Micronas

UmweltErklärung 2007

nach EMAS/ISO 14001

Standorte Freiburg und Glenrothes

„Bewahren, was uns wertvoll ist“

In einer global agierenden Branche wieder Halbleiterindustrie entscheiden nichtnur gute Produkte über den Erfolg einesUnternehmens; eine zunehmend wichti-ge Rolle spielen auch der Schutz derUmwelt und die soziale Verantwortung.Micronas engagiert sich deshalb seit vie-len Jahren für eine saubere Umwelt unddie Sicherheit seiner Mitarbeiter undStandortnachbarn.

Um das erreichte hohe Niveau zu halten,müssen wir stets auf dem neuestenStand der Entwicklung bleiben. UnserManagement für betrieblichen Umwelt-schutz, Arbeitssicherheit und Brand-schutz (UAB) stellt sicher, dass in diesenBereichen ein ständiger Verbesserungs-prozess stattfindet, der von Jahr zu Jahrfortgeschrieben wird. Unsere Leistungendokumentieren wir jährlich in unseren„UmweltNews“ und für das Jahr 2007wieder in Form der vorliegenden, ausführ-lichen Umwelterklärung. Das Schwer-punktthema in dieser Ausgabe wird derImmissionsschutz sein.

Ein anschauliches Beispiel, welche Aus-wirkungen unsere Produkte auf dieUmwelt haben, ist die Automobilelek-tronik, die neben der Unterhaltungs-elektronik das zweite wichtige Standbeinunseres Unternehmens darstellt. FürAutomobilanwendungen entwickeln undproduzieren wir seit vielen Jahren – undvon Jahr zu Jahr mit wachsendem Erfolg– Sensoren und Controller, mit derenHilfe zum Beispiel das Motormanage-ment von Fahrzeugen optimiert und derKraftstoffverbrauch reduziert wird. Überunsere Produkte können wir also indirektEinfluss auf die Umweltauswirkungenvon Automobilen nehmen – in Zeitendes drohenden Klimawandels ein zwarkleiner, aber wichtiger Beitrag.

Vor allem aber müssen wir die direktenUmweltauswirkungen, die bei der Her-stellung unserer Mikrochips entstehen,stets unter Kontrolle haben: So werdenunsere hinsichtlich des Produktions-volumens wichtigsten Automobilpro-dukte, die Hall-Effekt-Sensoren, bereitsseit Juli 2004 mit vollständig bleifrei ver-zinnten Anschlüssen hergestellt. Hier-durch stellen diese Produkte für dieUmwelt sowohl bei der Produktion alsauch bei einer späteren Entsorgung einedeutlich geringere Belastung dar.

Auch wenn die von unseren Produktenausgehenden Gefährdungen minimalsind, informieren wir unsere Kundenumfassend über mögliche Umweltaus-wirkungen. So werden Art, Menge undGefährdungsmerkmale aller Inhaltsstoffevon Produkten und Verpackungsmateri-alien in der allen Automobilkunden zu-gänglichen Datenbank IMDS erfasst.

Damit nicht nur unsere Kunden, son-dern alle an Micronas Interessierten unsan unseren Ansprüchen messen können,haben wir uns ein strenges Reglementauferlegt: Die „Corporate Principles“ vonMicronas bilden die Grundlage unseresHandelns in allen Bereichen des Unter-nehmens. Speziell für den Bereich UABhaben wir diese Prinzipien durch präzi-se Handlungsrichtlinien ergänzt (sieheSeite 7). Dass dies alles nicht nur schö-ne Worte sind, sondern gelebte Wirk-lichkeit, können Sie in dieser Publikationselbst überprüfen. Nehmen Sie uns beimWort!

Dr. Wolfgang Kalsbach

Chief Executive Officer

„Nehmen Sie uns beim Wort!“

2 Micronas

UmweltErklärung 2007

Vorwort der Geschäftsleitung

3

2 Vorwort der Geschäftsleitung

3 Unternehmensleitsätze

4 Unternehmen und Produkte

4 Daten und Fakten 2007

5 Produktion und Umwelt

5 Herstellungsprozesse

6 Umweltmanagement

6 Elemente des UAB-Managementsystems

6 Vertrauen ist das wichtigste Kapital

7 Handlungsgrundsätze

8 Umweltprojekte

8 Interview: Im Gespräch mit Michael Schöllhorn,

Immissionsschutzbeauftragter bei Micronas

10 Aktuelle und geplante Umweltprojekte in der Übersicht

12 Umweltdaten 2007

12 Direkte Umweltauswirkungen

15 Indirekte Umweltauswirkungen

Micronas

UmweltErklärung 2007

Inhalt

Micronas entwickelt, fertigt und verkauft Halbleiter-bauelemente weltweit. In ausgewählten Marktsegmentenliefert unser Unternehmen die besten Produkte desMarktes. Um diesem Anspruch gerecht zu werden, wirdunser Handeln von folgenden Grundsätzen geleitet:

KundenzufriedenheitUnser erklärtes Ziel ist, zu den Besten zu gehören. DieLieferantenbeurteilung unserer Kunden bezüglich Funk-tionalität unserer Produkte, Qualität und Service zeigt, wiegut wir unsere Ziele erreichen und wo Verbesserungenmöglich und nötig sind.

ProdukteIn enger Zusammenarbeit mit unseren Kunden entwi-ckeln und fertigen wir Produkte, die die Probleme unse-rer Kunden lösen und ihnen einen technologischen Vor-sprung sichern.

MitarbeiterDurch offene Kommunikation zwischen Management,Mitarbeiterinnen und Mitarbeitern sowie durch Schu-lung und Weiterbildung schaffen wir ein Arbeitsklima,das geprägt ist von Vertrauen, Stabilität, Kreativität undSpontanität.

ProzesseKunden sind Abnehmer von Prozessleistungen. InterneKunden-/Lieferantenbeziehungen sind der Garant für dieZufriedenheit unserer externen Kunden. Unser Unter-nehmen betrachten wir als ein Geflecht von Leistungsbe-ziehungen, das insgesamt die Wertschöpfung erzeugt, dieunser Kunde will. Für alle Prozesse müssen Leistungs-kriterien definiert sein, die die Beurteilung der Prozess-ergebnisse noch während der Bearbeitungsphase mög-lich machen. Dieses Kennzahlensystem schafft für uns dieBasis für einen ständigen Verbesserungsprozess.

ErgebnisseAlle Unternehmensaktivitäten haben das Ziel, die Unter-nehmensergebnisse dauerhaft zu sichern und zu ver-bessern. Durch die laufende Überwachung geeigneterMessgrößen werden die Aktivitäten auf ihre Wirksamkeitüberprüft.

Gesellschaftliche VerantwortungUnser auf wirtschaftlichen Erfolg gerichtetes Handelnmuss ethischen und ökologischen Maßstäben standhal-ten. Vorrangiges Ziel ist es, Umweltbelastungen undSicherheitsrisiken im Normalbetrieb und bei Störungenvorzubeugen und zu vermeiden, anstatt Auswirkungen zubegrenzen oder Schäden zu beseitigen. Dies setzt denoptimalen Gebrauch der Ressourcen voraus, die wir verbrauchen und eine vorausschauende Bewertung vonpotenziellen Umwelteinflüssen in allen Fällen.

U N T E R N E H M E N S L E I T S Ä T Z E

Micronas entwickelt und produziert

Integrierte Schaltungen, kurz ICs oder

auch Mikrochips genannt. Schlüssel-

märkte des deutsch-schweizerischen

Halbleiterunternehmens sind die Un-

terhaltungs- und die Automobilelektro-

nik. So sind heute zahlreiche Systeme

der Unterhaltungselektronik mit ICs

aus dem Hause Micronas ausgerüstet,

darunter moderne LCD- und Plasma-

Fernsehempfänger vieler bekannter

Marken.

Auch in der Automobilelektronik sindhochspezialisierte Chips gefragt: In nahe-zu jedem modernen Fahrzeug sind eineVielzahl elektronischer Sicherheits- undKomfortfunktionen eingebaut, die vonMikrocontrollern – im Fachjargon auch„Dashboard Controller“ genannt – ge-steuert werden; die hierfür benötigtenDaten liefern im ganzen Auto verteilteSensorsysteme. Das Spektrum reichtvon Sicherheitssystemen wie ABS undESP über die elektronische Sitzverstel-lung bis zur Navigation.

Eine gerade unter Umweltgesichts-punkten besonders wichtige Anwendungist das „elektronische Gaspedal“, überdas mittlerweile nahezu alle Fahrzeugeverfügen. Bei diesem System werdendie Fahrerbefehle anstatt über den früherüblichen Bowdenzug elektronisch über-mittelt. Ein berührungslos arbeitender

magnetischer Nahbereichssensor – einso genannter Hall-Effekt-Sensor – missthierzu laufend die Stellung des Gas-pedals; die ermittelte Position wird alselektrisches Signal an einen Mikrocon-troller übertragen, der die Drosselklappedes Motors über einen weiteren Hall-Effekt-Sensor optimal einstellt. Hierdurchlässt sich der Kraftstoffverbrauch unddamit verbunden der CO2-Ausstoß desFahrzeugs deutlich reduzieren – auchwenn der Fahrer mit „Bleifuß“ fährt,erhält der Motor stets nur so viel Kraft-stoff, wie er benötigt.

„Das elektronische Gaspedal bringt einenenormen Energieeinspareffekt“, erklärtKlaus Heberle, Vice President Automotivebei Micronas. Eine weitere Kraftstoff-einsparung lässt sich laut Heberle durchdie fortschreitende „Elektrifizierung“ vonNebenaggregaten wie der Klimaanlageund der Servolenkung erreichen. Dienoch überwiegend mechanisch oderhydraulisch angetriebenen Systeme ver-brauchen nämlich auch dann Kraftstoff,wenn sie gar nicht aktiv sind. Dieserunnötige Leerlaufverbrauch wird durchdie elektronische Ansteuerung eliminiert.

„Ohne elektronische Unterstützungkönnte auch der umsichtigste Fahrer diegültigen Abgasnormen nicht einhalten“,betont Klaus Heberle. „Aber mit unserenICs lässt sich die gleiche Fahrzeugleis-tung mit weniger Kraftstoff und wenigerEmissionen erreichen.“

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„Gleiche Leistung mit weniger Emissionen“

Unternehmen und Produkte

Micronas

UmweltErklärung 2007

D AT E N U N D FA K T E N

Micronas im Jahr 2007:

◆ Holdingsitz in Zürich (Schweiz)

◆ Operatives Management und Produktionin Freiburg (Deutschland), Testzentrum inGlenrothes (Schottland)

◆ Rund 2100 Mitarbeiter weltweit

◆ Rund 1500 Mitarbeiter im operativenHauptsitz in Freiburg im Breisgau

◆ 600 F&E-Mitarbeiter in Freiburg, München,Villach, Nijmegen, Novi Sad, Chicago,Santa Clara und Shanghai

◆ 250 Marketing- und Vertriebsmitarbeiter inEuropa, Amerika und Asien sowie unab-hängige Repräsentanten und Distributoren

◆ Umsatz CHF 713 Mio. / EUR 433 Mio.

◆ Investitionen in den betrieblichen Umwelt-schutz EUR 400.000

◆ Börsennotierungen: SWX SwissExchange: MASN

9 % Controller

11 % CRT TVs

21 % Sensoren

6 % Multimedia

53 % Flat-Panel TVs

8 % Verwaltung

16 % Marketing und Vertrieb

2 % Qualität

49 % Produktion

25 % Forschung undEntwicklung

Mitarbeiter in den Unternehmensbereichenam Standort Freiburg

Umsatzverteilung nach Produkten

So klein Mikrochips sind, so groß ist

der Aufwand für ihre Herstellung. Aus-

gangsmaterial sind ca. 0,7 mm dünne

Scheiben aus hochreinem Silizium mit

einem Durchmesser von 15 oder 20

Zentimetern, Wafer genannt. In einer

Abfolge physikalischer und chemischer

Prozessschritte werden auf jeden

Wafer die Strukturen von – je nach

Komplexität und Größe der ICs –

einigen hundert bis einigen tausend

Mikrochips aufgebracht. Dieser Pro-

duktionsbereich heißt Waferfab oder

auch Frontend.

Die fertigen Chips werden noch auf demWafer elektrisch getestet und in dasBackend geliefert. Hier finden die Chip-montage und der abschließende Funk-tionstest statt. Zuerst werden die Waferin vollautomatischen Präzisionsanlagenin einzelne Chips zersägt. Diese werdenelektrisch kontaktiert und erhalten ihrcharakteristisches schwarzes Kunst-stoffgehäuse.

Für die meisten Frontend- und Backend-Prozesse kommen neben Energie undWasser verschiedene gesundheitsschäd-liche und umweltgefährliche Prozess-medien zum Einsatz. Durch kontinuier-liche Prozessverbesserungen konnten inden letzten Jahren z.B. die Verbräuche anProzessmedien im Frontend wesentlich– in einigen Prozessen um über 40 % –reduziert werden. Im Backend fallen vorallem Metall- und Kunststoffabfälle an,außerdem Abwässer aus der Galvanik,die in der 2004 in Betrieb gegangenen,hochmodernen Zentralen Abwasserbe-handlung (ZAB) auf dem Werksgeländebehandelt werden.

Nicht nur die Umweltauswirkungen derProduktionsprozesse, sondern auch dieInhaltsstoffe der fertigen Mikrochips

werden genau unter die Lupe genom-men. „Das fordern nicht nur die Gesetze,sondern auch die Kunden“, erklärt Dr. Norbert Streckfuß, Leiter desMicronas-Umweltmanagements. FürMicronas-ICs sind u.a. zwei EU-Richt-linien relevant, die RoHS (Restriction ofthe Use of Certain Hazardous Sub-stances in Electrical and ElectronicEquipment) und die ELV (Directive End-of-Life Vehicles). RoHS-konforme ICsmüssen insbesondere frei von Blei, polybromierten Biphenylen (PBB) und

polybromierten Diphenylethern (PBDE)sein. Wo ökonomisch sinnvoll, werdenüber diese Anforderungen hinaus halo-genfreie Gehäusematerialien („grüne“Pressmasse) verwendet, deren Anteilbei Micronas-Produkten von 11 % imJahr 2005 auf 33 % (2007) gestiegen ist.Bei jeder Änderung an den Gehäuse-materialien wird das betreffende Produktgleichzeitig auf halogenfreie Pressmasseumgestellt. „Wir werden jeden Tag einbisschen grüner“, schmunzelt NorbertStreckfuß.

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„Jeden Tag ein bisschen grüner“

Produktion und Umwelt

Micronas

UmweltErklärung 2007

Produktion und Umwelt

P R O Z E S S E I M F R O N T E N D

P R O Z E S S E I M B A C K E N D

Prozess Umweltauswirkungen Maßnahmen

Nasschemische Einsatz von Chemikalien und Substitution, geeignete externe Entsorgung, Prozesse für Reinigung Lösemitteln Endbehandlung in der Neutralisationsanlage,und Ablacken der Wafer Abluftbehandlung

Fotolithografie Einsatz von lösemittelhaltigen Substitution, geeignete externe Entsorgung, Lacken und Entwicklern Abluftbehandlung

Plasma-Prozesse Einsatz brennbarer und giftiger Verbrauchsreduzierung durch Rezept-für Beschichtung und Prozessgase, Emission von optimierung, Endbehandlung nicht reagierterÄtzen Gasen mit hohem CO2-Potenzial Anteile

Diffusion und Hoher Stromverbrauch, Nachverbrennung der brennbaren GaseOxidation Einsatz brennbarer Gase

Ionenimplantation Einsatz geringer Mengen an Weitere Reduzierung durchgiftigen Gasen Prozessoptimierung

Prozess Umweltauswirkungen Maßnahmen

Vereinzeln Abwasser z.Z. keine Maßnahmen

Kontaktieren Stromverbrauch, Einsatz neuester Bondingtechnologie mit(Bonden) Ressourcenverbrauch Gold geringerem Stromverbrauch pro Chip,

Verwendung von dünneren Golddrähten

Verpressen (Molding) Halogenierte und nicht Reduzierung des Einsatzes halogenierterhalogenierte Kunststoffabfälle Pressmassen, Externe thermische Verwertung

Galvanisieren, Galvanische Abwässer, Behandlung der Abwässer, Freischneiden, Metallabfälle Entsorgung der sauren Beizlösung,Biegen stoffliche Verwertung der Metallabfälle

Endmessen Stromverbrauch Erhöhung des Anteils des Stromverbrauchsaus regenerativen Energien

Verpacken Ressourcenverbrauch Stoffliche Verwertung, Reinigung und Kunststoff Wiederverwendung von Trays

Ein Industriebetrieb wie Micronas ist

ein komplexes System, das nur nach

präzisen Regeln funktionieren kann.

Dies gilt auch und besonders dort, wo

es um die Gesundheit der Mitarbeiter

und den Schutz der Umwelt geht.

Um die Einhaltung von Sicherheits- undUmweltstandards unternehmensweitsicherzustellen, wurde am zentralenEntwicklungs- und Produktionsstandortvon Micronas in Freiburg bereits im Jahr2000 ein Umweltmanagementsystemeingeführt. Neben dem betrieblichenUmweltschutz deckt das System auch dieBereiche Arbeitssicherheit und Brand-schutz ab und wird deshalb kurz als„UAB-System“ bezeichnet. WichtigeInhalte des Systems sind die Aufrecht-erhaltung der Gesetzeskonformität, deskontinuierlichen Verbesserungsprozes-ses, des präventiven und abwehrendenBrandschutzes und die Durchführungvon Risikoanalysen und Gefährdungs-beurteilungen in allen Bereichen desProduktionsstandorts Freiburg.

Seit 2002 verfügt auch das Micronas-Testzentrum im schottischen Glenrothes(Micronas Ltd., 100 Mitarbeiter) über eineigenes, an UAB angelehntes Systemfür den betrieblichen Umweltschutz.Beide Systeme sind nach dem interna-tionalen Standard ISO 14001 zertifiziert,das UAB-Managementsystem zusätzlich

nach der europäischen VerordnungEMAS (Eco-Management and AuditScheme).

Elemente des UAB-Management-

systems

Voraussetzung für die Zertifizierung istdie Erfüllung bestimmter Vorgaben.Wesentliche Elemente eines ISO 14001/EMAS-konformen Umweltmanagement-systems sind:➊➊ eine von der Unternehmensführung

verantwortete Umweltpolitik mit ex-pliziten Handlungsgrundsätzen (sieheSeite 7),

➋ ein Regelwerk, in dem sämtliche Auf-gaben, Verantwortlichkeiten und Ab-läufe zum betrieblichen Umweltschutzdetailliert niedergelegt sind,

➌ eine Organisation, die alle Maß-nahmen zur Umsetzung dieser Politikdefiniert, realisiert und deren Erfolgkontrolliert,

➍➍ die kontinuierliche Verbesserung derUmweltleistung.

Die Elemente des UAB-Management-systems in Freiburg sind im UAB-Handbuch dokumentiert, das im Intranetvon allen Mitarbeitern eingesehen wer-den kann. Die UAB-Organisation bestehtheute aus fünf „hauptamtlichen“ Mit-arbeitern unter der Leitung von Dr.Norbert Streckfuß, seit 2003 Umwelt-managementbeauftragter des Standorts

Freiburg. Hinzu kommen 20 Betriebs-und 23 Sicherheitsbeauftragte, außer-dem 28 Mitglieder der betrieblichen Not-fallgruppe und 73 Sicherheitsverant-wortliche vom Dienst (SvD) in allen Produktionsbereichen, die regelmäßigfür den Notfall trainiert werden.

In Glenrothes in Schottland zeichnetDavid Evans zusammen mit 18 Kollegenverantwortlich für das dort als „Integrier-tes Managementsystem für Umwelt-schutz, Gesundheitsschutz, Sicherheitund Qualität“ bezeichnete System. DieBesonderheit dieses Managementsys-tems ist die Beteiligung sämtlicher Mit-arbeiter an den Entscheidungsprozes-sen durch ein Vorschlagswesen zur Ver-besserung der internen Kommunikationund den Prozessabläufen.

Vertrauen ist das wichtigste Kapital

UAB wirkt aber nicht nur nach innen, sondern auch nach außen: Die Gewähr,dass alle erforderlichen Genehmigungenvorliegen, alle gesetzlichen Bestim-mungen eingehalten und absehbareEntwicklungen im Umweltschutz und inder Gesetzgebung frühzeitig in diePlanungen einbezogen werden, bringtnicht nur Rechtssicherheit, sondern zahltsich auch wirtschaftlich aus. So werdennicht nur Kosten aufgrund verspäteterReaktionen vermieden, sondern auchein Vertrauensgewinn bei den Interes-

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„Alle Anforderungen erfüllt“

Micronas

UmweltErklärung 2007

Umweltmanagement

senpartnern von Micronas – also bei Mitarbeitern, Kunden, Investoren, Zulie-ferern, Behörden, Standortnachbarn undder interessierten Öffentlichkeit – erzielt.„Vertrauenswürdigkeit ist nun mal daswichtigste Kapital eines Unternehmens“,resümiert Norbert Streckfuß.

Umweltmanagement ist keine einmalige,sondern eine kontinuierliche Anstreng-ung, denn die Konformität des Systemswird alle drei Jahre durch einen unab-hängigen Gutachter überprüft. Hinzukommen regelmäßige interne Überprü-fungen (Audits), die sicherstellen, dassdie definierten Verfahrensweisen einge-halten werden. Last but not least schau-en auch die Kunden genau hin, was beiMicronas geschieht, wobei ihre Anforde-rungen zum Teil weit über die Gesetzes-und Normvorgaben hinausgehen. „Diehaben wir alle erfüllt“, freut sich NorbertStreckfuß. So hat Micronas bereits zwei-mal – 2005 und 2007 – das “Sony GreenPartner”-Zertifikat erhalten.

7Micronas

UmweltErklärung 2007

H A N D L U N G S G R U N D S Ä T Z E

➊➊ Gesetzliche Rahmenbedingungen Wir verpflichten uns zur Einhaltung aller für Micronas relevanten Umwelt- und Arbeits-sicherheitsgesetze und -vorschriften. Grundlegende Voraussetzungen hierfür sind ein effek-tives externes und internes Genehmigungs-Management, Risikoanalysen und Notfallvorsor-ge. Vorrangiges Ziel ist es, Umweltbelastungen und Sicherheitsrisiken im Normalbetrieb undbei Störungen vorbeugend zu vermeiden, anstatt Auswirkungen zu begrenzen oder Schädenzu beseitigen.

➋➋ Motiviertes, verantwortungsbewusstes und kompetentes Personal Für einen wirksamen Umweltschutz brauchen wir motivierte und umweltbewusst handeln-de Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter, wobei den Führungskräften eine Vorbildfunktion zukommt.Im Sinne offener Kommunikation wird unser Personal über alle das Umweltmanage-mentsystem und den betrieblichen Umweltschutz betreffende Vorhaben und Tätigkeiteninformiert. Ebenso findet eine regelmäßige Fortbildung unseres Personals zum Umwelt-,Arbeits- und Gesundheitsschutz statt.

➌➌ Klare Strukturen Mit klar geregelten Verantwortlichkeiten und Abläufen für alle umweltrelevanten und dieSicherheit bzw. Gesundheit der Mitarbeiter betreffenden Tätigkeiten schaffen wir eineStruktur für effektiven und effizienten Umwelt-, Arbeits- und Gesundheitsschutz sowie des-sen stetige Weiterentwicklung. Auf interdisziplinäre Teamarbeit legen wir besonderen Wert.

➍➍ Prinzip der Nachhaltigkeit In Verantwortung für nachfolgende Generationen bedeutet Nachhaltigkeit für Micronas,Umweltbelastungen vorrangig zu vermeiden und ansonsten auf ein Mindestmaß zu reduzie-ren; das bedeutet auch, dass von uns eingesetzte Ressourcen wie Stoffe und Energien opti-mal genutzt werden. Dies gilt für alle beeinflussbaren Phasen im Lebenszyklus unsererProdukte, d.h. auch für alle Unternehmensprozesse, und setzt generell eine vorausschauendeBeurteilung und Berücksichtigung der möglichen Umweltauswirkungen voraus.

➎➎ Kooperativer Umgang mit unseren Interessenpartnern Wir treffen Vorkehrungen, dass alle auf dem Firmengelände tätigen Vertragspartner unsereUmwelt- und Sicherheitsstandards anwenden. In Zusammenarbeit mit unseren Lieferantenwird darauf hingewirkt, dass diese dieselben Umweltstandards einhalten wie Micronas.Unsere Kunden werden von uns hinsichtlich umweltrelevanter Merkmale der Produkte bera-ten. Offener Umgang und enge Zusammenarbeit mit Behörden sind für uns selbstverständ-lich. Micronas steht mit der interessierten Öffentlichkeit im Dialog: Wir informieren offen überunsere Umweltpolitik, die von unserem Unternehmen ausgehenden Umweltauswirkungen undüber unsere umweltbezogenen Leistungen.

➏➏ Ständige Überwachung und Kontrolle Umweltrelevante Daten werden von uns regelmäßig erfasst, registriert und beurteilt, um aufdieser Basis die Umweltleistung und somit auch die kontinuierliche Verbesserung desUnternehmens kontrollieren und steuern sowie neue Umweltziele und -programme festlegenzu können.

➐➐ Wirksamkeit Um die Wirksamkeit unseres Umweltmanagementsystems sicher zu stellen und weiter zu ent-wickeln, führen wir regelmäßige Systemaudits durch. Zur Beurteilung unserer umweltbezo-genen Leistungen werden regelmäßig Kennzahlen ermittelt und bewertet. Im Fall einerAbweichung von der Umweltpolitik oder Umweltzielen werden unverzüglich Korrektur-maßnahmen und -verfahren eingeführt und aufrechterhalten.

Fachkraft fürArbeits-

sicherheit

Brandschutz-beauftragter

Gefahrgut-beauftragter

Sicherheits-beauftragter

Gewässer-schutz-

beauftragter

Immissions-schutz-

beauftragter

Notfall-gruppe

Strahlen-schutz-

beauftragter

Laserschutz-beauftragter

Abfall-beauftragter

Geschäftsführer

LeiterUmweltschutz, Arbeitssicherheit, Brandschutz

Umweltmanagementbeauftragter

EHS-ManagerGlenrothes

Strahlen-schutz-

beauftragter

Ersthelfer

Räumungs-beauftragter

Spätestens seit Beginn der Klima-

wandeldebatte ist das Thema Emis-

sionen in aller Munde. Für die Immis-

sionsschutz-Experten bei Micronas ist

es hingegen nichts Neues – Überlegun-

gen, wie sich Emissionen von gesund-

heitsschädlichen und umweltgefähr-

lichen Stoffen aus Produktionsprozes-

sen reduzieren lassen, gehören hier zur

täglichen Routine.

Bei Micronas gibt es für den BereichImmissionsschutz ebenso wie für dieanderen UAB-Bereiche – z.B. Abfall-management, Wasser- und Energiewirt-schaft, Arbeitssicherheit – ein verant-wortliches Projektteam, das Umweltzielefür den betreffenden Bereich definiertund deren Umsetzung in Form vonUmweltprojekten plant und realisiert.Eine Übersicht über sämtliche Umwelt-projekte der Standorte Freiburg undGlenrothes gibt die Tabelle auf den Seiten10 und 11.

Neue Gesetze, neue Anforderungen

Besonders gefordert war in diesem Jahrdas Projektteam Immissionsschutz unterder Leitung von Michael Schöllhorn, derzugleich Immissionsschutzbeauftragterfür das Werk Freiburg ist. Neue gesetzli-che Anforderungen machten eine soge-nannte Änderungsgenehmigung für dieAbluftbehandlungsanlage der Waferfaberforderlich. Im Rahmen dieses Geneh-migungsverfahrens hatte Micronas denNachweis zu führen, wie die Anlage andie neuen Anforderungen angepasstwerden konnte.

Dazu muss man wissen, dass es imImmissionsschutzrecht – anders als z.B.im Baurecht – keinen Bestandsschutzgibt. Auch Anlagen, die nach bisherigerRechtslage nur geringe Emissionen ver-ursacht haben und deren Betrieb deshalb

8

„Emissionen deutlich reduzieren“

Micronas

UmweltErklärung 2007

Umweltprojekte

Herr Schöllhorn, wie lautet Ihr Auftrag?Ich bin für die Einhaltung der gesetz-lichen Auflagen für den Immissions-schutz verantwortlich. Nach demBundes-Immissionsschutzgesetz sindBetreiber genehmigungspflichtiger Anla-gen verpflichtet, einen Immissionsschutz-beauftragten zu bestellen.

Welche Anlagen betrifft das bei Micronas?Bei Micronas gibt es aktuell zwei geneh-migungspflichtige Anlagen, die Abluft-und die Abwasserbehandlungsanlageder Waferfab. Aber bei Micronas gab esauch schon einen Immissionsschutz-beauftragten, bevor diese Anlagengenehmigungspflichtig wurden.

Welches sind Ihre Aufgaben als Immissions-schutzbeauftragter?Vor allem die regelmäßige Begehungund Kontrolle aller Emissionsquellen imBetriebsgelände sowie die Veranlassungund Koordination von Messungen. Dabeiarbeite ich eng mit den zuständigenAufsichtsbehörden zusammen und küm-mere mich darum, dass deren Auflagenfristgerecht umgesetzt werden, wie zumBeispiel die Erstellung einer jährlichenLösemittelbilanz. Zu meinen Aufgabengehört aber auch, Betriebsangehörigeüber mögliche schädliche Umweltaus-wirkungen in ihrem Arbeitsbereich auf-zuklären.

Wie kamen Sie zu dieser Tätigkeit?Ich habe die Funktion im Jahr 2002 nach

einer einschlägigen Fortbildung vomdamaligen Leiter der Chemikalien-versorgung übernommen. Vorher – seit1995 – war ich im Bereich Werkserhal-tung tätig. Seit 2002 bin ich außerdemstellvertretender Leiter des Werksdiens-tes und der Haustechnik und für allemess- und regelungstechnischen Anla-gen sowie für das Gebäudeleitsystemverantwortlich.

Was brauchen Sie dafür außer guten anlagentechnischen Kenntnissen?Man muss sich zum einen im Immis-sionsschutzrecht auskennen. Zum ande-ren ist die genaue Kenntnis von Stoffenund Verfahrensschritten in der Produk-tion im Hinblick auf mögliche schädlicheUmweltauswirkungen erforderlich. Umbeim Beispiel der Lösemittelbilanz zu bleiben: Die gesamten Lösemittel-ströme bzw. Materialflüsse müssen vomAnfang bis zum Ende dargelegt werden– der Immissionsschutz beginnt alsoschon bei den Einsatzstoffen und Verfah-rensschritten und deren Beurteilung hinsichtlich ihrer Klimarelevanz. Wie man Emissionen misst und welche Maßnahmen zur Emissionsminderung möglich und sinnvoll sind, muss einImmissionsschutzbeauftragter natürlichauch wissen.

Wie beurteilen Sie Ihre Rolle als Immis-sionsschutzbeauftragter im Unternehmen?Die Bedeutung und die innerbetrieb-lichen Aufgaben des Immissionsschutz-

Was macht eigentlich ein Immissionsschutzbeauftragter, Herr Schöllhorn?

Im Gespräch mit Michael Schöllhorn, Immissionsschutzbeauftragter bei Micronas

Interview

nicht genehmigungspflichtig war, kön-nen nach einer Verschärfung einesGesetzes oder einer Verordnung geneh-migungspflichtig werden.

Zu Beginn des Jahres 2007 wurde daherein Umweltprojekt für die Durchführungder Änderungsgenehmigung der ge-samten Abluftbehandlungsanlage undder Abwasserbehandlungsanlage derWaferfab gestartet. „Ziel des Projekteswar, die Genehmigung bis zum gesetz-lich vorgeschriebenen Termin 31.10.2007zu erhalten“, erklärt Michael Schöllhorn.„Natürlich wussten wir schon länger,was da auf uns zukommt, sodass wir unsbereits im Jahr zuvor über Lösungsmög-lichkeiten Gedanken gemacht hatten.“

Reduktion der Lösemittelemissionen

um 80 Prozent

Die erste Maßnahme im Rahmen desProjekts war der Aufbau einer Pilotanlagezur Abluftbehandlung an zwei ausge-wählten Belackungsmaschinen. NachProbelauf und Optimierung wurde ineiner Messreihe eine Reduktion derLösemittelemissionen um nahezu 80Prozent nachgewiesen. „Die überauspositiven Ergebnisse haben gezeigt, dasswir mit diesem Anlagenkonzept diegeforderten Grenzwerte deutlich unter-schreiten und zugleich eine Prozess-optimierung an den Belackern durch-führen können“, freut sich Schöllhorn.Insgesamt stellt dieses Konzept eine fürMicronas maßgeschneiderte Lösung dar,

die genau an den relevanten Punktenansetzt. Das Verfahren und die Messer-gebnisse wurden im Frühjahr der zustän-digen Aufsichtsbehörde vorgestellt undsehr positiv aufgenommen.

Den anschließenden Genehmigungs-prozess bearbeitete Michael Schöllhornin enger Zusammenarbeit mit seinemKollegen Dr. Christian Mueller, der beiMicronas u.a. für den Bereich Abwasser-behandlung zuständig ist. Aufgrund derprofessionellen Vorbereitung und nichtzuletzt auch wegen der sehr gutenZusammenarbeit mit den Behörden wur-den sämtliche Ziele innerhalb wenigerMonate erreicht: ➊➊ Die bisherigen immissionsschutz-

rechtlichen und wasserrechtlichenGenehmigungen aus der Vergangen-heit wurden aktualisiert und durcheine Gesamtgenehmigung ersetzt.

➋ Sämtliche vorgestellten Emissions-minderungsmaßnahmen wurden vonden Aufsichtbehörden genehmigt.

➌ Das Arbeitszeitmodell und die Bauge-nehmigungen wurden unter immis-sionsschutzrechtlichen Gesichtspunk-ten genehmigt.

➍➍ Der Zeitplan zur Durchführung derMaßnahmen wurde akzeptiert.

Durch die Vergabe einer rechtlich ver-bindlichen Betriebsgenehmigung bestä-tigte die Behörde, dass Micronas dieAuflagen und festgelegten Grenzwerte injeder Beziehung erfüllt.

9Micronas

UmweltErklärung 2007

beauftragten haben in den letzten Jahrenbeträchtlich zugenommen, nicht zuletztaufgrund spektakulärer Umweltkata-strophen und der dadurch gestiegenenSensibilität für Umweltfragen in derBevölkerung und somit auch in denUnternehmen. Hinzu kommen die stän-dig höheren Anforderungen durch dieGesetzgebung, überwiegend auf EU-Ebene.

Was bedeutet dies konkret für Micronas?Wir müssen ständig prüfen, welcheAuswirkungen anstehende Änderungender Gesetzeslage für uns haben und wel-che Maßnahmen wir gegebenenfallsergreifen müssen. Ein Beispiel ist dieNovellierung der TA Luft im Jahr 2002und das Inkrafttreten der 31. BImSchV –der so genannten Lösemittelverordnung– im Jahr 2001, die zum Teil eine Neu-konzeption der Abluftbehandlung in derMicronas-Waferfab erforderlich machte.

Und was steht für 2008 an?Neben anderen Projekten steht vor allemdie konkrete technische Umsetzung derneuen Abluftbehandlung auf dem Plan.Bis zum 31. Oktober haben wir gegenü-ber der Aufsichtsbehörde den Nachweiszu erbringen, dass die neue Anlage diegesetzlichen Grenzwerte einhält. Dakommt noch viel Arbeit auf uns zu, aberwir werden unser Ziel, die Emissionendeutlich zu reduzieren, natürlich wiegeplant erreichen.

Gesetze und Verordnungen zum Immissionsschutz

●● Bundes-Immissionsschutzgesetz (BImSchG)

●● Bundes-Immissionsschutzverordnungen(BImSchV)

●● Technische Anleitung zur Reinhaltung der Luft(TA Luft)

●● Technische Anleitung zum Schutz gegen Lärm(TA Lärm)

Aufgaben eines Immissionsschutzbeauftragten

➊➊ Gewährleistung der Einhaltung immissionsschutzrechtlicher Vorschriften

➋➋ Regelmäßige Betriebsbegehungen und Kontrollen der Emissionsquellen

➌➌ Veranlassung und Koordination von Kontrollmessungen

➍➍ Kommunikation mit den zuständigen Aufsichtsbehörden

➎➎ Fristgerechte Umsetzung behördlicher Auflagen

➏➏ Information der Betriebsangehörigen über mögliche schädliche Umweltauswirkungen in ihrem Arbeitsbereich

Thema Ziel Maßnahme Verantwortl. Abt. 2007 2008 2009

Legende: Durchführung Verlängerung Teilerfolge schon erreicht abgeschlossen, Ziel erreicht abgeschlossen, Ziel nahezu erreicht umdefiniert eingestellt

* perfluorierte Kohlenwasserstoffe ** Perfluoroctansulfonate

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Aktuelle und geplante Umweltprojekte in der Übe

Micronas

UmweltErklärung 2007

Umweltprojekte

Standort Freiburg

Produktdesign Komplette Umstellung der Umstellen auf bleifreie Verzinnung Backend Angebotspalette auf und Pressmasse ohne halogenierte Technology„Green Products” Flammhemmer

Reduktion des Rohstoffeinsatzes Reduktion des Golddraht-Durch- Backend von Gold um 36 % messers von 25 µm auf 20 µm Engineering

Energie- Stromeinsparung durch Einsparpotenzial ermitteln Plant Engineeringmanagement optimiertes Druckluftnetz and Facilities

Stromeinsparung von 170.000 kWh Drucklufterzeugung und -netz bzw. 44 t CO2-Emissionen pro Jahr optimierendurch optimiertes Druckluftnetz

Reduktion des Stromverbrauchs in Energieeinsparung durch Umbau-Gebäude 5 u.6 um 250.000 kWh/Jahr maßnahmen bei Klima- und bzw. 64 t CO2-Emissionen pro Jahr Lüftungstechnik

Reduktion des Stromverbrauchs Test der Reduktion der Abluftmengender Abluftventilatoren an einem Implanter

Immissions- Einsatz von Kältemitteln mit wenig Umstellung von Kälteanlagen Plant Engineeringschutz bis keinem Ozon abbauenden von R22 auf alternative Kältemittel and Facilities

Potenzial

Reduktion der PFC*-Emissionen Rezeptoptimierung zur Reduzierung Waferfabum mindestens 10 % des Wertes des PFC*-Verbrauchs Engineeringvon 1995

Test von Abgasreinigungsverfahrenan ausgesuchten Produktionsanlagen

Reduktion der Lösemittelemissionen Planung und Realisierung eines Plant EngineeringAbluftbehandlungskonzepts and Facilities

Reduktion der CO2-Emissionen Einsparung von 25 Material- Logisticsdurch Transport um ca. 14 t pro anlieferungen pro Jahr Jahr

Reduktion der CO2-Emissionen Einrichtung einer Mitfahrbörse im Betriebsratdurch Pendlerverkehr Intranet

Eliminierung von PFOS** Qualifizierung und Einführung von WaferfabPFOS**-freien Fotolacken für die Pro- Engineeringduktion, Beteiligung am „Voluntary Semiconductor Industry Commit-ment“ der Halbleiterindustrie

Abfall- Recycling von 30 Tonnen Sammeln und Abgabe von Wafer- Environment,management Kunststoffabfall pro Jahr boxen, Trays und Schienen Safety and

Fire Protection

Wasser- Reduktion des Wasserverbrauchs Behandlung und Wiederverwendung Plant Engineering management im Backend um 20.000 m3 des Abwassers vom Schleifen und and Facilities

Sägen von Wafern

Ressourcen- Chemikalieneinsparung Reduktion einer gesundheitsschädl. Waferfab management in der Produktion und umweltgefährl. Prozesschemikalie Engineering

und eines organischen Lösemittelsum ca. 45 % durch Substitution miteiner wässrigen Lösung in denmeisten „post-metal“-Ablackprozessen

Vollständiger Ersatz einer gesundheits-schädlichen und umweltgefährlichen Prozesschemikalie und eines orga-nischen Lösemittels im letzten „post-metal“-Ablackprozess durch eine wässrige Lösung

Thema Ziel Maßnahme Verantwortl. Abt. 2007 2008 2009

Legende: Durchführung Verlängerung Teilerfolge schon erreicht abgeschlossen, Ziel erreicht abgeschlossen, Ziel nahezu erreicht umdefiniert eingestellt

Energie- Reduktion des Stromverbrauchs Installation von neuem, energieeffizi- Environmental management um 10 % entem Equipment und Kompressoren Team

Immissions- Reduktion der CO2-Emissionen Abschluss eines entsprechenden Quality Departmentschutz durch Strom um 33 % Stromkontrakts

Abfall- 100 % Recyclingquote der Kunst- Kooperation mit einem geeigneten Logistic management stoffabfälle Entsorger Department

Allgemein Verbesserung der Mitarbeiter- Monitoring des Vorschlagswesens, Quality beteiligung da sich 1/5 aller Vorschläge auf Department

umweltrelevante Themen beziehen

Reduktion der Umweltbelastung, Monitoring der Nutzung von Administrationdie durch die Anfahrten der Mitar- Carsharing und Fahrrad Department beiter zum Arbeitsplatz entsteht

Umweltbewusstsein der Berechnung des individuellen CO2- Quality Mitarbeiter fördern Footprints aus dem Verbrauch fossiler Department

Brennstoffe jedes Mitarbeiters

Standort Glenrothes

11Micronas

UmweltErklärung 2007

rsicht

Ressourcen- Liefersicherheit gewährleisten REACH-Implementierung, Anpas- Environment,management sung des Genehmigungsprozesses Safety and

und Umsetzung betrieblicher Maß- Fire Protectionnahmen, Bereitstellung von Infor-mationen für die Lieferkette

Chemikalieneinsparung in der Ab- Substitution von Salzsäure zur Plant Engineeringwasserbehandlung bei gleichzeitiger Neutralisation des Abwassers durch and FacilitiesEinsparung von Chemikalienan- und die entsprechende Menge an -abtransporten durch LKW (ca. 1,7 t gebrauchter Schwefelsäure, die inCO2-Emissionen weniger pro Jahr) der Produktion anfällt

Ersatz von PVC als Teil der Umstellung von PVC auf einen BackendVerpackungsmaterialien anderen geeigneten Kunststoff Engineering

Betriebliche Erhöhung der betrieblichen Verlagerung eines Säuretanks Plant Engineering Sicherheit Sicherheit and Facilities

Installation neuer Chemieleitungenmit überwachender Sensorik

Initiierung der 5S-Systematik in der Human ResourcesFertigung

Steigerung der Einsatzfähigkeit Beschaffung von Helmen nach Environment,der Notfallgruppe Feuerwehrstandard, Safety and

Aufstockung des Personalbestands, Fire ProtectionErweiterung des Notfallgeräteraums

Erhöhung der betrieblichen Umstellung des zentralen Chemika- Plant EngineeringSicherheit durch Verringerung lienversorgungssystems von Isopro- and Facilitiessowie Vereinfachung der panol von 200-l- auf 1.000-l-Gebinde;Chemikaliengebindewechsel Integration eines neuen Chemika-

lienversorgungskabinetts fürAmmoniaklösung in die zentraleChemikalienversorgung

Erhöhung der betrieblichen Verlagerung von nasschemischen WaferfabSicherheit durch hermetische Prozessschritten aus offenen Becken EngineeringTrennung von Personal und in geschlossene AnlagenProzesschemikalien

2004

2005

2006

2007 0,068

0,067

0,070

0,065

Strom (kWh/ML x cm2)

2004

2005

2006

2007 0,020

Erdgas Heizöl

0,023

0,024

0,021

Fossile Energie (kWh/ML x cm2)

2004

2005

2006

2007 1,09

1,15

1,17

1,07

Prozesschemikalien (g/ML x cm2)

2004

2005

2006

2007 0,018

0,020

0,020

0,019

Prozessgase (g/ML x cm2)

2004

2005

2006

2007 0,42

0,39

0,36

0,39

Prozesswasser (g/ML x cm2)

F R O N T E N DVerbrauch pro Anzahl der Maskenschritte und Waferfläche

Im Folgenden sind die im Jahr 2007 in

den Bereichen Umweltschutz, Arbeits-

sicherheit und Brandschutz erzielten

Ergebnisse an den Standorten Frei-

burg und Glenrothes in der Übersicht

dargestellt.

In die Umsetzung von Umweltmaßnah-men investiert Micronas jedes Jahrerhebliche Mittel (vgl. Tabelle auf S. 14).Schwerpunkte waren im vergangenenJahr die Reduktion des Ressourcen-einsatzes zum Zweck der Abfallvermei-dung sowie der Gewässerschutz und dieAbluftreinigung.

Direkte Umweltauswirkungen

Die direkten Umweltauswirkungen beider Fertigung von Halbleitern werdenintern nach deren Umweltrelevanz sowiederen Beeinflussbarkeit bewertet. Sindbeide Bewertungen hoch, so werdenZiele formuliert, um deren Umweltrele-vanz zu reduzieren.

Verbrauch von Energie, Wasser und

Prozessmedien

Wichtige direkte Umweltauswirkungenbei der Fertigung von Halbleitern sind dieVerbräuche von Strom, fossilen Ener-gieträgern, Wasser und Prozesschemi-kalien. Ein Großteil dieser Verbräuchehängt mit der Produktionsauslastungzusammen: Je höher diese ist, umsogünstiger entwickeln sich die Kenn-zahlen, da der Einfluss von Standby-Ver-bräuchen entsprechend geringer wird.

Die Verbräuche werden bei Micronas inAbhängigkeit zum Produktionsausstoßdargestellt: Für das Frontend (die Wafer-fertigung) ist die Bezugsgröße die produ-zierte Siliziumfläche in Quadratzenti-metern multipliziert mit der Anzahl derMaskenprozesse, welche ein Maß fürdie Komplexität des Herstellungspro-

zesses ist. Für das Backend (Chipmon-tage und Test) werden die Verbräuche aufdie Kosten eines „Norm-Mikrochips“(Normalized Package Unit, NPU) bezo-gen, in dessen Definition die unterschied-liche Komplexität der bei Micronas her-gestellten Chips inklusive Multichip-Lösungen berücksichtigt werden.

Die wichtigste direkte Umweltauswir-kung im Testzentrum Glenrothes ist derStromverbrauch. Daher wird dieserzusammen mit dem Stromverbrauch imBackend Freiburg dargestellt. Alle ande-ren Verbräuche in Glenrothes im Jahr2007 sind auf S. 13 zusammengefasst. Im Unterschied zu den Vorjahren werdenerstmals in diesem Jahr die Verbräuchefür alle nicht produzierenden Bereichewie Verwaltung, Entwicklung, aber auchWasseraufbereitung und Abwasser-behandlung, gesondert dargestellt (vgl.Tabelle auf S. 14).

Die einzelnen Verbräuche werden lau-fend erfasst und ihre Entwicklung inregelmäßigen Abständen analysiert. Woimmer möglich, werden Sparpotenzialeausgeschöpft, z.B. durch Nutzung vonAbwärme, Kreislaufführung der Rein-raumluft oder Mehrfachnutzung vonWasser. So konnte 2007 der jährlicheEnergieaufwand durch Umbaumaß-nahmen bei der Klimatechnik in zweiGebäuden um ca. 250.000 kWh reduziertwerden.

Bei der Herstellung von Halbleitern kom-men hochreine Prozessmedien zum Ein-satz, die unterschiedliche Gefährdungs-merkmale aufweisen. Beim Umgang mitdiesen Gefahrstoffen werden stets dieaktuellen Sicherheitsstandards berück-sichtigt. In der Micronas-Gefahrstoff-datenbank werden sämtliche Daten zuden Gefahrstoffeigenschaften sowie die

12

Umweltdaten 2007

Micronas

UmweltErklärung 2007

Umweltdaten

2004

2005

2006

2007 0,011

Erdgas Heizöl

0,014

0,017

0,011

Fossile Energie (kWh/NPU)

2004

2005

2006

2007 0,13

0,19

0,15

0,14

Prozesschemikalien (g/NPU)

2004

2005

2006

2007 0,049

0,045

0,055

0,045

Prozesswasser (g/NPU)

2004

2005

2006

2007 0,09

0,08

Freiburg Glenrothes

0,09

0,10

Strom (kWh/NPU)

B A C K E N DVerbrauch pro „Normalized Package Unit“

jeweiligen Verbräuche seit 1994 gesam-melt und ausgewertet. Wo immer mög-lich, werden die Verbräuche von Pro-zesschemikalien durch „Sparrezepte“reduziert bzw. gefährliche Chemikaliendurch weniger gefährliche substituiert:Bereits im Jahr 2006 wurden im Rahmeneines Umweltprojektes eine gesund-heitsschädliche und umweltgefährlicheProzesschemikalie und ein organischesLösemittel in der 150-mm-Fertigungsliniezu mehr als 50 % durch eine wässrigeLösung substituiert. In zwei Nachfolge-projekten (siehe auch Umweltprojekt„Chemikalieneinsparung in der Pro-duktion“ auf Seite 10) wird die Substi-tution auf weitere Ablackprozesse in der150-mm- und der 200-mm-Fertigungs-linie übertragen, sodass voraussichtlich2009 sämtliche Prozesse umgestellt sindund dann insgesamt ca. 56.000 l/Jahrder gesundheitsschädlichen und umwelt-gefährlichen Prozesschemikalie und desorganischen Lösemittels eingespart wer-den. „Zusammen mit den eingespartenEntsorgungskosten ergibt sich darauseine Kostenredukton in Höhe von ca.340.000 EUR/Jahr“, freut sich Franz Nilius,verantwortlicher Bereichsleiter.

Abfälle

Besonders in der Waferfertigung fallenviele unterschiedliche Abfallstoffe an,die nach der Trennung teilweise recycel-bar sind. Inzwischen werden auf demFirmengelände rund 40 Fraktionen Abfallgetrennt gesammelt; die mengenmäßigbedeutendsten Abfälle sind in der Tabelleauf Seite 14 aufgelistet. Auch außerhalbder Produktionsbereiche wird eineTrennung von Papier, Wertstoffen, Glasund Restmüll durchgeführt – im gesam-ten Firmengelände sind Abfallsammel-stationen aufgestellt. Mitarbeiter vonMicronas und Fremdfirmen wurden um-fassend über das Micronas-Abfallkon-zept informiert. Bei der Abfallentsorgungarbeitet Micronas ausschließlich mit zertifizierten Entsorgungsfachbetriebenzusammen. „Im Rahmen eines 2007durchgeführten Umweltprojektes wur-den etwa 30 t Kunststoffabfall separatgesammelt und der stofflichen Verwer-tung zugeführt“, berichtet Ralf Schäfer,Leiter der Abfallwirtschaft bei Micronas.

Emissionen und Immissionsschutz

Die Emissionen von Lösemitteln undperfluorierten Kohlenwasserstoffver-

13Micronas

UmweltErklärung 2007

5,34

5,52

2,1416,64

15,54

2004

2005

2006

2007

Berufsgenossenschaft IndexMicronas Index

15,173,09

15,82

Meldepflichtige Unfälle/1.000 Mitarbeiter

DIREKTE UMWELTAUSWIRKUNGEN AM STANDORT GLENROTHES

Im Testzentrum in Glenrothes wird etwa die Hälfte der fertigen Chips elektrisch auf Funktionsfähigkeit getestet.Das Testequipment verbraucht elektrische Energie, d.h. die wichtigste direkte Umweltauswirkung ist derStromverbrauch und die damit verursachten CO2-Emissionen. Seit 2007 wurden die CO2-Emissionen durchEinkauf von umweltfreundlich erzeugtem Strom um ein Drittel reduziert.

Wesentliche Kennzahlen 2007

●● Energieverbrauch: 3.235 MWh Strom (entsprechend 1.281 t CO2), 13,4 MWh Erdgas (2,5 t CO2); der Strom-verbrauch für 2004 bis 2007 ist in der Kennzahl „Stromverbrauch Backend (kWh/NPU)“ für den StandortFreiburg berücksichtigt.

●● Wichtigste Abfallfraktionen: 20 t Papier in die Wiederverwertung; 30 t Kunststoffabfälle in die Beseitigung.

●● Investitionen in den betriebl. Umweltschutz: in Tabelle auf S. 14 integriert; Anteil Glenrothes 2007: ca. 6,3 %.

●● Meldepflichtige Unfälle: keine.

bindungen durch die Waferfertigung stellen einewesentliche Umweltauswirkung für Micronas dar.Im Abschnitt Umweltprojekte (S. 8ff) wurde bereitsdas Projekt zur Reduzierung der Lösemittelemis-sionen näher beschrieben. Eine weitere Maßnahmezur Reduzierung der PFC-Emissionen war 2007 dieOptimierung von Prozessrezepten an Anlagen – z.B.wurde der Verbrauch von Schwefelhexafluorid imBondpad-Ätzprozess um bis zu 60 % reduziert.„Hierdurch konnten ca. 500 kg Gas eingespart werden, was einer Emissionsreduktion von etwa1.900 t CO2-Äquivalenten entspricht”, hebt FranzNilius, verantwortlicher Projektleiter, hervor. Das Betriebsgelände von Micronas liegt in einemIndustriegebiet. Die Immissionsrichtwerte für be-nachbarte Gebiete nach TA Lärm werden zuver-lässig unterschritten.

Abwasser und Gewässerschutz

Micronas hat in den vergangenen Jahren großeAnstrengungen unternommen, um die Belastungenim Bereich Abwasser weiter zu reduzieren. Hierzugehört der Bau der so genannten Zentralen Abwas-serbehandlung, in der die Galvanik-Abwässerbehandelt und die verbrauchten Prozesschemi-kalien aus der Waferfertigung in separaten Tankszur Wiederverwendung in der Neutralisations-anlage bzw. zur externen Entsorgung gesammeltwerden. Alle behandelten Abwässer werden zudemdurch ein eigenes, mit moderner Technik ausge-stattetes Analyselabor überwacht. „Die zulässigenGrenzwerte des Abwassers werden nachweislicherheblich unterschritten“, freut sich Dr. ChristianMueller, Gewässerschutzbeauftragter bei Micronas.

Lagerung und Umgang mit Gefahrstoffen

Gefahrstoffe werden bei Micronas ihren chemi-schen und physikalischen Eigenschaften entspre-chend in verschiedene Lagerklassen eingeteilt undgetrennt gelagert. „Sämtliche Lager- und Bereit-stellungsräume sind mit modernen gewässer-schutztechnischen Sicherheitsvorkehrungen aus-gerüstet – z.B. mit doppelwandigen Leitungen,Auffangwannen, Leckagesensoren und automati-scher Alarmierung“, betont Helmut Nübling, Leiterdes Gefahrstofflagers.

14 Micronas

UmweltErklärung 2007

Umweltdaten

Abfall- Gewässer- Lärm- Luft- Naturschutz Boden- Gesamtwirtschaft schutz bekämpfung reinhaltung und Land- sanierung

schaftspflege

Abfallarten V(erwertung)/ Menge (t) Menge (t) Menge (t) Menge (t)B(eseitigung) 2004 2005 2006 2007

Besonders Säuren V 598 544 540 483

überwachungsbedürftige B 753 508 327 210

Abfälle Lösemittel V 61 69 54 67

B 62 60 53 14

Saure Beizlösungen V - - - -

B 41 22 23 17

Nicht besonders Papier V 177 154 167 153

überwachungsbedürftige Kunststoffe V 311 326 308 285

Abfälle Stahlschrott V 210 300 77 52

Holz V 100 93 84 50

Verwertungsanteil am gesamten Abfallaufkommen (%) 64,3 71,7 76,6 83,5

Mengenmäßig wichtigste Abfälle in Freiburg

CO2-Emissionen aus dem Energieverbrauch in Freiburg

CO2-Emissionsfaktoren für Strom von den StromlieferantenCO2-Emissionsfaktoren für fossile Brennstoffe aus GEMIS

Investitionen in den betrieblichen Umweltschutz

in Freiburg und in Glenrothes (in EUR)

2004 2005 2006 2007

CO2 Strom (t) 18.191 19.358 19.528 20.334

CO2 Erdgas/Heizöl (t) 6.435 6.264 5.902 4.940

2004 199.000 596.000 30.000 254.500 5.000 - 1.084.500

2005 120.000 195.000 50.000 80.000 4.000 - 449.000

2006 23.500 80.000 10.000 100.000 5.000 15.000 223.500

2007 127.000 119.000 10.000 90.000 29.000 25.000 400.000

Verbräuche von allen nicht produzierenden Bereichen in Freiburg

2004 2005 2006 2007

Strom (kWh) 5.665.079 6.146.487 6.185.060 7.031.303

Erdgas u. Heizöl (kWh) 8.411.004 9.346.256 9.443.620 6.864.462

Stadtwasser (m3) 146.608 146.160 97.650 92.985

Chemikalien (kg)

Wasseraufbereitung u. 454.537 439.426 464.096 396.067Abwasserbehandlung

Sonstige Chemikalien7.930 4.148 7.553 9.712und Gase (kg)

Wie in den Jahren zuvor schon berich-tet, kam es 1984 zu einer lokalen Konta-mination des Bodens und des Grund-wassers mit chlorierten Kohlenwasser-stoffen. Die Sanierung wird mit demUmweltschutzamt der Stadt Freiburgbetrieben und läuft planmäßig.

Arbeitssicherheit

Bei Micronas in Freiburg liegen dieUnfallzahlen weit unter dem Vergleichs-index der Berufsgenossenschaft. DasUnfallgeschehen wird seit Jahren syste-matisch in einer Datenbank erfasst;dadurch sind Trends und Schwerpunkteeindeutig zu verfolgen. „Auch die Notfall-vorsorge und die Gefährdungsanalysenan den Arbeitsplätzen tragen dazu bei,die Unfallzahlen auf diesem niedrigenStand zu halten“, hebt Peter Guski, Fach-kraft für Arbeitssicherheit, hervor. ImJahr 2007 gab es im Werk Freiburg fünfmeldepflichtige Arbeitsunfälle, eineHäufung in bestimmten Bereichen tratnicht auf. Korrektive Maßnahmen wur-den umgesetzt.

Brandschutz

Das Micronas-Brandschutzkonzept um-fasst Maßnahmen zur Vermeidung vonBrandgefahren, zur Brandfrüherkennungsowie zum abwehrenden Brandschutz.Die Sicherheitsanforderungen werdenvom Brandschutzbeauftragten PeterHess gemeinsam mit einem Fachinge-nieur der Schadenversicherung über-prüft. Zusammen mit der von AndreasMerkt geleiteten Abteilung Plant Engi-neering and Facilities werden die not-wendigen Brandschutzmaßnahmen beiNeu- und Umbauten umgesetzt. DieFirmengebäude sind fast vollständig mitSprinklern ausgestattet. Weiterhin sind ingefährdeten Bereichen Gaslöschanlageninstalliert. Zur Brandfrüherkennung sinddie Gebäude zusätzlich mit einer automa-

tischen Brand- und Gefahrenmeldean-lage, die im Gefahrenfall kurze Reaktions-zeiten ermöglicht, ausgestattet.

Gefahrenabwehr

Die vorhandenen Gefahrenabwehrplänewerden ständig aktualisiert und stehenallen Sicherheitskräften zur Verfügung.Für Notfälle gibt es seit 1991 eine„Betriebliche Notfallgruppe“, die gegen-wärtig 30 Personen umfasst, darunterausgebildete Feuerwehrleute. Trotz allerpräventiven Maßnahmen kann es den-noch zu Notfällen kommen, deren Aus-wirkungen durch die Einsatzkräfte sogering wie möglich gehalten werdenmüssen. Deshalb führt Peter Guski, Leiter der Notfallgruppe, realitätsnaheNotfallübungen (z.B. Rauchentwicklung,Freiwerden von gefährlichen Gasen undFlüssigkeiten, Personenschaden) durch,in denen Sicherheitsverantwortliche vomDienst (SvD) die Einsatzleitung überneh-men und gemeinsam mit Mitgliedernder Notfallgruppe und Betriebssanitäternden Notfall abarbeiten.

Schulungsmaßnahmen

Das UAB-Team führt regelmäßig Schu-lungen durch, um die Kenntnisse derMitarbeiter rund um das Thema Umwelt-schutz, Arbeitssicherheit und Brand-schutz auf dem aktuellen Stand zu hal-ten. Dazu gehören intensive Trainings derSvD, die es in allen Produktionsbereichengibt. Pro Jahr finden 150 individuelletheoretische und praktische Schulungender SvD statt. Ergänzend zu arbeits-platzbezogenen Sicherheitsunterweisun-gen wurden in den letzten Jahren ver-stärkt vertiefende Schulungen über diegefährlichen Eigenschaften, die Toxiko-logie und den Umgang mit Chemikalienund Gasen sowie geeignete Schutzmaß-nahmen angeboten; 2007 wurden dies-bezüglich 100 Mitarbeiter geschult.

Indirekte Umweltauswirkungen

Neben den direkten Umweltauswir-kungen, die unmittelbar mit dem Produk-tionsprozess zusammenhängen, sind ineiner Gesamtbetrachtung auch die sogenannten indirekten Umweltauswir-kungen zu berücksichtigen. Darunter ver-steht man alle Auswirkungen der vor-und nachgelagerten Prozesse, die wäh-rend des Produktlebenszyklus, also durchBereitstellung von Rohstoffen und Trans-port, Gebrauch und Entsorgung derProdukte, entstehen. Für Micronas wer-den drei wesentliche indirekte Umwelt-auswirkungen identifiziert:➊➊ Umweltauswirkungen durch die Her-

stellung von Energie, Roh- und Be-triebsstoffen; hier besteht momentankein Handlungsspielraum.

➋ Umweltauswirkungen durch die Ener-gieeinsparung infolge Verwendungder Produkte in Fahrzeugen. Wie aufSeite 4 beschrieben, tragen Micronas-ICs dazu bei, den Kraftstoffverbrauchim Auto zu reduzieren.

➌ Umweltauswirkungen durch in denProdukten enthaltene umweltgefähr-liche Stoffe. Auch wenn von den einzelnen fertigen Mikrochips keineGefährdungen ausgehen, sind sie inihrer Summe umweltrelevant. Inter-nationale und europäische Richtliniensowie der Kunde geben vor, welcheInhaltsstoffe zu vermeiden sind. BeiMicronas wird die Einhaltung dieserVorgaben regelmäßig anhand vonInhaltsstofflisten und Analysedatender Materialzulieferer oder mittelseigener Analysen überprüft. DieseDaten werden den Micronas-Kundenin produktspezifischen Datenbanken,beispielsweise im InternationalenMaterial-Daten-System (IMDS) derAutomobilindustrie, zur Verfügunggestellt.

15Micronas

UmweltErklärung 2007

Umweltfreundlich zum Betrieb:

Über ein Drittel der Freiburger Micronas-

Belegschaft nutzt bereits die vom Unter-

nehmen bezuschusste Jahreskarte für den

öffentlichen Nahverkehr, Tendenz steigend.

Erstmals erschienen: Juli 2008 Gestaltung: excite-design.de

Micronas GmbH

Hans-Bunte-Straße 19 · D-79108 Freiburg

Postfach 840 · D-79008 Freiburg

Telefon +49-761-517-0 · Fax +49-761-517-2174

E-Mail: info@micronas.com · www.micronas.com

Juli 2008

Bestell-Nr. U-0008-1D

Gedruckt auf Zanders Mega halbmatt, hergestellt aus 50 % wiederaufbereiteten

Fasern und aus 50 % chlorfrei gebleichten Zellstoffen.

Ansprechpartner:

Umweltmanagementbeauftragter

Dr. Norbert Streckfuß

Telefon +49-761-517-3050

norbert.streckfuss@micronas.com

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Umwelterklärung

Die nächste konsolidierte Umwelterklärung wird spätestens im Juli 2011 zur Validierung vorgelegt. In den Jahren dazwischen wird eine jährliche Aktualisierung der Umwelterklärungfür die Validierung seitens des Umweltgutachters erstellt.

Umweltgutachter/Umweltgutachterorganisation

Als Umweltgutachter/Umweltgutachterorganisation wurde beauftragt:

Dr.-Ing. Reiner Beer (Zulassungs-Nr. D-V-0007)INTECHNICA GmbH (Zulassungs-Nr. D-V-0248)Ostendstraße 18190482 Nürnberg

Validierung

Nach Prüfung der Umweltpolitik, des Umweltmanagementsystems, der Methodikund Ergebnisse der Umweltprüfung/-betriebsführung, der Umweltziele und desUmweltprogramms sowie der Umwelterklärung, erkläre ich die letztere der FirmaMicronas GmbH, Hans-Bunte-Straße 19, 79108 Freiburg, gemäß Verordnung EG761/2001 in der Fassung vom 03.02.2006 für gültig.

Juli 2008 Dr.-Ing. R. Beer, Umweltgutachter