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Hürth, 12.07.2018

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Anlage zu dem Prüfbericht UHU-18-0089809

Sehr geehrter Herr Ravasinghe,

unten aufgeführte Probe wurde von uns auftragsgemäß an der Mikrosonde untersucht:

Präparat: 513, Anregung: 20 KV / 50 nA, 50 Sekunden Besputterung

Probennummer: UHU-18-0089809-01

Probenbezeichnung: Chip

Fragestellung: REM Aufnahmen und EDX Analysen

Probeneingang: 10.07.2018

Prüfbeginn: 11.07.2018

Prüfende: 12.07.2018

Durchführung der Mikrosondenuntersuchung Von dem Chip wurden unter dem Stereomikroskop Aufnahmen im originalen Zustand und im eingebettet Querschnitt in Gießharz aufgenommen. Zu bemerken ist, dass die gelbe, gummiartige Chipmasse sich nicht gut anschleifen lässt und sich teilweise Fragmente aus der Oberfläche lösen. Um eine Leitfähigkeit auf der Oberfläche zu erzeugen wurden die Probe mit Gold besputtert. Die weiteren Untersuchungen fanden mit der Mikrosonde mit einem fein fokussierten Elektronenstrahl unter Hochvakuum statt. Energiedispersive Röntgenfluoreszenzanalyse (ED-RF-Analyse) Es wurden insgesamt eine Übersichtsanalyse und zwei Punkteanalysen auf der gelben Chipmasse durchgeführt. Dabei wurden kleine Flächen mit dem Elektronenstrahl angeregt und die dabei emittierten Röntgenstrahlen energiedispersiv detektiert und quantitativ ausgewertet. Ergebnis Es handelt sich um ein siliziumbasiertes Trägermaterial, in dem stark kohlenstoffhaltige Partikel eingelagert sind.

Standort Hürth

Gebäude CPK 2703 Industriestraße 300

50354 Hürth

Ihr Ansprechpartner: Manfred Zimmer Abteilungsleiter

Telefon: +49 2233 48 6717

Fax: +49 2233 15275 Mobil: +49 172 201 48 43

Manfred.Zimmer@synlab.com

Energyworld Light GmbH Frau Thilaha Ravasinghe Rotbachweg 1 CH-6016 Hellbühl

SYNLAB Chemie-, Industrie- und Spezialanalytik CIS GmbH Industriestraße 300, Gebäude CPK 2703, 50354 Hürth

UHU-18-0089809 Seite 2 von 8

Inhalt

1. Aufnahme unter dem Stereomikroskop im Original ................................................................ 3

2. Elektronenoptische Aufnahmen ............................................................................................. 5

3. Energiedispersive Röntgenfluoreszenzanalysen (EDX) ......................................................... 7

4. Ergebnis der energiedispersive Röntgenfluoreszenzanalysen (EDX) .................................... 8

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1. Aufnahme unter dem Stereomikroskop im Original Übersicht Bild 1

Übersicht Bild 2

Bild 3

Übersicht Schliffposition rot markiert

UHU-18-0089809 Seite 4 von 8

Detail Bild 3

Eingebettet Bild 4

Bild 5

UHU-18-0089809 Seite 5 von 8

Detail Bild 5

2. Elektronenoptische Aufnahmen Bild links-SE = Sekundärelektronenaufnahme zeigt den topografischen Kontrast Bild rechts-RE = Rückstreuelektronenaufnahme zeigt Materialkontrast (Elementabhängig)

Übersicht Bild 6

Bild 7

UHU-18-0089809 Seite 6 von 8

Detail Bild 7

Detail Bild 8

Bild 8

Punkt 1

Punkt 2

Übersicht

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3. Energiedispersive Röntgenfluoreszenzanalysen (EDX)

Es wurden auf dem gelben Trägermaterial eine Übersichtsanalyse und zwei Punkteanalysen per EDX aufgenommen, siehe gelbe Quadrate bei Bild 8. Die ED-RF-Analysespektren mit der Berechnung sind in der Anlage beigefügten. EDX 1, Übersicht

EDX 2, Punkt 1 im hellen Bereich

C

O

Si

AuAu

Au

keV0

5000

10000

15000

20000

25000

30000

35000

40000

45000

0 10.00

C

O

Si

AuAu

Au

keV0

5000

10000

15000

20000

25000

30000

35000

40000

0 10.00

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EDX 3, Punkt 2 dunkle Stelle

4. Ergebnis der energiedispersive Röntgenfluoreszenzanalysen (EDX)

Probe Kohlenstoff Sauerstoff Silizium

Übersicht 25,75 % 23,17 % 46,61 %

Punkt 1 22,32 % 13,22 % 58,26 %

Punkt 2 63,32 % 24,93 % 7,42 %

Die Gold Besputterung wurde nicht berücksichtigt! Die Prüfergebnisse beziehen sich auf die untersuchten Proben. Die Veröffentlichung und Vervielfältigung unserer Prüfberichte / Gutachten zu Werbezwecken sowie deren auszugsweise Vervielfältigung in sonstigen Fällen bedürfen unserer schriftlichen Genehmigung.

Mit freundlichen Grüßen SYNLAB Chemie-, Industrie- und Spezialanalytik CIS GmbH Manfred Zimmer Abteilungsleiter Anorganische Chemie

C

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Au

Au

Au

keV0

1000

2000

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4000

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8000

9000

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