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Flanschbauteile

ISO-KF, ISO-K, ISO-F, CF

280.00.01Auszug aus dem Oerlikon Leybold Vacuum Gesamtkatalog 2015/2016Produkt-Kapitel Flanschbauteile

Notizen

leyboldOerlikon Leybold Vacuum Gesamtkatalog 2015/2016758

Flanschbauteile

leybold Oerlikon Leybold Vacuum Gesamtkatalog 2015/2016 759

Flanschbauteile

Allgemeines

Einführung in das Ultrahochvakuum . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 760

Diese Argumente sollten Sie von der Oerlikon Leybold Vacuum-Qualität überzeugen . . . . . . . . . . . . 761

Materialbezeichnungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 762

Die richtige Verbindung von Oerlikon Leybold Vacuum . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 763

Flanschverbindungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 764

Produkte

. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 766

. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 782

. . . . . . . . . . . . . . 792

. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 793

. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 797

. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 798

. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 810

ISO-KF/ISO-K Schaugläser . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 811

CF Schaugläser . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 812

Informationen über Elektrische-, Dreh-/Schiebe- und Flüssigkeits-Durchführungen finden Sie im Katalog-Kapitel „Durchführungen“.

Inhalt



Allgemeines zu Flanschbauteilen

Einführung in das Ultrahochvakuum

Mit dem Begriff „Ultrahochvakuum

(UHV)“ wird nach DIN 28 400 der

Druck bereich < 10-7 mbar bezeichnet.

Zur Charakterisierung dieses Druck-

bereiches sind verschiedene physikali-

sche Größen wie die mittlere freie Weg-

länge, die Wiederbedeckungszeit, die

Teilchendichte der auf die Wände tref-

fenden Teilchen, die Leckrate und die

Entgasungsrate von Bedeutung. Die

Definition dieser Größen sind der Fach-

literatur zu entnehmen.

Um Drücke < 10-7 mbar zu erreichen

bzw. aufrecht zu erhalten, müssen fol-

gende Voraussetzungen gewährleistet

sein:

- der Dampfdruck des Treib- oder

Schmiermittels sollte dem ge -

wünschten Enddruck entsprechen.

- die Leck- und Entgasungsrate der

gesamten Apparatur einschließlich

Einbauten muss extrem klein sein.

Leckrate und die Rückströmung der

Pumpen lassen sich durch Verwen dung

von UHV-tauglichen Dichtungsmateria-

lien und Pumpen im allgemeinen genü-

gend klein halten.

Vorteile für den Anwender

- Stabilisierte Oerlikon Leybold

Vacuum-Schneidkante

- Hohe Betriebssicherheit

- Gewährleistung höchster Dichtheit

durch speziell ausgeführte Schneid-

kante

- Flanschverbindung ist zuverlässig

bis 450 °C ausheizbar

- Leicht zu montieren, heliumdicht

- Symmetrische Flanschverbindung

- Dichtprofilgleich

- Kleiner Außendurchmesser im Ver-

hältnis zur Nennweite

- Nach allen Verfahren fügbar durch

Schweißen oder Hartlöten auch mit

anderen Chromnickel-Stählen

- Wahlweise mit Flach-Dichtung aus

OFHC-Kupfer (sauerstofffrei) oder

FPM-Dichtung zu verwenden

- Selbst zentrierend

- Für jede Nennweite feste und dreh-

bare Flansche

Eine entsprechend niedrige Entga -

sungsrate lässt sich jedoch nur durch

Ausheizen der gesamten Apparatur

über längere Zeit bei Temperaturen von

ca. 300 °C erzielen. Erst unter diesen

Bedingungen werden die auf den

Ober flächen der Vakuumapparatur und

den Einbauten außerordentlich fest hal-

tenden monoatomaren oder monomo-

lekularen Schichten desorbiert.

Bauteile für UHV-Apparaturen bestehen

demgemäß im Allgemeinen aus rost-

freien Edelstählen. Es werden fast aus-

schließlich metallische Dichtungen,

Keramik-Durchführungen und ausheiz-

bare Sichtfenster eingesetzt.

Für Anwendungen im extremen UHV

(XHV) kann die Abgasrate der CF-Flan-

sche und UHV-Bauteile zusätzlich

durch ein spezielles Entgasungsver-

fahren um ca. zwei Größenordnungen

gesenkt werden.

Der hohe Entwicklungsstand, die aus-

gereifte Fertigungstechnik und der Ein-

satz von Qualitätswerkstoffen garantie-

ren, dass die UHV-Bauteile von

OerlikonLeybold Vacuum höchsten

Anforde rungen gerecht werden.


Flanschbauteile

Diese Argumente sollten Sie von der Oerlikon Leybold Vacuum-Qualität überzeugen

- Kurzfristige Verfügbarkeit aller Bau-

teile

- Weltweit jederzeit verfügbare Bera-

tung zur Lösung Ihrer Vakuum-

Systemfragen

- Nutzung modernster Fertigungsein-

richtungen

- Umweltfreundliche Reinigungsbä der

mit vollständiger Entsorgung und

Wiederauf bereitung

- Umweltfreundliche und sichere Ver-

packung

- Total-Quality Management-Metho -

den in der gesamten Verarbei tungs -

kette

- Kontrollierte Markenqualität

- Kompatibel zu Ihren vorhandenen

Flanschen gleicher Systeme

- Hohe Dichtheit bis zu Leckraten

1 · 10-9 mbar · l · s-1, alle Bauteile

He-leckgeprüft

- Niedrige Abgasraten des Materials

durch

- Wahl der richtigen Materialqualität,

speziell für den Gebrauch im

Vakuum

- die hervorragenden Reinigungs

methoden

- Zu allen Teilen verfügbare Dokumen-

tation

- Die bewährte Oerlikon Leybold Vacuum-Schneiden-Geometrie

Das stabilisierte Oerlikon Leybold Vacuum-Schneiden-Profil

Schematische DarstellungAusschnitt

- Geschmiedete Stahl-Qualitäten mit einer hohen Festigkeit und Dichtheit

- Material-Qualität für Standard-Anwendungen DIN 1.4301 entspricht AISI 304

- Streng geprüfte, enge Maßtoleranzen der gesamten Dichtungs-Geometrie

- Niedrige Entgasungsraten der verwendeten Rohre

Mutter

Doppel-

gewindescheibe

Fester CF-Flansch

Kupfer-Dichtung

Kupfer-Dichtung

Innenteil Schrauben

Drehbarer CF-Flansch

Ihr VorteilSichere Dichtheit der UHV-Verbindungen

über hunderte von Heizzyklen hinweg


Allgemeines

Vakuumsysteme (d.h. Systeme für

Drüc ke zwischen 2,5 bar und

10-9 mbar) lassen sich wegen des

modularen Prinzips vakuumdichter und

zer legbarer Flanschverbindungen

schnell und leicht zusammenbauen.

Das Auswechseln einzelner Kompo-

nen ten ist jederzeit möglich. Entspre-

chend dem Anwendungsfall und der

Flanschgröße sind unterschiedliche

Flanschtypen entwickelt worden. Die

ISO-KF -Flanschverbindung wurde vor

vielen Jahren von Oerlikon Leybold

Vacuum entwickelt und hat sich bei

allen Anwendern von Vakuum durchge-

setzt. In diesem Katalogteil sind alle

Flanschverbindungen und Verbin-

dungs elemente einschließlich der

A dap ter für UHV-Bauteile beschrieben.

Bauteile, die mit der Markierung

[< 1000 mbar] gekennzeichnet sind,

dürfen nicht mit Drücken über

1000 mbar abs. beaufschlagt werden.

Die Bauteile und Flanschverbindungen

sind für den Einsatz in Vakuumsyste-

men vorgesehen. Sie sind nicht dazu

geeignet, mechanische Belastungen

aufzunehmen. Alle Lasten an den Ver-

bindungselementen müssen abgestützt

werden.

Flanschbezeichnungen

Die von Oerlikon Leybold Vacuum ver-

wendeten Bezeich nungen für Klam-

mer flansche, Fest flansch-Verbindungen

(geschraubt) und Überwurfflansche mit

Sprengringen entsprechen den interna-

tionalen Standards 1) und der in der

Vakuumtechnik üblichen Nomenklatur.

1) Die Nennweite (DN) entspricht nur annährend

dem lichten Durchmesser, ist ihm also nicht

un bedingt identisch. Abweichungen der realen

lichten Durchmesser sind in der Praxis durch -

aus üblich und verletzen nicht die Norm.

Materialbezeichnungen

Edelstahl

1.4301 304 X5 CrNi 18 10

1.4305 303 X10 CrNi S 18 9

1.4306 304 L X2 CrNi 19 11

1.4310 301 X12 CrNi 17 7

1.4401 316 X5 CrNiMo 17 12 2

1.4404 316 L X2 CrNiMo 17 12 2

1.4435 316 L X2 CrNiMo 18 14 3

1.4541 321 X10 CrNiTi 18 9

1.4571 316 Ti X6 CrNiMoTi 17 12 2

1.4552 – X5 CrNiNb 18 9

Aluminium

3.0255.10 AA 1050 1-0 Al 99.5 w

3.0615.71 AA 6012-T6 AlMgSiPb

3.2162.05 380.0 (AA) GD-AlSi8Cu3

3.2315.08 6082-F (AA) AlMgSi1

3.2315.71 6082-T6 AlMgSi1

3.2315.72 6063 (AA) AlMgSi1

3.2381.02 520.0 (AA) GK AISi 10 Mg

3.2381.62 520.0 (AA) GK AlSi 10 Mgwa

3.2582.05 160 X GD-AlSi 12

Stahl

1.0037 – St 37-2

1.0308 – St 35

1.0831 – St 52

1.1141 – CK 15

1.1181 – CK 35

Dichtungen

CR Chloropren-

Kautschuk Neopren

FPM Fluor-Kautschuk Viton®

dien-

Kautschuk Perbunan®

PTFE Polytetrafluor-

äthylen Teflon®

EPDM Äthylen-Propylen-

Dien-Kautschuk –

Schläuche und Rohre

NR Naturgummi –

PVC Polyvinylchlorid –


Flanschbauteile

ISO-K

1 ISO-K-Flansch 2 Zentrierring mit O-Ring und

Außenstützring 3 Klammer

Klammerflanschverbindung ISO-K

ISO-F

1 Flansch 2 Dichtscheibe bestehend aus

Zentrierring und

O-Ring mit Außen-Stützring

3 ISO-K-Flansch 4 Schraube mit Mutter 5 Überwurfflansch mit Sprengring

ISO-KF

2. Reduzierstück ISO-K – ISO-KF

3. Zentrierring mit O-Ring4. Flexibler Metallschlauch

5. Schnell-Spannring6. T-Stück

7. Spannring8. Rohrbogen9. PVC Vakuum-Spiralschlauch

10. Kreuzstück

12. Kleinflansch mit Schlauchtülle

1 Kleinflansch 2 Zentrierring mit O-Ring

3 Spannring

Kleinflanschverbindung ISO-KF

CF

2. Übergangsstück / ISO-K-CF

3. Adaptert CF-ISO-K/KF4. Doppel-Kreuzstück

5. Justierstück6. 90o-Winkel7. Keramik-Zwischenstück

8. T-Stück9. UHV-Schauglas

CF-Flanschverbindung

1. ISO-K-Flansch

2. Zentrierring mit O-Ring und Außenstützring

3. Klammer

4. T-Stück

5. Kreuzstück mit seitlichen DN 10/40 ISO-KF Flanschen

6. Rohrbogen

7. Flexibler Vakuumschlauch

8. Kreuzstück

9. Zwischenflansch mit Mess-Stutzen

10. Klammerflansch mit Rohransatz

12. Elastisches Ausgleichselement

1

2

3

4

5

6

7

7

7

8

9

10

11

12

2

3

4

56

10

7

8

9

2

3

4

5

6

7

8

9

10

11

12

14

2

13


Flanschverbindungen

ISO-KF -Verbindung

Die ISO-KF -Verbindung (nach DIN

28 403 und ISO 2861) erlaubt eine

schnelle Montage und den Aus tausch

von Bauteilen in Vakuumsystemen.

Diese Verbindung besteht aus zwei

sym metrischen ISO-KF-Flanschen ,

ei nem Zentrierring mit O-Ring-Dich-

tung und einem Spannring .

Hochva kuum feste ISO-KF-Verbindun-

gen lassen sich durch einfaches Dre-

hen der Flü gel schraube am Spannring

ohne die Verwendung von Werkzeug

erstellen.

ISO-K -Klammerflansch-Verbindung

Die Klammerflansch-Verbindung (nach

DIN 28 404 und ISO 1609) gestattet

es, Bauteile ab DN 63 bis DN 630 in

beliebiger Stellung zueinander, ohne

Rücksicht auf einen bei Festflanschen

vorhandenen Lochkreis, zu befestigen.

Sie besteht aus zwei Klammerflansch-

Bauteilen , einem Zentrierring mit

einem um den O-Ring liegenden

Au ßen ring und verschiedenen Klam-

mern , mit denen die Verbindung

hergestellt und gesichert wird. Da der

Zen trier ring fest in die Zentrierung des

Flansch eingesetzt werden kann, sind

auch horizontale Verbindungen leicht

und schnell zu montieren.

Kleinflansch-Verbindung ISO-KF

1 Kleinflansche

2 Zentrierring mit O-Ring

3 Spannring

4 Außen-Zentrierring mit O-Ring

Klammerflansch-Verbindung ISO-K

1 Klammerflansche

2 Zentrierring und O-Ring

mit Außen-Stützring

3 Klammer


Flanschbauteile

Klammerflansch-Verbindung mit Überwurf-Flanschen

1 ISO-K -Flansche

2 Dichtscheibe bestehend aus

Zentrierring und O-Ring

mit Außen-Stützring

3 Sprengringe

4 Überwurf-Flansche (ISO-F)

5 Schraube mit Mutter

ISO-F / DIN Festflansch-Systeme

Mit entsprechenden Überwurfflanschen

kann der Klammerflansch mit verschie-

denen Festflansch-Systemen (ISO-F,

DIN EN 1092-1, etc.) verbunden wer-

den (siehe Abbildungen in den Ab -

schnit ten „ISO-F -Fest flansch-Verbin-

dungen“ und „DIN EN 1092-1 -Fe st

flansch-Verbin dungen“).

CF-Flansche und -Bauteile

Die CF-Flansch-Verbindung besteht

aus zwei geometrisch gleichen Flan-

schen mit einer Flach-Dichtung aus

OFHC-Kupfer, Schrauben, Muttern

und Unterlegscheiben.

CF-Bauteile werden aus ausgewählten,

kor ro sions bestän di gen Edelstählen ge -

fertigt.

Alle Bauteile werden von innen ge -

schweißt, um Spalte und Sacklöcher,

die sogenannten virtuellen Lecks dar-

stellen, von vornherein zu vermeiden.

Ausheiztemperaturen für die Dichtungsringe

CR und FPM Dichtungen können in

allen aufgeführten Flanschen eingesetzt

werden, wobei Dichtringe aus Alumi-

nium bei höheren Anforderungen ver-

wendet werden.

CR Dichtungen können im Tempera-

turbereich von -40 °C bis +100 °C

(max. Ausheiztem peratur) und FPM-

Dichtungen von -15 °C bis +150 °C

(max. Ausheiztemperatur) angewendet

werden.

Aluminium Dichtungen von -196 °C

bis +200 °C (max. Ausheiztemperatur;

ΔT max. 2,5 °/min).

Verbindung zwischen Flansch DIN EN 1092-1 ND 6 und ISO-K -Flansch mit Überwurf-Flansch DIN EN 1092-1

1 Flansch DIN EN 1092-1 ND6

2 Dichtscheibe bestehend aus

Zentrierring und O-Ring mit Außen-Stützring

3 ISO-K -Flansch

4 Schraube mit Mutter

5 Überwurf-Flansch mit

Sprengring DIN EN 1092-1 ND6


Zusätzliche Vorteile der Edelstahl-Ausführung

- Mit Ultra-Dichtscheiben ausheizbar

bis 200 °C

- Mit FPM Dichtungen bis 150 °C

ausheizbar

- Mit Ultra-Dichtscheiben bis zu Drü-

cken von 10-9 mbar geeignet

- Korrosionsfest

- Geringe Gasabgabe

- Für Standardanwendungen mit

Drücken bis 2,5 bar abs. sogar mit

Außenring bzw. Ultra-Dichtscheibe

und 3-teiligem Spannring 5 bar

- Mit UHV Aluminium-Ringen oder

Scheiben bis 200 °C ausheizbar

Elastische Ausgleichs-elemente

Anlagen und Pumpstände erfordern

häufig Bauteile, die in der Lage sind,

empfindliche Aggregate vor Stößen

oder übermäßigen Schwingungen zu

schützen und Rohrleitungen zu verbin-

den.


- Einfach und schnell montierbar

- Sicher und zuverlässig

- Rohre beliebig drehbar

- Verwendbar ohne Zentrierring und

Dichtring

- Bis zu 80 °C standfest

- Bis zu Drücken von 10-5 mbar

ge eignet

Schnell-Spannring


- Schnelles, rationelles Montieren und

Demontieren

- Einhandmontage

- Der Schließvorgang erfolgt über

einen Spannhebel mit Spannfeder

- Korrosionsfest

DN 16 ISO-KF bis DN 50 ISO-KF (nach DIN 28 403) [Rohre ähnlich DIN 28 403]

Die von Oerlikon Leybold Vacuum ent-

wickelte Kleinflansch- Verbindung ist

heute zur Grundlage des inter na tio na-

len Standards in der Vakuumtechnik

geworden.

Vorteile für den Anwender (Aluminium und Edelstahl)

- Schnell, sicher, zuverlässig

- Ohne Werkzeug vakuumdicht mon-

tierbar

- Bis zu Drücken von 10-7 mbar geeig-

net

- Einfach zerlegbar, dadurch leichte

Reinigung

- Bei besonderen Anforderungen an

die Ausheizbarkeit zur Verringerung

der Gasabgabe und an die Korro-

sions beständigkeit, wird der Einsatz

von Edelstahl-Bauteilen empfohlen

Produkte

ISO-K Kleinflansch-Verbindungselemente


Flanschbauteile

Kleinflansch-Abzweigstück und Zentrierring Schnell-Spannring Kleinflansch-Verbindung mit Ultra-Dichtring

Aufsetzen eines Rohrbogens Spannring für Ultra-Dichtscheibe Kleinflansch-Verbindung mit Spannring

Kleinflansch-Verbindung

1 Kleinflansch-Stutzen

2 Gehäusewand mit Stutzen

3 Pratze

4 Zentrierring

Technische Daten

30,0 12,2 12,2 45,0 4

30,0 17,2 17,2 45,0 4

40,0 26,2 26,2 55,0 4

55,0 41,2 41,2 71,0 4

75,0 52,4 52,4 91,0 4

d

3,9 8

1d

Technische Daten

Maßzeichnung der Zentrierringe mit Sintermetallfil-

ter und O-Ring

Bestelldaten

Zentrierringe (Edelstahl) mit Sintermetallfilter (Edelstahl 1.4404) und O-Ring (FPM)

10 16 25 40 50

12 17 26 41 52

8 14 23 38 48

883 50 883 51 883 52 883 53 883 54

d

1d

3,9 8

2d

Technische Daten

Maßzeichnung der Feinfilter auf Zentrierring

Bestelldaten

Feinfilter auf Zentrierring (Edelstahl 1.4305) mit O-Ring (FPM)

10 16 25 40 50

12 17 26 41 52

12 17 26 41 52

9,0 13,0 22,0 35,5 46,0

883 95 883 96 883 97 883 98 883 99


In der Tabelle „Materialbezeichnung“ des Abschnittes „Allgemeines“ wird die deutsche Stahlbezeichnung auch gemäß AISI angegeben.

d1d

3,9 8

Technische Daten

Maßzeichnung der Zentrierringe mit O-Ring

Bestelldaten

10 16 20 25 32 40 50

12 17 22 26 34 41 52

10 16 20 25 32 40 50

183 21 183 26 183 22 183 27 183 23 183 28 183 25

182 01 182 06 182 02 182 07 182 03 182 08 182 05

- 210841V01 - 210843V01 - 210845V01 - - - 210842V01 - 210844V01 - 210846V01

883 21 883 46 883 22 883 47 883 23 883 48 883 25

Zentrierringe (Al 3.1655.53/Edelstahl 1.4305) mit O-Ring (CR/FPM)

Sintermetallfilter:

Durchflussmenge Luft bei 20 °C und 3 · h-1 · cm-2,

Porengröße: 20 μm

Filtermaterial:

Edelstahlgewebe 1.4404, Porengröße: 4 μm

Abscheidungsgrad:

Partikel 1 μm bis 98 % (Das Filtermaterial ist

nicht separat erhältlich)

ød1

ød2

ød

3,9 8

Technische Daten

Maßzeichnung der Übergangs-Zentrierringe

mit O-Ring

Bestelldaten

10/16 20/25 32/40

12 22 34

10 20 32

17 26 41

182 56 182 57 182 58

210847V01 210848V01 210849V01

183 56 183 57 183 58

883 56 883 57 883 58

Übergangs-Zentrierringe (Al 3.1655.53/Edelstahl 1.4301) mit O-Ring (NBR/FPM)

d1d

73,9

Technische Daten

Maßzeichnung der Außen-Zentrierringe mit O-Ring

Bestelldaten

10/16 20/25 32/40 50

32 42 57 77

30,2 40,2 55,2 75,2

183 50 183 51 183 52 183 59

183 53 183 54 183 55 183 60

Außen-Zentrierringe (Al 3.1655.53) mit O-Ring (CR/FPM)


Flanschbauteile


d

s

Technische Daten

Maßzeichnung der O-Ringe

Bestelldaten

1) Auch für Übergangs-Zentrierringe

10 16 1) 20 25 1) 32 40 1) 50

15 18 25 28 40 42 55

5 5 5 5 5 5 5

ES210600 – ES210610 – ES210620 – ES210630 – ES210605 – ES210615 – ES210625 –

Ersatz-O-Ringe für Kleinflansch-Verbindungen



4,5

1d

d

d2

Technische Daten

Maßzeichnung der Ultra-Dichtringe

Bestelldaten

Ultra-Dichtringe (AI 3.2315.71)

10/16 20/25 32/40 50

25,6 35,6 50,6 65,6

22,6 32,6 47,6 62,6

19,6 29,6 44,6 59,6

883 73 883 75 883 77 883 79

dD

73

Technische Daten

Maßzeichnung der Außen-Stützringe

Bestelldaten

Außen-Stützringe (Edelstahl 1.4310) zu Ultra-Dichtringen

10/16 20/25 32/40 50

32 42 57 77

25 35 50 65

883 74 883 76 883 78 883 69

Technische Daten

Maßzeichnung der Spannringe

Bestelldaten

Spannringe (AI 3.2582.05)

10/16 20/25 32/40 50

45 55 70 95

61 72 90 123

16 16 18 25

183 41 183 42 183 43 183 45

Max. Drehmoment an der Flügelmutter: 2 Nm


Flanschbauteile


Schnell-Spannringe (AI 3.2582.05)

x1

x

b1

b

r

Technische Daten

Maßzeichnung der Schnell-Spannringe

x

Bestelldaten

10/16 20/25 32/40

45 55 70

61 72 90

48 56 74

22 27 35

30 34 44

183 46 183 47 183 48

Dh

Technische Daten

Maßzeichnung der Spannringe für Ultra-Dichtringe

Bestelldaten

Spannringe (AI 3.2162.05) für Ultra-Dichtringe

10/16 20/25 32/40 50

52 75 90 115

18 20 23 28

M 4 x 30 M 6 x 30 M 8 x 35 M 8 x 50

882 75 882 77 882 78 882 79

M6

12,520

1,6

14

19,5

11,5

Technische Daten

Maßzeichnung der Pratze komplett

Bestelldaten

Pratze komplett (AI 3.2315.08) für Ultra-Dichtringe

10 - 50

885 00



d

h

Technische Daten

Bestelldaten

Blindflansche (AI 3.2315.71 / Edelstahl 1.4301)

10 16 25 40 50

30 30 40 55 75

5 5 5 5 6

184 41 184 46 184 47 184 48 184 45

884 41 884 36 884 37 884 38 884 45

2ød

DN

l

1ød

Technische Daten

Maßzeichnung der Kleinflansche mit Rohransatz, kurz

Bestelldaten

Kleinflansche mit kurzem Rohransatz (Stahl 1.0037 / Edelstahl 1.4301)

10 16 25 40 50

16/16 20/20 30/30 45/45 55/54

12/12 16/16 26/26 41/41 51/50

20 20 20 20 20

182 31 182 32 182 33 182 34 182 35

866 31 866 32 866 33 866 34 866 35

DN

l

2ød

1ød

Technische Daten

Maßzeichnung der Kleinflansche mit Rohransatz, lang

Bestelldaten

Kleinflansche mit langem Rohransatz (Stahl 1.0037 / Edelstahl 1.4301)

10 16 25 40 50

16/16 20/20 30/30 45/45 55/54

12/12 16/16 26/26 41/41 51/50

70 70 70 70 70

182 81 182 82 182 83 182 84 182 85

866 81 866 82 866 83 866 84 866 85


Flanschbauteile


DNDN

l

Technische Daten

Maßzeichnung der Zwischenstücke

Bestelldaten

Zwischenstücke (Al 3.2315.72 / Edelstahl 1.4301)

16 25 40

80 100 130

184 80 184 81 184 82

884 17 884 18 884 19

1

40

DN DN

Technische Daten

Maßzeichnung der Reduzierstücke

ISO-KF

Bestelldaten

Reduzierstücke (AI 3.2315.72 / Edelstahl 1.4305)

25/16 40/16 40/25 50/40

183 86 183 89 183 87 183 88

885 04 885 07 885 05 885 06

a

a

d1 d1

a

a

Bestelldaten

Technische Daten

Maßzeichnung der Rohrbögen 90° (Edelstahl, (links)

und Rohrwinkel 90° (Aluminium, rechts)

Rohrbögen 90° (Edelstahl 1.4301) / Rohrwinkel 90° (AI 3.2315.08)

16 16 25 25 40 40 50

40 40 50 50 65 65 70

16,0 15,0 25,0 25,0 39,0 39,0 49,0

6,5 – 18,9 – 56,5 – –

184 36 – 184 37 – 184 38 – –

– 884 61 – 884 62 – 88464 884 65



d

a

ab

1

Bestelldaten

Technische Daten

Maßzeichnung der T-Stücke

T-Stücke (AI 3.2315.08 / Edelstahl 1.4301)

16 16 25 25 40 40 50

40 40 50 50 65 65 70

80 80 100 100 130 130 140

16 – 25 – 39 – –

– 16,0 – 25,0 – 40,5 53,0

6,5 – 18,9 – 56,5 – –

184 06 – 184 07 – 184 08 – –

– 884 71 – 884 72 – 884 74 884 75

DN

aa

a

a

Bestelldaten

Technische Daten

Maßzeichnung der 4-Wege-Kreuzstücke

4-Wege-Kreuzstücke (AI 3.2315.08 / Edelstahl 1.4301)

16 16 25 25 40 40 50

40 40 50 50 65 65 70

6,5 – 18,9 – 56,5 – –

184 71 – 184 74 – 184 75 – –

– 884 85 – 884 86 – 884 87 884 88

a

DN

a

1a

1a

1

DN

Technische Daten

Maßzeichnung der 4-Wege-Reduzier-Kreuzstücke

mit 2 lateralen DN 16 ISO-KF Flanschen

ISO-KF

Bestelldaten

4-Wege-Reduzier-Kreuzstücke mit seitlichen DN 16 Flanschen (AI 3.2315.08 / Edelstahl 1.4301)

25/16 40/16 50/16

35 40 50

35 45 50

184 57 184 58 –

884 96 884 97 884 98


Flanschbauteile


l

d1s t

d

DN

DN1

Technische Daten

Maßzeichnung der Übergangsstücke

ISO-KF - ISO-K;

Aluminium (links) und Edelstahl (rechts)

ISO-K

Bestelldaten

Übergangsstücke ISO-KF – ISO-K

40 50 40

63 63 100

95 95 130

70 70 102

40 45 40

5 5 5

4,5 4,5 4,5

0,5 0,6 0,8

887 40 887 41 887 42

269 40 269 41 –

DN

hd1

dd

DN1

Technische Daten

Maßzeichnung zu den UHV-Übergangsstücken

ISO-KF - CF

CF

Bestelldaten

Übergangsstücke ISO-KF – CF (Edelstahl 1.4301)

16 25 16 25 40 40

16 16 40 40 40 63

16 16 16 26 37 41

35 35 30 30 50 35

20 20 20 30 41 45

837 81 837 83 837 82 837 84 837 36 837 86



SW

dG

l1l2

l

1d

Technische Daten

Maßzeichnung der Anschraub-Flansche

l

l

Bestelldaten

Anschraub-Flansche (Edelstahl 1.4305 / FPM)

10 16 25 40

35 35 45 50

25 25 35 40

15 15 25 30

10 15 24 38

20 25 39 54

G 3/8 G 1/2 G 1 G 1 1/2

17 21 36 50

884 25 884 26 884 27 884 28

dG

SW

l1l2

l

1d

Technische Daten

Maßzeichnung der Einschraub-Flansche

l

l

Bestelldaten

Einschraub-Flansche (Edelstahl 1.4305 und 1.4571 / FPM)

10 16 16 16 25 40

35 26 35 42 45 50

25 – 25 – 35 40

15,0 8,0 15,0 11,5 25,0 30,0

12 5 16 5 25 41

22 – 26 – 39 54

G 3/8 G 1/8 G 1/2 M 16 x 1,5 G 1 G 1 1/2

19 13 22 17 36 50

886 30 – 886 31 168 40 V01 886 32 886 33

– 160 26 – – – –


Flanschbauteile


d

DN

1

40

d

Technische Daten

Maßzeichnung der Kleinflansche mit Schlauchtülle

Bestelldaten

1) Auch als empfohlener Schlauch-Innendurchmesser

Kleinflansche mit Schlauchtülle (AI 3.0615.71 und Edelstahl 1.4305)

16 25 40

12 12 12

7 7 7

182 90 182 91 182 92

885 14 885 08 885 09

1 dd

Technische Daten

Maßzeichnung der Gummi-Vakuumschläuche

Bestelldaten

Gummi-Vakuumschläuche (NR) für Schlauchtülle

10 16 20

17 25 32

7 10 16

Meterware Meterware Meterware

55 ±5 55 ±5 55 ±5

-30 bis +85 -30 bis +85 -30 bis +85

172 02 172 03 172 04

d1d

Technische Daten

Maßzeichnung der PVC Vakuum-Spiralschläuche

Bestelldaten

PVC Vakuum-Spiralschläuche ohne Flansche

16 25 40

23 33 53

16 25 40

Meterware Meterware Meterware

172 41 172 42 172 43



DN1ød1 DN

40

Technische Daten

Maßzeichnung der ISO-KF Flansche

mit Schlauchanschluss

Bestelldaten

ISO-KF Flansche mit Schlauchanschluss (Aluminium 3.0615.71)

16 25 40

17 26 41

13 22 37

182 45 182 46 182 47

a

a

ød1

DN1DN

Technische Daten

Maßzeichnung der Rohrbögen 90°

mit Schlauchanschluss

Bestelldaten

Rohrbögen 90° mit Schlauchanschluss (Al 3.2381.02)

16 25 40

17 26 41

40 50 65

16 25 39

182 15 182 16 182 17

l

Ddd1

Technische Daten

Maßzeichnung der Ausgleichselemente

Bestelldaten

1) Wird komplett mit Edelstahl-Schlauchschellen geliefert

CR Ausgleichselemente mit integriertem Stützring

16 25 40

44 50 68

16 25 40

24 33 48

58 60 64

# 1 · 10-5 # 1 · 10-5 # 1 · 10-5

182 78 1) 182 79 1) 182 80 1)


Flanschbauteile


d

Technische Daten

Maßzeichnung der Schlauchbinder

Bestelldaten

Schlauchbinder (Edelstahl 1.4301)

16 25 40

13 / 32 19 / 44 29 / 76

866 21 866 22 866 23

DN

l

Technische Daten

Maßzeichnung der Federungskörper

mit Flan schen

Bestelldaten

1)

Federungskörper (Edelstahl 1.4571) mit Flanschen (Edelstahl 1.4301)

16 25 40 50

70 80 100 100

0,13 0,13 0,15 0,2

6,5 8,0 11,0 10,0

4 5 7 6

±21 ±17 ±15 ±15

±4 ±3,5 ±7 ±8

872 41 872 43 872 45 872 46



DN

l

Technische Daten

Maßzeichnung der flexiblen Metallschläuche

aus Edelstahl

Bestelldaten

1) Flexible Schläuche müssen mit einer externen, mechanischen Konstruktion verbunden werden

Metallschläuche 1) mit Flanschen (Edelstahl 1.4571)

16 25 40 50

68,5 103,0 129,0 198,0 50 63 100 130

0,2 0,2 0,2 0,3

867 81 867 83 867 85 867 86

867 91 867 93 867 95 867 96

867 41 867 43 867 45 867 46

868 01 868 03 868 05 868 06

d

1,5

max. i BohrungD

l 1l

Technische Daten

Maßzeichnung der Kleinflansche

mit Quetschverschraubung

l

Bestelldaten

Quetschverschraubungen für Glas-/Metall-/Kunststoff-Rohre (Al 3.0615.71 / FPM)

10 40

10 26

30 45

50 65

11 27

184 61 184 66

ES 105 94 ES 210 610


Flanschbauteile


Technische Daten

Maßzeichnung der Kleinflansche mit Kernschliff

l

Bestelldaten

Kleinflansche mit Kernschliff (Edelstahl 1.4301)

16 25 40

19 / 26 29 / 32 45 / 40

40 45 55

1:10 1:10 1:10

184 87 184 85 184 86



ISO-K Klammerflansch-Verbindungselemente

-

hängen einer Klammer

Flanschbauteile DN 63 ISO-K bis DN 630 ISO-K (nach DIN 28 404 entspre-chend ISO 1609/3669)

Die Klammerflansch-Verbindung wurde

von Oerlikon Leybold Vacuum in die

Vakuumtechnik eingeführt. Da die Be -

fes tigung der Klammerflansch-Verbin-

dung nicht an einen Lochkreis ge bun-

den ist, können diese Bauteile in be lie -

bi ger Lage miteinander verbunden wer-

den.


- Schnell montierbar


- Beliebig drehbar

- Einfach zerlegbar, dadurch leichte

Reinigung

- Geeignet für Drücke bis zu

10-7 mbar bei Verwendung von

O-Ring Dichtungen und bis

10-9 mbar bei Verwendung von

Metalldichtungen

- Leichter Übergang auf andere

Flanschsysteme möglich

- Montierbar durch Klammern (ISO-K)

oder durch Überwurf-Flansch mit

Sprengring (ISO-F, DIN EN 1092-1)

- Klammerflansch-Bauteile werden mit

CR- oder FPM-Dichtungen oder mit

Ultra-Dichtscheiben aus Alum i nium

verwendet

- Ausheiztemperaturen

für CR, max. 100 °C

für FPM, max. 150 °C

für die Ultra-Dichtscheibe, max.

200 °C

Der Druckbereich für die jeweilige An -

wendung hängt von dem Dichtungs-

ver fahren ab und ist für Ultra-Dicht-

scheiben auf 10-9 mbar begrenzt; für

FPM Dichtungen 10-8 mbar und für CR

gedichtete Bauteile 10-7 mbar.

Elastische Ausgleichs-elemente (CR)

Anlagen und Pumpstände erfordern

Bauteile, die in der Lage sind, empfind-

liche Aggregate vor Stößen oder über-

mäßigen Schwingungen zu schützen

und Rohrleitungen zu verbinden.


- Schnell montierbar


- Rohre beliebig drehbar

- Verwendbar ohne Zentrierring und

Dichtring, da Dichtung auf glatter

Rohr-Oberfläche

- Bis 100 °C ausheizbar

- Bis zu Drücken von 10-5 mbar

ge eignet

1 Klammerflansch

2 Klammer

3 Grundplatte

4 Pratze

Anziehen der Klammerschraube

Klammerflansch-Verbindung ISO-K

Technische Daten

Klammern für Pratzen Pratzen

95 70 12 4 110 M 8 x 35 4

130 102 12 4 145 M 8 x 35 8

180 153 12 4 200 M 10 x 35 8

240 213 12 6 260 M 10 x 35 12

290 261 12 6 310 M 10 x 35 12

370 318 17 8 395 M 12 x 50 12

450 400 17 8 480 M 12 x 50 16

550 501 17 12 580 M 12 x 50 16

690 651 22 12 720 M 12 x 55 20


Flanschbauteile


h

d1

d2

ds

Technische Daten

Bestelldaten

Zentrierringe (AI/Edelstahl) mit O-Ring (CR/FPM)

63 100 160 200 250

96 128 179 239 287

70 102 153 213 261

67 99 150 210 258

8 8 8 8 8

3,9 3,9 3,9 3,9 3,9

268 41 268 42 268 43 268 44 268 45

268 05 268 06 268 09 268 19 268 17

887 03 887 04 887 07 887 02 887 08

Maßzeichnung der Zentrierringe mit O-Ring

Technische Daten

Bestelldaten

320 400 500 630 800

358 440 541 691 840

318 400 501 651 800

313 395 496 646 795

14 14 14 14 14

5,6 5,6 5,6 5,6 5,6

268 46 268 47 268 48 268 49 268 50

268 18 268 14 268 15 268 16 –

ødød2

ød1

8

4

Technische Daten

Bestelldaten

Feinfilter auf Zentrierring (Edelstahl 1.4301) mit O-Ring (FPM)

63 100

96 128

70 102

62 94

887 20 887 21

Maßzeichnung der Feinfilter auf Zentrierring

Filter Material: Edelstahl 1.4404, Porengröße: 4 μm, Abscheidungsgrad: Partikel 1 μm bis 98 %



4

2d

3d1d

d

Technische Daten

3

Bestelldaten

Adapter-Zentrierringe (AI) mit O-Ring (FPM), ISO-K – ISO-KF

100 / 100 160 / 150 250 / 250

126 177 285

100 150 250

102 153 261

95 145 244

105 25 105 35 105 45

Maßzeichnung der Übergangs-Zentrierringe

für O-Ringe

d

s

Technische Daten

Bestelldaten

63 100 160 200 250 320

75 107 158 208 253 329

5 5 5 5 5 7

5 5 5 5 5 1

ES210635 ES210645 ES210650 ES210655 ES210660 E210665

O-Ringe für ISO-K -Flanschverbindungen

Maßzeichnung der O-Ringe

Technische Daten

Bestelldaten

400 500 630 800 1000

405 506 658 808 1006

7 7 7 7 7

1 1 1 1 1

E210670 E210675 E210741 E210746 E210751

d

1d

2,64,5

Technische Daten

Bestelldaten

1) Nur für Überwurfflansch-Verbindung

Ultra-Dichtscheiben (AI 3.2315.71) 1)

63 100 160 250

69,8 101,8 152,8 260,8

85,6 116,6 166,6 276,6

886 24 886 25 886 26 886 27

Maßzeichnung der Ultra-Dichtscheiben


Flanschbauteile


l

l

1

M

Technische Daten

l

Bestelldaten

63 / 250 63 / 250 320 / 500 630 320 / 630

4 / 6 4 / 6 8 / 12 12 8 / 12

10 10 12 12 12

60,0 68,0 78,0 88,0 82,5

17 bis 27 25 bis 35 27 bis 39 31 bis 49 29 bis 47

267 01 267 02 267 10 267 11 –

887 99 – – – 210 061

Klammern für ISO-K

Maßzeichnung der Klammern für ISO-K

l

M

l

l

2

2,5

1

Technische Daten

l

l

Bestelldaten

63 / 100 160 / 250 320 / 500 630

4 / 8 8 / 12 12 / 16 20

8 x 35 10 x 35 12 x 50 12 x 55

22,5 23,0 36,5 41,5

8,6 9,1 15,9 15,9

268 25 268 26 268 27 268 28

Pratzen (Stahl 1.1181, verzinkt) für ISO-K

Maßzeichnung der Pratzen für ISO-K

Genaue Anzahl der Klammern siehe erste Seite des Abschnittes „ISO-K Klammer-

Klammern für ISO-K, Edelstahl




l

M

l

l

2

2,5

1

Technische Daten

l

l

Bestelldaten

63 / 100 160 /250 320 / 500

8 x 30 10 x 35 12 x 45

18,6 19,0 31,0

8,6 9,0 16,0

268 76 268 77 268 78

Pratzen für Dichtnut in Grundplatte (Stahl 1.1181, verzinkt) für ISO-K

Maßzeichnung der Pratzen für Dichtnut


d1

b

d

12 M88

b1 5

Technische Daten

Bestelldaten

Gewindebohrung M 8 ab Nennweite DN 500

63 100 160 200 250 320 400 500 630

12 12 12 12 12 17 17 17 22

4,5 4,5 4,5 4,5 4,5 6,5 6,5 6,5 6,5

95 130 180 240 290 370 450 550 690

70 102 153 213 261 318 400 501 651

26947 26948 26949 – 26956 – – – –

88755 88756 88757 88754 88758 88759 88760 88761 88762

Blindflansche (Stahl 1.0037, vernickelt / Edelstahl 1.4301)

d1

d2

d

126

Technische Daten

Bestelldaten

63 100 160 200 250

95 130 180 240 290

70 102 153 213 261

76,6 108,7 159,8 219,8 267,8

269 61 269 62 269 63 – 269 65

886 61 886 62 886 63 886 64 886 65

Anschweißflansche

Maßzeichnung der Anschweißflansche


Flanschbauteile


d2

s

d1d

b

100

Technische Daten

Bestelldaten

63 100 160 200 250 320 400 500 630

95 130 180 240 290 370 450 550 690

70 102 153 213 261 318 400 501 651

76,1 108,0 159,0 219,1 267,0 324,0 406,0 508,0 660,0

2,9 2,9 2,9 – 3,0 3,0 3,0 4,0 5,0

2,3 2,0 2,0 3,0 3,0 3,0 3,0 4,0 5,0

12 12 12 12 12 17 17 17 22

26904 26905 26906 – 26917 – – – –

88640 88641 88642 88643 88718 88719 88646 88647 88648

Klammerflansche mit Rohransatz (Stahl 1.0831, 1.0308 / Edelstahl 1.4301)

Maßzeichnung der Klammerflansche

mit Rohransatz

d2

a k

d

1d

b 12

Technische Daten

Bestelldaten

160 160 200 200 250

63 100 100 160 160

M 8 M 8 M 8 M 10 M 10

22 25 20 25 22

180 180 240 240 290

130 165 165 225 225

70 102 102 153 153

110 145 145 200 200

886 14 886 15 886 17 886 16 886 50

Reduzierflansche ISO-K – ISO-F (Edelstahl 1.4301)

Maßzeichnung der Reduzierflansche



d1

50

d

DN1

DN

Technische Daten

ISO-K

Bestelldaten

100 250

63 200

70 213

102 261

887 89 – – 887 93

Reduzierstücke (Edelstahl)

Maßzeichnung der Reduzierstücke

d1

a

a

d1

a

a

Technische Daten

Bestelldaten

63 100 160 250

88 108 138 208

70 102 153 261

1,1 2,2 5,9 9,9

208 470 1200 3700

887 25 887 26 887 27 887 28

Rohrbögen (Edelstahl 1.4301); ab DN 160 ISO-K Rohrwinkel

Maßzeichnung der Rohrbögen (links) und

Rohrwinkel (rechts)

d

b

1

a

a

Technische Daten

Bestelldaten

63 100 160 250

88 108 138 208

176 216 276 416

70 102 153 261

1,6 3,2 7,6 8,1

887 35 887 36 887 37 887 38

T-Stücke (Edelstahl 1.4301)



Flanschbauteile


d1

b

a

a

b

Technische Daten

Bestelldaten

63 100 160 250

88 108 138 208

176 216 276 416

70 102 153 261

887 45 887 46 887 47 887 48

4-Wege-Kreuzstücke (Edelstahl 1.4301)

Maßzeichnung der 4-Wege-Kreuzstücke

h

AAnsicht: A

ac

c c

DN 25DN 40DN 16

1 2

Technische Daten

Bestelldaten

63 100 160

44 50 50

88 100 100

66 82 107

59 77 105

64 80 107

886 71 886 72 886 73

Abzweigstücke mit je einem seitlichen Abgang DN 16/25/40 ISO-KF (Edelstahl 1.4301)

Maßzeichnung der 4-Wege-Reduzier-Kreuzstücke

mit seitlichen DN 16/25/40 ISO-KF Flanschen

Nicht verwendbar mit Überwurfflanschen ISO-F und DIN EN 1092-1

l

d1s t

d

DN1

DN

Technische Daten

ISO-KF

Bestelldaten

63 63 100

40 50 40

95 95 130

70 70 102

40 45 40

5 5 5

4,5 4,5 4,5

0,5 0,6 0,8

887 40 887 41 887 42

269 40 269 41 –

Übergangsstücke ISO-K – ISO-KF

Maßzeichnung der Übergangsstücke

ISO-K - ISO-KF;

Aluminium (links) und Edelstahl (rechts)



90

DN

1DN

2DN

Technische Daten

CF

Bestelldaten

63 100 160

63 100 160

4 1/2" 6" 8"

66 104 153

837 01 837 02 837 03

Übergangsstücke ISO-K – CF

Maßzeichnung der Übergangsstücke ISO-K - CF

d1

l

Technische Daten

Bestelldaten

1)

63 100 160 250

70 102 153 261

132 132 150 200

1,0 3,9 6,2 9,3

20 28 22 30

20 28 22 30

± 30° ± 30° ± 14° ± 13°

7,5 9,0 3,5 4,5

887 70 887 71 887 72 887 68

Federungskörper (Edelstahl 1.4571) mit Flanschen (Edelstahl 1.4301)

Maßzeichnung der Federungskörper

d1

l

Technische Daten

Bestelldaten

63 63 63 63 100 100 100 100

70 70 70 70 102 102 102 102

250 500 750 1000 250 500 750 1000

250 250 250 250 370 370 370 370

160 160 160 160 240 240 240 240

868 37 867 97 868 34 868 07 868 38 867 98 868 35 868 08

Flexible Vakuumschläuche (Edelstahl 1.4571) mit Flanschen (Edelstahl 1.4301)

Maßzeichnung der flexiblen Vakuumschläuche


Flanschbauteile


b

dd1 D

Technische Daten

Bestelldaten

1) Wird komplett mit Edelstahl-Schlauchschellen geliefert

63 100 160

120 150 200

75 106 155

85 116 165

70 72 72

272 23 1) 272 24 1) 272 25 1)

Elastische Ausgleichselemente (CR)

Maßzeichnung der elastischen Ausgleichselemente

d

l

1d2 d

Bestelldaten

Technische Daten

63 100 160

70 102 150

76 107 156

95 130 180

51 56 56

272 35 272 36 272 37

Anschlüsse für elastische Ausgleichselemente (Aluminium 3.2315.71)

Maßzeichnung der Anschlüsse für elastische Aus-

gleichselemente

l

d

Technische Daten

Bestelldaten

63 - 100 160 - 250 320 - 500 630

M 8 x 40 M 10 x 50 M 12 x 70 M 12 x 80

8 12 16 20

8 12 16 20

8 12 16 20

887 81 887 82 887 83 887 84

Schrauben-Sätze für ISO-K -Flanschverbindungen (verzinkter Stahl 8.8)

Maßzeichnung der Schrauben-Sätze für ISO-K

Flanschverbindungen



ISO-K

ISO-K

ISO-F

ISO-K

DIN 2501

DIN 28 404 (ISO-F)

ISO-K

ISO-F und DIN EN 1092-1Festflansch-Verbindungen, ND 6


- Hochvakuumdicht auch bei großen

Nennweiten und hoher mechani-

scher Belastung

- Gleichmäßige Dichtkraft durch eine

große Anzahl von Schrauben

- Übergang auf andere Flansch-

sys teme ist leicht möglich

- Vakuumdichtscheiben bestehen aus

CR O-Ring-Dichtung und innerem

und äußerem Aluminiumring

- Festflansche und Überwurf-Flan sche

können durch die Verwendung von

ausheizbaren Ultra-Dichtschei ben

auch als Ganzmetalldichtung ausge-

führt werden.

Zusätzlich zu Klammerflansch-Verbin-

dungen werden in der Hochvakuum-

technik festver schweißte Flansche

(ISO-F oder nach DIN EN 1092-1) zur

Ver bindung von Ventilen, Pumpen und

anderen Bauteilen eingesetzt.

Verbindung von Klammer-Flanschen mit Rohr-

ansatz durch Überwurf-Flansche; Dichtscheibe

Verbindung von Klammer-Flanschen mit Überwurf-

Flanschen untereinander; Ultra-Dichtscheibe

Gegenüberstellung:

Klammer-Flansch mit Überwurf-Flansch nach

DIN EN 1092-1 und Klammer-Flansch mit Über-

wurf-Flansch nach DIN 28 404; ISO-F

Überwurf-Flansch Stahl Edelstahl

Verzinkter 8.8 Stahl 1.4401

Stahl 1.4310

Hinweis: Die Angabe ND 6 ist eine Maßangabe und bezieht sich nicht auf einen Arbeitsdruck von 6 bar!


Flanschbauteile


ISO-F Festflansch-Verbindungen

b

d

d1

Technische Daten

Bestelldaten

63 100 160 250 320

98 132 185 295 375

73 107 160 270 330

4 4 4 4 6

171 09 171 10 171 11 171 12 171 19

Vakuum-Dichtscheiben für ISO-F Flansche (AI/CR)

Maßzeichnung der Vakuum-Dichtscheiben

Technische Daten

Bestelldaten

400 500 630 800 1000

460 560 701 870 1070

415 515 656 825 1025

6 6 6 6 6

171 14 171 15 171 16 171 17 171 18

d

s

Technische Daten

Bestelldaten

63 100 160 250 320

80 110 165 265 325

5 5 5 5 8

5 5 5 5 1

ES210701 ES210711 ES210716 ES210721 E210726

Ersatz-O-Ringe für ISO-F Festflansch-Verbindungen

Maßzeichnung der Ersatz-O-Ringe

Technische Daten

Bestelldaten

400 630 800 1000

412 640 820 1023

8 8 8 8

1 1 1 1

E210731 E210741 E210746 E210751



d

1d

2,64,5

Ultra-Dichtscheiben (AI 3.2315.71) für ISO-F Flansche

Maßzeichnung der Ultra-Dichtscheiben

Technische Daten

Bestelldaten

63 100 160 250

69,8 101,8 152,8 260,8

85,6 116,6 166,6 276,6

886 24 886 25 886 26 886 27

a

DN 16

30

ø d

d 2

1d

Technische Daten

Bestelldaten

63 100 160

52,3 71,3 102,3

130 165 225

70 102 153

M 8 M 8 M 10

4 8 8

286 60 286 61 286 62

887 03 887 04 887 07

Messflansche

Maßzeichnung der Messflansche


Flanschbauteile


d2

k

b

d1

Technische Daten

Bestelldaten

63 100 160 200 250

130 165 225 285 335

95,6 130,6 180,9 240,9 290,9

110 145 200 260 310

12 12 16 16 16

4 8 8 12 12

267 67 267 70 267 71 267 68 267 72

ISO-F Überwurf-Flansche mit Sprengring zur Verwendung mit Klammer-Flansch-Bauteilen (Stahl 1.0037)

Maßzeichnung der Überwurf-Flansche mit Spreng-

ring

Technische Daten

Bestelldaten

320 400 500 630

425 510 610 750

370,8 451,0 551,0 691,0

395 480 580 720

20 20 20 24

12 16 16 20

267 76 267 74 267 75 267 77

l

d

Schrauben, Unterlegscheiben und Muttern für Festflansch-Verbindungen (verzinkter Stahl 8.8)

Maßzeichnung der Schrauben und Muttern für

Festflansch-Verbindungen

Technische Daten

Bestelldaten

63 - 100 160 - 250 320 - 500 630

M 8 x 40 M 10 x 50 M 12 x70 M 12 x 80

8 12 16 20

8 12 16 20

8 12 16 20

887 81 887 82 887 83 887 84



d

ls

Gewindestifte, Muttern und Unterlegscheiben für Verbindungen mit VAT-Schiebern (Edelstahl)

Maßzeichnung der Gewindestifte mit Mutter und

Unterlegscheibe

Technische Daten

Bestelldaten

63-100 160-250

M 8 x 45 M 10 x 55

4 6

16 12

16 12

16 12

839 13 210 071


Flanschbauteile


DIN EN 1092-1 -Festflansch-Verbindungen; Abmessungen nach DIN EN 1092-1, ND 6Hinweis: Die Angabe ND 6 ist eine Maßangabe und bezieht sich nicht auf einen Arbeitsdruck von 6 bar!

d

s

Bestelldaten

63 100 160

80 110 165

5 5 5

5 5 5

ES210701 ES210711 ES210716

Ersatz-O-Ringe für Vakuum-Dichtscheiben nach DIN EN 1092-1

Maßzeichnung der Ersatz O-Ringe

Technische Daten

1

b

dk

d

Überwurf-Flansche mit Sprengring (Stahl 1.0037)

Maßzeichnung der Überwurf-Flansche mit Spreng-

ring

Bestelldaten

63 100 160

160 210 265

95,6 130,6 180,9

130 170 225

12 15 15

267 47 267 50 267 51

Technische Daten

Schrauben und Muttern für DIN-Flansche

Maßzeichnung der Schrauben und Muttern

Technische Daten

Bestelldaten

63 100 160 250

M 12 x 40 M 16 x 50 M 16 x 50 M 16 x 50

4 8 8 12

201 02 381 201 02 434 201 02 434 201 02 434

211 01 115 211 01 117 211 01 117 211 01 117



h

Ø i.D

Ø o.DØ k

CF-Flansche

optimal an. Daraus erklärt sich die hohe

Dichtwirkung und die besonders gerin-

ge Leckrate von CF-Flan schen. Zur

Überprüfung der Dichtheit der Flansch-

verbindung ist eine radiale Lecksuchnut

bis an den Dichtring herangeführt.

Um sicherzugehen, dass die Dicht-

schneide auch bei häufigem Gebrauch

der Flansche nicht schadhaft wird,

wurde die herkömmliche Schnei den-

geo me trie der CF-Flansche weiterent-

wickelt. Durch den Einsatz des Oerlikon

Leybold Vacuum-Schneiden-Profils mit

stumpfem Winkel wird die Stand festig-

keit der abdichtenden Schneidkante

Die CF-Flansch-Verbindung besteht

aus zwei geometrisch gleichen Flan-

schen mit einer Flach-Dichtung aus

OFHC-Kupfer, Schrauben, Muttern

und Unterlegscheiben.

Dichtprinzip

Bei der Montage der Flansche fügt sich

der Kupfer-Flach-Dichtring mit leichtem

Spiel in die äußere Flanschausdrehung

ein und bewirkt so eine gu te Zentrie-

rung der Flanschverbindung. Werden

die Flanschschrauben nach Vorschrift

angezogen, so drückt sich die Flansch-

schneide in den Kup fer-Flach-Dichtring

ein. Dabei findet an der äußeren

Schnei denflanke, von der Flanschach-

se aus gesehen, ein Fließ pressen des

Kupfers statt. An der in ne ren Schnei-

denflanke erfolgt gleichzeitig ein

Schneidvorgang. Der Kupfer-Flach-

Dichtring passt sich dabei der Mikro-

struktur der äußeren Schneiden flanke

entscheidend stabilisiert. Neben der

Dichtschneide haben die Flansche eine

weitere konzentrisch eingedrehte Flä-

che, auf die eine FPM-Dichtung oder

ein Tragring mit FPM-O-Ring aufgelegt

werden kann, der bis 150 °C ausheiz-

bar ist (gilt nicht für Schaugläser).

Diese Konstruktion hat den Vorteil,

dass man die Apparatur vor der end-

gültigen Montage zunächst mit elasti-

schen Dichtungen ausstatten und bei

Drücken im Hochvakuum-Bereich tes-

ten kann.

Technische Daten

[

Innen-[

[

[

16 40 63 100 160 200 250

34,0 69,5 113,5 152,0 202,5 253,0 305,0

16,0 36,8 66,0 104,0 155,0 200,0 250,0

27,0 58,7 92,2 130,3 181,0 231,8 284,0

7,5 13,0 17,5 20,0 22,0 24,5 24,5

6 6 8 16 20 24 32

4,3 6,6 8,4 8,4 8,4 8,4 8,4

Umrechnungswerte

A · m-1

1 Oe = 79,577 (A · m-1)

Vs · m2 = Tesla (T)

1 G = 10-4 Vs · m2 = 10-4 T

Maßzeichnung zu den CF-Flanschen


Flanschbauteile


CF-Bauteile werden entsprechend den

in der Einführung beschriebenen An for-

derun gen aus ausgewählten, kor ro-

sions bestän di gen Edelstählen gefertigt.

Konstruktion und Fertigungs tech nik

sind den Erfordernissen des Ein satzes

im UHV gerecht ausgeführt. Alle Bau-

teile werden von innen geschweißt, um

Spalte und Sacklöcher, die sogenannte

virtuelle Lecks darstellen, von vornher-

ein zu vermeiden (vir tuelle Lecks sind

von außen durch Leck suche nicht zu

lokalisieren). Falls, kon struk tions be-

dingt, Schweißnähte von außen nicht

zu vermeiden sind, sind diese bis auf

die Innenseite - die Vakuum seite -

durchgeführt.

Eine sorgfältige UHV-Reinigung und

entspre chende Verpackungen für die

Bauteile sind not wendige Vorausset-

zungen dafür, dass nach dem Zusam-

menbau (auch hier sau bere Be din gun-

gen vorausgesetzt) in der Apparatur in

angemessener Zeit Drücke im UHV-

Bereich erreicht werden.

Für Anwendungen im extremen UHV

(XHV) kann die Abgasrate der CF-Flan-

sche und der UHV-Bauteile zusätzlich

durch ein spezielles Entgasungsver fah-

ren um ca. zwei Größenordnungen ge -

senkt werden.


- Niedrige Gasabgabe

- Hohe Ausheiztemperatur

- Leckraten kleiner

1 · 10-11 mbar · l · s-1

- Eckmaße entsprechend den Bau-

teilen der internationalen Hersteller

- Schrauben sind von der Körperseite

her einsteckbar



1

d

d

2

Technische Daten

Maßzeichnung der Kupfer-Dichtringe

Bestelldaten

Kupfer-Dichtringe für CF-Flansche (OFHC-Kupfer – sauerstofffrei)

16 40 63 100 160 200 250

16,2 39,0 63,6 101,8 152,6 203,4 254

21,3 48,1 82,4 120,5 171,3 222,1 272,7

– – – – – – x

x x x x x x –

ES83941 ES83943 ES83944 ES83945 ES83946 ES83947 ES83948

d

d

DN 16 CF DN 40 CF

DN 63 - 200 CF

Technische Daten

Maßzeichnung der FPM-Profildichtringe

ohne Tragring

Bestelldaten

FPM-Profildichtringe ohne Tragring

16 40 63 100 160 200

16,0 42,0 69,7 107,8 156,0 206,0

160 160 160 160 160 160

– – x x x x

x x – – – –

ES83921 ES83923 ES83934 ES83935 ES83936 ES83937

d

Technische Daten

Maßzeichnung zum FPM-O-Ring mit Tragring

Bestelldaten

FPM-O-Ring mit Tragring

250

248,3

160

839 03


Flanschbauteile


h

i.D

dd

1,4

Technische Daten

Bestelldaten

CF-Blind-Flansche, fest

16 40 63 100 160 200 250

14 38 66 104 155 205 256

34,0 69,5 113,5 152,0 202,5 253,0 305,0

7,5 13,0 17,5 20,0 22,0 24,5 24,5

835 01 835 03 835 04 835 05 835 06 835 07 835 09

i.D

d1

1,4

h

Bestelldaten

Technische Daten

CF-Blind-Flansche, drehbar

16 40 63 100 160 200 250

14 38 66 104 155 205 256

18,6 41,0 71,0 109,0 160,0 206,0 257,0

5,8 7,6 12,6 14,3 15,8 17,1 18,0

835 21 835 23 835 24 835 25 835 26 835 27 835 29

i.D

d1

h

Technische Daten

Maßzeichnung der CF-Anschweiß-Flansche, fest

Bestelldaten

CF-Anschweiß-Flansche, fest

16 40 63 100 160 200 250

16,0 36,8 66,0 104,0 155,0 200,0 250,0

18,3 40,3 70,3 108,5 159,5 205,5 256,5

4,2 5,5 9,5 11,0 12,0 12,5 12,5

835 41 835 37 835 38 835 39 835 40 835 47 835 49

Fehlende Maße siehe „Technische Daten“

am Anfang des Abschnittes „CF-Flansche“







i.D

d1

h1

d2

h2

Technische Daten

Maßzeichnung der CF-Anschweiß-Flansche,

drehbar

Bestelldaten

CF-Anschweiß-Flansche, drehbar

16 40 63 100 160 200 250

16,0 36,8 66,0 104,0 155,0 200,0 250,0

18,3 40,3 70,3 108,5 159,5 205,5 256,5

18,6 41,0 71,0 109,0 160,0 206,0 257,0

4,2 5,5 9,5 11,0 12,0 12,5 12,5

5,8 7,6 12,6 14,3 15,8 17,1 18,0

835 61 835 58 835 59 835 60 835 69 835 67 835 78

S

h

i.D

Technische Daten

Maßzeichnung der CF-Flansche mit Rohransatz;

links fest, rechts drehbar

Bestelldaten

CF-Flansche mit Rohransatz

16 40 63 100 160

16,0 36,8 66,0 104,0 155,0

1,0 1,6 2,0 2,0 2,0

38 63 105 135 167

835 51 835 31 835 32 835 33 835 34

835 71 835 82 835 74 835 75 835 76






Flanschbauteile


DN

DN1

ød

øk

hh1

d1

Technische Daten

Maßzeichnung der CF-Reduzier-Flansche

CF

Bestelldaten

CF-Reduzier-Flansche

40 63 100 100 160 160

16 40 40 63 40 100

27,0 58,7 58,7 92,2 58,7 130,0

13,0 17,5 20,0 20,0 22,0 22,0

5,5 9,0 9,0 11,0 9,0 11,0

16 39 39 66 39 104

M 4 M 6 M 6 M 8 M 6 M 8

836 85 836 86 836 87 836 89 836 90 836 91

839 10 839 11 839 11 839 13 839 11 839 13

DN

hd

DN1

Technische Daten

Maßzeichnung der CF-Reduzierstücke

Bestelldaten

CF-Reduzierstücke

40 63 100 100 160

16 40 40 63 100

45 75 75 95 105

18 40 40 70 108

837 10 837 15 837 16 837 19 837 22







a

a a

a

Technische Daten

Maßzeichnung der Rohrbögen 90° (links) und der

Rohrwinkel 90 ° (rechts)

Bestelldaten

Rohrbögen 90°; ab DN 160 CF Rohrwinkel

16 40 63 100 160

38 63 105 135 167

836 04 836 05 836 06 836 07 836 08

a

a

h

Technische Daten


Bestelldaten

T-Stücke

16 40 63 100 160

38 63 105 135 167

76 126 210 270 334

836 14 836 15 836 16 836 17 836 18






Flanschbauteile


a

a

h

Technische Daten

Maßzeichnung der Kreuzstücke

Bestelldaten

Kreuzstücke

16 40 63 100 160

38 63 105 135 167

76 126 210 270 334

836 34 836 35 836 36 836 37 836 38

a

a

h

Technische Daten

Maßzeichnung der Doppel-Kreuzstücke

Bestelldaten

Doppel-Kreuzstücke

40 63 100 160

63 105 135 167

126 210 270 334

836 45 836 46 836 47 836 48







DN

hd1

ddDN1

Technische Daten

Maßzeichnung der UHV-Übergangsstücke

CF - ISO-KF

ISO-KF

Bestelldaten

Übergangsstücke CF - ISO-KF

16 16 40 40 40 63

16 25 16 25 40 40

16 16 16 26 37 41

35 35 30 30 50 35

20 20 20 30 41 45

837 81 837 83 837 82 837 84 837 36 837 86

90

DN1

DN

2DN

Technische Daten

ISO-K

Bestelldaten

63 100 160

63 100 160

4 1/2" 6" 8"

66 104 153

837 01 837 02 837 03

Übergangsstücke CF – ISO-K

Maßzeichnung der Übergangsstücke CF - ISO-K

h

DN

Technische Daten

Maßzeichnung der CF-Wellbälge

Bestelldaten

Federungskörper, flexibel (CF-Wellbälge)

16 40 63 100

76 ±1,5 126 ±2 139 ±2 142 ±2

880 01 880 02 880 03 880 04








Flanschbauteile


Technische Daten

Maßzeichnung der CF-Wellschläuche

l

Bestelldaten

Federungskörper, flexibel (CF-Wellschläuche)

16 16 16 16

250,0 500,0 750,0 1000,0

23,0 23,0 23,0 23,0

15,0 15,0 15,0 15,0

16,0 16,0 16,0 16,0

22,5 22,5 22,5 22,5

70,0 70,0 70,0 70,0

50,0 50,0 50,0 50,0

885 56 885 68 885 65 885 73

o d o d o d

a/b

l

l1l 1

1 2

Technische Daten

Maßzeichnung der Schrauben mit

Doppel-Gewindescheibe und Unterlegscheiben

Bestelldaten

Schrauben mit Doppel-Gewindescheibe und Unterlegscheiben

16 40 63 100/160

M 4 x 20 M 6 x 35 M 8 x 45 M 8 x 55

20 35 45 55

7 10 12 12

4 5 8 8

4 10 20 20

6 6 8 20

3 3 4 10

6 6 8 20

838 87 838 88 838 89 838 91




l

d

Technische Daten

Maßzeichnung der 6kt-Schraubensätze

für CF-Flansche

Bestelldaten

1) 2 Satz erforderlich

6kt-Schraubensätze für CF-Flansche (Zur Verbindung von Flanschen mit Durchgangsbohrungen)

16 40 63 100 160 200 250

M4 x 20 M6 x 35 M8 x 45 M8 x 50 M8 x 55 M8 x 60 M8 x 60

4 10 20 20 20 20 20

25 25 25 25 25 25 25

25 25 25 25 25 25 25

25 25 25 25 25 25 25

839 00 839 01 838 81 839 04 839 05 839 07 839 07 1)

d

ls

Technische Daten

Maßzeichnung der Gewindestifte mit Mutter und

Unterlegscheibe

Bestelldaten

Gewindestifte, Muttern und Unterlegscheiben für Reduzier-Flansche

16 40 63 - 100

M 4 x 20 M 6 x 35 M 8 x 45

2 3 4

4 10 20

6 6 16

6 6 16

6 6 16

839 10 839 11 839 13



Flanschbauteile

Notizen


DN 50DN 40

DN 63

DN 100

DN 160

86°

108°

112° 123°

66°

Schaugläser für Vakuum-Systeme


- Flache Bauweise

- Leicht zu montieren bzw. zu de mon-

tieren

- Leichte Reinigung

- Großer Einblickwinkel

- Ausheizbar bis 150 °C

- Mit ISO-KF und ISO-K Bauteilen

kombinierbar

- Keine speziellen Befestigungsele-

mente erforderlich

- Der FPM-Ring übernimmt die Dich-

tung gegen Atmosphäre (integrierter

Zentrierring)

- Jedes Glas wird einem Lecktest

unterzogen (Funktionssicherheit!)

Für viele im Vakuum ablaufende Pro-

zesse ist eine Beobachtung der Vor-

gänge äußerst wichtig. Messungen und

Überwachung sind oft nur mit Geräten,

die an Atmosphäre arbeiten, mög lich.

Dafür sind hochtransparente, stabile

Schaugläser („Fenster ins Vakuum“) mit

einem großen Einblickwinkel notwen-

dig.

Kammer-Einblickwinkel der Schaugläser

DN 40 ISO-KF bis DN 160 ISO-K (montiert auf

entsprechenden Flanschen mit Rohransatz)


Flanschbauteile

2

1

3

1010

ø50ø40

13,5

ø70

13

ø102

40 ISO-KF

50 ISO-KF63 ISO-K

100 ISO-K

160 ISO-K

ø153

17Tr

ansm

issi

on

DN 40-100

DN 160

1000

10

20

30

40

50

60

70

80

(%)

100

300 500 700 900

Wellenlänge

1100 1300 (nm) 1700

ISO-KF- und ISO-K Schauglas mit kompletter Ver-

bindung

1 O-Ring

2 Glas

3 Flansch

Glasdurchmesser der Schaugläser

Transmission als Funktion der Wellenlänge für Oerlikon Leybold Vacuum Schaugläser DN 40 ISO-KF bis

DN 160 ISO-K für unterschiedliche Glasdicken

Technische Daten Schaugläser

Bestelldaten

Kat.-Nr. Kat.-Nr. Kat.-Nr. Kat.-Nr. Kat.-Nr.

40 ISO-KF 50 ISO-KF – – –

– – 63 ISO-K 100 ISO-K 160 ISO-K

210 131 210 132 210 133 210 134 210 135

®

Dielektrizitätszahl bei 25 °C 4,8 bei 1 MHz

Flanschmaterial Edelstahl 1.4301

Material des O-Rings FPM

Leckrate < 10-8 mbar · l/s

40 ISO-KF 50 ISO-KF – – –

– – 63 ISO-K 100 ISO-K 160 ISO-K

4 4 4 5 9

44 54 75 109 160

112 123 66 86 108

Schaugläser

ISO-KF/ISO-K Schaugläser


S

h

50Ø d

CF Schaugläser

Normalgläser finden in der Regel nur

Verwendung zum visuellen Beobach-

ten, zum Fotografieren von experimen-

tellen Details und u. a. für Pyrometer-

Messungen.


- Optische Planparallelität der Glas-

oberfläche bis kurz vor der Glasein-

schmelzung

- Flansch mit großem Einblickwinkel

Optische Transmission von CF (Kodial-)Schaugläsern

Wellenlänge [nm]

Tra

nsm

issi

onsg

rad

[%

]

––––– Saphir

–– · –– Kodial

Maßzeichnung der CF Schaugläser

Technische Daten

a

Bestelldaten

40 63 100 160

3,0 3,5 6,0 8,0

38 65 90 135

38 57 71 92

11,0 16,4 8,0 10,0

50 50 50 50

400 bis 3000 400 bis 3000 400 bis 3000 400 bis 3000

Vacon Vacon Vacon Vacon (Kompensatorring) (Kompensatorring) (Kompensatorring) (Kompensatorring)

93 im sicht- 93 im sicht- 93 im sicht- 93 im sicht-

Kodial Kodial Kodial Kodial

5 5 5 5

400 400 400 400

210 112 210 114 210 115 210 116


Flanschbauteile

d

h

50

s

Saphir besitzt einen Durchlässigkeits-

bereich von 250 nm bis 5500 nm. Die

IR-Grenze ist weit ins Infrarot verscho-

ben. Daher werden diese Gläser z.B.

verwendet bei Sonnen-Simulations-

tests, Laser-Experimenten, Hochtem-

peratur-Plas ma-Untersuchungen und

spektroskopischen Messungen.


- Optische Planparallelität der Glas-

oberfläche bis kurz vor der Glasein-

schmelzung

Optische Transmission von CF Saphir-Schaugläsern

Wellenlänge [nm]

Transm

issi

onsg

rad

[%

]

––––– Saphir

–– · –– Kodial

Maßzeichnung der CF Saphir-Schaugläser

Technische Daten

(a

Bestelldaten

40

3

23

23

10

50

250 bis 5500

> 80

Saphir

5

400

210 122

CF Saphir-Schaugläser

Oerlikon Leybold Vacuum GmbHBonner Straße 498

D-50968 Köln

Tel.: +49-(0)221-347 0

Fax: +49-(0)221-347 1250

[email protected] w w . o e r l i k o n . c o m / l e y b o l d v a c u u m

Deutschland

Oerlikon Leybold Vacuum GmbHSales, Service, Support Center (3SC)Bonner Straße 498D-50968 KölnTel.: +49-(0)221-347 1234Fax: +49-(0)221-347 [email protected]/leyboldvacuum

Oerlikon Leybold Vacuum GmbHVB NordNiederlassung BerlinIndustriestraße 10bD-12099 BerlinTel.: +49-(0)30-435 609 0Fax: +49-(0)30-435 609 [email protected]

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Oerlikon Leybold VacuumDresden GmbHService Competence CenterZur Wetterwarte 50, Haus 304D-01109 DresdenService:Tel.: +49-(0)351-88 55 00Fax: +49-(0)351-88 55 [email protected]

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Niederlande

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Oerlikon Leybold VacuumSpain, S.A.C/. Huelva, 7E-08940 Cornellà de Llobregat(Barcelona)Sales:Tel.: +34-93-666 43 11Fax: +34-93-666 43 [email protected]:Tel.: +34-93-666 46 13Fax: +34-93-685 43 [email protected]

Amerika

USA

Oerlikon Leybold VacuumUSA Inc.5700 Mellon RoadUSA-Export, PA 15632Tel.: +1-724-327-5700Fax: [email protected]:Tel.: +1-724-327-5700Fax: +1-724-333-1217Service:Tel.: +1-724-327-5700Fax: +1-724-325-3577

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Oerlikon Leybold VacuumBrasilRod. Vice-Prefeito Hermenegildo Tonolli,nº. 4413 - 6BDistrito IndustrialJundiaí - SPCEP 13.212-315Sales und Service:Tel.: +55 11 2152 0499Fax: +55 11 99467 [email protected]@oerlikon.com

Asien

Volksrepublik China

Oerlikon Leybold Vacuum (Tianjin)International Trade Co. Ltd.Beichen EconomicDevelopment Area (BEDA),No. 8 Western Shuangchen RoadTianjin 300400ChinaSales und Service:Tel.: +86-22-2697 0808Fax: +86-22-2697 4061Fax: +86-22-2697 [email protected]@oerlikon.com

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Oerlikon Leybold VacuumIndia Pvt Ltd.No. 82(P), 4th PhaseK.I.A.D.B. PlotBommasandra Industrial AreaBangalore - 560 099IndienSales und Service:Tel.: +91-80-2783 9925Fax: +91-80-2783 [email protected]@oerlikon.com

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Oerlikon Leybold VacuumJapan Co., Ltd.HeadquartersShin-Yokohama A.K.Bldg., 4th floor3-23-3, Shin-YokohamaKohoku-ku, Yokohama-shiKanawaga 222-0033JapanSales:Tel.: +81-45-471-3330Fax: [email protected]@oerlikon.com

Oerlikon Leybold VacuumJapan Co., Ltd.Tsukuba Technical Service Center1959, Kami-yokobaTsukuba-shi, Ibaraki-shi 305-0854JapanService:Tel.: +81-29 839 5480Fax: +81-29 839 [email protected]

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Oerlikon Leybold MalaysiaOerlikon Leybold VacuumSingapore Pte Ltd.No. 1 Jalan Hi-Tech 2/6Kulim Hi-Tech ParkKulim, Kedah DarulAman 09000MalaysiaSales and Service:Tel.: +604 4020 222Fax: +604 4020 [email protected]@oerlikon.com

Süd Korea

Oerlikon Leybold VacuumKorea Ltd.3F. Jellzone 2 TowerJeongja-dong 159-4Bundang-gu Sungnam-siGyeonggi-doBundang 463-384, KoreaSales:Tel.: +82-31 785 1367Fax: +82-31 785 [email protected]:623-7, Upsung-DongCheonan-SiChungcheongnam-DoKorea 330-290Tel.: +82-41 589 3035Fax: +82-41 588 [email protected]

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Oerlikon Leybold VacuumSingapore Pte Ltd.8 Commonwealth Lane #01-01Singapore 149555SingaporeSales und Service:Tel.: +65-6303 7030Fax: +65-6773 [email protected]@oerlikon.com

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