Piezo- und Ultraschalltechnik - IDS · Piezo- und Ultraschalltechnik Sommersemester 2010 Walter...

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Piezo- und Ultraschalltechnik Sommersemester 2010 Walter Littmann 1 © ATHENA Technologie Beratung GmbH 2010 Piezo- und Ultraschalltechnik Übersicht zur Vorlesung im Sommersemester 2010 am Institut für Dynamik und Schwingungen Leibniz Universität Hannover Dr.-Ing. Walter Littmann, ATHENA Technologie Beratung GmbH Abbildungen: Im Ultraschallfeld schwebende Wassertropfen © ATHENA Technologie Beratung GmbH 2010 2 In der Vorlesung behandelte Fragestellungen Auswahl typischer Fragen an Forschung und Entwicklung Was ist Piezo? Was ist Ultraschall? Wozu braucht man das? Welche Anwendungen gibt es? Welche Abmessungen müssen Sensoren und Aktoren für vorgegebene Anwendungen besitzen? Wie sehen Ultraschallwandler aus und warum? Bei welchen Frequenzen / welchen Schwingungsformen werden Ultraschallwandler betrieben und warum? Welche Leistung muss eine Leistungselektronik bereitstellen können, wie groß muss sie sein, was muss sie regelungstechnisch leisten?

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Piezo- und Ultraschalltechnik

Sommersemester 2010

Walter Littmann

1

© ATHENA Technologie Beratung GmbH 2010

Piezo- und Ultraschalltechnik

Übersicht zur Vorlesung im Sommersemester 2010

amInstitut für Dynamik und Schwingungen

Leibniz Universität Hannover

Dr.-Ing. Walter Littmann, ATHENA Technologie Beratung GmbH

Abbildungen: Im Ultraschallfeld schwebende Wassertropfen

© ATHENA Technologie Beratung GmbH 2010 2

In der Vorlesung behandelte Fragestellungen

Auswahl typischer Fragen an Forschung und Entwicklung

• Was ist Piezo? Was ist Ultraschall? Wozu braucht man das? Welche Anwendungen gibt es?

• Welche Abmessungen müssen Sensoren und Aktoren für vorgegebene Anwendungen besitzen?

• Wie sehen Ultraschallwandler aus und warum?

• Bei welchen Frequenzen / welchen Schwingungsformen werden Ultraschallwandler betrieben und warum?

• Welche Leistung muss eine Leistungselektronik bereitstellen können, wie groß muss sie sein, was muss sie regelungstechnisch leisten?

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Ultraschall in Natur und Technik

20 kHz: Hörschwelle des Menschen

Tierwelt: Fledermäuse (Ortung)

Technik: Echolot („Fischfinder“)

[www.zooplus.de] [www.angeln.de]

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Inhaliergerät

Zahnsteinentfernung

[Sirona]

Fräsen hartspröder Werkstoffe

[Gildemeister]

Kfz-Einparkhilfe

[Ceramtec]

Ultraschallmotor

[Elliptec]

Anwendungen der Ultraschalltechnik

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Klassifizierung nach Funktionalität

Aktor – Sensor – Motor – Transformator

Scaler[Sirona]

Füllstandssensor [Motometer] Motor für Zoomfunktion

[Canon]

Transformator [Noliac]

Common-Rail-Aktor [Siemens]

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Ultraschallanwendungen nach Frequenzen

Reinigen, Schweißen, Schneiden

Ultraschallmotoren, Transformatoren

Drahtbonden, Dentalwerkzeuge

Werkstoffprüfung

Medizinische Anwendungen

Piezoelektrische Filter (SAW, FBAR)

20 kHz

100 kHz

1 MHz

1 GHz

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Untergrund

Schnittstellezum Prozess

ElektrischeAnsteuerung

Leistungs-elektronik

Steuer- undRegelelektronik

isoll

Ultraschallwerkzeug

mechanische Transformation

Konverteru i,

i

v F,

Kontakt- oder Abstrahlvorgang

Ultraschallsystem

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Ultraschallsysteme (Aktorik)

[fastline technology]

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Herzstück: Konverter

[Ultrasonics Steckmann GmbH]

Aufgabe: Elektrisch-mechanische Energiewandlung

Anregung einer Resonanzschwingung (λλλλ/2-Längsschwingung)

Amplitudenverteilung der Normalspannung

Amplitudenverteilung der Auslenkung

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Ultraschalltechnik: Mechatronische Systeme

Beispiel Ultraschall-Levitation

• Warum kann eine CD auf einem Ultraschallfeld schweben?→→→→ Akustik

• Wie schwingt das Ultraschallwerkzeug?Wie ist es aufgebaut?→→→→ Strukturmechanik

• Wie erfolgt die Umwandlung elektrischer in mechanische Schwingungsenergie?→→→→ Elektromechanik

• Wie funktioniert ein Ultraschallgenerator?→→→→ Regelungstechnik / Leistungselektronik

• Alle Disziplinen spielen zusammen!

⇒⇒⇒⇒ Mechatronisches Gesamtsystem!

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Schrittweise Systementwicklung

Entwurf

r 1

h

r

W r( )

( ) ( ) ( )rkICrkJCrW 0020010 +=

Konstruktion Analyse (FEM)

Aufbau Messtechnische Untersuchung

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Übersicht: Aufbau der Vorlesung

Ultraschalltechnik

• Einleitung

• Abschnitt 1: Passive Wellenleiter

• Abschnitt 2: Piezoelektrische Systeme

• Abschnitt 3: Laservibrometrie zur Messung von Ultraschall

• Abschnitt 4: Anwendung von Ultraschallaktoren

• Abschnitt 5: Ultraschallsensorik

• Abschnitt 6: Elektrische Ansteuerung

• Abschnitt 7: Motoren, Transformatoren, Energy Harvesting

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Passive Wellenleiter: Modellbildung

F2

v2

F1

v1ρEc = AcZ ρ=

v(x)

x/L

1

Gültigkeitsbereich des Ersatzsystems

F1

V1

ne

me

Z1 Z1

Z2 F2F1

V1 V2

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Dämpfung bei Resonanzschwingern

F

V

n

m

dRe Y( )Ω

Im ( )Y Ω

ω

ω1

ω2

1/(2d)

Dämpfung

• Leistungsbedarf

• Einschwingdauer

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Piezoelektrische Systeme

x

u x( )

F1

v1

F 2

v 2

v x( )

N x( )

X = L

i

u

Z1 Z1

Z2

F2F1

V1 V2

U

I

C01:αααα

U

I

C0

1:αααα

ni

mi

di

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Messungen an piezoelektrischen Systemen

base

Vee pro

GPIB

impedanceanalyzer

OutIn

poweramplifier

voltage

Piezo

currentprobe

20000 20500 21000 21500 22000

10-5

10-4

10-3

10-2

10-1

20500 21000 21500 22000

-75

-50

-25

25

50

75

V

AYel

f Hz [ ]

f Hz [ ]

°elϕ

U

I

C0

1:αααα

ni

mi

di

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Laservibrometrie

Aktorvrad

Scanfläche

Laser Scanning Vibrometer [Polytec]

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Anwendungen von Aktoren

[Herrmann

Ultraschalltechnik

GmbH]

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Ultraschallsensoren

[Tchibo]

Impuls Echo

[Kuttruff 1988]

• Impulsecho

• Dopplereffekt

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Elektrische Ansteuerung

FilterUltraschall-Werkzeug

Leistungs-stufe

Signal-erzeugung

Regelung

Verstärker

• Signalerzeugung: Generierung einer Referenzsignals mit gewünschter Frequenz aber nur kleiner

Spannungsamplitude

• Leistungsstufe: Verstärkung des Referenzsignal

• Filterung: Unterdrückung unerwünschter

Oberschwingungen

• Regelung: Nachführung der Frequenz, Amplitudenregelung

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Frequenzregelung

Frequenzregelung: wozu und wann notwendig?

Konzepte: „self-oscillating“ vs. „phase-locked loop (PLL)“

Leistungselektronik und Filterkonzepte

R3 R2

R1

+-

20.2 20.4-80

-40

0

40

80

f kHz [ ]

ϕ [°]

ϕ⋅=∆ Kf

∆ f

ϕ

ultrasonicactuator

controller

+-

K∆ f ϕϕ( )f

°=ϕ 0ref

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Motoren, Transformatoren, Energy Harvesting

Transformator [Noliac]

Motor für Zoomfunktion [Canon]

[Energy Harvesting: Siemens VDO / Conti 2007]