Einführung Bedienung REM XL30

TU Ilmenau/IMNProf. Dr. L. Spieß

Mikroskop

Ionengetterpumpe

Säule

EDX-

Detektor

SE-

Detektor

Tisch-Bedienelemente

Zustand Kühlung EDX-Detektor –> grün-ok

rot- kein LN2

Bedienelemente

ohne gedrückten HT

Desktop

Startmenü

Datenstruktur auf Rechner Ardenne.zmn.tu-ilmenau.de:

Platte C: Programme, dort keine persönlichen Dateien!

Platte E: Verzeichnis user alle Nutzer mit Namen, dies ist Standardverzeichnis nach Einloggen!

Programm arbeitet noch mit DOS-Konventionen 8.3, keine längeren Ordner oder Dateinamen!

Proben, die untersuchbar sind

• Maximal 50x50x30 mm3

• Zur Not auch eine 4“ Scheibe – Kippung nicht uneingeschränkt

• beste Größe bis 25 mm Durchmesser, bis 4 mm dick

• keine Plasteingebetteten aus der Metallographie!

• keine losen Partikel (Kohlenstoff, Stäube, ...)

• aufkleben auf Probenteller Durchmesser 12 oder 25 mm mit doppleseitigenKlebeband von Rolle oder mit Silberleitlack (Pads – sehr hochohmig)

• vor Einschleusen mit Abstandshalter prüfen, ob Höhe eingehalten wird!

Innenkammer mit Detektoren

Kippung der Proben

0° Kippung, 10 mm Arbeitsabstand

25° Kippung, 10 mm Arbeitsabstand, längere Probe, Gefahr von Berührungen bei stärkerer Kippung!

70° Kippung von 12 mm Probe, 10 mm Arbeitsabstand, hier Bewegungsraum außer Z voll erhalten!

Hauptbildschirm

Vakuum in Kammer erzeugen

HV-Modus

<1.3E-4 ok

Hochspan-nung an SE-Detektor wird bei 8E-5mbar zugeschaltet

Pgun sollte kleiner

4 E-7 mbar

sein!

Nutzer Control Area

Videoscope Blank Beam TV Scan Selectetd Area Settings Image Manip.

Print Image DatabarMode CCD Auto Contrast Auto Stigmator Track Mode

Measurement Freeze Image Auto Fokus Get Mode ImagingAdjustments

Stage

Obere Leiste der Steuerung Mikroskop

Nutzer Control Area

Videoscope Blank Beam TV Scan Selectetd Area Settings Image Manip.

Print Image DatabarMode CCD Auto Contrast Auto Stigmator Track Mode

Measurement Freeze Image Auto Fokus Get Mode ImagingAdjustments

Stage

Obere Leiste der Steuerung Mikroskop

Nutzer Control Area

Videoscope Blank Beam TV Scan Selectetd Area Settings Image Manip.

Print Image DatabarMode CCD Auto Contrast Auto Stigmator Track Mode

Measurement Freeze Image Auto Fokus Get Mode ImagingAdjustments

Stage

Obere Leiste der Steuerung Mikroskop

Vergrößerung/Magnification

Auch mit +(Verdopplung)

oder -(Halbierung)

oder auch mit

Tracking

(stufenlos)

einstellbar

Magnification Reference

Detektoren I

Detektoren II

Spotsize – Durchmesser Elektronenstrahl - Auflösung

1 2 3 4 5 6 7 80

200

400

600

800

1000

1 2 3 40

10

20

30

40

50

60

70

80

Wolframkathode LaB6 Kathode

Ele

ktro

nens

trahl

durc

hmes

ser [

nm]

Spotsizeeinstellung am XL30 RasterelektronenmikroskopAnmerkung: der Wert Spotsize 8 ist am Wolframkathodengerät gemessen worden, alle anderen Werte sind dann daraus abgeleitet worden!

Auswahl Hochspannung/Spotsize

Strahlstrom/Spotsize/Hochspannung/Gun Tilt

Xover

Überheizt und falsch justiert richtig unterheizt

Einfluss Spotsize/Hochspannung auf Bild/Bildschärfe/Bildqualität

• 30 kV• 5000 x • WD 15 mm• Spotsize 2 (10 nm)

Spotsize 4 (40 nm)

Spotsize 6 (125nm)

Einfluss Spotsize/Hochspannung auf Bild/Bildschärfe/Bildqualität

• 10 kV• 40000 x fache Vergrößerung• 15 mm Arbeitsabstand• Spotsize 1 (5 nm); 3 (20 nm) und

5 (70 nm)

Einfluss Spotsize/Hochspannung auf Bild/Bildschärfe/Bildqualität

• 10 kV• 400 x• Spotsize 5 und

TV-Modus

• Spotzize 1

Scharfstellung – Arbeitsabstand I

Scharfstellung – Arbeitsabstand II mit CCD und Videoscop

10 mm

Fokussieren

• unter oder über Fokus Fokus

Scanparameter I

Scannparameter 2

• Slow Scan 1 - 968/1.68• Slow Scan 2 – 1452/6.72• Slow Scan 3 - 1936/20• Slow Scan 4 - 2420/40• Single Scan - 2904/20-60 wird mit F2

ausgelöst Bild 360 kByte

• XHD – 2420 /20-60 Bild 10 MByte

Scanparameter

TV-Modus

Scan 2

Scan 1

Videoscope

Videoscope II

• übersteuert• Zuviel Kontrast• Zu wenig Helligkeit• Richtige Einstellung

Settings

Stage

Bildabspeicherung/Databar I

Bildabspeicherung/Databar II

Bildabspeicherung III

normal 340 kbyte HD-Tiff 11 MByte

Bildspeicherung IV

• Bilder werden bei Normalspeicherung in der Y Pixelgröße gestaucht, mit Programm XL-Stretch kann diese Stauchung wieder rückgängig gemacht werden, dann gleichen sich die Bilder auch besser mit HD-tiff an!

Normalabspeicherung – kein Kreis mit XL-Stretch bearbeitetes Bild

Imaging

Vermessen

Vermessen

Tilt/Tiltkorrektur

• Beim Verkippen wird Bild verzerrt, kann mit Tiltkorrektur entzerrt werden.

Tilt/TiltkorrekturVerkippung – Auswirkungen auf Maße und Formaussehen

Ansicht, Probe 60° gekippt Vermessung ohne Tilt-Korrektur Vermessung mit Tilt-Korrektur

70° verkippt, keine Tiltkorrektur Vermessung mit Tiltkorrektur Tiltkorrektur u. dann Vermessung

Bilder von Kantenflanken

• Normal unverkippt 60° verkippt

SE- und BSE-Bilder – Kontrastmöglichkeiten

SE- Bild BSE (A+B) (Materialkontrast!)

BSE – A Bild BSE – B-Bild BSE (A-B) (Topographiekontrast)

Configuration Control

Peltiertisch und BSE ESEM

ESEM - EDX