Makromolekulare Chemie KUNSTSTOFFE Kunststoffe= PolymereMakromoleküle= Plastik= Monomere Perle...

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  • Makromolekulare Chemie KUNSTSTOFFE Kunststoffe= PolymereMakromolekle= Plastik= Monomere Perle (Baustein) Polymer Perlenkette n > 1000
  • Folie 2
  • Makromolekulare Chemie DIE VERSUCHE 2. Photoresists Wie stelle ich winzig kleine Transistoren her? 1. Solarzellen Wie funktioniert eine organische Solarzelle?
  • Folie 3
  • P. Strohriegl Makromolekulare Chemie I Universitt Bayreuth C#Nat-Fortbildung, Bayreuth, 04. Dezember 2002 PHOTOLITHOGRAPHIE - MIT LICHT SCHREIBEN -
  • Folie 4
  • Makromolekulare Chemie PHOTOLITOGRAPHIE Kunststoffplatte Cu-Schicht Photoresist Lithographie: mit dem Stein schreiben Photolithographie: mit Licht schreiben Photoresist: Material, das beim Belichten seine Lslichkeit ndert
  • Folie 5
  • Makromolekulare Chemie PHOTOLITOGRAPHIE Kunststoffplatte Cu-Schicht Photoresist
  • Folie 6
  • Natronlauge Aceton HCl/H 2 O 2 Makromolekulare Chemie lslich unlslich PHOTOLITOGRAPHIE
  • Folie 7
  • Makromolekulare Chemie POSITIV-PHOTORESIST - DIE CHEMIE - Der Photoresist besteht aus 2 Komponenten Komponente 1: Polymer (Novolac)
  • Folie 8
  • Makromolekulare Chemie POSITIV-PHOTORESIST - DIE CHEMIE Komponente 2: Photoaktives Material Molekl I UV-Licht Molekl II unpolarpolar in Natronlauge unlslichin Natronlauge lslich
  • Folie 9
  • VOM EINKRISTALL ZUR SCHEIBE (WAFER) Makromolekulare Chemie Arbeitsschritte Sgen Kanten verrunden Schleifen/Lppen tzen Polieren Reinigen Wacker Siltronic
  • Folie 10
  • VOM SILICIUM - WAFER ZUM MIKROPROZESSOR Makromolekulare Chemie Hoechst High Chem Magazin Ein Silicium Wafer enthlt mehrere hundert Mikroprozessoren! Jeder Prozessor enthlt eine unvorstellbar groe Zahl an Bauelementen!
  • Folie 11
  • MIKROPROZESSOREN Makromolekulare Chemie... Der Mikroprozessor ist das Herzstck eines PC... extrem hohe Rechenleistung durch Miniaturisierung... Pentium 4: 42 Millionen Transistoren www.Intel.com
  • Folie 12
  • RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE Makromolekulare Chemie 1m (Meter) 1mm = 10 -3 m (Millimeter) 1 m = 10 -6 m (Mikrometer) 1nm = 10 -9 m Nanometer 1000 X kleiner 1000 X kleiner 1000 X kleiner Clarissa Drummer, Universitt Bayreuth
  • Folie 13
  • MINIATURISIERUNG Makromolekulare Chemie 10 m
  • Folie 14
  • Makromolekulare Chemie VOM SILICIUM-WAFER ZUM CHIP vom Silicium-Wafer zum Chip... Miniaturisierung 42.000.000 Transistoren... Photolithographie mit Licht schreiben... Arbeiten in winzigen Dimensionen ( m)... jede Strukturierung beruht auf einem Photolitographieschritt... ca. 250 Prozesschritte zum Chip
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  • Makromolekulare Chemie ERSATZFOLIEN
  • Folie 16
  • MINIATURISIERUNG Makromolekulare Chemie 2250 120.000 3.100.000 42.000.000 Quelle: Intel
  • Folie 17
  • FELDEFFEKT-TRANSISTOR DIE ERSTEN 3 SCHRITTE Makromolekulare Chemie Hoechst High-Chem Magazin
  • Folie 18
  • Makromolekulare Chemie FELDEFFEKT-TRANSISTOR SCHRITTE 4-6 Hoechst High-Chem Magazin
  • Folie 19
  • Makromolekulare Chemie FELDEFFEKT-TRANSISTOR SCHRITTE 7-9 Hoechst High-Chem Magazin
  • Folie 20
  • Makromolekulare Chemie FELDEFFEKTTRANSISTOR Hoechst High-Chem Magazin... ca. 250 Prozesschritte auf dem Weg vom Wafer zum Chip
  • Folie 21
  • Makromolekulare Chemie Base Technology CMOS (Complementary Metal-Oxide-Semiconductor)
  • Folie 22
  • Makromolekulare Chemie DANKE SCHN... fr die Idee zum Photoresistversuch: Reiner Giesa... fr die Ausarbeitung: Klaus Kreger, Rudolf Bauersachs... fr die Rasterelektronenmikroskopie: Clarissa Drummer... fr die Silicium Exponate: Wacker-Siltronic... fr Informationen und Bilder zur Chipfertigung: C. Hohle, Infineon
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  • Makromolekulare Chemie 3 m Der Chip enthlt viele Strukturen, die kleiner als 1 m sind kleinste Struktur in aktuellen Mikrochips 0.13 m (130 nm) WIE KLEIN SIND DIE TRANSISTOREN IN MIKROCHIPS? Infineon Technologies