugsieb. Ansaugsiebe können die Saugvermögen um bis zu 15 % verringern.

N2He H2 Ar

310360310280

400395325375

Spitzensaugvermögen an Rootspumpenanschluss N2 mit XDS10 24 m3h-1 (6,7 l s-1)

mit RV12 26 m3h-1 (7,2 l s-1)

Spitzenverdichtungsverhältnis vom Rootspumpenanschluss zum Haupteinlass: N2, He, H2 und Ar

N2ArHeH2

> 1 x 108

> 2 x 108

2 x 106

5 x 104

Spitzenverdichtungsverhältnis vom Vorvakuumanschluss zum Haupteinlassanschluss: N2, He, H2 und Ar

N2ArHeH2

> 1 x 109

> 1 x 1010

1 x 107

5 x 105

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Technische D

aten

EndvakuumISOCF

3 x 10-8 mbar<7 x 10-10 mbar 48 Stunden nach Abschluss des

Ausheizens

Maximaler Druck an Rootspumpenanschluss N2

4,5 mbar Luftgekühlt bei 25 °C Umgebungstemperatur mit RV12-Vorvakuumpumpe und ohne Durchsatz durch andere Einlassanschlüsse

Maximaler Vorvakuumdruck N2 17 mbar Luftgekühlt bei 25 °C Umgebungstemperatur ohne Durchsatz durch Einlassanschlüsse

Empfohlene Vorvakuumpumpe XDS10/RV12

Maximaler kontinuierlicher Einlassdruck N2

0,02 mbar ISO160-Einlass, luftgekühlt bei 25 °C Umgebungstemperatur mit RV12-Vorvakuumpumpe

Einbaulage Siehe Abbildung 8

Nenndrehzahl 60.000 U/min

Anlaufzeit bis 90 % Drehzahl mit EXDC 160

285 Sek. Mit null Gaslast und XDS10-Vorvakuumpumpe

Kühlungsart Druckluft-/Wasserkühlung Siehe Abschnitt 3.7

Umgebungsluft-Temperatur (Druckluftkühlung)

0 - 35 °C

Kühlwassertemperatur 10 - 20 °C

Schalldruckpegel (Abstand 1 m) < 45 dBA

Empfohlener Controller EXDC 160 W 24 V D396-46-000

Maximaler VA-Ausgang EXDC160 250 VA

Ruhestrom 25 - 40 W Leistung bei Endvakuum mit 10-2 mbar Vorvakuumdruck

Tabelle 2 - Technische Daten (Fortsetzung)

Parameter EXT406PX Anmerkungen


Technische D


Abbildung 1 - Rootspumpenanschlussleistung - Leitungen mit konstantem Druck

2.2 Pumpmedien

WARNUNG

Beachten Sie beim Pumpen gefährlicher Gase oder Dämpfe die vom Lieferanten des Gases/Dampfes angegebenen Sicherheitsempfehlungen. Belüften Sie gefährliche Gase und Gasgemische in sicherer Weise. Menschen dürfen diesen Gasen nicht ausgesetzt werden.

WARNUNG

Verwenden Sie die Pumpe nicht zum Pumpen explosiver Gasgemische, da sie hierfür nicht geeignet ist.

WARNUNG

Wenn pyrophore Gase gepumpt werden, muss der Kunde für eine ausreichende Verdünnung mit einem Inertgas sorgen.

WARNUNG

Der Kunde ist dafür verantwortlich, das System auf Lecks zu überprüfen, um sicherzustellen, dass die Prozessgase nicht in die Atmosphäre entweichen und dort Gefahren verursachen können.

(1) Leistungsgrenzenzone - die obigen Daten wurden mit einem einzigen Radiallüfter erhoben. Die gezeigten Temperaturen sind Umgebungswerte der Pumpe. Bei zusätzlicher Kühlung kann mehr Leistung erzielt werden. Genaue Grenzwerte sind von Anwendungsanforderungen, Kühlungsmethode und Pumpenkonfiguration abhängig; wenden Sie sich an Edwards, um die Eignung zu klären. Siehe auch Abschnitt 3.7 und 7.4 für Kühlungsanforderungen und -zubehör.

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Technische D

aten

VORSICHTVerwenden Sie die Pumpe nicht zum Pumpen von Partikeln oder von kondensierbaren Medien. Dies kann zu Ablagerungen in der Pumpe führen und so die Leistung der Pumpe beeinträchtigen oder ihre Lebensdauer verkürzen.

VORSICHTVerwenden Sie die EXT70/70/200H nicht zum Pumpen von Gasen, die mehr als 20 % Sauerstoff enthalten. Wenn dies nicht beachtet wird, polymerisiert der Schmierstoff der Pumpe, und es kann zu vorzeitigen Ausfällen der Pumpe kommen.

Hinweis: Gaskonzentrationen können durch den Verdichtungsdruck der Pumpe verändert werden.

Die Pumpe ist zum Pumpen der folgenden Restgase ausgelegt, die normalerweise in Hochvakuumsystemen eingesetzt werden:

Luft

Kohlenmonoxid

Neon

Ethan

Methan

Stickstoff

Krypton

Argon

Propan

Kohlendioxid

Helium

Wasserstoff

Butan

Die Pumpe kann unter den folgenden Bedingungen zum Pumpen von Sauerstoff und Wasserdampf verwendet werden:

Sauerstoff – die Sauerstoffkonzentration muss geringer als 20 % (auf das Volumen bezogen) sein; siehe auch Abschnitt 2.4.

Wasserdampf – stellen Sie sicher, dass der Dampf nicht im Inneren der Pumpe kondensiert.

Wenn Sie ein nicht in der obigen Liste enthaltenes Gas pumpen müssen, lassen Sie sich von Ihrem Lieferanten beraten. Andernfalls verfällt möglicherweise die Gewährleistung für die Pumpe. Die Pumpe ist nicht zum Pumpen von aggressiven oder korrosiven Gasen geeignet.

WARNUNG

Durch Gase, die aus anderen Pumpeneinlässen eindringen, können gefährliche Gemische entstehen.


Technische D


2.3 Belüftungsgas-Spezifikationen und Daten zur Belüftungsregelung

Die Pumpe kann zwar in die Atmosphäre entlüftet werden, eine hohe relative Luftfeuchtigkeit kann jedoch die nachfolgende Abpumpzeit deutlich erhöhen. Belüften Sie die Pumpe mit trockenen, sauberen Gasen, um die Abpumpzeiten zu verkürzen. Siehe Tabelle 3.

2.4 Spülgas-Spezifikation und -Daten

Wenn die Spülung mit einem Inertgas erfolgt, können mit den Pumpen auch Sauerstoffkonzentrationen über 20 % (auf das Volumen bezogen) gepumpt werden.

2.5 Den gepumpten Gasen ausgesetzte Materialien

Die folgenden Materialien und Komponententypen sind den gepumpten Gasen ausgesetzt: Aluminiumlegierungen, Stahl, Edelstahl, O-Ringe aus Fluorelastomer und Neopren, Schmierstoffe auf Kohlenwasserstoffbasis, Filz, Magnete aus seltenen Erden, Siliziumnitrid, Phenolharz und GFK.

Tabelle 3 - Daten zu Belüftungsgasen und zur Belüftungssteuerung

Belüftungselemente Referenzwerte

Belüftungsgas Trockene Luft, Stickstoff, Argon oder andere Inertgase

Maximaler Taupunkt bei Atmosphärendruck -22 °C

Maximale Partikelgröße 1 µm

Maximale Ölkonzentration 0,1 ppm

Zeit, bis die Drehzahl auf 50 % reduziert ist >15 Sekunden

Maximaler Spülgasdruck*

* Wenden Sie sich bei Druckwerten oberhalb dieser Grenze an Edwards.

0,5 bar Überdruck

Tabelle 4 - Spülgas-Spezifikation

Merkmale des Spülgassystems Referenzwerte

Spülgas Trockener Stickstoff, Argon oder andere Inertgase

Maximaler Taupunkt bei Atmosphärendruck -22 °C

Maximale Partikelgröße 1 Mikron

Maximale Ölkonzentration 0,1 ppm

Zulässiger Spülgasdurchsatz (sofern erforderlich) 20 - 150 sccm (0,33 - 2,5 mbar l s-1, 33 - 250 Pa l s-1)

Empfohlener Spülgasdurchsatz 25 sccm minimum (0,42 mbar l s-1, 42 Pa l s-1)

Maximal zulässiger Spülgasversorgungsdruck 0,5 bar Überdruck* (7 psig, 5 x 104 Pa Überdruck)

* Wenden Sie sich bei Druckwerten oberhalb dieser Grenze an Edwards.

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Technische D

aten

Abbildung 2 - Abmessungen der DN100 ISO-K-Pumpe - Rootspumpenvariante gezeigt (in mm)

1. Erdungsschraube2. Elektrischer Anschluss3. Belüftungsanschluss (am Pumpenfuß)

4. Spülanschluss5. Rootspumpenanschluss6. Vorvakuumpumpenanschluss

* Befestigungsbohrungen am Pumpenfuß (Füße entfernen)


Technische D


Abbildung 3 - Abmessungen der DN160 ISO-K-Pumpe - Standardvariante gezeigt (in mm)



4. Spülanschluss5. Vorvakuumpumpenanschluss

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Technische D

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Abbildung 4 - Abmessungen der DN100 CF-Pumpe - Standardvariante gezeigt (in mm)


4. Spülanschluss5. Vorvakuumpumpenanschluss



Technische D


Abbildung 5 - Abmessungen der DN160 CF-Pumpe - Rootspumpenvariante gezeigt (in mm)


4. Spülanschluss5. Rootspumpenanschluss6. Vorvakuumpumpenanschluss


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InstallationB760-10-882 Issue B

3 Installation

3.1 Auspacken und Kontrollieren

Achten Sie beim Auspacken der Pumpe darauf, starke Stöße zu vermeiden. Diese könnten die Lager beschädigen und die Lebensdauer der Pumpe verkürzen. Die Pumpe wird mit versiegelter Ein- und Auslassöffnung geliefert, um das Eindringen von Staub und Dampf zu verhindern. Entfernen Sie diese Versiegelungen erst unmittelbar vor der Installation der Pumpe im Vakuumsystem.

Öffnen Sie den Karton von oben. Sobald der Deckel des Kartons geöffnet ist, entfernen Sie die oberen Schaumstoffstücke und schneiden Sie den Beutel auf.

Falls die Pumpe beschädigt ist, informieren Sie den Lieferanten und den Spediteur schriftlich innerhalb von drei Tagen. Geben Sie die Bestellnummer der Pumpe zusammen mit der Bestellnummer und der Rechnungsnummer des Lieferanten an. Bewahren Sie das gesamte Verpackungsmaterial zur späteren Inspektion auf. Betreiben Sie die Pumpe auf keinen Fall, wenn sie beschädigt ist.

Prüfen Sie, ob in der Verpackung sämtliche in Tabelle 5 verzeichneten Artikel enthalten sind. Reklamieren Sie fehlende Teile binnen drei Tagen schriftlich bei Ihrem Lieferanten.

Wenn die Pumpe nicht sofort in Gebrauch genommen werden soll, lagern Sie sie unter geeigneten Bedingungen, wie in Abschnitt 6.1 beschrieben.

Entsorgen Sie die Verpackungsmaterialien nicht und bewahren Sie sie auf, um die Pumpe bei einer Rücksendung bei eventuellem Servicebedarf zu verpacken.

3.2 Typische Installation

VORSICHTBeim Installieren und Deinstallieren der Pumpe müssen alle vor Ort geltenden gesetzlichen Bestimmungen hinsichtlich der Einwirkung der Pumpe auf die Umwelt beachtet werden.

Ein typisches Pumpensystem mit einer EXT406PX-Pumpe sehen Sie in Abbildung 6.

WARNUNG

Die Pumpe wiegt bis zu etwa 13 kg. Gehen Sie beim Heben und Verschieben der Pumpe entsprechend vorsichtig vor, um Verletzungen zu vermeiden.

Tabelle 5 - Zum Lieferumfang gehörende Artikel

Anzahl Beschreibung Prüfen Sie ()

1 EXT406PX-Turbomolekular-Vakuumpumpe

1 Hauptansaugsieb (montiert)

1 Rootspumpenanschluss-O-Ring und Ansaugfilter (Rootspumpenvarianten) (montiert)

1 Einlass-O-Ring-Dichtung (ISO-Varianten)/Kupferdichtung (CF-Varianten)

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Installation

Abbildung 6 - Schematische Darstellung eines typischen EXT406PX-Systems

Die für die Pumpe erhältlichen Zubehörteile sind in Abschnitt 7 aufgeführt und in Abbildung 9 dargestellt.

1. Alternative Position für Belüftungsventil2. Vakuumsystem3. Hochvakuum-Messgerät4. Ansaugsieb5. EXT406PX-Pumpe6. Belüftungsventil7. PRX10-Spülgas-Drosselventil8. Geregelte Spülgasversorgung9. Rootspumpenanschlussventil

10. Vakuum-Messgerät11. Vorvakuumventil12. Faltenbälge 13. Adsorptionsfalle (für nasslaufende Pumpe)14. Vorvakuumpumpe15. EXDC-Controller16. Kühlungslüfter17. Controller (z. B. TIC)18. Ölnebelfilter



3.3 Anschluss an das Vakuumsystem

Nehmen Sie die Pumpe vorsichtig aus der Verpackung und schließen Sie sie ans Vakuumsystem an.

3.3.1 Mechanische Befestigung

Bei einer Montage mittels der Befestigungsbohrungen im Pumpenfuß müssen Sie die 3 Füße aus dem Pumpenfuß entfernen, bevor Sie die 5 M8 Schrauben befestigen können. Beachten Sie auch die Warnung in Abschnitt 3.3.3.

3.3.2 Ansaugsiebe

Die Pumpe wird mit montierten Ansaugsieben geliefert.

Entfernen Sie das Ansaugsieb nur, wenn ausgeschlossen werden kann, dass Schmutzpartikel in die Pumpe fallen.

Um ein Ansaugsieb zu entfernen, ziehen Sie es mit Hilfe eines Drahthakens vorsichtig vom Hochvakuumflansch ab. Ein vom Gerät entferntes Ansaugsieb kann nicht erneut verwendet werden. Ersatzsiebe sind erhältlich (siehe Abschnitt 7).

WARNUNG

Installieren Sie die Pumpe im Vakuumsystem, bevor Sie den Controller an die Stromversorgung anschließen. Damit wird sichergestellt, dass die Pumpe während der Installation nicht in Betrieb gehen und Personen verletzen kann.

WARNUNG

Unter keinen Umständen darf irgendein Teil des menschlichen Körpers dem Vakuum ausgesetzt werden.

WARNUNG

Achten Sie darauf, dass die Pumpe über den Hochvakuumflansch oder die Basis anhand aller verfügbaren Halterungen sicher mit dem Vakuumsystem verbunden ist. Wenn die Pumpe nicht sicher montiert ist und dann festsitzt, kann die gespeicherte Energie des Rotors (ca. 20 kJ) zu einer plötzlichen Bewegung der Pumpe führen, was Unfall- und Verletzungsgefahr mit sich bringt.

WARNUNG

Die Flügelradblätter der Pumpe sind sehr scharf. Das Fehlen oder Entfernen von Ansaugsieben oder Filtern erhöht das Risiko für Verletzungen durch scharfe Kanten oder bewegliche Teile.

WARNUNG

Achten Sie beim Umgang mit der Pumpe darauf, die schützenden Ansaugsiebe nicht zu verschieben oder zu beschädigen.

WARNUNG

Achten Sie darauf, dass bei der Installation von Zubehör keine Fremdkörper in die Pumpe gelangen.

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Installation Abbildung 7 - Korrekte Installation des Ansaugsiebs

3.3.3 Anschluss des Einlassflansches und Einbaulage

VORSICHTEs ist wichtig, dass die Pumpe in der korrekten Einbaulage montiert wird. Eine falsche Einbaulage kann zu einem vorzeitigen Ausfall der Pumpe führen.Lagern Sie die Pumpe nicht so, dass die Pumpeneinlässe nach unten zeigen, und auch nicht so, dass das Ende des Pumpengehäuses nach unten und der Pumpenkörper mit dem elektrischen Anschluss direkt nach oben zeigt. In beiden Fällen kann das zur Schmierung des unteren Lagers verwendete Öl aus einem Behälter an der Pumpenbasis in den Pumpenmechanismus oder das Vakuumsystem eindringen. Dies kann die Leistung beeinträchtigen und die Lebensdauer des Lagers verkürzen.

Die Pumpe kann entweder mittels des Pumpenfußes oder des Flanschs montiert werden. Wenn die Pumpe mittels des Flanschs an das System angeschlossen wird, darf der Abluftanschluss nicht mehr als 60° über die Vertikale hinaus geneigt werden (siehe Abbildung 8). Anderenfalls kann Öl in den Pumpenmechanismus gelangen. Bitte auch den vorstehenden Vorsichtshinweis beachten.

Achten Sie darauf, dass die Pumpeneinlässe und alle damit verbundenen Komponenten sauber und staubfrei sind. Wenn Pumpeneinlässe nicht sauber gehalten werden, kann dies zu längeren Abpumpzeiten führen oder dazu, dass der erforderliche Druck in der HV-Kammer nicht erreicht wird.

WARNUNG

Im unwahrscheinlichen Fall eines Bruchs der Pumpe kann es sein, dass das Ansaugsieb nicht alle Schmutzpartikel in der Pumpe auffängt. Stellen Sie sicher, dass das System sämtliche Schmutzpartikel abfangen kann, die möglicherweise aus der Pumpe entweichen.

WARNUNG

Bei der Montage mittels des Pumpenfußes 5 x M8 Schrauben verwenden, die mit einem Drehmoment von wenigstens 10 Nm (7,5 lb ft) zur Befestigung der Montage angezogen werden. Verwenden Sie ISO898-1-Material der Klasse 12.9 oder höher.Verwenden Sie die mit der Pumpe gelieferten O-Ringe und mindestens 8 Spannklammern mit einem Drehmoment von 20 Nm oder einen rotierbaren Flansch zur Verbindung des Hochvakuumflanschs der Pumpe mit dem Vakuumsystem.

1. Hochvakuumflansch2. Ansaugsieb



Abbildung 8 - Korrekte Einbaulage der Pumpe

1. Vorvakuumanschluss

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Installation

3.3.4 Vorvakuumanschluss

VORSICHTVerwenden Sie die Pumpe nicht mit einem Vorvakuumdruck unter 5 x 10-4 mbar (5 x 10-2 Pa). Ein niedrigerer Vorvakuumdruck erhöht die Verdampfungsrate des Schmieröls und verkürzt so die Lebensdauer der Lager.

Schließen Sie den KF25-Flansch des Vorvakuumanschlusses mit geeigneten Vakuumrohren und Verbindungselementen an die Vorvakuumpumpe an. Verwenden Sie, sofern erforderlich, einen Schlauch oder Faltbälge, um die Übertragung von Schwingungen von der Vorvakuumpumpe auf die Pumpe zu verringern.

Die Pumpe ist für die Verwendung mit Drehschieber-, Scroll- oder Membran-Vorvakuumpumpen von Edwards geeignet. Die Systemleistung hängt von der verwendeten Pumpe ab. Edwards empfiehlt, eine Beratung von Edwards in Anspruch zu nehmen, um die für die jeweilige Anwendung optimal geeignete Vorvakuumpumpe auszuwählen.

3.3.5 Rootspumpenanschluss (nur Rootspumpenvarianten)

Während des Betriebs muss der Rootspumpenanschluss entweder mit dem Vakuumsystem verbunden oder blindgeflanscht sein. Schließen Sie den DN25KF-Flansch des Rootspumpenanschlusses mit geeigneten Vakuumrohren und Verbindungselementen an das Vakuumsystem an. Der angebrachte Filter soll das Eindringen von Fremdkörpern verhindern. Beachten Sie auch die erste Warnung in Abschnitt 3.3.2.

3.4 Belüftungsoptionen, Belüftungsventilanschluss und -steuerung

Um das Vakuumsystem rein zu halten, empfiehlt Edwards, die Pumpe oder das Vakuumsystem bei jedem Abschalten zu belüften.

VORSICHTWenn die Pumpe manuell belüftet wird, während sie mit voller Drehzahl läuft, und wenn der Druck zu schnell ansteigt, kann dies die Lebensdauer der Pumpe verkürzen. Bei Verwendung des mit der Pumpe mitgelieferten manuellen Belüftungsventils empfiehlt Edwards, die Belüftung zu begrenzen oder das Belüftungsventil erst dann zu öffnen, wenn die Pumpendrehzahl auf 50 % der vollen Drehzahl zurückgegangen ist.Nicht von der Vorvakuumleitung aus belüften, da dies zu Verunreinigungen führen kann. Wählen Sie bei Entlüftung ins Vakuumsystem und Verwendung einer ölgedichteten Drehschieberpumpe als Vorvakuumpumpe einen Punkt oberhalb der Pumpe, um zu verhindern, dass Öl aus der Vorvakuumleitung zurückströmt.Tabelle 6 gibt Hinweise zur richtigen Bohrungsgröße des Belüftungsventils für unterschiedliche Vakuumsystem-Volumina, damit die Belüftungsrate innerhalb der in Abschnitt 2.3 dargestellten Grenzen gehalten wird.

WARNUNG

Der Kunde muss für eine sichere Führung der Vorvakuumleitung sorgen, wenn Ölnebel oder gefährliche Stoffe vorhanden sind.

WARNUNG

Die Pumpe darf nicht betrieben oder über eine Druckgaszufuhr mit positivem Druck belüftet werden, wenn die Vorvakuumleitung nicht vollständig frei ist.



Die Belüftung kann mit einem der folgenden Mittel und gemäß dem nachfolgend erläuterten Verfahren erfolgen:

Verwenden Sie ein TAV5- oder TAV6-Magnetventil (siehe Abschnitt 7) in der manuellen Belüftungsventilposition.

Verwenden Sie ein Magnet-Belüftungsventil (TAV5 oder TAV6), das an einen geeigneten Flansch des Vakuumsystems angeschlossen wird.

Verwenden Sie alternativ ein anderes ans Vakuumsystem angeschlossenes Ventil mit angemessener Einschränkung. Wenden Sie sich für weitere Einzelheiten an Edwards.

1. Schalten Sie die Pumpe aus, lassen Sie die Vorvakuumpumpe aber eingeschaltet.

2. Öffnen Sie das Belüftungsventil, wenn die Pumpendrehzahl auf 50 % zurückgegangen ist.

3. Wenn die Pumpe zum Stillstand gekommen ist, kann das Belüftungsventil geschlossen werden.

3.5 Spülgasanschluss

Wenn Spülgas in die Pumpe geleitet wird, bringen Sie einen Belüftungsanschlussadapter (siehe Abschnitt 7) anstelle des Blindstopfens (siehe Abbildung 2 bis 5) an. Schließen Sie die Gaszufuhr an den Spülanschluss an. Das Spülgas muss die in Abschnitt 2.4 angegebenen Spezifikationen erfüllen. Verwenden Sie zur Begrenzung des Durchsatzes einen Durchsatzregler oder einen Druckregler und geeichten Durchsatzbegrenzer. Das als Zubehör lieferbare Spülgas-Drosselventil PRX10 (siehe Abschnitt 7) ist für diesen Zweck geeignet. Stellen Sie das PRX10 so ein, wie in der Anleitung zu diesem Zubehörteil beschrieben.

3.6 Elektroinstallation

Tabelle 6 - Bohrungsdurchmesser der Belüftungsdrossel (mit Atmosphärendruck am Einlass des Belüftungsventils)

VakuumsystemVolumen (l)

Bohrungsdurchmesser (mm)

< 20 < 1,0

< 10 < 0,7

< 5 < 0,5

< 2 < 0,35

WARNUNG

Für dieses Produkt ist eine separate Stromversorgung erforderlich (nicht im Lieferumfang enthalten). Die Stromversorgung sollte angemessen gegen gefährliche Betriebsbedingungen geschützt sein (beispielsweise für den Fall eines Kurzschlusses).

WARNUNG

Der Kunde muss dafür sorgen, dass alle elektrischen Schaltkreise gegen tropfendes Wasser durch Kondensation auf kalten Oberflächen geschützt sind.

WARNUNG

Der Kunde ist dafür verantwortlich, sicherzustellen, dass die Stromversorgung über die korrekte Nennleistung und den korrekten Schutz verfügt.

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Installation Edwards empfiehlt, zur Erdung von Pumpe und Zubehör einen eigenen Erdungs-(Masse-)Leiter zu montieren. Befestigen Sie den Erdungsleiter mit Hilfe einer unisolierten Litze oder mit einem eigenen isolierten grün/gelben Leiter und der M5 x 10-Schraube und der mitgelieferten Unterlegscheibe (wird an der Erdungsöffnung der Pumpe montiert) an der Pumpe.

Für externe Schutzerdungssysteme: Die Installation sollte permanent sein und das gleiche Erdungssystem verwenden wie das EXDC-Antriebsmodul; die Impedanz zwischen dem Pumpengehäuse und dem Erdungsanschlusspunkt muss geringer als 0,1 Ohm sein.

Hinweise zur Ausführung der Elektroinstallation finden Sie in der mit dem Antriebsmodul gelieferten Betriebsanleitung.

3.6.1 EXDC-Antriebsmodule

VORSICHTLassen Sie den Pumpenrotor zum Stillstand kommen, bevor Sie das EXDC-Antriebsmodul entfernen.

Ein EXDC-Antriebsmodul muss an eine entsprechend ausgelegte Stromversorgung angeschlossen werden. Das EXDC-Antriebsmodul ist dafür ausgelegt, ein Pumpensystem in einem vollautomatisierten System zu betreiben.

3.6.2 TIC-Controller

Der TIC-Controller kann das EXDC-Antriebsmodul mit Strom versorgen. Der EXDC-Controller wird auf der Rückseite des TIC mit einer 15-poligen D-Buchse angeschlossen.

Der TIC-Controller ist so ausgelegt, dass das Pumpsystem auf vielfältige Weise konfiguriert werden kann, von einem einfachen, manuell betätigten System bis zu einem vollautomatischen System mit Fernsteuerung. Einzelheiten hierzu finden Sie im TIC-Bedienungshandbuch.

3.7 Kühlung

3.7.1 Einführung

VORSICHTDie Pumpe muss mit Druckluft oder Wasser gekühlt werden, um Schäden zu vermeiden und eine optimale Leistung zu gewährleisten.

Wenn sich die Pumpe innerhalb eines Gehäuses befindet, stellen Sie sicher, dass eine ausreichende Belüftung gewährleistet ist, damit die Umgebungstemperatur der Pumpe nicht über 35 °C steigt.

Wenn die Pumpe mit Druckluft gekühlt wird, sorgen Sie für eine geeignete Kühlluftzufuhr zur Pumpe (siehe Abschnitt 3.7.2).

WARNUNG

Weiterhin ist der Kunde dafür verantwortlich, die korrekte Führung von Kabeln und Rohrleitungen zu gewährleisten, um Stolper- und Sturzgefahren zu vermeiden.

WARNUNG

Der Kunde muss einen Notausschalterstromkreis zum Unterbrechen der Stromversorgung zum EXDC-Antriebsmodul zur Verfügung stellen.



Wenn während des Betriebs die Temperatur irgendeiner Oberfläche der Pumpe 60 °C übersteigt, ist die Kühlung nicht ausreichend und muss verstärkt werden.

3.7.2 Druckluftkühlung

Luftkühler sind als Zubehör für die Pumpe lieferbar (siehe Abschnitt 7). Montieren Sie den Luftkühler so, wie in der mit ihm gelieferten Betriebsanleitung beschrieben (siehe auch Abbildung 9). Wenn Sie einen alternativen Lüfter für die Luftkühlung verwenden, stellen Sie sicher, dass der Durchsatz über 80 m3/hr (47 cfm) liegt und über das Pumpengehäuse (Basis) und den EXDC-Controller läuft.

Wenn Pumpe und EXDC nicht ausreichend gekühlt werden, kann dies die Pumpenleistung beeinträchtigen.

3.7.3 Wasserkühlung

VORSICHTBei einem Kühlmittelausfall muss die Pumpe erst auf die Umgebungstemperatur abkühlen, bevor sie erneut gestartet werden kann.

Für die Wasserkühlung der Pumpe ist Zubehör erhältlich (siehe Abschnitt 7). Bringen Sie den Wasserkühler gemäß der mitgelieferten Anleitung an. Achten Sie darauf, dass die Wasserversorgung konstant ist und die folgenden Werte für Qualität, Temperatur und Durchsatz einhält:

3.8 Magnetfelder

Tabelle 7 - Zufuhranforderungen für Wasserkühlungsblock

Parameter Spezifikation

Qualität Mechanisch und optisch sauber ohne Ablagerungen oder Trübung

pH-Wert 6,0 bis 8,0

Maximale Calciumcarbonat-Konzentration 75 ppm

Maximale Chlorid-Konzentration 100 ppm

Minimale Sauerstoffkonzentration 4 ppm

Mindest-Kühlwasserdurchsatz (bei 15 °C) 15 l h-1

Wassertemperatur 10 bis 20 °C

Maximaler Wasserdruck 5 bar (Überdruck), 72,5 psig, 5 x 105 Pa Überdruck

Kühlwasser ausgesetzte Materialien Vernickeltes Messing

WARNUNG

Die in Tabelle 1 angegebenen maximal zulässigen externen Magnetfelder dürfen nicht überschritten werden.

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BetriebB760-10-882 Issue B

4 Betrieb

4.1 Anlauf

Um ein manuell gesteuertes Pumpsystem mit einem manuellen Belüftungsventil und einem EXDC-Controller erstmals in Betrieb zu nehmen, gehen Sie wie nachfolgend beschrieben vor. Weitere Hinweise finden Sie in der EXDC-Betriebsanleitung.

1. Stellen Sie sicher, dass alle Belüftungsventile (einschließlich des manuellen Belüftungsventils am Pumpengehäuse) geschlossen sind.

2. Schalten Sie die Stromversorgung des Luftkühlers ein.

3. Starten Sie die Vorvakuumpumpe.

4. Starten Sie die Pumpe, wenn der Vakuumsystemdruck etwa 10 mbar oder darunter erreicht hat. Für kürzere Anlaufzeiten sollte der Druck deutlich unter diesem Wert liegen.

5. Die Pumpe beschleunigt nun auf volle Betriebsdrehzahl. Die LED zur Anzeige der Normaldrehzahl am EXDC-Controller leuchtet auf, sobald die Nennbetriebsdrehzahl erreicht ist.

Hinweis: Weitere Einzelheiten sind der Anleitung zum TIC-Controller zu entnehmen.

WARNUNG

Nehmen Sie die Pumpe erst dann in Betrieb, wenn sie an das Vakuumsystem angeschlossen ist. Der Pumpenrotor dreht sich mit sehr hohen Drehzahlen und die Drehflügel sind möglicherweise nicht sichtbar. Wenn die Pumpe nicht korrekt installiert ist, kann der Pumpenrotor Verletzungen verursachen.

WARNUNG

Bewegen Sie die Pumpe nicht, während sie läuft. Die von dieser Bewegung erzeugten gyroskopischen Kräfte können das Vorvakuumlager übermäßig belasten und zum katastrophalen Ausfall der Pumpe führen.

WARNUNG

Wenn die Stromversorgung nach einer Unterbrechung wiederhergestellt wird, läuft die Pumpe automatisch wieder an. Um Verletzungsgefahr zu vermeiden, muss die Pumpe mit dem Vakuumsystem verbunden bleiben.

WARNUNG

Nachdem die Stromversorgung der Pumpe, ob durch einen Notfall oder beabsichtigt, unterbrochen wurde, läuft der Rotor mit sehr hoher Geschwindigkeit weiter. Der Rotor verfügt über erhebliche mechanische Energie, bis er deutlich langsamer wird bzw. zum Stillstand kommt.

WARNUNG

Ziehen Sie das EXDC-Controller-Kabel erst dann von der Pumpe ab, wenn sich die Pumpe vollkommen in Ruhe befindet. Andernfalls bestehen gefährliche Spannungen und das Risiko, den EXDC-Controller zu beschädigen.

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Betrieb

4.2 Abschalten

Hinweis: Nur in einem Notfall dürfen Sie das Belüftungsventil schnell öffnen, um den Pumpenrotor in der kürztestmöglichen Zeit zu verlangsamen.

Um ein manuell gesteuertes Pumpsystem mit einem manuellen Belüftungsventil und einem TIC-Controller abzuschalten, gehen Sie vor, wie nachfolgend beschrieben.

1. Schließen Sie das Ventil in der Vorvakuumleitung, mit der die Pumpe mit der Vorvakuumpumpe verbunden ist.

2. Deaktivieren Sie den Startbefehl für die Pumpe.

3. Wenn die Drehzahl der Pumpe auf 50 % der vollen Drehzahl gefallen ist, drehen Sie das manuelle Belüftungsventil langsam gegen den Uhrzeigersinn, um es zu öffnen. Siehe Abschnitt 3.4 für die Belüftungsprozedur.

4.3 Sicherheitsverriegelungen und Steuersystem

Nachfolgend werden die Schutzvorrichtungen und Sicherheitsverriegelungen der Pumpe beschrieben. Eine ausführliche Erläuterung dieser Merkmale finden Sie in der Betriebsanleitung zum Controller.


Das EXDC-Antriebsmodul überwacht die Temperatur der Pumpe sowie deren Leistungsaufnahme. Wenn das EXDC-Antriebsmodul zu hohe Werte für Leistungsaufnahme und Temperatur feststellt, wird die Drehzahl des Pumpenmotors so weit verringert, bis beide Werte wieder im normalen Bereich liegen.

4.3.2 TIC-Controller (falls verwendet)

Der TIC-Controller überwacht die Pumpendrehzahl. Wenn der EXDC-Controller zu hohe Werte für Leistungsaufnahme und Temperatur der Pumpe feststellt, wird die Betriebsdrehzahl verringert. Wenn diese Drehzahl für einen vom Benutzer definierten Zeitraum unter 50 % sinkt, unterbricht der TIC-Controller automatisch die Stromversorgung. Anschließend wird auf dem TIC-Controller eine Fehlermeldung angezeigt. Wenn auf dem TIC-Controller die Fehlermeldung „Droop Timeout“ angezeigt wird, schalten Sie die Vorvakuumpumpe sofort aus und belüften Sie die Pumpe. Sobald die Pumpe angehalten hat, beseitigen Sie die Ursache des Problems und starten Sie die Pumpe wieder. Wenn die Pumpe heiß ist, warten Sie vor einem erneuten Start ab, bis sie abgekühlt ist.

4.4 Ausheizen (nur ConFlat®-Variante)

VORSICHTWährend des Ausheizens von Pumpe und/oder System sollte eine HV-Flansch-Temperatur von 65 °C nicht überschritten werden. Der Betrieb mit einer höheren HV-Flansch-Temperatur kann zu überhöhter Temperatur des Flügelrades führen und die Lebensdauer des Produkts verkürzen.

Wenn die Pumpe (und das Vakuumsystem) beheizt wird, beschleunigen Sie damit den Entgasungsprozess, sodass die Pumpe das Endvakuum in kürzestmöglicher Zeit erreicht. Das Beheizen der Pumpe verhindert auch, dass Dämpfe im Inneren der Pumpe kondensieren.

Sie können dafür die Edwards BX-Heizmanschette (siehe Abschnitt 7) verwenden. Bringen Sie die Manschette unter dem Hochvakuumflansch um die Pumpe herum an.


Wartung

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5 Wartung

5.1 Einführung

Die Wartungsmaßnahmen für die Pumpe werden in den nachfolgenden Abschnitten beschrieben. Die Ansaugsiebe und die Dichtungen für den Hochvakuumflansch sind als Ersatzteile erhältlich (siehe Abschnitt 7).

Montieren Sie die Ansaugsiebe wie in Abbildung 7 gezeigt.

5.2 Lagerwartung

Die Lager müssen im empfohlenen kleinen Wartungsintervall ausgetauscht werden. Normalerweise sind dies mehr als 20.000 Stunden; das Intervall kann jedoch auch kleiner sein, je nach Art der Pumpaufgabe, für die die Pumpe eingesetzt wird.

Wenn die Lager ausgetauscht werden müssen, empfiehlt Edwards, die Pumpe gegen ein im Werk vorbereitetes und eingestelltes Ersatzgerät auszutauschen. Als Alternative können Sie die Pumpe an ein Edwards-Kundendienstzentrum schicken, um die Lager austauschen zu lassen.

Wenn Sie die Pumpe an ein Edwards-Kundendienstzentrum einschicken, halten Sie sich an das am Ende dieser Anleitung beschriebene Verfahren. Die Anweisung zum Ablassen aller Flüssigkeiten gilt jedoch nicht für den Schmierstoff im Ölbehälter der Pumpe.

5.3 Lebensdauer des Rotors

VORSICHTDie Lebensdauer des Rotors der Pumpe beträgt normalerweise 40.000 bis 50.000 Zyklen (Beschleunigung auf volle Drehzahl und bei Verlangsamung bis zum Stillstand). Als Vorsichtsmaßnahme empfiehlt Edwards, die Pumpen nach 20.000 Zyklen zum erweiterten Kundendienst (Rotoraustausch) zurückzusenden, oder aber nach 10 Jahren, je nachdem, welcher Fall zuerst eintritt.

WARNUNG

Die Pumpe darf nicht vom Kunden gewartet werden. Pumpen, bei denen eine Wartung oder Reparatur erforderlich ist, sollten an Edwards eingeschickt oder von einem qualifizierten Techniker von Edwards gewartet werden.

WARNUNG

Warten Sie, bis der Pumpenrotor zum Stillstand gekommen ist. Trennen Sie danach den Controller ab, bevor Sie die Pumpe zur Wartung oder Fehlersuche vom Vakuumsystem abbauen.

WARNUNG

Schmiermittel können giftige Substanzen aus den Pumpmedien enthalten. Die Öl-Filzkartusche muss im Einklang mit den gesetzlichen Bestimmungen entsorgt werden.

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Wartung

5.4 Reinigen der Pumpe

VORSICHTVersuchen Sie nicht, irgendwelche Teile der Pumpe außer den Außenflächen zu reinigen. Durch die Verwendung von organischen Lösungsmitteln können die Komponenten im Innern der Pumpe beschädigt werden. Zur Reinigung der Pumpe keine abrasiven Stoffe verwenden.

Wenn die Pumpe im Innern verunreinigt ist, kann das angegebene Endvakuum möglicherweise nicht erreicht werden oder die Abpumpzeiten verlängern sich. Unter diesen Umständen sollte die Pumpe an ein Edwards-Kundendienstzentrum zurückgeschickt werden, wo sie zerlegt und gereinigt wird. Befolgen Sie die Anweisungen in den Formularen am Ende dieser Betriebsanleitung, wenn Sie die Pumpe zurückschicken.

Zur Reinigung der Außenflächen der Pumpe können Sie jedes organische Lösungsmittel verwenden. Edwards empfiehlt die Verwendung FCKW-freier Lösungsmittel, z. B. Isopropanol oder Ethanol. Verwenden Sie eine für die Verunreinigungen auf den Pumpenoberflächen geeignete Reinigungslösung.

Aus Umweltschutzgründen sollten Sie den Verbrauch von Reinigungslösungen und Lösungsmitteln auf das notwendige Minimum begrenzen.

5.5 Fehlersuche

Die möglichen Ursachen von Fehlern und die empfohlenen Maßnahmen zu ihrer Behebung finden Sie in Tabelle 8. Tabelle 8 gilt für ein einfaches, manuell gesteuertes Pumpsystem mit einem EXDC-Controller.

WARNUNG

Reinigen Sie die Außenflächen der Pumpe an einem gut belüfteten Ort. Wenn Sie zum Reinigen der Pumpe Reinigungslösungen oder Lösungsmittel verwenden, beachten Sie alle vom Hersteller angegebenen Vorsichtsmaßnahmen. Vermeiden Sie es, eventuell in der Pumpe vorhandene Partikel einzuatmen.


Wartung

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Tabelle 8 - Fehlersuche

Symptom Prüfung Maßnahme

Das Flügelrad dreht sich nach dem Startsignal nicht.

Leuchten die drei Rotphasen-LEDs am EXDC-Controller?

Wenn dies nicht der Fall ist, prüfen Sie die Stromversorgung zum EXDC.

Wenn die Stromversorgung vorhanden ist, eine oder mehrere der LEDs jedoch nicht leuchten, ist der EXDC-Controller möglicherweise fehlerhaft. Tauschen Sie ihn aus und versuchen Sie, die Pumpe zu starten.

Wenn das Problem weiterhin besteht, ist die Pumpe möglicherweise defekt. Wenden Sie sich an Edwards oder Ihren Lieferanten.

Ist der EXDC-Controller korrekt an der Pumpe angeschlossen?

Wenn alle roten LEDs leuchten, prüfen Sie, ob der EXDC-Controller korrekt an der Pumpe angeschlossen ist.

Wird das Startsignal über die richtigen Pins der EXDC-Logik-Schnittstelle gegeben?

Prüfen Sie, ob das Startsignal über die korrekten EXDC-Pins gegeben wird.

Keines der obigen Symptome. Wenn alle diese Prüfungen ein positives Ergebnis zeigen, das Flügelrad aber dennoch nicht rotiert, ist die Pumpe möglicherweise defekt. Wenden Sie sich an Edwards oder Ihren Lieferanten.

„Droop Timeout“angezeigt auf dem TIC

Siehe Abschnitt 4.3.2. Siehe Abschnitt 4.3.2.

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Wartung Der Systembetriebsdruck kann nicht

erreicht werden.Sind einige der Vakuum-Messgeräteverschmutzt?

Wenn dies der Fall ist, reinigen oder ersetzen Sie sie.

Ist das Saugvermögen aufgrund eines zu geringen Leitwerts zwischen der Pumpe und dem Messgerät oder einer zu großen Kammer zu gering?

Wenn dies der Fall ist, erhöhen Sie den Leitwert oder verringern Sie das Volumen.

Ist der Vorvakuumdruck zu hoch? Überprüfen Sie die Vorvakuumleitungen auf Lecks. Wenn der Vorvakuumdruck zu hoch ist, benötigen Sie eventuell eine größere Vorvakuumpumpe.

Ist der Hochvakuumbereich des Systems verunreinigt?

Wenn dies der Fall ist, reinigen Sie das System.

Ist die Pumpe und/oder der EXDC-Controller zu heiß?

Wenn dies der Fall ist, hat die Pumpe und/oder der Controller ihr/sein thermisches Limit erreicht. Verstärken Sie die Kühlung von Pumpe und/oder EXDC.

Prüfen Sie das System auf Lecks und Verunreinigungen.

Reinigen Sie alle verschmutzten Bereiche und dichten Sie alle Lecks ab.

Sind der Rootspumpen- und der Vorvakuumanschluss richtig angeschlossen?

Verbinden Sie die Anschlüsse in der korrekten Weise (an der Innenseite markiert).

Die Pumpe ist sehr laut, es treten zu starke Schwingungen auf oder beides.

Stimmt die Drehzahl der Pumpe mit der Resonanzfrequenz des Systems überein, mit dem sie verbunden ist?

Wenn dies der Fall ist, ändern Sie die Resonanzfrequenz des Systems.

Wird die Schwingung von der Vorvakuumpumpe übertragen?

Wenn dies der Fall ist, montieren Sie Faltenbälge oder einen Schwingungsdämpfer in der Vorvakuumleitung.

Ist das Geräusch unregelmäßig und wird immer stärker?

In diesem Fall ist das Lager möglicherweise defekt. Wenden Sie sich an Edwards oder Ihren Lieferanten.

Erzeugt die Pumpe ein konstantes hohes Geräusch?

Wenn dies der Fall ist, liegt möglicherweise im Rotor eine Unwucht vor. Wenden Sie sich an Edwards oder Ihren Lieferanten.

Keines der obigen Symptome. Wenden Sie sich an Edwards oder Ihren Lieferanten.

Tabelle 8 - Fehlersuche (Fortsetzung)

Symptom Prüfung Maßnahme


Lagerung und EntsorgungB760-10-882 Issue B

6 Lagerung und Entsorgung

6.1 Lagerung

Verfahren Sie zum Einlagern der Pumpe wie folgt:

1. Bringen Sie an allen Anschlüssen, dem Haupteinlass, dem Rootspumpenanschluss (falls vorhanden), dem Auslass sowie dem Spül- und dem Belüftungsanschluss Schutzabdeckungen an.

2. Setzen Sie die Pumpe in ihre Verpackungsmaterialien. Um möglichst kurze Abpumpzeiten zu erzielen, wenn die Pumpe erneut in Betrieb genommen wird, versiegeln Sie die Pumpe zusammen mit einem geeigneten Entfeuchter in einem Kunststoffbeutel.

3. Lagern Sie die Pumpe bis zum erneuten Einsatz kühl, trocken und möglichst nicht der Umgebungsluft ausgesetzt. Wenn die Pumpe erneut gebraucht wird, bereiten Sie sie vor und installieren Sie sie, wie in Abschnitt 3 beschrieben.

4. Halten Sie die Pumpe stets aufrecht, um zu verhindern, dass Öl aus dem Vorratsbehälter der Lagerschmierung ausläuft.

5. Vermeiden Sie, sofern möglich, eine längere Lagerung. Wenn eine längere Lagerung unvermeidlich ist, sollte die Pumpe alle sechs Monate aufgestellt und mindestens acht Stunden in Betrieb genommen werden.

6.2 Entsorgung

Entsorgen Sie die Pumpe und alle Komponenten sicher unter Einhaltung aller örtlichen und nationalen Sicherheits- und Umweltschutzbestimmungen.

Seien Sie besonders vorsichtig bei Bauteilen, die mit gefährlichen Prozessstoffen verunreinigt sind.

WARNUNG

Im unwahrscheinlichen Fall eines Fehlers im Pumpenrotor kann Staub durch die mit Kohlefasern verstärkten Komponenten erzeugt werden. Tragen Sie bei der Handhabung und Entsorgung der Pumpe die geeignete persönliche Schutzausrüstung und vergewissern Sie sich, dass alle Ein- und Auslässe der Pumpe offen sind, bevor Sie diese entsorgen.Treffen Sie geeignete Maßnahmen, um ein Einatmen eventuell in der Pumpe vorhandener Partikel zu vermeiden. Entsorgen Sie die Pumpe nicht durch Verbrennen. Die Pumpe enthält phenol- und fluorsilicathaltige Materialien, die sich bei hohen Temperaturen zu sehr gefährlichen Stoffe zersetzen können.Denken Sie daran, dass auch nach dem Ausschalten weiterhin gefährliche Gase im System vorhanden sein können.

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Service, Ersatzteile und ZubehörB760-10-882 Issue B

7 Service, Ersatzteile und Zubehör

7.1 Einführung

Produkte, Ersatzteile und Zubehör von Edwards sind über Edwards-Vertretungen in Belgien, Brasilien, China, Deutschland, Frankreich, Großbritannien, Israel, Italien, Japan, der Republik Korea, Singapur, den USA sowie über ein weltweites Vertriebsnetz erhältlich. Die meisten dieser Firmen beschäftigen Wartungstechniker, die umfassende Edwards-Schulungen absolviert haben.

Bestellen Sie Ersatzteile und Zubehör bei Ihrer nächstgelegenen Edwards-Vertretung oder -Vertriebsstelle. Geben Sie bei der Bestellung für jedes gewünschte Teil Folgendes an:

Modell und Bestellnummer der Anlage

Seriennummer (soweit vorhanden)

Bestellnummer und Beschreibung des Teils

7.2 Kundendienst

Die Produkte von Edwards werden durch ein weltweites Netz von Edwards-Kundendienstzentren unterstützt. Jedes Kundendienstzentrum bietet eine große Auswahl an Optionen, einschließlich Dekontaminierung der Geräte, Austausch im Rahmen des Kundendienstes, Reparatur, Instandsetzung und Prüfung nach Werksspezifikationen. Anlagen und Geräte, an denen Service-, Reparatur- oder Instandsetzungsarbeiten durchgeführt wurden, gehen mit einer Gewährleistung an den Kunden zurück.

Das Kundendienstzentrum in Ihrer Nähe kann auch Ingenieure von Edwards zum Vor-Ort-Support für Wartung, Service oder Reparatur der Anlage bereitstellen.

Weitere Informationen über Serviceoptionen erhalten Sie beim Kundendienstzentrum in Ihrer Nähe oder bei einer Vertretung von Edwards.

7.3 Ersatzteile

7.3.1 Ansaugsiebe

Die Pumpe wird mit montierten Ansaugsieben geliefert, um Schäden durch das Eindringen von Schmutzpartikeln in die Pumpe zu verhindern. Die Bestellnummern für Ersatz-Ansaugsiebe finden Sie in Tabelle 9.

7.3.2 Ansaugfilter (nur Rootspumpenvarianten)

Die Rootspumpenvarianten verfügen über einen Ansaugfilter für den Rootspumpenanschluss. Die Bestellnummer für einen Ersatz-Ansaugfilter finden Sie in Tabelle 9.

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Service, Ersatzteile und Zubehör

7.3.3 HV-Flansch-Dichtungen

Die Pumpe verfügt über Einlassdichtungen. Die Bestellnummern für Ersatzdichtungen finden Sie unten in Tabelle 9.

7.4 Zubehör

7.4.1 Installation

Das für die Pumpe verfügbare Zubehör ist in den nachfolgenden Abschnitten beschrieben. Abbildung 9 zeigt, wie die Zubehörteile an der Pumpe montiert sind.


Die Bestellnummer des EXDC-Controllers ist in Tabelle 10 gezeigt.

7.4.3 TIC-Controller

Ein TIC-Controller kann für die Stromversorgung des EXDC-Controllers verwendet werden. Siehe Tabelle 11.

Tabelle 9 - Ersatzteil-Kits

Beschreibung Flansch Bestellnummer

Ansaugsieb-Ersatzteil-Kit DN100ISO-K/DN100CF B756-40-813

DN160ISO-K/DN160CF B760-21-806

Ansaugfilter-Ersatzteil-Kit DN25KF ISO-K A223-05-067

Einlass-O-Ring-Ersatzteil-Kit DN100ISO-K C105-23-001

DN160ISO-K C105-24-001

Kupfer-Kompressionsdichtungen (5er-Pack)

DN100CF C082-00-003

DN160CF C083-00-003

Tabelle 10 - EXDC-Antriebsmodul

Antriebsmodul Bestellnummer

EXDC 160 24 V D396-46-000

Tabelle 11 - TIC-Controller

Controller Spannung Bestellnummer

TIC Turbo Controller 200 W 90 - 264 V AC 47 bis 63 Hz D397-12-000

TIC Turbo & Instrument Controller 200 W 90 - 264 V AC 47 bis 63 Hz D397-22-000



Abbildung 9 - Installation optionaler Zubehörteile

1. ACX400-Luftkühler (axial)2. ACX400-Luftkühler (radial)3. DN10KF-Adapter4. VRX-Belüftungsdrossel5. Manuelles Belüftungsventil (montiert)6. TAV-Belüftungsventil (Magnetventil)

7. Verschluss-Stopfen am Spülanschluss (montiert)8. PRX-Spülgas-Drosselventil9. DN10KF-Adapter10. Heizmanschette (DN100CF gezeigt)11. Position der BX250-Heizmanschette12. Position der BX450-Heizmanschette13. WCX-Wasserkühlung

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Service, Ersatzteile und Zubehör

7.4.4 TAV-Belüftungsventil und Belüftungsanschluss-Adapter

Zum Belüften des Systems stehen zwei Magnet-Belüftungsventile zur Verfügung. Die Ventile sind für 24 V Gleichstrom ausgelegt; es sind Schließer, die automatisch vom TIC-Controller betätigt werden können. Das Magnetventil wird anstelle des manuell betätigten Ventils eingebaut oder kann alternativ mit einem Adapter (im Lieferumfang des Ventils enthalten) montiert und mit einem geeigneten Anschluss mit DN10KF-Flansch am Vakuumsystem eingesetzt werden. Mittels Belüftungsanschluss-Adapter kann der Belüftungsanschluss oder der Spülanschluss mit jedem geeigneten KF10-Anschluss verwendet werden. Siehe Tabelle 12.

7.4.5 VRX-Belüftungsdrossel

Verwenden Sie eine VRX-Belüftungsdrossel mit fester Bohrung, um den Durchsatz von Belüftungsgas in die Pumpe zu begrenzen. Weitere Informationen zur Auswahl der korrekten VRX-Belüftungsdrossel finden Sie in Tabelle 6. Siehe Tabelle 13.

7.4.6 PRX-Spülgas-Drosselventil

Ein modifizierter DN10KF-Zentrierring ist zur Filterung des Spülgases und zur Begrenzung seines Durchsatzes auf den empfohlenen Wert von 25 sccm erhältlich. Das Drosselventil eignet sich für alle mit einem Spülanschluss ausgestatteten EXT-Pumpen.

Tabelle 12 - TAV-Belüftungsventil und Belüftungsanschluss-Adapter

Produkt Bestellnummer Öffnungsdurchmesser Vakuumsystem (l)

TAV5-Belüftungsventil B580-66-010 0,50 mm < 5

TAV6-Belüftungsventil B580-66-020 1,00 mm < 20

Adapter KF10 mit 1/8"-BSP-Außengewinde

B580-66-011

Tabelle 13 - VRX-Belüftungsdrossel

Belüftungsdrossel Öffnungsdurchmesser Bestellnummer

VRX10 0,1 mm B580-66-021

VRX20 0,2 mm B580-66-022

VRX30 0,3 mm B580-66-023

VRX50 0,5 mm B580-66-024

VRX70 0,7 mm B580-66-025

Tabelle 14 - PRX-Spülgas-Drosselventil

Spülgasdrossel Bestellnummer

PRX10 B580-65-001



7.4.7 ACX-Luftkühler

An die Pumpe können verschiedene ACX-Luftkühler angeschlossen werden. Unter Abschnitt 3.7 können Sie die Eignung der Luftkühlung für die jeweilige Anwendung prüfen. Falls erwünscht und der Platz ausreicht, können radiale und axiale Lüfter gleichzeitig verwendet werden. TIC können jeweils nur einen Lüfter mit Strom versorgen. Siehe Tabelle 15.

7.4.8 WCX-Wasserkühler

An die Pumpe kann ein Wasserkühler angeschlossen werden. Prüfen Sie jedoch anhand von Abschnitt 3.7.3, ob die Kühlwasserzufuhr geeignet ist.

7.4.9 Heizmanschette (nur ConFlat®-Version)

Eine BX-Heizmanschette beschleunigt die Entgasung der Pumpe und ermöglicht, niedrigere Druckwerte zu erzielen. Sie kann auch zum Schutz der Pumpe vor Kondensation von Verunreinigungen eingesetzt werden. Heizmanschetten sind in Ausführungen mit 110 – 120 V oder 220 – 240 V erhältlich.

Tabelle 15 - ACX-Luftkühler

Luftkühler Bestellnummer

ACX400 - Luftkühlersatz - axial B580-53-405

ACX400 - Luftkühlersatz - radial B580-53-455

Tabelle 16 - WCX-Wasserkühler

Wasserkühler Bestellnummer

WCX250 B735-01-164

Tabelle 17 - BX-Heizmanschetten

Heizmanschette CF-Variante Spannung Bestellnummer

BX250*

* Position 11 in Abbildung 9

DN100CF 110 - 120 V B580-52-041

220 - 240 V B580-52-061

BX450†

† Position 12 in Abbildung 9

DN100CF, DN160CF 110 - 120 V B580-52-043

220 - 240 V B580-52-063

B760-10-882 Issue B



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