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PHYSIK DÜNNER SCHICHTEN Gesamtbibliographie PHYSICS OF THIN FILMS Complete Bibliography PHYSIQUE DES LAMES MINCES Bibliographie d'Ensemble TEIL II • PART II • ТОМЕН von HERBERT MAYER Professor für Physik an der Technischen Universität Clausthal mit gelegentlicher Mitarbeit der Herren ST. VON AUFSCHNAITER, K. BEHRNDT, H. BÖHME, W. CIRKLER, Frau L. DAHNKE, W. ELBEL, H. ENGELHARD, D. GERMER, H. GÖHRE, K. GRÜNEWALD, P. HARMS, K. HARTIG, B. HEIMANN, K. HEINE, B. HIETEL, D. HILLECKE, J. HÖLZL, K. HOFFMANN, K. JACOBI, Frau B. JAHN, H. KIRCHHOFF, K. KRONENBERG, J. LANGEHEINE, S. METHFESSEL, Frau KARIN MÜLLER, R. NIEDERMAYER, R. NOSSEK, F. J. PIEPENBRING, R. RAHN, H. REICHINGER, P. SCHMIDER, W. SCHROEN, C. SCHÜLER, K. SPIEGEL, W. P. STEINHAGE, D. STÜNKEL, H. THOMAS, W. WIEGREFE тосл WISSENSCHAFTLICHE VERLAGSGESELLSCHAFT MBH STUTTGART 1972

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PHYSIK D Ü N N E R SCHICHTEN Gesamtbibliographie

PHYSICS OF T H I N FILMS Complete Bibliography

PHYSIQUE DES LAMES MINCES

Bibliographie d'Ensemble

T E I L II • PART II • Т О М Е Н

von

H E R B E R T MAYER Professor für Physik

an der Technischen Universität Clausthal

mit gelegentlicher Mitarbeit der Herren

ST. VON AUFSCHNAITER, K. BEHRNDT, H. BÖHME, W. CIRKLER, F rau L. DAHNKE,

W. ELBEL, H. ENGELHARD, D. GERMER, H. GÖHRE, K. GRÜNEWALD, P . HARMS,

K. HARTIG, B. HEIMANN, K. HEINE, B. HIETEL, D. HILLECKE, J. HÖLZL,

K. HOFFMANN, K. JACOBI, F r a u B. JAHN, H. KIRCHHOFF, K. KRONENBERG,

J. LANGEHEINE, S. METHFESSEL, F rau KARIN MÜLLER, R. NIEDERMAYER, R. NOSSEK,

F. J . PIEPENBRING, R. RAHN, H. REICHINGER, P . SCHMIDER, W. SCHROEN,

C. SCHÜLER, K. SPIEGEL, W. P. STEINHAGE, D. STÜNKEL, H. THOMAS, W. WIEGREFE

тосл WISSENSCHAFTLICHE VERLAGSGESELLSCHAFT MBH

STUTTGART 1972

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Stichwortverzeichnis zu den Schlüsselzahlen 1-112

Index of classification terms and corresponding code numbers 1 to 112

Index des termes significatifs et des chiffres-code correspondants 1 a 112

Z Zusammenfassende Veröffentlichungen. Review articles. Resumes

T Veröffentlichungen mit rein oder vorwiegend theoretischem Inhal t Theoretical or predominant ly theoretical publications Publications ä predominence theoret iques

Herstellung, Schlüsselzahlen 1-10 Prepara t ion of thin films. Code numbers 1-10 Prepara t ion des couches minces. Chiffres-code 1-10

1 Trägervorbereitung einschl. aller Arten Oberflächenbehandlung Preparation of the support (includ­ing all sorts of pretreatment of its surface) Preparation du support

2 Aufdampfen, Sublimation Evaporation, sublimation Evaporation, sublimation

3 Zerstäubung durch Ionenbeschuß, Niederschläge aus kaltem Plasma Sputtering Pulverisation

4 Spreiten Spreading Etalement

5 Adsorption (siehe auch Nr. 26) Adsorption (see also Nr. 26) Adsorption

6 Diffusion Diffusion Diffusion

7 Elektrochemische "Verfahren, bes. Elektrolyse Electrochemical processes, esp. electrolysis Processus electrochimiques, part. electrolyse

8 Chemische Reaktionen (Transport­reaktionen, Oberflächenreaktionen, Polymerisation) Chemical reactions (transport-reac­tions, surface reactions, polymeri­zation) Reactions Chimiques (de Trans­port, ä la surface du support, po­lymerisation)

9 Diverse Verfahren (Ätzen, Ein­brennen, Ablösen etc.) Miscellaneous techniques (etching, fire-polish, stripping etc.) Processus divers (etching, par chauffage, decollage etc.)

10 Herstellung, Allgemeines Miscellaneous Preparation, generalites

Schichtdickemessung. Schlüsselzahlen 11-19 Determination of film thickness. Code numbers 11-19 Determinat ion de l 'epaisseur des couches minces. Chiffres-code 11-19

11 Allgemeines Miscellaneous Generalites

12 Massendicke (Druckmeßmethode, Elektrolytische -, Ionisations-, Mo­lekularstrahl-, Röntgenfluores-

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18 Stichwortverzeichnis - Index

zenz-, Schwingquarz-, Wäge-methode) Mass determination (microbalance techniques, quartz oscillators, elec­trolytic methods, surface ionisa-tion, molecular beams, X-ray fluor­escence, pressure measurements) Epaisseur massique (par pesee, quartz osculant, methodes electro-lytiques, de ionisation, jets atomi-ques, fluorescence des rayons X)

13 Kapazitätsdicke Film thickness by capacity measu­rement Determination par mesure de ca-pacites

14 Widerstandsdicke Film thickness by resistance mea­surement Determination par mesure de re-sistences

15 Chemische Methoden Film thickness by chemical me-

20 Gestalt der Oberfläche (Rauhig­keit, wahre Oberfläche) Surface configuration (roughness, true surface area) Configuration de la surface, rugo-site superflcielle, l'aire veritable de la surface

21 Atomanordnung, Atomentfernung (Gefüge, Polier-(Beilby-)Schicht, reine Oberfläche, natürliche Fremd­schichten) Atomic (molecular) arrangement, surface structure, contamination layers (Beilby), clean surfaces Arrangement (des atoms, des mo-

24 Energieaustausch (Akkommo­dation, Akkommodationskoeffl-zient) Energy transfer (accommodation, -coefficient)

thods Determination par des methodes chimiques

16 Kernphysikalische Methoden Film thickness by radiochemical (tracer) methods Determination par des methodes nucleaires

17 Optische Methoden (Intensitäts-, Interferenz-, Phasen-, Polarisa­tionsmethoden, Anlauffarben) Film thickness by optical methods (measurements of intensities, in­terference phenomena, phase chan­ges, polarisation) Determination par des methodes optiques (mesure d'intensite, d'in-terference, des changements de phase, de polarisation)

18 Sonstige Methoden Miscellaneous methods Autres methodes

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lecules), structur de la surface, couches de polissage (Beilby-couche), surfaces propres, couches contaminantes

22 Grenzflächen-Energien, -Entro­pien, -Kräfte, -Potentiale, Adhä­sion, Haftfestigkeit, Reibung, Vis­kosität, Kohäsion Surface energy, -entropy, -for­ces, -potential (adhesion, adhe­rence, friction, viscosity) Energie, -entropie, -forces,-poten-tiel de surface (adhesion, adhe­rence, friction, viscosit.e)

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Echange d'energie (accommodation thermique, -coefficient)

25 Reflexion, Beugung von Atomen, Molekülen etc. Reflection and diffraction of atoms

Oberfläche / Grenzfläche / Grenzschicht. Schlüsselzahlen 20-23 Surface / Interface / Boundary layer. Code numbers 20-23 Surface / Couches limites / Couches de surface. Chiffres-code 20-23

Elementarprozesse an Grenzflächen. Schlüsselzahlen 24-28 Elementary processes on surfaces. Code numbers 24-28 Processus elementaires ä la surface. Chiffres-code 24-28

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Stichwortverzeichnis - Index 19

and molecules Reflexion et diffraction des atoms et des molecules

26 Anlagerung von Atomen, Molekü­len, Ionen etc.: Kondensation, Ad­sorption (Einzelprozesse) Capture of atoms, molecules, ions etc. (adsorption, condensation [single particle processes]) Capture des atoms, des molecules, des ions etc. (adsorption, conden­sation [processus individuels])

27 Verweilzeit, Einschwingvorgänge, Oberflächendiffusion, Haftkoeffi­

zient, Verdampfung, Desorption Sticking coefficient, surface dif­fusion, life time, desorption, eva­poration Coefficient d'adherence, diffusion sur la surface, temps d'attarde-ment, desorption, evaporation

28 Chemische und elektrochemische Grenzflächen Vorgänge einschließ­lich Katalyse und Korrosion Chemical and electrochemical pro­cesses (reactions, catalysis, corro­sion) Processus chimiques et electro-chimiques (reactions, catalysis, corrosion)

Schichtwachstum - Schichtstruktur. Schlüsselzahlen 29-Film growth and film s t ructure . Code numbers 29-37 Croissance et s t ructure des couches. Chiffres-code 29-37

37

29 Homogene und heterogene Kon­densation (Kollektive Prozesse) Condensation (homogeneous and heterogeneous) Condensation (homogene et hete­rogene)

30 Keimbildung, Bekernung, Wachs­tumsvorgänge Nucleation, condensation nuclei, crystal growth Formation des germes, influence des noyaux, croissance des cristaux

31 Nahordnung (amorphe Schichten) Short range order (amorphous Alms) Ordre ä rayon reduit (couches amorphes)

32 Fernordnung, einkristalliner Zu­stand, Epitaxie, Pseudomorphie, Inselschichten, Kristallit- und Korngröße, Gitterkonstante, poly­kristalliner Zustand, Textur Long range order, single crystal Alms, epitaxy, texture, pseudo­morphism, grain dimensions, lat­tice constants, island-structures, polycrystalline Alms Order ä distance, couches mono-cristallines, epitaxie, texture, pseudomorphisme, couches discon­tinues, dimensions des grains,

constantes du reseau, couches polycristallines

33 Fehlordnungen . . . [Diffusion, bes. von Fremdatomen, Fehlstellen, auch Stapelfehler, Zwillinge, Füll­faktor bzw. Dichte, Porosität, Ver­setzungen, Schicht-(Layer-) Struk­turen] Structure defects (Stacking faults, twinning, dislocations, porosity, density, foreign atoms and their diffusion) Defauts de structure, defauts d'empilement, mäclage, disloca­tions, densite, porosite, influence des atoms etrangers et leur dif­fusion

34 Strukturänderungen (spon­tane und erzwungene) Structure changes (nonactivated and activated) Changements de structure (spon­tanes et forces)

35 Änderung des Aggregatzustandes Changes of state Changements d'etat

36 Fremdstoffeinflüsse InAuence of foreign substances on the structure InAuence des impuretes sur la structure

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20 Stichwortverzeichnis - Index

Methoden zur S t ruk turbes t immung. Schlüsselzahlen 38-45 Methods of s t ruc ture determinat ion. Code numbers 38-45 Methodes de determinat ion de la s t ructure . Chiffres-code 38-45

38 Elektronenbeugung - Beugung langsamer Elektronen (LEED) Low-energy-electron diffraction (LEED) Diffraction des electrons lents

39 Elektronenbeugung - Beugung schneller Elektronen High-energy-electron diffraction (HEED and RHEED) Diffraction des electrons ä haute energie

40 Elektronenmikroskopie, Moire-Technik Electron microscopy, Moire-tech­nique Microscopie electronique, tech­nique Moire

41 Röntgenbeugung, -Streuung, -Strahlung

X-Rays, diffraction, scattering Diffraction des rayons X et diffu­sion

42 Beugung von Korpuskularstrahlen Diffraction of neutrons, atoms, mo­lecules, blocking and channeling Diffraction des rayons corpuscu-lairs, effect de canalisation et d'arret

43 Feldionen-, Feldelekronenmikro-skopie Field-electron-, field-ion-micro­scopy Microscopie ä emission de champs d'electrons et d'ions

44 Diverse Methoden Miscellaneous methods Autres methodes

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Mechanische Eigenschaften. Schlüsselzahlen 46-49 Mechanical propert ies of films. Code numbers 46-49 Proprietes mechaniques. Chiffres-code 46-49

46 Elastische Eigenschaften Elastic properties Proprietes elastiques

47 Plastische Eigenschaften, Zerreiß­festigkeit Plastic properties, tensile strength Proprietes plastiques, resistance ä la traction

48 Spannungen Strains Tensions

49 Härte, auch Haftfestigkeit Hardness Durete

Thermische Eigenschaften. Schlüsselzahl 50 Thermal propert ies . Code numbers 50 Proprie tes thermiques . Chiffres-code 50

50 "Wärmeleitfähigkeit, -Übergang, spezifische Wärme, Ausdehnungs­koeffizient, Objekterwärmung, Schmelzpunkt, Oberflächenther­mometer, Thermodynamik Heat conductivity, -transfer, spe­cific heat, coefficient of thermal expansion, film heating, fusion

point, surface thermometers, ther­modynamics Conductivite et transf ert de la chaleur, chaleur speciflque, coeffi­cient de dilatation, chauffage des couches, point de fusion, thermo-metres de surface, thermodyna-mique

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Stichwortverzeichnis - Index 21

Optische Eigenschaften. Schlüsselzahlen 51-Optical propert ies. Code numbers 51-64 Proprietes optiques. Chiffres-code 51-64

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51 Isotrope Schichten Isotropie films Couches isotropiques

52 Anisotrope Schichten Anisotropie films Couches anisotropiques

53 Inselschichten Island (discontinous) Alms Couches discontinues

54 Absorptionsvermögen Absorption Absorption

55 Durchlässigkeitsvermögen, auch Phasenänderung (Ellipsometrie) Transmissivity Transmission

56 Reflexionsvermögen (einschl. Thermoreflexion, Totalreflexion, Eindringtiefe, Strahlversetzung), Phasenänderung (Ellipsometrie) Reflection (incl. total reflection, penetration depth, thermorefl.ee-tion etc.), phase change (ellipso­metrie) Reflexion et changement de phase (incl. thermoreflexion, reflexion totale, profondeur de penetration, ellipsometrie)

57 Streuvermögen, Beugungseffekte Diffusion, diffraction Diffusion, diffraction

58 Erhöhung, Verminderung von Ab­sorption, Reflexion, Interferenz­

schichten, Vielfachschichten Increase and decrease of reflec­tion, interference filters, stacked films L'augmentation et l'abaissement du facteur de reflexion, filters in-terf erentiels, couches multiples

59 Optische Konstanten - Methoden Optical constants - methods of determination Constantes optiques - methods de mesure

60 Optische Konstanten - Ergebnisse Optical constants - result s Constantes optiques - resultats

61 Plasmaschwingungen, Über­gangsstrahlung, Laserstrahlung Plasmaoscillations, transition ra­diation, laser-radiation Oscillations de plasma, radiation de transition, radiation-laser

62 Lumineszenz (auch Elektrolumi-neszenz, Lumineszenzdiode, Laser­diode etc.) Luminescence (incl. electrolumi­nescence, diode de luminescence, diode laser)

63 Anwendungen. . . . (Dünnschicht­polarisationsfilter, Interferenz­filter, Dioden-Laser etc.) Applications (interference filters, polarisation filters, etc.) Applications (filtres d'interference, filtres de polarisation, etc.)

64 —

Elektrische Eigenschaften. Schlüsselzahlen 65-81 Electrical propert ies. Code numbers 65-81 Proprietes electriques. Chiffres-code 65-81

65 Elektronenstruktur, elektrische Oberflächenzustände, inneres Po­tential Electronic structure of the sur­face, surface states, inner potential Etats electroniques de surface, potentiel intern

66 Längswiderstand, einschl. Cermet-schichten Conductivity in the film plane (incl. «cermet»-films) Conductivite longitudinale (incl. couches «cermet»)

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22 Stichwortverzeichnis - Index

67 Querwiderstand (Tunneleffekt, Tunnelemission, Tunnel- bzw. Dünnschichtdioden, MIS-, MOS-, MOM- und ähnliche Strukturen, Transistor, Kontakterscheinungen) Conductivity perpendicular to the film plane (tunneling, tunnelemis-sion, tunneldiodes, MIS, MOS, MOM etc. structures, thin film transistor, contact phenomena) Conductivite transversale effet (tunnel, structures MIS, MOS, MOM etc., phenomenes de contact)

68 Widerstand zusammenhängender Metallschichten Conductivity of continious metal films Conductivity des couches metalli-ques continues

69 Widerstand von Inselschichten Conductivity of island (discon-tinous) films Conductivite des couches metalli-ques discontinues (Granulaires)

70 Widerstand von Labyrinthschichten Conductivity of films with laby­rinth-structures Conductivite des couches a struc­ture labyrinthe

71 Halbleiterschichten (Transportvor­gänge, Trägerbeweglichkeit, Raum­ladung, Potentialverlauf, Ober­flächenladung, -potential, Feld­effekt, Sperrschichten) Semiconductor films (transport phenomena, carrier mobility, space charge, potential distribution, sur­face charges, surface potential, field-effect, barrier layers) Couches semiconductrices (pheno­menes de transport, mobilite des porteurs, charge d'espace, distri­bution de potentiel, charges de surface, potentiel de surface, effet de champs, couches d'arret)

72 Struktureinflüsse Structure influences on the con­ductivity Influences de la structure sur la conductivite

73 Temperaturabhängigkeit, Strom­rauschen

Temperature dependence, noise Dependence de la temperature, bruit

74 Weglängeneffekte, Weglängen Size effects, mean free paths of conduction electrons Effets de libre parcours, libre parcours moyen des electrons de conductivite

75 Galvanomagnetische, thermoelek-trische und sonstige Effekte (Hall­effekt, magnetische Widerstands­änderung, Widerstandsänderung durch Aufladung, Feldeffekte) Galvanomagnetic, thermoelectric and similar effects (Hall-effect, conductivity changes by magnetic fields, by charging etc.) Effets galvanomagnetiques, ther-moelectriques etc. (effet Hall, changement de la conductivite dans des champs magnetiques, par chargement de la couche etc.)

76 Innerer Photoeffekt, Photoleitung Internal photoelectric effect, pho­toconductivity Effet photoelectrique intern, effet photovoltaique, photoconductivite

77 SkineffeKt Skin-effect Effet de peau

78 Dielektrische und piezoelektrische Eigenschaften Dielectric and piezoelectric pro­perties Proprietes dielectriques et piezo-electriques

79 Durchschlagsfeldstärke Break down - field strength Potentiel disruptif

80 Ferro- und ferrielektrische Eigen­schaften, Elektrostriktion Ferro-ferri-electric properties, electrostriction Proprietes ferro et ferri-elec-triques, electrostriction

81 Anwendungen (Microminiturisie-rung) Applications (microminiaturi­zation) Applications (microminiaturi­sation)

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Stichwortverzeichnis - Index 23

Supralei tung. Schlüsselzahlen 82-89 Superconducting propert ies. Code numbers 82-89 Supraconductivi te . Chiffres-code 82-89

82 Übergangstemperatur, Abhängig-gigkeit von der Schichtbeanspru­chung, -dicke, -reinheit, -struk­tur, -aufladung, Vielfachschichten Transition temperature (depen­dence on film thickness, -purity, -structure, multilayers films) Temperature de transition (depen­dence de l'epaisseur de la couche, - de la proprete, - de la structure, couches multiples)

83 Magnetisierung [Eindringtiefe und Abhängigkeiten derselben vom Magnetfeld, Schichtdicke, Schicht­reinheit, Temperatur; kritisches Feld, Quanteneffekte, Supraleiter 2. Art (gemischter Zustand), Wir­bel, Zwischenzustand, Spinreso­nanz] Magnetization (penetration depth and its dependence on the mag­netic field, film thickness, purity, temperature; critical field strength, quantum effects, type II super­conductivity, vortices, spinreso-nance) L'aimantation (profondeur de pe­netration, dependence du champ magnetique, - de l'epaisseur, - de la proprete, - de la temperature; champ critique, effets quantiques)

84 Kritischer Strom Critical current Intensite critique du courant

85 Tunnelerscheinungen einschl. Ener­gielücke (Berührung normalleiten­der und supraleitender Schichten, „Proximity-Effekt", schwach su­praleitende Kontakte, Tunneln von einzelnen Elektronen, Tunneln von Elektronenpaaren, Josepheon-Effekt)

Tunneling (energy gap, contact with normal conductors, proxi­mity effects, weak superconduct­ing contacts, tunneling of single electrons and electron pairs, Jo-sephson-Tunneling) Phenomenes de tunnel, bände in-terdite, contact avec conducteurs normaux, contacts superconduc-teures faibles, effets de proximite, effets tunnel d'electrons uniques et des pairs, effet tunnel Josephson)

86 Strahlungsabsorption Absorption of radiation in the superconducting state Absorption de rayonnements dans l'etat de supraconductivite

87 Thermische Erscheinungen (Hyste­rese, thermische und nichtther­mische Unterkühlung) Thermal phenomena (hysteresis, supercooling) Proprietes thermiques (hysteresis, thermique et non-thermique re-froidissement au dessous du point critique)

88 Anwendungen . . . . (Cryotrons, Starkfeld-Supraleiter, Teilchen­zähler, Übergang n- und p-lei-tender, supraleitender Halbleiter, Wirbelerscheinungen, Diverse) Applications (cryotrons, particle detectors, transition between n-and p-type superconducting semi­conductors, vortices etc.) Applications (cryogeniques, detec-teurs de particules, transition entre semiconducteurs supracon-ductrices de type n et p, tour-billons)

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Magnetische Eigenschaften, antif erromagnetische Eigenschaften, Magnetooptik. Schlüsselzahlen 90-101 Magnetic propert ies. Code numbers 90-101 Proprietes magnet iques. Chiffres-code 90-101

90 Spontane Magnetisierung (Curie­punkt, Schichtdickeabhängigkeit, Temperaturabhängigkeit)

Spontaneous magnetization, its dependence on thickness and tem­perature, Curie point

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24 Stichwortverzeichnis - Index

L'aimantation spontanee, depen­dence de l'epaisseur et de la tem­perature, point de Curie

91 Ferromagnetische Resonanz, Spin­wellen Ferromagnetic resonance, spin waves Resonance ferromagnetique, ondes de spin

92 Anisotropie, Magnetostriktion Anisotropy, magnetistriction Anisotropie, magnetostriction

93 Paramagnetismus, Diamagnetis-mus, Supraparamagnetismus, Antiferromagnetismus Paramagnetic, diamagnetic, super­paramagnetic and antiferromag-netic properties Proprietes diamagnetiques, supra-paramagnetiques et antiferromag-netiques

94 Magnetische Wände (Bereichs- und Wandstrukturen, Wandenergie, Wandbewegung, Einfach- und Vielfachschichten) Domain walls (domain and -wall structure, wall energy, wall mo­tion, single and multiple layers) Parois magnetiques (structure, epaisseur, energie, mouvement, couches simples et multiples)

95 Pauschale und Sättigungsmagneti­sierung Magnetization and saturation magnetization Aimantation, aimantation de satu­ration

96 (Um-)Magnetisierungsvorgänge, (statischer und Impulsbetrieb, Drehprozesse, Koerzitivkraft, Remanenz, Hysterese, magnetische Kopplung in Vielfachschichten, Barkhausen-Sprünge) Magnetization reversal, (static and pulsed fields, rotation of the mag­netic vector, coercive force, remanence, hysteresis, magnetic coupling in multilayer Alms, Barkhausen pulses) L'inversion de l'aimantation dans des champs statiques et pulsants, rotation, force, coercitive, re­manence, hysteresis, couplage magnetique dans des couches multiples

97 Temperaturabhängigkeit der Magnetisierung Temperature dependence of the magnetization Dependence de l'aimantation avec la temperature

98 Faraday-Effekt Faraday-Effect Effet magnetoptique Faraday

99 Kerr-Effekt Kerr-Effect Effet magnetooptique Kerr

100 Anwendungen Applications Applications

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Elektronen- und Ionenemission. Schlüsselzahlen 102-Electron- and ion-emission. Code numbers 102-110 Emission d'electrons et d'ions. Chiffres-code 102-110

110

102 Feldelektronen-, Feldionenemis­sion, Feiddesorption Field-emission, electrons, ions, field-desorption Emission de champ d'electrons et d'ions, desorption de champ

103 Photoeffekt Photoemission Emission photoelectrique

104 Glühelektronenemission Thermoionic emission Emission thermo-ionique

105 Sekundärelektronenemission, einschl. Auger-Elektronen Secondary electron emission, Auger-emission Emission des electrons secondai-res, emission Auger

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Stichwortverzeichnis - Index 25

106 Exoelektronenemission Exoelectron emission Emission d'exoelectrons

107 Ionenemission, Oberflächenioni­sation Emission of ions, surface ionisa-tion Emission des ions, Ionisation ä la surface

108 Austrittsarbeit bzw. Potential­schwelle, Kontaktpotential, Ober­flächenpotential, inneres Potential

Work function, potential barrier, contact potential, surface poten­tial, inner potential Travail de sortie, barriere du po-tentiel, potentiel de contact, - de surface, - intern

109 Diverses Miscellaneous Miscellaneous

110 —

Wechselwirkung von Teilchen in dünnen Schichten. Schlüsselzahlen 111-112 Interact ion of part icles wi th th in films. Code numbers 111-112 Interaction ent re part iculs et couches minces. Chiffres-code 111-112

111 Elektronen (Reflexion, unelastische Streuung, Reichweiten, charakte­ristische Energieverluste, Aufhei­zung, Temperaturverteilung, An­regung von Plasmaschwingungen, Dissoziation, Desorption, chemische Reaktionen) Electrons (reflexion, elastic and inelastic scattering, path length, characteristic energy losses, heat­ing and temperature distribution, excitation of plasma oscillations, electron bombardment effects, desorption, dissociation, reactions etc.) Electrons (reflexion, elastique et inelastique, parcours, pertes d'energie caracteristiques, exci­

tation des oscillations de plasma, effets de bombardement, chauffage des couches et distribution de la temperature, dissociation, reactions chimiques etc.)

112 Ionen, Atome, Neutronen, y-Strah-len, Mösbauereffekt (Eindringtiefe, Kanal- und Sperreffekte, Proto­nenmikroskopie) Ions, atoms, neutrons, y-rays, Mös-bauer effect (penetration, blocking, channeling, proton-microscopy) Ions, atoms, neutrons, rayons gamma [penetration, eflet de ca­nal, effet d'arret, microscopie ionique (protons)]