Deflektometrie Ein Messverfahren für spiegelnde Oberflächen · ÜberdenVortragenden...

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Deflektometrie Ein Messverfahren für spiegelnde Oberflächen Dr. Alexander Zimmermann FORWISS · Universität Passau Institut für Softwaresysteme in technischen Anwendungen der Informatik 19. Oktober 2017

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DeflektometrieEin Messverfahren für spiegelnde Oberflächen

Dr. Alexander Zimmermann

FORWISS · Universität PassauInstitut für Softwaresysteme in technischen Anwendungen der Informatik

19. Oktober 2017

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Gliederung

Gliederung

Einführung Deflektometrie

3D-Rekonstruktion

Ausblick

Zusammenfassung

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Über den Vortragenden

Dr. Alexander Zimmermann

Wissenschaftlicher Mitarbeiter am FORWISS, Institut fürSoftwaresysteme in technischen Anwendungen der Informatik

Schwerpunkt: Approximation, Bildverarbeitung,Deflektometrie, Splines

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Phasenschiebene Deflektometrie

Messobjekte

lackierte (Metall-)Oberflächen

polierte (Metall-)Oberflächen

WaferGlas

WindschutzscheibenScheinwerfer(Smartphone-)DisplaysBrillengläseroptische Oberflächen

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Phasenschiebene Deflektometrie

Aufbau

Display

Kamera

Objekt

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Phasenschiebene Deflektometrie

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Phasenschiebene Deflektometrie

Aufbau für beliebige spiegelnde Oberflächen

Standard-KameraAuflösung bestimmt laterale Genauigkeit auf Objekt

Standard-DisplayAuflösung bestimmt Krümmungsempfindlichkeit auf Objekt

mehrere Aufnahmen mit geschobener PhaseObjekt wird scharf gestelltDisplay erscheint unscharf„Phasenrekonstruktion“ in jedem Bildpunkt

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Ergebnis

Basisintensitätsbild: Helligkeit

Amplitudenbild: Reflektivität

Krümmungsbild: Ebenenabweichung

Basisintensitätsbild Amplitudenbild Krümmungsbild

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Phasenschiebene Deflektometrie

Linse Basisintensitätsbild: Helligkeit

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Phasenschiebene Deflektometrie

Linse Amplitudenbild: Reflektivität

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Phasenschiebene Deflektometrie

Linse Krümmungsbild: Ebenenabweichung

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Messdauer

4 bis 12 Einzelbilder

<1s bis 15s

Rechenzeit

20ms bei 4 Bildern

260ms bei 12 Bildern

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3D-Rekonstruktion

Verbesserter Aufbau und erweiterte AlgorithmikKamera

intern kalibriert

Displayextern kalibriert bzgl. Kamera

Aufnahmemehrerer Phasenbilder

erlaubt 3D-Rekonstruktion der Oberfläche

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3D-Rekonstruktion

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3D-Rekonstruktion

DelleDurchmesser: 10mmHöhe: 14µm

BeuleDurchmesser: 6mmHöhe: 12µm

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Vergleich

Konfokale Messung - deflektometrische MessungVermessung eines Dellenpaares (45µm/10µm Tiefe) auf poliertemBlech

Quelle: Micro-Epsilon Messtechnik GmbH & Co. KG

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3D-Rekonstruktion

Messdauer

8 bis 48 Einzelbilder

2s bis 60s

Rechenzeit

1s bis 4s

Genauigkeit (abhängig vom Aufbau)

lateral:< 1mm

Höhe:< 1µm

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Eigenschaften der Deflektometrie

Vorteile

keine aufwändige Ausrichtung vomMesskopf und Objekt

„beliebige“ Oberflächenformmessbar

Bestimmung von Krümmung, Reflektanz und Helligkeit ineiner Messung

Nachteile

absolute Höhe nicht bestimmbar

Einzelmessung auf ca. 200mm x 200mm beschränkt

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Stereo-Deflektometrie

Aufbau

Display

Objekt

Kamera

Kamera

zur eindeutigen Bestimmung der Höhe

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Stereo-Deflektometrie

Aufbau

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Stereo-Deflektometrie

Absolute Höhe

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Stereo-Deflektometrie

Messdauer

16 bis 96 Einzelbilder

2s bis 60s

Rechenzeit

1s bis 10s

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Aktuelle Arbeiten

Automatische Kalibrierung

Elimination von Rückseitenreflexionen

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Automatische Kalibrierung

Automatische Kalibrierung von

Kameras

Display

Oberfläche

mit Hilfe

mehrere Aufnahmen

verschiedene Positionen

ein Messobjekt

Display

Objekt

Kamera

Kamera

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Rückseitenreflexionen

KameraDisplay

Glas

α α'

β

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Rückseitenreflexionen

Simulation

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Rückseitenreflexionen

Messung:mit Rückseitenreflexionen

Vorderseite:ohne Rückseitenreflexionen

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Rückseitenreflexionen

Verwendung mehrerer Messungen

Rekonstruktion Korrekte Vorderseite

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Zusammenfassung

DeflektometrieEin Messverfahren für spiegelnde Oberflächen

Inspektion und Vermessung spiegelnder Oberflächen

berührungslose Messung

qualitative und quantitative Auswertung

einfacher Aufbau in industriellem Umfeld

3D-Rekonstruktion mit hoher Auflösung

kurze Mess- und Rechen-Zeiten

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Vielen Dank

Vielen Dank für Ihre Aufmerksamkeit.