Mikrotechnik (Mikrostrukturtechnik: 0,1–1000 µm)

<100 nm: Nanotechnik

Mikroelektronik Mikrosystemtechnik Mikroverfahrenstechnik

Integrierten Schaltkreise (ICs) auf Basis von Halbleitern

(Hauptwerkstoff: Silicium)

Physik + Chemie in kleinen Volumen

im Durchflussbetrieb

Vakuumtechnik

Dünnschichttechnik

Festkörperphysik

Management

Reinraumtechnik

PICVD-Verfahren (Plasma Impulse Chemical Vapour Deposition)

Windkraftanlage mit Vakuum ?

Siemens Vakuumschütz 110kW/400V/AC 3RT1264-6NP36

Vakuuminfusionsverfahren

Vakuumheber

Mikrowellenherd mit Magnetron Glühlampe Röhren-Fernseher

Thermoskanne Vakuumverglasung

Vakuumverpackung

Vakuum im Haushalt?

Mikroelektronik

Dünnschichttechnik

Mikroelektronik

Dünnschichttechnik

Öfen Nass Belichten Ätzen Polierien

Was ist Vakuum? Fachrichtung Physik • Theorie: Raum ohne Materie • Praxis: Raum mit einem Gasdruck weit unterhalb des normalen atmosphärischen Drucks,

so dass das Restgas keinen wesentlichen Einfluss auf den betrachteten Prozess hat.

DIN 28400, Teil 1 (Mai 1990, Vakuumtechnik; Benennung und Definitionen) • Druck < 300 mbar (< 3*104 Pa d.h. niedrigster auf der Erdoberfläche vorkommende Druck)

Mikrosystemtechnik • Vakuum herrscht in einem gasgefüllten Behälter, wenn der Druck im Behälter niedriger ist als der Umgebungsdruck

http://www.youtube.com/watch?v=v2gDMj42sIM

Intel 22nm 3D-Tri-Gate-Transistoren

http://www.comsol.com/blogs/vacuum-system-simulations-webinar-videos/

Vacuum System Simulations Webinar and Videos

Thermodynamische Potentiale (Gibbs-Funktionen)

Zwei Systeme in Kontakt => thermodyn. Gleichgewicht Entropie des Gesamtsystems => maximal thermodynamischen Potentials => minimal

intensiven Parameter

innere Energie