COMBIVAC CM 32 - hvg-verwertung.de · 2012-03-08 · COMBIVAC CM 32 Kat.-Nr. 157 90, 896 90, 897 90...

COMBIVAC CM 32

Kat.-Nr.157 90, 896 90, 897 90

Gebrauchsanleitung

LecksucheVakuum-Messungund Komponenten In Situ Analyse LEYBOLD INFICON

GA 09.505 / 2.01

LEYBOLD-ServiceFalls Sie ein Gerät an LEYBOLD schicken, geben Siean, ob das Gerät frei von gesundheitsgefährdendenSchadstoffen ist oder ob es kontaminiert ist. Wenn eskontaminiert ist, geben Sie auch die Art der Gefährdungan. Geräte ohne Erklärung über Kontaminierung mußLEYBOLD an den Absender zurückschicken.

Allgemeine HinweiseEine Änderung der Konstruktion und der angegebenenDaten behalten wir uns vor.Die Abbildungen sind unverbindlich.

Inhalt

Seite1 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31.1 Allgemeine Angaben . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31.1.1 Verwendungszweck . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31.2 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31.2.1 Allgemeine Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31.2.2 MEMBRANOVAC-Meßkanal (DM) . . . . . . . . . 41.2.3 THERMOVAC-Meßkanal (TM) . . . . . . . . . . . . 41.2.4 PENNINGVAC-Meßkanal (PM) . . . . . . . . . . . 41.2.5 Relais-Ausgänge . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41.2.6 Schreiberausgänge . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51.2.7 Netzversorgung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51.2.8 HV-Steuereingang

(nur für PENNINGVAC) . . . . . . . . . . . . . . . . . 51.2.9 Mechanische Eigenschaften . . . . . . . . . . . . . 51.2.10 Umgebungsbedingungen . . . . . . . . . . . . . . . 51.2.11 RS 232 C-Schnittstelle . . . . . . . . . . . . . . . . . 51.3 Technische Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . 61.3.1 COMBIVAC CM 32 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61.3.2 RS 232 C-Schnittstelle . . . . . . . . . . . . . . . . . 61.3.3 Meßverfahren MEMBRANOVAC

(lineare Sensoren) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61.3.4 Meßverfahren THERMOVAC (Pirani) . . . . . . . 61.3.5 Meßverfahren PENNINGVAC

(Kaltkatode) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61.4 Ausstattung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71.4.1 Lieferumfang . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71.4.2 Zubehör . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7

2 Bedienung und Betrieb . . . . . . . . . . . . . . . . 82.1 Inbetriebnahme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82.2 Elektrischer Anschluß . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82.2.1 Ändern der Netzspannungseinstellung /

Sicherungswechsel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8

Seite2.3 Bedienelemente und deren Funktion . . . . . . . 92.3.1 Bargraph-Anzeige . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92.3.2 Numerische Anzeige . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102.3.3 Maßeinheit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102.3.4 Statusfeld . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102.3.5 Taste DM, TM und PM . . . . . . . . . . . . . . . . 112.3.6 Taste HV . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 112.3.7 Taste Dekrement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 122.3.8 Taste Inkrement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 122.3.9 Taste PARA . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 122.3.9.1 Kontrolle und Einstellen der

Geräteparameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 122.3.9.2 Verriegeln der Parametereinstellung . . . . . . 162.4 Versorgungs- und Steckeranschlüsse

auf der Geräterückseite . . . . . . . . . . . . . . . . 172.4.1 Spannungsversorgung . . . . . . . . . . . . . . . . 172.4.2 Anschluß der Sensoren . . . . . . . . . . . . . . . . 172.4.3 Ausgangs-Schraubklemmen des

MEMBRANOVAC- und THERMOVAC-Meßkanals . . . . . . . . . . . . . . 18

2.4.4 Ausgangs-Schraubklemmen desPENNINGVAC-Meßkanals . . . . . . . . . . . . . 19

2.4.5 RS 232 C-Schnittstelle . . . . . . . . . . . . . . . . 192.5 Aufstellen des Gerätes . . . . . . . . . . . . . . . . 202.5.1 Einbau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 202.5.2 Rackeinbau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 202.5.3 Schalttafeleinbau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 202.5.4 Verwendung des CM 32 als Tischgerät . . . . 202.6 Überprüfung der Gerätefunktion . . . . . . . . . 202.6.1 Der THERMOVAC-Meßkanal . . . . . . . . . . . . 202.6.2 Der PENNINGVAC-Meßkanal . . . . . . . . . . . 212.6.3 Der MEMBRANOVAC-Meßkanal . . . . . . . . . 212.7 Abgleich . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 212.7 1 Abgleich der linearen Sensoren . . . . . . . . . 212.7.2 Abgleich der THERMOVAC-Meßröhren . . . . 212.8 Außerbetriebsetzung . . . . . . . . . . . . . . . . . . 222.9 Zustandsmeldungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . 222.10 Zustands- und Schreibertabellen . . . . . . . . . 232.10.1 Zustands- und Schreibertabellen für den

MEMBRANOVAC-Meßkanal (DM) . . . . . . . . 232.10.2 Zustands- und Schreibertabellen für den

THERMOVAC-Meßkanal (TM) . . . . . . . . . . . 242.10.3 Zustands- und Schreibertabellen für den

PENNINGVAC-Meßkanal (PM) . . . . . . . . . . 25

3 Wartung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 273.1 Service bei LEYBOLD . . . . . . . . . . . . . . . . . 27

4 Kurzanweisung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28

2 GA 09.505/2.01 - 09/97

1 Beschreibung

1.1.1 VerwendungszweckDas COMBIVAC CM 32 ist ein universell verwendbaresVakuummeter, das durch die Kombination von dreiMeßprinzipien - lineare Absolutdrucksensoren (MEM-BRANOVAC), Pirani (THERMOVAC) und Penning - einelückenlose Messung und Kontrolle des Vakuumdruckeszwischen 1·10-9 mbar und Atmosphärendruck bzw. bis20 bar ermöglicht.

Am CM 32 können, von den nachfolgend aufgeführtenSensoren, je ein Sensor angeschlossen werden:- PENNINGVAC-Sensor (PR 32, PR 35 oder PR 36)- THERMOVAC-Sensoren (TR 201, TR 205, TR 206 oder

auch TR 211 und TR 216)- Lineare Sensoren für Absolut-, Relativ- oder Differenz-

druckmessungen je nach den angeschlossenen Sen-soren in einem Meßbereich von -1999 bis 20 000 mbarund einem Ausgangssignal von 4 bis 20 mA.

Die eingebaute RS 232 C-Schnittstelle erlaubt denrechnergesteuerten Betrieb sowie den Meßdatenaus-tausch zwischen dem COMBIVAC CM 32 und einemRechner. Der Anschluß und der Umgang mit der RS 232C-Schnittstelle ist in der Gebrauchsanleitung GA 09.027beschrieben, die dem Gerät beiliegt.

1.2 Technische Daten

1.2.1 Allgemeine Daten

Meß- / Anzeigebereich (max.)1·10-9 mbar bis 20 000 mbar

MEMBRANOVAC-Meßkanal (DM)(linearer Absolutdrucksensor) 1THERMOVAC-Meßkanal (TM) 1PENNINGVAC-Meßkanal (PM) 1

Maßeinheit mbar, Torr, Pa, Micron (umschaltbar)

Gasart Luft / N2, Ar (umschaltbar)

Meßwertanzeigedigital 7 Segment-LCDanalog LCD-LaufbalkenMeßwertauflösung siehe Tabelle 4 und 5 bzw.Tabelle 8 und 9 im Kapitel 2.10.2 bzw. 2.10.3.

3GA 09.505/2.01 - 09/97

1.1 Allgemeine AngabenDas COMBIVAC CM 32 wird betriebsbereit ausgeliefert.Trotzdem empfehlen wir Ihnen, diese Gebrauchsanlei-tung sorgfältig zu lesen, um Ihnen so von Anfang an einoptimales Arbeiten zu gewährleisten.

Diese Gebrauchsanleitung enthält wichtige Informatio-nen zum Verständnis, zur Aufstellung, Inbetriebnahme,Betrieb und zur Fehlersuche des CM 32.

Wichtige Anweisungen, die die technische Sicherheitund den Betriebsschutz betreffen, sind durch Kenn-zeichnungen hervorgehoben.

Vorsicht Steht bei Arbeits- und Betriebsverfah-ren, die genau einzuhalten sind, um eineGefährdung von Personen auszu-schließen.

Achtung Bezieht sich auf Arbeits- und Betriebs-verfahren, die genau einzuhalten sind,um Beschädigungen oder Zerstörungendes CM 32 zu vermeiden.

HinweisGilt für technische Erfordernisse, die der Benutzer be-sonders beachten muß.

Abbildungshinweise z.B. (2/5) geben mit der ersten Zifferdie Abbildungsnummer an und mit der zweiten Ziffer diePosition in dieser Abbildung.

Das CM 32 unmittelbar nach Empfang auspacken, auchwenn die Inbetriebnahme erst zu einem späteren Zeit-punkt erfolgt.

Transportverpackung auf äußere Schäden untersuchen.

Verpackungsmaterial vollständig entfernen.

HinweisFür eventuelle Schadensersatzforderungen ist derTransportbehälter und das Verpackungsmaterial gut auf-zubewahren.

CM 32 auf Vollständigkeit prüfen (siehe Kapitel 1.4).

CM 32 einer sorgfältigen Sichtprüfung unterziehen.

Werden Beschädigungen festgestellt, ist umgehend eineSchadensmeldung an den Spediteur und den Versiche-rer zu leiten. Falls es notwendig ist, das beschädigte Teilzu ersetzen, bitte mit der Auftragsabteilung in Verbin-dung setzen.

1.2.2 MEMBRANOVAC-Meßkanal (DM)

Meßbereich -1999 mbar bis + 20 000 mbar

Sensoren DI 200, DI 2000,PV 1001, PV 1502 Ex,

MI 200, MI 2000

bzw. 4 bis 20 mA-Sensoren mit Meßbereichen:1 mbar, 2 mbar, 10 mbar

20 mbar, 100 mbar, 200 mbar1 bar, 2 bar und 10 (20) bar

Sensorspeisung 25 bis 30 V (begrenzt auf 70 mA)

Gasart für Lineare Sensoren gasartunabhängig

Meßunsicherheitbei 4 bis 20 mA-Sensoren(z.B. DI 200 / DI 2000) 0,5 % vom Meßwert

und 0,1 % vom Endwert des Sensors

Temperaturfehler bei 4 bis 20 mA-Sensoren(im Geräte-Nenntemperaturbereich 10 bis 40 °C)

0,05 % / K vom Meßwert + 0,01 % / K vom Endwertdes Sensors + Temperaturfehler des Sensors

Leitungslänge, max. (mit Standardleitung)4 bis 20 mA Sensoren 500 m

Leitungslängenabgleich nicht erforderlich

Reaktionszeit der Schaltpunkte

< 50 ms

Schaltpunkte 2; Wechselkontakt

Triggermodus Einzel / Intervall / Dreipunkt-Regler

Bereitmelder potentialfreier Schließer,Kontakt geschlossen bei Betriebsbereitschaft

Fehleranzeige FAIL optisch

1.2.3 THERMOVAC-Meßkanal (TM)

Meßbereich 1·10-3 mbar bis 1000 mbar

Meßunsicherheit im Bereich10-3 bis 10-2 mbar: 20 % vom Meßwert10-2 bis 10+2 mbar: 15 % vom Meßwert

Sensoren TR 201; DN 10 KF,TR 205; DN 16 CF und TR 206; DN 10 KFTR 211; DN 16 KF und TR 216; DN 16 KF

Leitungslänge bis 100 m

Leitungslängenabgleich bei TR 211 und TR 216 automatisch

Für TR 201, TR 205 und TR 206 Einstellung derLeitungslänge im Parameter-Modus

(siehe Parameterseite 9)

Reaktionszeit der Schaltpunkte ca. 30 msbei Druckänderung größer als 1 Meßdekade


Modi Einzel / Intervall

Bereitmelder potentialfreier Schließer,1 Kontakt geschlossen

bei Betriebsbereitschaft


1.2.4 PENNINGVAC-Meßkanal (PM)

Meßbereich 1·10-9 mbar bis 1·10-2 mbar

Meßunsicherheit im Bereich von1·10-8 mbar bis 1·10-4 mbar

- 50 bis + 100 % vom Meßwert

Sensoren PR 35; DN 40 KFPR 36; DN 40 CF

PR 31 und PR 32 (eingeschränkter Meßbereich)

SensorversorgungZündspannung 3,3 kV DCBetriebsspannung 1,6 kV DC

Leitungslänge bis 20 m für den Druckbereich1·10-9 mbar bis 1·10-2 mbar

bis 100 m für den Druckbereich1·10-8 mbar bis 1·10-2 mbar

Reaktionszeit der Schaltpunkte ca. 40 msbei Druckänderung größer als 1 Meßdekade


Modi Einzel / Intervall

Bereitmelder potentialfreier Schließer,1 Kontakt geschlossen

bei Betriebsbereitschaft


1.2.5 Relais-Ausgänge

Je Meßkanal zwei variable Schaltpunkte mit je einempotentialfreien Relais-Wechselkontakt und ein Bereit-Meldekreis mit Schließkontakt.

Max. Schaltspannung 250 V AC / 60 V DC

Max. Schaltvermögen 5 A (AC, ohmsche-Last)0,7 A (DC)

Kontaktlebensdauer 60 000 Zyklen

Einstellbereich SchaltpunktePM-Meßkanal 1·10-8 bis 1·10-2 mbarTM-Meßkanal 5·10-3 bis 500 mbar

3,7·10-3 bis 370 TorrDM-Meßkanal Meßbereich des Sensors

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Hysterese (Nur für MEMBRANOVAC (DM)-Meßkanal)Lineare SensorenGrundeinstellung

1 % des Sensorbereiches (Endwert)bzw. einstellbar von 0,1 bis 9,9 % vom Endwert

Hysterese- THERMOVAC (TM) Meßkanal siehe Tabelle 5 im Kapi-

tel 2.10.2.- PENNINGVAC (PM) Meßkanal siehe Tabelle 9 im Kapi-

tel 2.10.3.

HinweisDie Relais-Ausgänge sind auch für SPS-Signale geeig-net.

1.2.6 Schreiberausgänge

Jeder Meßkanal hat einen Schreiberausgang.

Spannungsbereich 0 bis 10 V (nominal)(Grenzwerte -0,6 V bis +10,6 V)

Lastwiderstand Ra > 2,5 kOhm

Ausgangsspannung bei Störung 10,2 V bis 10,6 V

Kennlinienverlauf linear / logarithmisch

MEMBRANOVAC linear über drei Dekaden

PENNING log. 1,43 V / Dekade (0 V ‰ 1·10-9 mbar)

THERMOVAC log. 1,67 V / Dekade (0 V ‰ 1·10-3 mbar)

Reaktionszeit ca. 100 ms

Auflösung 2,5 mV (12 Bit)

Abweichung vom Anzeigewert ± 2 %

1.2.7 Netzversorgung

Kaltgerätesteckdose

Netzspannung (umschaltbar) 100 V, 120 V200 V, 230 V

+10 % / -15 %

Netzfrequenz 50 bis 60 Hz

Leistungsaufnahme 35 VA

1.2.8 HV-Steuereingang (nur für PENNINGVAC)

Eingangsspannung 0 bis 24 V DC

Max. Eingangsspannungs-Bereich - 33 V bis + 33 V

SPS kompatibler Logikpegel (Low) < 7 V; 0 A

SPS kompatibler Logikpegel (High)> 13 V; 7 mA (bei 24 V)

Kontaktgabe über Relais ca. 24 V, werden vomGerät über Schutzwiderstand bereitgestellt

1.2.9 Mechanische Eigenschaften

Abmessung (BxHxT) in mm 106,5 x 128,5 x 285,5Einbautiefe 375 mmGewicht 2,3 kg

1.2.10 Umgebungsbedingungen

Betriebstemperatur 0 °C bis 40 °C

Lagertemperatur -40 °C bis 60 °C

max. rel. Luftfeuchte 80 % n.c.

1.2.11 RS 232 C-Schnittstelle

Die technischen Daten der RS 232 C-Schnittstelle sindder Gebrauchsanleitung GA 09.027 zu entnehmen.

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1.3 Technische Beschreibung

1.3.1 COMBIVAC CM 32Dieses Kombinationsgerät hat drei Meßkanäle, MEM-BRANOVAC (DM), THERMOVAC (TM) und PENNING-VAC (PM). Damit ist eine lückenlose Messung und Kon-trolle des Vakuums über 12 Dekaden von 1·10-9 mbar bisAtmosphärendruck bzw. 20 bar möglich. Sechs Schalt-punkte, drei Schreiberausgänge und die Eigenüberwa-chung erlauben die Integration des COMBIVAC CM 32 inkomplexe Vakuumsteuerungen. Der MEMBRANOVAC-Meßkanal und der THERMOVAC-Meßkanal sind unmit-telbar nach Anlegen der Netzspannung aktiv. Der PEN-NINGVAC-Meßkanal kann vom THERMOVAC-Meßkanal(TM), extern oder manuell ein- und ausgeschaltet wer-den; siehe auch Kapitel 2.3.6.

Alle Betriebszustände der Trigger und Meßsysteme wer-den angezeigt und entsprechend über die Ausgängegemeldet.


Die technische Beschreibung der RS 232 C-Schnittstel-le ist der Gebrauchsanleitung GA 09.027 zu entnehmen.

1.3.3 Meßverfahren MEMBRANOVAC (lineare Sensoren)

Die linearen Sensoren haben als Meßelement eineMembrane oder einen Federungskörper, deren Verfor-mung eine Funktion des zu messenden Druckes ist.

Diese mechanische Verformung wird mit Hilfe eineskapazitiven Systems oder über Folien- oder über piezo-resistiven DMS (Dehnungs-Meß-Streifen) in ein elektri-sches Signal umgewandelt.

Der Meß- / Anzeigebereich läßt sich von -1999 bis 20 000 mbar individuell auf den jeweils angeschlosse-nen Sensor einstellen. Bei Anschluß der linearen Senso-ren DI 200 / DI 2000 (mit eingebauter Sensorkodierung)erfolgt beim COMBIVAC CM 32 eine automatische Ein-stellung des Meßbereiches.

Die Druckanzeige erfolgt linear, digital und gasartunab-hängig auf einem LCD-Display.

Alle Meßköpfe sind mit einer eigenen Elektronik ausge-stattet. Werkseitig sind „Null“ und „FS“ (Vollausschlag)abgeglichen.

1.3.4 Meßverfahren THERMOVAC (Pirani)

Bei diesem Meßverfahren im Bereich 10-3 bis 1000 mbarwird die Wärmeleitfähigkeit des Gases zur Druckmes-sung genutzt. Um bei den Sensoren eine möglichstkurze Ansprechzeit zu erreichen, kommt bei allen THER-MOVAC-Geräten ausschließlich das Prinzip des geregel-ten Piranis zum Einsatz.

Hierbei ist der Meßfaden Teil einer Wheatstone-Brücke.Ändert sich die Fadentemperatur aufgrund von Druckän-derungen, so entsteht ein Ungleichgewicht in derBrücke. Eine schnell ansprechende Regelung paßt dieHeizleistung des Fadens so an, daß die Fadentempera-tur wieder den Nominalwert erreicht und die Meßbrückewieder ins Gleichgewicht kommt. Die Anzeige ist gasart-abhängig. Im Normalfall ist die Anzeige der Geräte aufStickstoff bzw. Luft ausgelegt, wahlweise kann die Anzei-ge auf Argon umgestellt werden.

Der mechanische Aufbau der Meßröhren ist robust undgegen Staub geschützt. Fünf Typen können verwendetwerden:- TR 201 DN 10 KF / TR 211 DN 16 KF für Standardan-

wendungen mit Wolfram-Meßfaden, - TR 205 DN 16 CF, eine ausheizbare Ausführung und - TR 206 DN 10 KF / TR 216 DN 16 KF in korrosionsge-

schützter Bauart mit Nickel / Platin-Meßfaden.

1.3.5 Meßverfahren PENNINGVAC (Kaltkatode)

Zur Druckmessung wird im Sensor durch Anlegen einerHochspannung eine Gasentladung gezündet. Der dabeientstehende Ionenstrom wird als druckproportionalesSignal ausgegeben. Ein neuer Sensoraufbau erlaubt densicheren und zuverlässigen Meßbetrieb dieses „inver-tierten Pennings“ von 1·10-9 mbar bis 1·10-2 mbar. Essteht je eine Version mit KF und CF-Flansch zur Verfü-gung. Die spezielle Legierung für den Magneten erlaubtein Ausheizen des Sensors (mit CF-Flansch) bis 250 °Cohne Abnehmen des Magneten. Die robusten Elektro-den lassen sich zum Reinigen bzw. Austausch einfachherausnehmen und wieder einsetzen.

6 GA 09.505/2.01 - 09/97

1.4 Ausstattung

1.4.1 LieferumfangKat.-Nr.

COMBIVAC CM 32Europa 230 V ; mbar 157 90USA 120 V; Torr 896 90Japan 100 V; Torr 897 90

Gebrauchsanleitung CM 32 GA 09.505

Gebrauchsanleitung RS 232 C-Schnittstelle GA 09.027

Best.-Nr.2 Schmelzeinsätze T 0,315 A 520 25 310

2 Schmelzeinsätze T 0,630 A 520 25 313

Netzleitung 2 m (abhängig von der CM 32 Version)Europa 200 59 051USA / Japan 200 27 550

Zwei Schraubklemmen 4pol. 200 60 806Eine Schraubklemme 5pol. 200 60 807Drei Schraubklemmen 8pol. 200 60 808

Vier Schrauben M 3 x 8 mm 200 80 029Ein Gerätefuß 200 60 900Vier Klebefüße 229 48 120

1.4.2 ZubehörKat.-Nr.

Druckaufnehmer DI 200, 158 12Druckaufnehmer DI 2000 158 13

Linearer Druckaufnehmer PV 1001, DN 16 KF 160 94Linearer Druckaufnehmer PV 1502 Ex, G1“ 160 98

Meßkopf MI 200, DN 25 KF 158 10Meßkopf MI 2000, DN 25 KF 158 09

Meßleitung 3 m zum MI-Meßkopf 158 04

THERMOVAC-Meßröhre TR 201, DN 10 KF 162 02THERMOVAC-Meßröhre TR 201, 1/8“ NPT 896 72THERMOVAC-Meßröhre TR 205, DN 16 CF 158 50THERMOVAC-Meßröhre TR 206, DN 10 KF 162 31THERMOVAC-Meßröhre TR 206, 1/8“ NPT 896 73

THERMOVAC-Meßröhre TR 211, DN 16 KF 157 85THERMOVAC-Meßröhre TR 211, 1/8“ NPT 896 33THERMOVAC-Meßröhre TR 216, DN 16 KF 157 87

Ersatz-Meßzelle TR 201, DN 10 KF 162 09Ersatz-Meßzelle TR 201, 1/8“ NPT 896 76Ersatz-Meßzelle TR 205, DN 16 CF 158 51Ersatz-Meßzelle TR 206, DN 10 KF 162 32Ersatz-Meßzelle TR 206, 1/8“ NPT 896 77

Ersatz-Meßzelle TR 211, DN 16 KF 157 75Ersatz-Meßzelle TR 211, 1/8“ NPT 896 34Ersatz-Meßzelle TR 216, DN 16 KF 157 77

Kat.-Nr.

Meßleitung 5 m zu TR-Röhren 162 26Meßleitung 10 m zu TR-Röhren 162 27Meßleitung 20 m zu TR-Röhren 162 28

Verlängerungsleitung 20 m zu TR-Röhren 160 77

THERMOVAC Meßröhrensimulator T 210 157 10

PENNINGVAC-Meßröhre PR 35, DN 40 KF 157 51PENNINGVAC-Meßröhre PR 36, DN 40 CF 157 53

Meßleitung 5 m zu PR-Meßröhren 162 88Meßleitung 10 m zu PR-Meßröhren 162 89Meßleitung 20 m zu PR-Meßröhren 157 56Meßleitungen bis 100 m auf Anfrage

Testkopf T 35 (PENNINGVAC) 157 62

Einbaurahmen 19“, 3 HE 161 00

Abdeckplatte [ 19“, 3 HE 161 02

7GA 09.505/2.01 - 09/97

2 Bedienung und Betrieb

2.2 Elektrischer AnschlußAchtung Vor der Erstinbetriebnahme des Gerätes

sind folgende Schritte durchzuführen:- Prüfen und gegebenenfalls Anpassen

der eingestellten Netzspannung an dievorhandene Netzspannung.

- Einbau bzw. Prüfen und gegebenen-falls Austauschen der eingebautenNetzsicherung (siehe Kapitel 2.2.1).

Am CM 32 ist die Netzspannung eingestellt, die an derKaltgerätesteckdose (lesbar) nach rechts auf die Mar-kierung (1/3) zeigt.

In die Kaltgerätesteckdose integriert ist die Feinsiche-rung und der Spannungswähler für vier verschiedeneNetzspannungsbereiche.

Der Anschluß der Versorgungsspannung erfolgt über diemitgelieferte steckbare Netzleitung. Dazu befindet sichauf der Geräterückseite eine Kaltgerätesteckdose Abb. 1bzw. Abb. 7.

Vorsicht Es dürfen nur 3adrige Netzleitungen mitSchutzleiter verwendet werden. Ein Ein-satz des Gerätes ohne angeschlosse-nen Schutzleiter ist nicht zulässig.

2.2.1 Ändern der Netzspannungseinstel-lung / Sicherungswechsel

Zum Ändern der Netzspannungseinstellung oder Wech-sel der Netzsicherung ist die Netzleitung zu entfernen.

8 GA 09.505/2.01 - 09/97

2.1 InbetriebnahmeVor Anschluß an das Netz bitte sicherheitshalber folgen-de Prüfung vornehmen:- Einstellung auf richtige Netzspannung (Geräterücksei-

te); siehe Abb. 1.Falls Änderungen nötig, siehe Kapitel 2.2.1.

- Einsatz der richtigen Netzsicherung.Siehe hierzu Kapitel 2.2.1.

Das COMBIVAC CM 32 ist im Auslieferungszustandbetriebsbereit.

Meßröhre über die entsprechende Meßleitung an-schließen (siehe hierzu auch Kapitel 2.4).

Versorgungsspannung über die mitgelieferte Netzleitungans CM 32 anschließen.

Nach Anlegen der Netzspannung erfolgt ein Selbsttestdes Gerätes. Hierbei leuchten kurzzeitig alle Anzeigeele-mente auf.

Abhängig vom Betriebszustand Ihrer Vakuumanlageerhalten Sie eine entsprechende Druckanzeige. Über dieTasten DM (2/4), TM (2/3) bzw. PM (2/2) kann diegewünschte Meßstelle angewählt werden.

Gewünschte Geräteparameter gemäß Kapitel 2.3.9 kon-trollieren bzw. einstellen.

HinweisNach Anlegen der Netzspannung und erfolgtem Selbst-test oder nach Sensorwechsel (TM-Meßkanal) erscheintabwechselnd für 1 bis 5 s in der Anzeige „TEST“ und„noSEn“. Hierbei wird festgestellt, welcher THERMO-VAC-Sensor am TM-Meßkanal angeschlossen ist.

Erläuterungen zur Abb. 11 Gerätesteckdose2 Sicherungseinschub3 Markierung für die eingestellte Netzspannung4 Ansatz für Schraubendreher

Abb. 1 Kaltgerätesteckdose (Netzeinstellung 230 V)

Zum Einstellen der Gerätespannung ist der Sicherungs-einschub (1/2) neben der Gerätesteckdose (1/1) miteinem Schraubendreher herauszunehmen und so zudrehen, daß die gewünschte Spannung (lesbar) nachrechts auf die Markierung (1/3) zeigt. Den Sicherungs-einschub (1/2) in dieser Stellung wieder in die Geräte-steckdose einschieben.

Je nach Netzspannungseinstellungen ist eine der fol-genden Netzsicherungen erforderlich:- 100 V Netzsicherung T 0,63 A (Ø 5 x 20 mm),- 120 V Netzsicherung T 0,63 A (Ø 5 x 20 mm),- 200 V Netzsicherung T 0,315 A (Ø 5 x 20 mm),- 230 V Netzsicherung T 0,315 A (Ø 5 x 20 mm).

2.3 Bedienelemente und deren Funktion

Eine Übersicht über die Anordnung der Bedien- undAnzeigeelemente ist in Abb. 2 dargestellt.

Die Bedienung des Gerätes erfolgt über sieben Taster.

HinweisWird eine Taste gedrückt, die im gewählten Betriebszu-stand keine Funktion hat, so leuchtet das Zeichen (2/9)auf.

2.3.1 Bargraph-Anzeige

Lineare SensorenIn der Bargraph-Anzeige (2/7) erfolgt die lineareMeßwertdarstellung über den gesamten Meßbereichohne Skalierungs-Zahlen.

Die Pfeile (2/6) an den beiden Enden erscheinen beiÜber- bzw. Unterschreiten des Meßbereiches.

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Erläuterungen zur Abb. 21 Taste HV2 Taste PM3 Taste TM4 Taste DM5 Statusfeld6 Bereichsunter- bzw.

Bereichsüberschreitung7 Bargraph-Anzeige8 Numerische Anzeige9 Hinweis auf Gebrauchsanleitung10 Maßeinheiten11 Gerätefehler12 Taste PARA13 Parameter vergrößern (Inkrement)14 Parameter verkleinern (Dekrement)

Abb. 2 Anordnung der Bedien- und Anzeigeelemente

THERMOVAC-Sensoren / PENNINGVAC-SensorenIn der Bargraph-Anzeige (3/2) erfolgt die quasi analogeMeßwertdarstellung in logarithmischer Skalierung. DiePfeile an den beiden Enden der Bargraph-Anzeige sig-nalisieren Bereichsunter- bzw. Bereichsüberschreitung.Je nach Meßprinzip leuchtet die obere Skala (Exponen-ten: -3 bis +3) oder die untere (Exponenten: -8 bis -2).Bei der Druckeinheit Pa oder Micron erscheint keineSkalenbeschriftung.

2.3.2 Numerische Anzeige

In der numerischen Anzeige (3/3) erfolgt die Darstellungdes Druckmeßwertes bezogen auf die jeweils eingestell-te Maßeinheit.

Für die Maßeinheiten Torr, Pa und mbar erfolgt dieMeßwertdarstellung in exponentieller Darstellung.

Ist die Maßeinheit Micron gewählt, erfolgt eine 5stelligeDigitalanzeige. Oberhalb von 99000 Micron erfolgt eineautomatische Umschaltung auf Torr. Es wird auf 1·102

Torr umgeschaltet. Alle weiteren Druckmeßwerte werdenjetzt in Torr angezeigt.

Bei Unterschreitung eines Druckes von 9,0·101 Torrerfolgt eine automatische Umschaltung zurück in dieMaßeinheit Micron. Das CM 32 zeigt jetzt 90000 Micronan. Alle weiteren Druckmeßwerte werden jetzt in Micronangegeben. Kleinster Anzeigewert ist 1 Micron.

2.3.3 Maßeinheit

Rechts neben der numerischen Anzeige befindet sichdie Darstellung der Maßeinheiten (3/4). Es leuchtet

immer nur die Maßeinheit auf, die in der Parameterseite6 angewählt worden ist.

In der Einstellung Micron wechselt die Einstellung druck-abhängig zwischen Micron und Torr; (siehe Kapitel2.3.2).

2.3.4 Statusfeld

Das Statusfeld (3/1) für die Meßkanäle befindet sich zwi-schen dem Tastenfeld und der Meßwertanzeige.

Im Statusfeld erfolgt die Anzeige der Trigger- und Gerä-tezustände. Diese sind den jeweils darunter befindlichenüber die Taste anwählbaren Meßkanälen zugeordnet.Eine Übersicht über die Anordnung der Trigger- bzw.Gerätezustände ist der Abb. 3 zu entnehmen. Im folgen-den werden sie kurz beschrieben.

Trigger 1 ( < 1 > )Die im Statusfeld angegebenen Trigger und Statusanzei-gen beziehen sich jeweils auf den Meßkanal, dessenMeßwertanzeige mit der darunter befindlichen Tasteangewählt wird.

Leuchtet der linke Pfeil der Triggeranzeige, so ist derDruck kleiner als der eingestellte Triggerwert.

Leuchtet der rechte Pfeil der Triggeranzeige, so ist derDruck größer als der eingestellte Triggerwert.

Trigger 2 ( < 2 > )Für den Trigger 2 gilt analog die gleiche Aussage wie fürTrigger 1.

FAILDie Bezeichnung FAIL leuchtet bei einem Sensorfehler;

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Erläuterungen zur Abb. 31 Statusfeld2 Bargraph-Anzeige3 Numerische Anzeige4 Maßeinheiten

Abb. 3 Teilansicht der Gerätefrontseite

siehe Kapitel 2.9.

DISPDie Bezeichnung DISP zeigt jeweils den Meßkanal an,dessen Meßwert in der Anzeige dargestellt wird. HierDM, TM oder PM.

HVBei eingeschalteter Hochspannung des PM-Meßkanalsleuchtet die Bezeichnung HV (Hochvakuummeßstelle).

CORRIst in der Parameterseite 4 eine andere Gasart als dasStandardgas „Luft / Stickstoff“ eingestellt, so leuchtet dieAnzeige CORR.

LOCKDie Anzeige LOCK leuchtet, wenn die Parametereinstel-lung über die Tastatur gesperrt ist. Siehe hierzu auch Ab-schnitt 2.3.9.2.

PARADie Anzeige PARA leuchtet bei der Einstellung der Gerä-teparameter. Es werden die Geräteparameter des zurZeit in der Anzeige dargestellten Meßkanals angezeigt.

2.3.5 Taste DM, TM und PM

Durch Drücken der Taste DM (4/4), TM (4/3) oder PM(4/2) wird der entsprechende Meßkanal angewählt. Inder Anzeige (3/2) und (3/3) erfolgt die Darstellung desDruckmeßwertes für den angewählten Meßkanal.

Die Meßwertausgabe der Trigger- und Schreiberausgän-ge aller hier möglichen Meßkanäle werden von der Wahldes angezeigten Meßkanals nicht beeinflußt.

2.3.6 Taste HV

Die Taste HV (4/1) dient zum Ein- und Ausschalten derHochspannung für den PM-Meßkanal.

Nach Einschalten der PM-Hochspannung wird unmittel-bar ein Wert angezeigt, falls der PM-Meßkanal zur An-zeige gewählt wurde. Ab 10 s nach Hochspannung „EIN“wird geprüft, ob die Meßröhre gezündet hat, und einDruck über 5·10-9 mbar gemessen wird. Solange dieseBedingung nicht erfüllt ist, erscheint FAIL und die Triggersind nicht aktiv.

Ist diese Bedingung nach dem Einschalten der Hoch-spannung einmal erfüllt worden, wird Meßbereitschaftgemeldet. Die Trigger sind danach aktiv, unabhängigvom weiteren Druck oder Leitungs- bzw. Sensorzustandbis zum Ausschalten der Hochspannung.

Vorsicht Auch bei vorliegender Fehlermeldungbleibt die PM-Hochspannung einge-schaltet.

Hinweis- PENNINGVAC-Meßsysteme sollten erst bei einem

Druck von mindestens 1·10-2 mbar oder niedriger ein-geschaltet werden. Jedes PENNING-Meßgerät, be-dingt durch das physikalische Prinzip, läßt sich beihöheren Drücken einschalten (HV-Ein).

- Nach Einschalten der Hochspannung wird in derMeßröhre zunächst mit 3,3 kV die Gasentladung ge-zündet. Bei erfolgter Zündung wird die Zündspannungauf 1,6 kV Betriebsspannung abgesenkt, was zu einerlängeren Standzeit der Röhren insbesondere unterArgonatmosphäre führt.

11GA 09.505/2.01 - 09/97

Erläuterungen zur Abb. 41 Taste HV2 Taste PM3 Taste TM4 Taste DM5 Statusfeld


Bei Einschalten des Pennings oberhalb von 1·10-2 mbarerscheint auf der Anzeige ein beliebiger Druckwert. Beilängerem Betrieb in diesem unzulässigen Druckbereichkann es auch zu erhöhter Verschmutzung des Meßsy-stems kommen.

Weiteres zur Wirkungsweise dieser Taste finden Sieunter Parameterseite 7 „Automatisches Ein-/Ausschaltendes PENNINGVAC“.

2.3.7 Taste Dekrement

Die Taste Dekrement (5/3) dient zum Einstellen der Trig-ger und anderer Geräteparameter. Mit jedem Drückenwird der angezeigte Zustand um 1 zurückgesetzt, beiZahlenwerten wird die niederwertigste Anzeigenstelleum 1 verkleinert.

Wird die Taste Dekrement beim Einstellen der Triggerlänger als 2 s gedrückt, beginnt ein Schnell-Lauf, der denWertebereich schnell durchläuft.

2.3.8 Taste Inkrement

Die Taste Inkrement (5/2) dient zum Einstellen der Trig-ger und anderer Geräteparameter. Mit jedem Drückenwird der angezeigte Zustand um 1 vorgesetzt, bei Zah-lenwerten wird die niederwertigste Anzeigenstelle um 1vergrößert.

Wird die Taste Inkrement beim Einstellen der Trigger län-ger als 2 s gedrückt, beginnt ein Schnell-Lauf, der denWertebereich schnell durchläuft.

2.3.9 Taste PARA

Die Taste „PARA“ (5/1) dient zum Umschalten auf denParametermodus, bei dem einzelne Geräteparameterkontrolliert bzw. eingestellt werden können sowie zumBlockieren der Parametereinstellung.

2.3.9.1 Kontrolle und Einstellen der Geräteparame-ter

Zur Kontrolle und zum Einstellen der einzelnen Geräte-parameter wird die Taste PARA (5/1) gedrückt. DieAnzeige PARA im Statusfeld leuchtet, und die ersteParameterseite des augenblicklich angewählten Meßka-nals wird angezeigt.

Durch erneutes Betätigen der Taste PARA wird auf diejeweils nächste Geräteparameterseite gewechselt.

Auf der Bargraph-Anzeige (2/7) erfolgt durch Aufleuch-ten von Balken die Darstellung der Seitennummer desGeräteparameters. Die Anzahl der aufleuchtenden Bal-ken (von rechts beginnend) entspricht der Seitennum-mer des Geräteparameters. Die Geräteparameterseiten-Nummern werden aus technischen Gründen erst abSeite drei dargestellt, d.h.:3 Balken entsprechen der Geräteparameterseite 3,4 Balken entsprechen der Geräteparameterseite 4 usw.

Innerhalb der einzelnen Seiten können die Parameterüber die Tasten Dekrement (5/3) und Inkrement (5/2)verändert werden. Jede Veränderung über die TastenDekrement (5/3) oder Inkrement (5/2) wird sofort wirk-sam.

Sollten sich in der Anzeige keine Änderungen nachDruck auf Tasten Dekrement (5/3) oder Inkrement (5/2)ergeben, ist die Einstellung verriegelt. Es leuchtet dannauch LOCK.

Ein Verlassen des Parametermodus ist möglich durch- Betätigen einer beliebigen Meßkanalwahltaste oder - automatisch nach der letzten Parameterseite oder- Abwarten.

HinweisWird ca. 1 Minute keine Taste gedrückt, so schaltet dasCM 32 automatisch wieder in die Meßwertanzeigezurück. Es wird jeweils diejenige Einstellung gespei-chert, die beim Verlassen der Parameterseite angezeigtwurde.

Man unterscheidet zwei Parameterebenen.

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Erläuterungen zur Abb. 51 Taste PARA2 Parameter vergrößern (Inkrement)3 Parameter verkleinern (Dekrement)


Parameterebene 1In der Parameterebene 1 befindet sich folgender Inhalt:

Seite 1Eingestellter Triggerwert von Trigger 1.

Bei betriebsbereitem DM-, TM- oder PM-Meßkanal blinktder linke Pfeil, wenn der eingestellte Triggerwert kleinerals der gemessene Druck ist.

Bei betriebsbereitem DM-, TM- oder PM-Meßkanal blinktder rechte Pfeil, wenn der eingestellte Triggerwert größerals der gemessene Druck ist.

Die beiden Pfeile von Trigger 1 blinken bei nicht ange-schlossenem oder defektem Sensor am MEMBRANO-VAC-, THERMOVAC-Meßkanal sowie beim PENNING-VAC-Meßkanal bei nicht eingeschalteter Hochspannungoder nicht erfolgter Zündung.

Triggerschwellen im Auslieferstatus:TM 5·10-3 mbar / 3,7·10-3 TorrPM 1·10-8 mbar / 7,5·10-9 TorrDM 0 mbar / Torr

Beim MEMBRANOVAC (DM)-Meßkanal erfolgt die Ein-stellung in der Schrittweite 1/1000 des Meßbereiches(1/2000 bei 200 bzw. 2000 mbar Sensoren).

Beim THERMOVAC (TM)- und PENNINGVAC (PM)-Meßkanal erfolgt die Einstellung in einer Schrittweite von1 % des Dekadenendwertes.

Wird ein nicht erlaubter Triggerwert eingestellt, so setztdas Gerät automatisch auf den nächsten zulässigenTriggerwert zurück.

Seite 2Eingestellter Triggerwert von Trigger 2.Die Darstellung erfolgt analog zur Seite 1.

Seite 3Beim DM-Meßkanal erfolgt die Einstellung der Betriebs-arten Level-Trigger, Intervall-Trigger und Dreipunkt-Reg-ler (Control Extern / Control Intern).

Beim TM- und PM-Meßkanal erfolgt die Einstellung derBetriebsart Level-Trigger und Intervall-Trigger.

HinweisBei Wechsel des Triggermodus vom DM-Meßkanal wer-den die Trigger 1 und 2 immer auf die Defaultwerte (Aus-lieferzustand) zurückgesetzt.

Die gezeichneten Diagramme (Abb. 6) geben eine Über-sicht über die Triggermodi.

L Level-TriggerBeide Triggerausgänge arbeiten unabhängig vonein-ander.Die Einstellung der Schwellwerte ist bei TM-Senso-ren zwischen 5·10-3 mbar und 500 mbar möglich, beiPM-Sensoren zwischen 1·10-8 mbar und 1·10-2 mbarund bei linearen Sensoren im Meßbereich des Sen-sors.

I Intervall-TriggerDie beiden Trigger (Trigger 1 und Trigger 2) sind mit-einander verknüpft. Bei der Schwellwert-Einstellungmuß folgende Bedingung erfüllt sein:

Schwellwert 1 < Schwellwert 2

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Abb. 6 Darstellung der Level-Trigger und Intervall-Trigger

HinweisDer Schwellwert 2 ist zuerst einzustellen.Das eingestellte Intervall (Differenz zwischenSchwellwert 1 und 2) darf 5 % des eingestellten Wer-tes von Schwellwert 1 nicht unterschreiten.Ausgang 2 arbeitet auch bei dieser Einstellung alsLevel-Trigger. Ausgang 1 arbeitet als Intervall-Trigger.

Soll vom Level-Trigger in den Intervall-Trigger umge-schaltet werden und ist dabei die Bedingung Schwell-wert 1 < Schwellwert 2 nicht erfüllt, so erscheint dieAnzeige

L (für Level) und das Zeichen

als Hinweis auf die Gebrauchsanleitung. Gleichzeitigblinkt im Statusfeld (2/5) nur die Zahl 1 oder 2 der Anzei-ge < 1 > oder < 2 >.

Um die Umschaltung zu ermöglichen, muß zuerst dieBedingung Schwellwert 1 < Schwellwert 2 erfüllt werden.

Auslieferstatus: L (Level-Trigger)

Speziell bei DM-Meßkanal:

CI Control InternEinstellung zum Aufbau einer Dreipunkt-Regelungdurch Bildung eines Druckfensters zwischen Trigger1 und Trigger 2. Hierbei wird Trigger 1 auf den ge-wünschten Wert eingestellt. Trigger 2 bildet die Hys-terese des eingestellten Wertes von Trigger 1.

CE Control ExternWie Control Intern. Hier kann jedoch der Druckwertvon Trigger 1 durch einen externen Steuereingangvon 0 bis 10 V verändert werden. In der Parameter-seite ist der extern vorgegebene Druckwert ablesbar.

Beispiel für eine Dreipunkt-Druckregelung (nur beiDM-Meßkanal möglich):Der Trigger 1 wird auf den gewünschten Sollwert vonz.B. 800 mbar eingestellt.Mit Trigger 2 wird die Hysterese der Regelung auf z.B. 50

mbar eingestellt.

Bei Überschreitung von 850 mbar wird das Relais vonTrigger 1 aktiviert (z.B. Steuerung des Pumpventils).

Bei Unterschreitung von 750 mbar wird das Relais vonTrigger 2 aktiviert (z.B. Steuerung des Belüftungsventils).

!

Seite 4

HinweisDiese Seite erscheint nur beim TM- und PM-Meßkanal.

Gasart-KorrekturGAS.n2 ‰ Luft / Stickstoff (N2)

GAS.Ar ‰ Argon

Auslieferstatus: Luft / Stickstoff

Bei der Einstellung Ar leuchtet im Display „CORR“, dieMeßwerte werden entsprechend korrigiert.

Hinweis für TM-SensorenZur genauen Bestimmung des wahren Drucks einesanderen Gases als Luft oder N2 in der Apparatur mußder angezeigte Wert des Thermovacs mit einem für dasjeweilige Gas bei dem betreffenden Druck charakteristi-schen Faktor multipliziert werden. Hierzu stellen wir aufAnfrage entsprechende Korrekturkurven für die wichtig-sten Gase bereit.

Hinweis für PM-SensorenZur genaueren Bestimmung des wahren Drucks einesanderen Gases als Luft oder N2 in der Apparatur muß

der angezeigte Wert des Penningvacs mit dem für diesesGas charakteristischen Faktor multipliziert werden.

Gas Korrekturfaktor––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––O2 0,88 Die Korrekturfaktoren

He 4,7 sind jeweils auf die H2 2,28 Einstellung GAS.n2 bezogen.

Ne 2,16

Seite 5Softwareversion und Verriegelung (LOCK); siehe auchKapitel 2.3.9.2.

Der Ausstieg aus dem Parametermodus und Übergangin den Meßbetrieb geschieht durch Drücken der Tastedes gewünschten Meßkanals (DM, TM oder PM) oderdurch Drücken der Taste PARA.

Parameterebene 2Durch Drücken der Taste Inkrement (2/13) in Gerätepa-rameterseite 5, gelangt man in die Parameterebene 2.

In der Parameterebene 2 befindet sich folgender Inhalt:

Seite 6Maßeinheiten TORR, PA, MICRON, MBARDie eingestellte Maßeinheit blinkt.

HinweisDie hier eingestellte Maßeinheit gilt für alle drei ange-schlossenen Meßkanäle.

14 GA 09.505/2.01 - 09/97

Hysterese Hysterese

Sollwert Trigger 1

Die Maßeinheit MICRON läßt sich nur einstellen, wennvor der Parametereinstellung der Meßwert des DM- oderTM-Meßkanals angezeigt wurde.

Der PM-Meßkanal zeigt immer in „TORR“ an.

Speziell für DM- und TM-Meßkanal:Die Meßwertanzeige erfolgt nur dann in MICRON, wennder Meßwert < 90.000 MICRON beträgt.Bei einem Meßwert von > 99.900 MICRON erfolgt dieAnzeige in Torr.Im Bereich 90.000 bis 99.900 MICRON erfolgt die Anzei-ge in MICRON oder in Torr (Hysteresebereich).

Auslieferstatus: MBAR (230 V-Version)TORR (100 V oder 120 V-Version)

Seite 7

HinweisIn der Geräteparameterebene 2 gibt es in der Parame-terseite 7 für den MEMBRANOVAC-Meßkanal, für denTHERMOVAC-Meßkanal und für den PENNINGVAC-Meßkanal unterschiedliche Anzeigen.

Seite 7 für MEMBRANOVAC-Meßkanal (DM)Anzeige des angeschlossenen Sensors bzw. Einstellungdes oberen Druckbereiches bei linearen Sensoren.

Anzeige bei LIN-Sensoren: Anzeige des Druckberei-ches des angeschlossenenSensors

HinweisBei codierten Sensoren erfolgt die Anzeige in vorgege-benen Einheiten.z.B. Sensor DI 2000 entspricht P 2000 und Sensor DI200 entspricht P 200.

Für lineare Differenz- und Absolutdruck-Sensoren ohneSensorkodierung lassen sich die Druckbereiche in denfolgenden Grenzen beliebig verschieben:Max. Druck (20 mA) 0 bis 20 000 mbar (Torr)

[2·106 Pa]

HinweisWird der Druckbereich verändert, so werden beide Trig-ger auf den minimalen Druckwert eingestellt und derTriggermode LEVEL aktiviert.

Seite 7 für THERMOVAC-Meßkanal (TM)Fadenmaterial des angeschlossenen Sensors (FILA-MENT).FIL 1 Wolfram TR 211, TR 201 und TR 205FIL 2 Nickel / Platin TR 216 und TR 206

Auslieferstatus FIL 1

Seite 7 für PENNINGVAC-Meßkanal (PM)Die Geräteparameterseite 7 dient zum automatischen,druckabhängigen Ein/Aus-Schalten des PENNING-Meß-

kanals.

Nach Aufruf der Geräteparameterseite 7 erscheint imDisplay die Bezeichnung AUTO.0 oder AUTO.1.

AUTO.0 Die Hochspannung kann mit der Taste „HV“oder über den externen Eingang HV-ON ein-und ausgeschaltet werden. Eine druckabhängi-ge Steuerung durch Meßkanal TM erfolgt nicht.

AUTO.1 Die Hochspannung wird druckabhängig durchMeßkanal TM automatisch ein- und ausgeschal-tet. Mit der Taste „HV“ oder über den externenEingang HV-ON läßt sich die Hochspannungjederzeit ausschalten und wieder einschalten,wenn der Druck p < 1·10-2 mbar ist.

Die genannten Druckgrenzwerte liegen zum - Einschalten der Hochspannung bei

< 1·10-2 mbar = 7,5·10-3 Torr = 1 Pa = 8 Micron- Ausschalten der Hochspannung bei

> 5·10-2 mbar = 3,75·10-2 Torr = 5 Pa = 37 Micronjeweils bezogen auf Luft / N2.

Die Druckanzeige wird bei Automatikbetrieb druckab-hängig auf den jeweils günstigeren Meßkanal (TM / PM)umgeschaltet. Bei Sensorfehler im TM muß die Hoch-spannung vom Bediener eingeschaltet werden.

Das Umschalten der Anzeige erfolgt vom THERMOVAC-auf PENNINGVAC-Meßkanal bei einem Druck < 3·10-3

mbar und das Umschalten von PENNINGVAC- aufTHERMOVAC-Meßkanal bei > 5·10-3 mbar.

Auslieferstatus AUTO.1

HinweisBei vorgewählter Einstellung (siehe Einstellung AUTO.1)zum druckabhängigen Ein- bzw. Ausschalten des PEN-NINGVAC-Meßkanals durch die THERMOVAC-Meßstel-le wird bei Drücken oberhalb (unterhalb) dieser Schalt-schwelle der TM-Meßkanal (PM-Meßkanal) angezeigt.Drückt man jetzt die Taste PM (TM) wird die entspre-chende Druckanzeige des PM-Meßkanals (TM-Meßka-nals) angezeigt. Nach 1 min springt die Anzeige wiederautomatisch in den TM-Meßkanal (PM-Meßkanal) zu-rück.

Seite 8In der Parameterseite 8 gibt es für den MEMBRANO-VAC-Meßkanal, THERMOVAC-Meßkanal und den PEN-NINGVAC-Meßkanal unterschiedliche Anzeigen.

Seite 8 für MEMBRANOVAC-Meßkanal (DM)Einstellung des unteren Druckbereiches für lineare Sen-soren.

HinweisDiese Seite erscheint nur, wenn ein Sensor ohne Sen-sorkodierung angeschlossen ist.

Für lineare Differenz- und Absolutdruck-Sensoren ohne

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Sensorkodierung lassen sich die Druckbereiche in denfolgenden Grenzen verschieben:Min. Druck (entspricht 4 mA)

-1999 bis 0 mbar (Torr)-1,9·10-5 bis 0 Pa

Max. Druck (entspricht 20 mA)0 bis 20 000 mbar (Torr)0 bis 2·10+6 Pa

Die Schrittweite beträgt 1 mbar / Torr oder 100 Pa. DieAnzeige erfolgt in der aktuellen Druckeinheit.

HinweisWird der Druckbereich verändert, so werden beide Trig-ger auf den minimalen Druckwert eingestellt und derTriggermode LEVEL aktiviert.

Seite 8 für THERMOVAC- und PENNINGVAC-Meßka-nal (TM, PM)

Die Geräteparameterseite 8 dient zum Umschalten dernumerischen Anzeige von der Standardauflösung (zwei-stelligen Mantisse) auf die hohe Auflösung (dreistelligeMantisse).

Std Standardauflösung z.B. 3.0 -2

HIGH Hohe Auflösung z.B. 3.00-2

Siehe hierzu auch die Tabelle 4 und 5 im Kapitel 2.10.2bzw. die Tabellen 8 und 9 im Kapitel 2.10.3.

Seite 9In der Parameterseite 9 gibt es für den MEMBRANO-VAC-Meßkanal und dem THERMOVAC-Meßkanal unter-schiedliche Anzeigen.

Seite 9 für MEMBRANOVAC-Meßkanal (DM)Einstellung der Meßwertdarstellung.

Lineare-SensorenAuswahl der Meßwertdarstellung im Display.Mögliche Einstellungen:Fo Fi (Ganzzahlen-Darstellung)Fo Si (Exponential-Darstellung)

Bei der Ganzzahlendarstellung wird der Meßwert solange als Ganzzahl dargestellt, wie die Stellenzahl desDisplays ausreicht. Dann wechselt die Anzeige automa-tisch in die Exponentialdarstellung.

BeispielFo Fi 1626 mbar, nach der Umschaltung in PA

1.62 +5 PAFo Si 1.62 +3 mbar

1.62 +5 PA

Seite 9 für THERMOVAC-Meßkanal (TM)Leitungslängeneinstellung für THERMOVAC-Meßröh-ren.

In der Geräteparameterseite 9 erfolgt die Einstellung derLeitungslänge für die THERMOVAC-Meßröhren.

HinweisBei der Kombination der Meßröhre TR 211 ab der Bau-reihe B1 oder der Meßröhre TR 216 und TM-Meßkanalab Softwareversion 2.0 erfolgt ein automatischer Lei-tungslängenabgleich. In der Parameterseite 9 wird „CLA“angezeigt.

Bei Verwendung anderer THERMOVAC-Meßröhrenerscheint nach Aufruf der Parameterseite 9 auf dem Dis-play „CL xxx“.CL Leitungslängexxx Längenangabe in m

Durch Drücken der Taste Inkrement bzw. Dekrementkann die Leitungslänge im Bereich von 0 m - 100 m inSprüngen zu 5 m (5 m, 10 m, 15 m, 20 m, 25 m usw.)eingestellt werden. Die Grundeinstellung beträgt 5 m.

HinweisZwischenwerte sind auf- bzw. abzurunden.

Die Werte gelten nur für Standardmeßleitungen mit Lei-tungsmaterial 6 x 18 x 0,1 (6 x 0,14 mm2).

Seite 10 (Nur MEMBRANOVAC-Meßkanal)Auswahl der Trigger-Hysterese.

Mögliche Einstellung HS 0,1 % bis 9,9 % vom Sensorendwert

Die Einstellung bezieht sich auf den jeweiligen Sensor-endwert (FS) in Prozent, und ist nur im TriggermodeLEVEL von Bedeutung.

HinweisIm TM- und PM-Meßkanal ist die Hysterese fest einge-stellt. Siehe hierzu auch Tabelle 5 im Kapitel 2.10.2 bzw.Tabelle 9 im Kapitel 2.10.3.

2.3.9.2 Verriegeln der Parametereinstellung

Durch Verriegeln der Parametereinstellung kann einungewolltes Verändern einmal eingestellter Parameterverhindert werden.

Ein Festhalten der Taste PARA in der Geräteparameter-seite 5 (Softwareversion) für mehr als 5 s verriegelt alleParameter gegen Veränderungen. Es leuchtet die Anzei-ge „LOCK“ (2/5). Im Zustand „LOCK“ können über dieTaste PARA (2/12) nur die eingestellten Werte kontrol-liert werden. Die Tasten DM, TM und PM sind nicht ver-riegelt.

Das Entriegeln ist nur unter der Anzeige Softwareversi-on (Parameterseite 5) durch Drücken der Taste PARA (5 s) möglich.

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2.4 Versorgungs- undSteckeranschlüsse aufder Geräterückseite

Alle Versorgungs- und Steckeranschlüsse befinden sichauf der Geräterückseite. Diese sind in Abb. 7 dargestellt.

2.4.1 Spannungsversorgung

Der Netzanschluß, das Umschalten des CM 32 aufandere Netzspannungen und der Austausch der Netzsi-cherungen ist im Kapitel 2.2 beschrieben.

2.4.2 Anschluß der Sensoren

Die Sensoren sollten vorzugsweise auf dem Flansch ste-hend (d. h. Stecker nach oben) montiert werden. Einegeneigte Montage, maximal horizontal, ist möglich. Diesbeeinflußt jedoch die Messung des Nullpunktes, und dieMessung muß gegebenenfalls korrigiert werden.

Achtung Nicht gestattet ist eine hängende Monta-ge, da sich dann Kondensate im Meß-kopf sammeln können. Diese beeinflus-

sen die Messung und können den Meß-aufnehmer beschädigen.

Der MEMBRANOVAC-Sensor für den DM-Meßkanalwird an die Anschlußbuchse (7/4) bzw. (Abb. 8) ange-schlossen.

Trennung Signalmasse und SchutzleiterIn der Standardausführung sind Signalmasse undSchutzleiter im Sensor voneinander getrennt, um uner-wünschte Nebeneffekte auszuschließen. Sollte der Sen-sor isoliert von der Pumpstandsmasse montiert wordensein, ist es evtl. notwendig, den Leitungsschirm der Sen-sorleitung mit dem Sensorgehäuse zu verbinden (siehehierzu ggf. auch die zum Sensor gehörende Gebrauchs-anleitung).

Die THERMOVAC-Meßröhre für den TM-Meßkanal wirdan die Anschlußbuchse (7/10) angeschlossen.

Die Versorgung der PENNINGVAC-Meßröhre erfolgtdurch eine Hochspannung (Zündspannung 3,3 kV;Betriebsspannung 1,6 kV; / Ri = 7,7 MΩ) über dieAnschlußbuchse (7/9).

Die Belegung der Buchse ist wie folgt:Innenleiter Positive HochspannungAußenleiter Rückleitung und Abschirmung

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Erläuterungen zur Abb. 71 Funktions-Erde (Potentialausgleich für CM 32)2 Anschluß für RS 232 C-Schnittstelle3 Anschluß für DM-Meßkanal

(Trigger 1, 2 und Bereitmelder)4 Anschluß der Sensoren

(DM-Meßkanal)5 Kaltgerätesteckdose6 Anschluß für DM-Meßkanal (Schreiberaus-

gang und externer Sollwertausgang)7 Anschluß für TM-Meßkanal

(Schreiberausgang)8 Anschluß für PM-Meßkanal

(Schreiberausgang und externes HV Ein/Aus)9 Anschluß der PENNINGVAC-Meßröhre10 Anschluß der THERMOVAC-Meßröhre

(TM-Meßkanal)11 Anschluß für PM-Meßkanal

(Trigger 1, 2 und Bereitmelder)12 Anschluß für TM-Meßkanal

(Trigger 1, 2 und Bereitmelder)

S 1 = DM-MeßkanalS 2 = TM-Meßkanal

HinweisDie in dieser Abbildung dargestellten Klemmenbe-zeichnungen sind nach DIN-Vorschrift durchge-führt.Aus Platzgründen sind die Ziffern-Bezeichnungennicht auf der Geräterückseite bzw. der Klemmenlei-ste dargestellt.

Abb. 7 Geräterückseite COMBIVAC CM 32

CE

2.4.3 Ausgangs-Schraubklemmen desMEMBRANOVAC- und THERMOVAC-Meßkanals

Die Anschlüsse sind auf zwei Klemmleisten verteilt. Eine4polige Klemmleiste (9/2) bzw. (9/3) oberhalb und eine8polige (9/1) bzw. (9/6) unterhalb des Meßröhrenan-schlusses. Die Klemmleisten übereinander sind immereinem Meßkanal zugeordnet. Die Kontaktbelegung ist fürbeide Meßkanäle fast gleich. Die Schraubklemmenhaben aber je Meßkanal unterschiedliche Kontaktbe-zeichnungen.

Die Belegung der 4poligen Klemmleiste (9/2) für denMEMBRANOVAC-Meßkanal ist wie folgt:

DM Kontaktbelegung––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––11 Triggerschwellwert (TRG),

Triggermode (CE)12 Triggerschwellwert (Masse), (CE)31 Schreiberausgang 0 bis 10 V (REC)32 Schreiberausgang (Masse)

HinweisMaximale Fremdspannung 24 V DCDie Belegung der 4poligen Klemmleiste (9/3) für den

18 GA 09.505/2.01 - 09/97

Erläuterungen zur Abb. 8

PinbelegungPin 1 --Pin 2 Meßsignal 4 bis 20 mAPin 3 Kodierung MeßbereichPin 4 --Pin 5 Kodierung SensortypPin 6 Versorgung 12 bis 30 V DC (+)Pin 7 Abschirmung

Abb. 8 Anschluß der MEMBRANOVAC-Sensoren

Erläuterungen zur Abb. 91 Anschluß für DM-Meßkanal

(Trigger 1, 2 und Bereitmelder)2 Anschluß für DM-Meßkanal (Schreiberausgang

und externer Sollwertausgang)3 Anschluß für TM-Meßkanal (Schreiberausgang)4 Anschluß für PM-Meßkanal (Schreiberausgang

und externes HV Ein/Aus)5 Anschluß für PM-Meßkanal

(Trigger 1, 2 und Bereitmelder)6 Anschluß für TM-Meßkanal

(Trigger 1, 2 und Bereitmelder)

Abb. 9 Teilansicht der Geräterückseite

THERMOVAC-Meßkanal ist wie folgt:

TM Kontaktbelegung––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––111 --112 --131 Schreiberausgang 0 bis 10 V (REC)132 Schreiberausgang (Masse)

Die Belegung der 8poligen Klemmleiste (9/1) und (9/6)ist wie folgt:

DM TM Kontaktbelegung Kontaktsymbol––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––82 85 C Ready83 86 NO (offen)

41 44 NC (geschlossen)42 45 C Trigger 143 46 NO (offen)

51 54 NC (geschlossen)52 55 C Trigger 253 56 NO (offen)

Bedeutung der Relaisbezeichnung:NC Normally Closed (Ruhekontakt)NO Normally Open (Arbeitskontakt)C Common (Mittenkontakt)

HinweisFür die 8polige Klemmleiste ist eine max. zulässigeBetriebsspannung gegen Schutzerde von 250 V AC und50/60 Hz zugelassen.

2.4.4 Ausgangs-Schraubklemmen desPENNINGVAC-Meßkanals

Die Anschlüsse sind auf zwei Klemmleisten verteilt. Eine5polige Klemmleiste (9/4) oberhalb und eine 8polige(9/5) unterhalb des Meßröhrenanschlusses.

Die Belegung der 5poligen Klemmleiste (9/4) für denPENNINGVAC-Meßkanal ist wie folgt:

PM Kontaktbelegung––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––233 ca. +24 V (Ri = 680 Ω)

für externen Kontakt auf 211211 HV-Steuereingang für PM (HV ON)212 Masse für HV-Steuereingang231 Schreiberausgang 0 bis 10 V (REC)232 Masse für Schreiberausgang

Für den PENNINGVAC-Meßkanal ist die Kontaktbele-gung der 8poligen Klemmleiste (9/5) identisch mit der8poligen Klemmleiste (9/1) bzw. (9/6) des MEMBRANO-VAC- bzw. THERMOVAC-Meßkanals, jedoch mit unter-schiedlichen Kontaktbezeichnungen.

Die Belegung der 8poligen Klemmleiste (9/5) ist wiefolgt:

PM Kontaktbelegung (Ruhezustand) Kontaktsymbol––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––182 C Ready181 NO (offen)

141 NC (geschlossen)142 C Trigger 1143 NO (offen)

151 NC (geschlossen)152 C Trigger 2153 NO (offen)

Bedeutung der Relaisbezeichnung:NC Normally Closed (Ruhekontakt)NO Normally Open (Arbeitskontakt)C Common (Mittenkontakt)

HinweisFür die 8polige Klemmleiste ist eine max. zulässigeBetriebsspannung gegen Schutzerde von 250 V AC und50/60 Hz zugelassen.


Die Steckerbelegung (7/2) für den Anschluß der RS 232C-Schnittstelle ist der Gebrauchsanleitung GA 09.027 zuentnehmen.

19GA 09.505/2.01 - 09/97

2.5 Aufstellen des GerätesDas COMBIVAC CM 32 arbeitet zuverlässig bei den übli-chen industriellen Umgebungsbedingungen (siehe Kapi-tel 1.2.10).

Das Gerät wird in einem robusten Tischgehäuse ausge-liefert. Das Metallgehäuse hat auf seiner Ober- undUnterseite Lüftungsschlitze. Beim Einbau in einenSchrank ist für ausreichende Belüftung des Gerätes zusorgen. Siehe hierzu auch Kapitel 1.2.10 „Umgebungs-bedingungen“.

Aufgrund seiner Metallausführung ist ein guter Schutzvor elektromagnetischen Störeinflüssen (EMV) gegeben.Trotzdem sollte der Montageabstand zu starken Magnet-feldern, großen Transformatoren, Motoren etc. so großsein, daß das CM 32 hiervon nicht beeinflußt wird.

2.5.1 Einbau

HinweisBeim Einbau des CM 32 ist darauf zu achten, daß die imGehäuse befindlichen Lüftungsschlitze nicht verdecktwerden. Für ausreichenden Luftdurchsatz ist zu sorgen.

2.5.2 Rackeinbau

Im Lieferzustand ist das CM 32 für den Einbau in ein 19“Rack mit 3 Höheneinheiten vorbereitet.

Das CM 32 wird in das Rack eingesetzt und mit vierBefestigungsschrauben von der Frontseite aus ange-schraubt. Befestigungsschrauben sind im Lieferumfangenthalten.

2.5.3 Schalttafeleinbau

Im Lieferzustand ist das CM 32 für den Einbau in eineSchalttafel vorbereitet. Der zum Einbau erforderlicheSchalttafelausschnitt ist in Abb. 10 angegeben.

2.5.4 Verwendung des CM 32 als Tisch-gerät

Zur Verwendung des CM 32 als Tischgerät kann an derGeräteunterseite der Standfuß (Best.-Nr. 200 60 900)angebracht werden. Der Standfuß wird von der Geräte-rückseite in die unterste Nut der Eckleiste eingesetzt undnach vorne geschoben, bis er einrastet.

Die vier Klebefüße (Best.-Nr. 229 48 120) sind an derUnterseite des Standfußes und des Gerätes im hinterenBereich aufzukleben.

2.6 Überprüfung der Geräte-funktion

2.6.1 Der THERMOVAC-Meßkanal

Der THERMOVAC-Meßkanal ist werkseitig abgeglichenund wartungsfrei.

Mit dem Testkopf T 210 lassen sich die Gerätefunktionenüberprüfen. Der Testkopf stellt einen Simulator derTHERMOVAC-Meßröhre dar, liefert aber keine Kali-brierwerte.

HinweisDer Testkopf T 210 ist kein Prüfmittel im Sinne der DIN /ISO 9001 (EN 29001).

Mit Hilfe des Einstellknopfes können beliebige Druck-werte im Meßbereich von 1·10-3 mbar bis 1000 mbar ein-gestellt werden.

Diese Einstellmöglichkeit ist besonders bei der Überprü-fung von Schaltpunkteinstellung und Schaltpunktreakti-on an Vakuumanlagen interessant, da diese Funktions-prüfung ohne Inbetriebnahme der Vakuumpumpendurchgeführt werden kann.

Bei Auftreten einer Fehlfunktion an der Meßeinrichtungkann mit Hilfe des Testkopfes T 210 festgestellt werden,ob der Fehler an der Meßröhre, der Meßleitung oder

20 GA 09.505/2.01 - 09/97

Abb. 10 Maßzeichnung und Schalttafelausschnitt (Maße in mm)

dem CM 32 selber liegt.

2.6.2 Der PENNINGVAC-Meßkanal

Der PENNINGVAC-Meßkanal ist werkseitig abgeglichenund wartungsfrei.

Mit dem Testkopf T 35 läßt sich die Gerätefunktion über-prüfen. Der Testkopf stellt einen Simulator der PEN-NINGVAC-Meßröhre dar. Mit eingebauten Widerständenwerden verschiedene Druckwerte simuliert, die an dreiSteckbuchsen zur Verfügung stehen.

HinweisDer Testkopf T 35 ist kein Prüfmittel im Sinne der DIN /ISO 9001 (EN 29001).

Die Prüfwerte sind auf dem Testkopf angegeben.

Bei Auftreten einer Fehlfunktion an der Meßeinrichtungkann mit Hilfe des Testkopfes T 35 festgestellt werden,ob der Fehler an der Meßröhre, der Meßleitung oderdem CM 32 selber liegt.

2.6.3 Der MEMBRANOVAC-Meßkanal

Der MEMBRANOVAC-Meßkanal ist werkseitig abgegli-chen und wartungsfrei.

2.7 Abgleich

2.7.1 Abgleich der linearen Sensoren

Bei linearen Sensoren sollte lediglich der Nullpunkt vonZeit zu Zeit überprüft und ggf. abgeglichen werden.

NullpunktabgleichVakuum-Apparatur auf einen Druck < 10-2 mbar (DI 200 / DI 2000) evakuieren und Potentiometer „0“ amSensor so einstellen, daß sich folgende Bargraph-Anzei-ge ergibt:

2.7.2 Abgleich der THERMOVAC-Meßröhren

Die Alterung und die Verschmutzung des Meßfadens be-einträchtigen die Genauigkeit der Druckanzeige. Daherwird empfohlen, die THERMOVAC-Meßröhren bei Be-darf abzugleichen. Der Abgleich kann wie folgt durchge-führt werden:

Vakuum-Apparatur belüften und Potentiometer 100 % ander THERMOVAC-Meßröhre so einstellen, daß sich fol-gende Bargraph-Anzeige ergibt:

Hinweis- Bei Torr-Einstellung erscheint im THERMOVAC-Meßka-

nal der Teilstrich 1·10+3 nicht, weil das THERMOVACaus physikalischen Gründen bis maximal Atmos-phärendruck ‰ ca. 760 Torr messen kann.

- Um einen stabilen, aber dennoch exakten Abgleich des100 % Punktes zu gewährleisten, sollte das Abgleich-Potentiometer (100 %) nach Aufleuchten des letztenBargraph-Segments um 90 ° im Uhrzeigersinn weiter-gedreht werden. Hierbei darf der rechte Pfeil (Bereichs-überschreitung) gerade aufleuchten.

Vakuum-Apparatur auf einen Druck < 10-3 mbar evakuierenund Potentiometer „0“ an der THERMOVAC-Meßröhre soeinstellen, daß sich folgende Bargraph-Anzeige ergibt:

21GA 09.505/2.01 - 09/97

Abgleichzu hoch

Abgleichexakt

Abgleichzu niedrig

Abgleichzu hoch

Abgleichexakt

Abgleichzu niedrig

Abgleichzu hoch

Abgleichzu niedrig

Abgleichexakt

Vakuum-Apparatur belüften und nochmals die 100 %-Einstellung kontrollieren. Eine eventuelle Abweichungmit dem Potentiometer korrigieren.

War eine Korrektur der 100 %-Einstellung notwendig,Nullpunkt-Einstellung wiederholen.

2.8 AußerbetriebsetzungDurch Ziehen des Netzsteckers wird das Gerät ausge-schaltet.

2.9 ZustandsmeldungenDas COMBIVAC CM 32 zeigt verschiedene Zustands-meldungen an.

FAIL FAIL bezeichnet einen Sensorfehler.

Liegt bei Anwahl des MEMBRANOVAC- oderTHERMOVAC-Meßkanals ein Fehler vor, sowird einer der nachfolgenden Fehler im Displayangezeigt:

No Sensor

Fehlerursache:- Nicht gesteckte Leitung.- Unterbrochene Leitung.- Nicht identifizierbarer Sensor.- Fehlender Sensor.

Filament broken

HinweisDiese Fehleranzeige gilt nur bei angeschlossenen TM-Sensoren.

Fehlerursache:- Meßfaden defekt.

FAIL Für den PENNINGVAC-Meßkanal gilt:

HV (Hochspannung) wurde bei einem Druckkleiner 5·10-9 mbar / Torr (5·10-7 Pa) einge-schaltet.

Leitungsunterbrechung.

Sensor nicht angeschlossen.

HinweisWird die Hochspannung eingeschaltet, er-scheint druckabhängig nach ca. 5 bis 20 s dieMeldung „FAIL“ solange, bis die Meßröhregezündet hat und ein Druck über 5·10-9 mbargemessen wird.

Dies ist ein Hinweis, das CM 32 gemäß Ge-brauchsanleitung zu bedienen, da hier eineFehlbedienung vorliegt.

Z.B.: LDie Trigger sind im Intervall-Modus, aber derSchwellwert 1 ist größer/gleich Schwellwert 2.

Das Zeichen leuchtet auch kurz auf, wenn eineTaste gedrückt wird, die im Moment keineFunktion hat. Nach kurzer Zeit erlischt diesesZeichen wieder.

Dieses Zeichen kennzeichnet einen gerätein-ternen Fehler bzw. einen Gerätedefekt.Gerät instandsetzen lassen.

Nur beim MEMBRANOVAC-Meßkanal (DM).

P Sensorendwert (Parameterseite 7) und

Codierter Sensor angeschlossen oder vorher angeschlossen gewesen.

Nur beim THERMOVAC-Meßkanal (TM).

Initialisierungstext bei Sensortausch im TM-Meßkanal.

Für den PENNINGVAC-Meßkanal gilt (PM):

Aus

Ursache:- Hochspannung nicht eingeschaltet.

FAULT Fehler im Programmablauf des Mikroprozes-sors, z.B. durch außergewöhnlich starke elek-tromagnetische Störungen bzw. kurzzeitigenNetzausfall (1 bis 3 Sekunden). In diesem Fallwird das Gerät bzw. der betroffene Meßkanaldurch eine Watchdog-Funktion in einen stabi-len Zustand versetzt:- Display: Statusanzeige FAULT, andere Seg-

mente können flackern.- Schreiberausgang wird auf 10,2 bis 10,6 V

hochgesetzt.- Kontakt des Bereitmelderelais ist geöffnet,

Triggerrelais sind in Ruhelage.

Abhilfe:Gerät ausschalten (vom Netz trennen). Nachfrühestens 5 Sekunden wieder in Betrieb neh-men.

22 GA 09.505/2.01 - 09/97

FAULT

2.10 Zustands- und Schreibertabellen

2.10.1 Zustands- und Schreibertabellen für den MEMBRANOVAC-Meßkanal (DM)

Tabelle 1 Verhalten von Schreiberausgang, Trigger-Relais und Bereitmelder im DM-Meßkanal

Gleichung für Analogausganglinear skaliert

AbsolutdrucksensorUanalog = (Pmeß · 10) / Pmax

Relativ- und DifferenzdrucksensorUanalog = ((Pmeß - Pmin) · 10) / (Pmax - Pmin)

Pmax : Endwert des Sensors (FS)

Pmeß : aktueller Meßwert

Pmin : Anfangswert des Sensors

Uanalog : Schreiber-Ausgangsspannung

23GA 09.505/2.01 - 09/97

Gleichung für AnalogeingangUEingang : 0 bis 10 V

AbsolutdrucksensorPTrigger = 0,1 · UEingang · Pmax

Relativ- und DifferenzdrucksensorPTrigger = 0,1 · UEingang · (Pmax - Pmin) + Pmin

Pmax : Endwert des Sensors (FS)

Pmeß : aktueller Meßwert

Pmin : Anfangswert des Sensors

Uanalog : Schreiber-Ausgangsspannung

PTrigger : Triggerschwelle

UEingang : Spannung am Eingang

7 Segment-Meßwertanzeige (Format fixed)PV 1001 1 mbar-Schritte; 1 bis 1040 mbar als

spezifizierter Bereich (als Endwert muß1500 mbar eingestellt werden)

PV 1501 Ex 1 mbar-Schritte; 1 bis 1500 mbarMI 200 0,1 mbar-Schritte; 0,1 bis 200 mbarMI 2000 1 mbar-Schritte; 1 bis 2000 mbar

I = Sensorsignalin mA

System-Zustand Anzeige Urec = Analogaus-gang in V

Bereitschaftsrelais Triggerrelais

ca. 1 Sensor FAIL 10 < Urec < 10,6 V offen Ruhelage

0 bis 1 kein Sensor No Sen 10 < Urec < 10,6 V offen Ruhelage

4 - 20 Meßbereich 7-Segment-Anzeige:Druckwert;linear skalierter Bargraph

0 < Urec < 10 V,dem Druckwert ent-sprechende pos.Spannung

geschlossen aktiviert abhängigvom eingestellten

Wert

ca. 3 - 3,8 Bereichsunter-schreitung

7-Segment-Anzeige:minimaler Duckwert

Bargraph : <

❮

entsprechende negative Spannung

geschlossen aktiviert

> 20 LIN:Bereich über-schritten

LIN:7-Segment-Anzeige:Wert / FSBargraph : > ❯

10 < Urec < 10,6 V geschlossen Ruhelage

2.10.2 Zustands- und Schreibertabellen fürden THERMOVAC-Meßkanal (TM)

Tabelle 3 Verhalten von Schreiberausgang, Trigger-Relais und Bereit-melder im TM-Meßkanal

Gleichung für den Schreiberausgang (Ua) beim THER-MOVAC-Meßkanal; siehe auch Tabelle 2:

10Ua = — ( log. p + 3)

6

Ua Schreiberausgangsspannung in Vp Druck in mbar oder Torr

Beispielp = 7·10-2 mbar

10 10Ua = — ( log. 7·10-2 + 3) = — (-1,15 + 3) = 3,08 V

6 6

Tabelle 4 Anzeigeauflösung und -schritte

24 GA 09.505/2.01 - 09/97

mbar Pa Torr Micron Schreiber-Spannung

1,0·10-3 1,0·10-1 1,0·10-3 1 0,00 V2,0·10-3 2,0·10-1 2,0·10-3 2 0,50 V5,0·10-3 5,0·10-1 5,0·10-3 5 1,16 V9,0·10-3 9,0·10-1 9,0·10-3 9 1,59 V

1,0·10-2 1,0·100 1,0·10-2 10 1,67 V2,0·10-2 2,0·100 2,0·10-2 20 2,17 V5,0·10-2 5,0·100 5,0·10-2 50 2,83 V9,0·10-2 9,0·100 9,0·10-2 90 3,26 V

1,0·10-1 1,0·101 1,0·10-1 100 3,33 V2,0·10-1 2,0·101 2,0·10-1 200 3,84 V5,0·10-1 5,0·101 5,0·10-1 500 4,50 V9,0·10-1 9,0·101 9,0·10-1 900 4,92 V

1,0·100 1,0·102 1,0·100 1000 5,00 V2,0·100 2,0·102 2,0·100 2000 5,50 V5,0·100 5,0·102 5,0·100 5000 6,16 V9,0·100 9,0·102 9,0·100 9000 6,59 V

1,0·101 1,0·103 1,0·101 10 000 6,67 V2,0·101 2,0·103 2,0·101 20 000 7,17 V5,0·101 5,0·103 5,0·101 50 000 7,83 V9,0·101 9,0·103 9,0·101 90 000 8,26 V

1,0·102 1,0·104 1,0·102 1,0·102 Torr 8,33 V2,0·102 2,0·104 2,0·102 2,0·102 Torr 8,84 V5,0·102 5,0·104 5,0·102 5,0·102 Torr 9,50 V9,0·102 9,0·104 *) *) 9,92 V

1,0·103 1,0·105 -- -- 10,00 V

Tabelle 2 Verhalten von TM-Druckanzeige zu TM-Schreiberausgang

*) FS: 7,5·102 Torr = 9,8 V

TM-MeßkanalZustand

Netz „AUS“

Sofort nach Netz„EIN“

Netz „EIN“ nachca. 1 s und gülti-gem Meßwert

Fadenbruch

Kein Sensor ange-schlossen

TM-Bereitmel-dekontakt

offen

offen

geschlossen

offen

offen

Trigger-RelaisArbeitskontakt

offen

offen

je nach Druckoffen odergeschlossen

offen

offen

Schreiber-Ausgang

--

10,2 - 10,6 V

0 bis 10 V

10,2 - 10,6 V

10,2 - 10,6 V

Druck Schrittweite Schrittweite[mbar / Torr] bei STD bei HIGH

1,00·10-3

bis 0,1er-Schritte 0,1er-Schritte1,00·10-2






bis 0,1er-Schritte 0,05er-Schritte1,00·100

usw. 0,1er-Schritte 0,01er-Schritteusw. 0,1er-Schritte 0,02er-Schritteusw. bis 0,1er-Schritte 0,05er-Schritte

9,90·101

9,95·101

1,00·102



3,50·102

4,00·102

5,00·102

6,00·102

8,00·102 **)

1,00·103 **)

**) FS: 7,6·102 Torr

HinweisDie kleinste Schalthysterese bei Intervall-Trigger beträgt+ 5 % vom Triggerwert.

2.10.3 Zustands- und Schreibertabellen fürden PENNINGVAC-Meßkanal (PM)

Tabelle 6 Verhalten von Schreiberausgang, Trigger-Relais und Bereit-melder im PM-Meßkanal

Gleichung für den Schreiberausgang (Ua) beim PEN-NINGVAC-Meßkanal; siehe auch Tabelle 7:

10Ua = — ( log. p + 9)

7

Ua Schreiberausgangsspannung in Vp Druck in mbar oder Torr

Beispielp = 7·10-3 mbar

10 10Ua = — ( log. 7·10-3 + 9) = — (-2,155 + 9) = 9,78 V

7 7

25GA 09.505/2.01 - 09/97

Tabelle 5 Zuordnung: Meßbereich, Meßunsicherheit und Schaltpunkthysterese in Einstellung Leveltrigger und Standard-Auflösung

mbar Pa Torr Micron Meßun- Trigger-Hysteresesicherheit Level-Trigger

1,0·10-3 bis 4,9·10-3 1,0·10-1 bis 4,9·10-1 1,0·10-3 bis 4,9·10-3 1, 2, 3, 4 ± 20 % nicht einstellbar5,0·10-3 bis 9,9·10-3 5,0·10-1 bis 9,9·10-1 5,0·10-3 bis 9,9·10-3 5, 6, 7, 8, 9 ± 20 % + 20 %1,0·10-2 bis 9,9·10-2 1,0·100 bis 9,9·100 1,0·10-2 bis 9,9·10-2 10, 11, 12... 99 ± 15 % + 10 %1,0·10-1 bis 9,9·10-1 1,0·101 bis 9,9·101 1,0·10-1 bis 9,9·10-1 100, 110... 990 ± 15 % + 10 %1,0·100 bis 9,9·100 1,0·102 bis 9,9·102 1,0·100 bis 9,9·100 1000, 1100... 9900 ± 15 % + 10 %1,0·101 bis 9,9·101 1,0·103 bis 9,9·103 1,0·101 bis 9,9·101 10000, 11000... 99000 ± 15 % + 10 %1,0·102 bis 2,9·102 1,0·104 bis 2,9·104 1,0·102 bis 2,9·102 1,0·102 bis 2,9·102 Torr ± 50 % + 20 %

3,0·102 3,0·104 3,0·102 3,0·102 Torr -- + 20 %3,5·102 3,5·104 3,5·102 3,5·102 Torr -- + 20 %4,0·102 4,0·104 4,0·102 4,0·102 Torr -- + 20 %5,0·102 5,0·104 5,0·102 5,0·102 Torr -- nicht einstellbar6,0·102 6,0·104 6,0·102 6,0·102 Torr -- nicht einstellbar8,0·102 8,0·104 7,6·102 7,6·102 Torr -- nicht einstellbar1,0·103 1,0·105 -- -- -- nicht einstellbar

PM-MeßkanalZustand

Netz „AUS“

Sofort nach Netz„EIN“

Sofort nach HV-Ein

Meßwert (p > 5·10-9

mbar) nach 10 s vor-handen

Kein Meßwert nach 10 s vorhanden

HV-Aus

PM-Bereitmel-dekontakt

offen

offen

offen

geschlos-sen

offen

offen

Trigger-RelaisArbeitskontakt

offen

offen

offen

je nach Druckoffen odergeschlossen

offen

offen

Schreiber-Ausgang

--

10,2 - 10,6 V

10,2 - 10,6 V

-0,2 - 10,2 V

10,2 - 10,6 V

--

mbar Pa Torr Schreiber-Spannung

1,0·10-9 1,0·10-7 1,0·10-9 0,00 V2,0·10-9 2,0·10-7 2,0·10-9 0,43 V5,0·10-9 5,0·10-7 5,0·10-9 1,00 V9,0·10-9 9,0·10-7 9,0·10-9 1,36 V

1,0·10-8 1,0·10-6 1,0·10-8 1,43 V2,0·10-8 2,0·10-6 2,0·10-8 1,86 V5,0·10-8 5,0·10-6 5,0·10-8 2,43 V9,0·10-8 9,0·10-6 9,0·10-8 2,79 V

1,0·10-7 1,0·10-5 1,0·10-7 2,86 V2,0·10-7 2,0·10-5 2,0·10-7 3,29 V5,0·10-7 5,0·10-5 5,0·10-7 3,86 V9,0·10-7 9,0·10-5 9,0·10-7 4,22 V

1,0·10-6 1,0·10-4 1,0·10-6 4,29 V2,0·10-6 2,0·10-4 2,0·10-6 4,72 V5,0·10-6 5,0·10-4 5,0·10-6 5,28 V9,0·10-6 9,0·10-4 9,0·10-6 5,65 V

1,0·10-5 1,0·10-3 1,0·10-5 5,71 V2,0·10-5 2,0·10-3 2,0·10-5 6,14 V5,0·10-5 5,0·10-3 5,0·10-5 6,71 V9,0·10-5 9,0·10-3 9,0·10-5 7,08 V

1,0·10-4 1,0·10-2 1,0·10-4 7,14 V2,0·10-4 2,0·10-2 2,0·10-4 7,57 V5,0·10-4 5,0·10-2 5,0·10-4 8,14 V9,0·10-4 9,0·10-2 9,0·10-4 8,51 V

1,0·10-3 1,0·10-1 1,0·10-3 8,57 V2,0·10-3 2,0·10-1 2,0·10-3 9,00 V5,0·10-3 5,0·10-1 5,0·10-3 9,57 V9,0·10-3 9,0·10-1 9,0·10-3 9,93 V

1,0·10-2 1,0 1,0·10-2 10,00 V

Tabelle 7 Beispieltabelle für PM-Schreiberausgang

HinweisDie kleinste Schalthysterese bei Intervall-Trigger beträgt+ 5 % vom Triggerwert.

26 GA 09.505/2.01 - 09/97

Druck Schrittweite Schrittweite[mbar] bei STD bei HIGH

9,90·10-10








usw. 0,1er-Schritte 0,01er-Schritteusw. 0,1er-Schritte 0,02er-Schritteusw. bis 0,1er-Schritte 0,05er-Schritte

1,00·10-3



Tabelle 8 Anzeigeauflösung und -schritte Tabelle 9 Zuordnung; Meßbereich, Meßunsicherheit und Schaltpunkthysterese in Einstellung Level-Trigger

mbar Pa Torr Meßunsicherheit Trigger-HystereseLevel-Trigger

9,9·10-10 9,9·10-8 9,9·10-10 -- nicht einstellbar

1,0·10-9 1,0·10-7 1,0·10-9

bis bis bis - 50; + 100 % nicht einstellbar9,9·10-9 9,9·10-7 9,9·10-9

1,0·10-8 1,0·10-6 1,0·10-8

bis bis bis - 50; + 100 % + 20 %9,9·10-8 9,9·10-6 9,9·10-8

1,0·10-7 1,0·10-5 1,0·10-7

bis bis bis - 50; + 100 % + 10 %9,9·10-5 9,9·10-3 9,9·10-5

1,0·10-4 1,0·10-2 1,0·10-4

bis bis bis -- + 20 %1,0·10-2 1,0·10-0 1,0·10-2

3 Wartung3.1 Service bei LEYBOLDFalls Sie ein Gerät an LEYBOLD schicken, geben Siean, ob das Gerät frei von gesundheitsgefährdendenSchadstoffen ist oder ob es kontaminiert ist. Wenn eskontaminiert ist, geben Sie auch die Art der Gefährdungan. Dazu müssen Sie ein von uns vorbereitetes Formu-lar benutzen, das wir Ihnen auf Anfrage zusenden.

Eine Kopie dieses Formulars ist am Ende derGebrauchsanleitung abgedruckt: „Erklärung über Konta-minierung von Vakuumgeräten und -komponenten“.

Befestigen Sie das Formular am Gerät oder legen Sie esdem Gerät bei.

Diese Erklärung über Kontaminierung ist erforderlich zurErfüllung gesetzlicher Auflagen und zum Schutz unsererMitarbeiter.

Geräte ohne Erklärung über Kontaminierung muß LEY-BOLD an den Absender zurückschicken.

27GA 09.505/2.01 - 09/97

28 GA 09.505/2.01 - 09/97

4 Kurzanweisung

29GA 09.505/2.01 - 09/97

GA 09.505/2.01 - 09/97

1.80

.7.6

76.1

3

R

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09.

97

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LEYBOLD INFICONBonner Straße 498 (Bayenthal)D-50968 KölnTelefon: + 49 (221) 347-0Telefax: + 49 (221) 347-1250http://www.leyboldvac.dee-mail:[email protected]

COMBIVAC CM 32 - hvg-verwertung.de · 2012-03-08 · COMBIVAC CM 32 Kat.-Nr. 157 90, 896 90, 897 90...

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