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28. September 2018
Praktikum zur Optischen Messtechnik
Anleitung zum Versuch
MOIRÉ
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1. Versuchsziel
Ziel des Versuchs ist das Kennenlernen und Untersuchen des Moiré‐Effektes. Im Rahmen
des Praktikumsversuches sollen verschiedene Moiré‐Verfahren zu Messzwecken und Bil‐
derkennung angewandt werden.
2. Theoretische Grundlagen und praktische Anwendung
2.1 Moiré Effekt
Der Moiré‐Effekt (von frz. moirer, „moirieren; marmorieren“) tritt bei der Überlagerung pe‐
riodischer Strukturen auf. Dabei werden helle und dunkle Streifen sichtbar.
2.2 Verdrehungs‐ und Verschiebungsmoiré
Es werden zwei Gitter gleicher Ortsfrequenz gegeneinander um den Winkel ∆ verdreht,
wie in Abb. 1 zu sehen. Dabei sind die Gitter jeweils um den Winkel bzw. gegenüber
dem Koordinatensystem verdreht und um bzw. verschoben. Es gilt ∆ .
Abb. 1 Größen bei der Überlagerung zweier Gitter Für die Rasterlinien des ersten Gitters gilt:
⋅ tancos
0
1
2
3
(1a) Analog gilt für die Rasterlinien des zweiten Gitters:
⋅ tancos
(1b) Stellt man die Gleichungen nach bzw. um, erhält man mit den Scharpa‐
rameter der Moiré‐Streifen, der angibt, welcher Streifen betrachtet wird (Abb. 1).
Anhand dieser Beziehung ergibt sich die Parametergleichung für den „ ‐ten“ Moiré‐Streifen
zu:
⋅⋅ sin ⋅ sin⋅ cos ⋅ cos
⋅⋅ cos ⋅ cos
(2) Der Abstand zweier benachbarter Moiré‐Streifen lässt sich bei Verdrehung des Rasters aus
den Gitterkonstanten und dem Winkel ∆ bestimmen, wenn 1 und 0 gilt:
2 ⋅ ⋅ cos ∆
(3) Auch bei der Überlagerung von nicht verdrehten Gittern (∆ 0) lassen sich Moiré‐
Streifen beobachten, wenn sich die Gitterkonstanten und geringfügig voneinander
unterscheiden.
Wird eines der Gitter senkrecht zur Rasterlinie des anderen Gitters verschoben, wandern
die entstehenden Moiré‐Streifen ebenfalls lotrecht zur Rasterlinie.
Da sich die Streifen schneller bewegen, als das Gitter verschoben wird, spricht man von
„Optischer Verstärkung V“:
ΔΔ
(4)
Dabei ist ∆ der Verschiebeweg von Gitter 1 relativ zu Gitter 2, welches relativ zum Koor‐
dinatensystem stabil bleibt und ∆ entspricht dem zurückgelegten Weg der „wandernden“
Moiré‐Streifen.
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2.3 Höhenlinienmoiré
Eine andere Möglichkeit besteht darin, die Überlagerung eines Bezugsrasters mit seinem
auf das Objekt geworfene Schattenbild zu beobachten. Man spricht dann vom Höhenlini‐
enmoiré oder Schattenmoiré.
Ziel dieses Verfahren ist es, die Abweichung der Objektoberfläche gegenüber der Oberflä‐
che des Bezugsrasters zu bestimmen. Damit kann es z.B. zur Ebenheitsprüfung genutzt
werden, setzt aber voraus, dass die Oberfläche diffus reflektiert.
Abb. 2 Prinzip des Höhenlinienmoiré
Bei Beleuchtung mit streng parallelen Licht (Punktlichtquelle im Unendlichen) berechnet
sich der Höhenunterschied zweier benachbarter Streifen mit dem Beleuchtungswinkel ,
dem Beobachtungswinkel und der Gitterkonstante wie folgt:
| |tan tan
(5) Um allerdings den „wahren“ Abstand zweier Streifen zu berechnen, benötigt man neben
dem Höhenunterschied | | den Winkel zwischen dem Bezugsgitter und der Testoberflä‐
che, hier bezeichnet als :
tan tan⋅cos
sin
(6)
∆
5
Abb. 3‐1 Streng paralleles Licht Abb. 3‐2 Berechnung der Beleuchtungsapertur → starker Kontrast
Zu beachten ist, dass die Moiré‐Streifen beim Höhenlinienmoiré nur bis zu einem gewissen
Abstand sichtbar sind, da keine ideale Lichtquelle (punktförmig im Unendlichen) existiert,
die streng paralleles Licht liefern würde. Je größer der Abstand zwischen dem Bezugsgitter
und der Testoberfläche ist, desto unschärfer werden die Moiré‐Streifen. Verantwortlich da‐
für ist die Beleuchtungsapertur der Lichtquelle. In Abb. 3‐2 ist zu erkennen, bei welchem
Abstand die das Gitter durchdringenden Lichtstrahlen die abgeschatteten Bereiche
überblenden und die Moiré‐Streifen verschwinden:
4 ⋅
(7)
2
6
2.4 Neigungslinienmoiré
Der Moiré‐Effekt kann auch zur Vermessung optischer Komponenten angewendet werden.
So kann beispielsweise die Krümmung von Spiegeln sehr genau bestimmt werden. Man be‐
dient sich dabei dem Prinzip des Neigungslinienmoirés.
Beim Neigungslinienmoiré wird ein Gitter mit seinem vom Testobjekt reflektierten Bild
überlagert. Aus dem Abstand der entstehenden Streifen kann die Krümmung des Testob‐
jektes bestimmt werden, solange es sich um große Krümmungsradien handelt (z.B. bei
Hohlspiegeln: 200 ). Im Gegensatz zum Höhenlinienmoiré können mit dem Nei‐
gungslinienmoiré nur verspiegelte Objekte vermessen werden und das Verfahren kann
nicht zwischen konkaven und konvexen Krümmungen unterscheiden.
Abb. 4‐1 Überlagerung von zwei Gittern
Als Grundlage zur mathematischen Beschreibung des Neigungslinienmoiré werden zu‐
nächst zwei Gitter verschiedener Ortsfrequenz mit unterschiedlichen Abständen zur Be‐
obachtungsoptik (z.B. Mikroskop oder Auge) betrachtet:
′′⇒ ′ ⋅ ′
(8a / 9a)
′′⇒ ′ ⋅ ′
(8b / 9b) Mit diesen Beziehungen aus Abb. 4‐1 kann der Abstand der Moiré‐Streifen z.B. auf der
Netzhaut oder einem Schirm berechnet werden. Um den endgültigen Abstand der Streifen
zu berechnen, transformiert man über die mittlere Entfernung zur Optik:
∣∣∣ ′ ⋅ ′
′ ′∣∣∣⇒
′ ⋅12 ⋅
′
(10 / 11)
′
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Abb. 4‐2 Optische Abbildung beim Neigungslinienmoiré
Diese Beziehung kann auf den Versuchsaufbau des Neigungslinienmoiré übertragen wer‐
den. Die betrachteten Strecken müssen dazu nur entsprechend interpretiert und eingesetzt
werden:
2 ⋅
(12)
⋅ 1 ′ (13)
Damit gibt der Abbildungsmaßstab die Beziehung zwischen dem reflektierten Gitterbild und
dem Referenzgitter an. Somit erhält man die beiden nötigen Gitterkonstanten, die im Be‐
obachtungszentrum überlagert werden:
und ⋅ ′
(14 und 15) Führt man die Gleichungen (10), (11), (15) und (16) zusammen, ergibt sich der Abstand der
Moiré‐Streifen beim Neigungslinienmoiré zu:
1 22 1
1 '
2 'M s ss s
gg a a
a a
(16)
2
∙ ′
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Die Gitterkonstante wird vom Versuchsaufbau vorgegeben und der Abstand der Moiré‐Streifen experimentell ermittelt. Aus den Gleichungen (12), (13) und (16) lässt sich eine quadratische Gleichung erstellen, die
nach ′ aufgelöst werden kann:
0
22''
22
1212
ag
mg
ag
aagmag MsMs (17)
mit: m = e’ + a – a2
Die Gleichung (17) hat ihre Gültigkeitfür konkave Spiegel (r<<0). Für konvexe Spiegel ist das gemessene gM mit einem negativem Vorzeichen in die Gleichung (17) einzusetzen. Bei der Berechnung von ′ entfällt stets eine Lösung der Gln. (17), da ′ mit den vorgege‐
benen Bedingungen nicht negativ sein kann. Begründung: Das Bild im Wölbspiegel ist stets
virtuell und auch im Hohlspiegel kann wegen der kleinen Krümmung, also der betragsmäßig
großen Brennweite nur virtuelles Bild beobachtet werden. Die virtuellen Bilder sind höhen‐
und seitenrichtig und somit muss der Abbildungsmaßstab positiv sein!
Es gelten ebenfalls die Abbildungsgleichung für Spiegel:
1 1
′1′
und die Formel für den Abbildungsmaßstab von Hohlspiegeln:
12⋅ mit ⋅ ⇒ ′
1
12 ⋅
(18)
Schlussendlich kann Gln. (18) nach dem Radius des Spiegels umgestellt und dieser be‐
rechnet werden:
2 ′ ⋅′ 1
Bei Einsetzen der richtigen Lösung für den Abbildungsmaßstab müsste sich für den im Prak‐tikum vorhandenen Spiegel ein betragsmäßig sehr großer Radius (|r|>1000mm) ergeben.
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2.5 Praktische Anwendung
Der Moiré‐Effekt findet nebst der Vermessung von optischen Komponenten oder der Eben‐
heitsprüfung von planaren Flächen Anwendung bei der präzisen Positionierung von Masken
oder Wafern bei der Photolithographie.
Der Moiré‐Effekt macht unter Umständen auch Strukturen sichtbar, die das Auflösungs‐
vermögen einer Optik überschreiten. Das Vorhandensein solcher Strukturen äußert sich
dann in Form von Moiré‐Streifen.
Im weitesten Sinne funktioniert ein Nonius nach dem gleichen Prinzip, da kleine Längen
durch eine kleine Varianz größerer Strukturen messbar werden.
3. Versuchsvorbereitung
3.1 Wo sind im Alltag Moiréerscheinungen zu beobachten?
3.2 Unter welchen Umständen kommt es zu Moiréerscheinungen? Welche Größen sind dafür
ausschlaggebend und in welchen Größenordnungen müssen diese gewählt werden?
3.3 Leiten Sie die Gleichung zur Berechnung des Moiréstreifenabstandes (Gln. (3)) und die
Gleichung für die optische Verstärkung (Gln. (4)) her!
3.4 Welchen Vorteil bietet es im Rahmen der praktischen Durchführung des Versuchs zum Hö‐
henlinienmoiré, den Beobachtungswinkel 0° zu wählen? 3.5 Welche Eigenschaft der Lichtquelle müsste geändert werden, um den Kontrast der Moirés‐
treifen beim Höhenlinienmoiré zu verbessern?
3.6 Skizzieren Sie den Strahlengang für den Versuchsaufbau „Neigungslinienmoiré“ (Abb. 4‐2)
und ermitteln Sie so das feldbegrenzende Element! Leiten Sie die Gleichung zur Bestimmung
der Größe des Überlagerungsgebietes (Gln. (19)) her!
3.7 Warum ist der Kontrast der beobachteten Moiréstreifen beim Neigungslinienmoiré geringer
als beim Höhenlinienmoiré
3.8 Weshalb sind nur große Spiegelradien ( 200mm) mit dem Verfahren Neigungslinien‐
moiré erfassbar? (Hinweis: Beachten Sie dabei den Einfluss des Abbildungsmaßstabs.)
Wie müsste der Versuchsaufbau verändert werden, um auch kleinere Spiegelradien messbar
zu machen?
3.9 Warum lässt sich beim Neigungslinienmoiré nicht zwischen konkaven und konvexen Spiegel
unterscheiden?
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4. Geräteliste
Laborleuchte 6V mit Stativ
Transformator 6V
2x Dreieckschiene (1x lang mit Skala, 1x kurz)
Gitterhalter mit Gitter 1mm
Kabel mit Abstandsmarken
Objekttisch mit Stativ
weißer Planschirm
Planspiegel
Hohlspiegel
Teilerwürfel (Kantenlänge 30mm)
Mattscheibe (Pergamentpapier)
diverse geweißte Testobjekte
Arbeitsunterlage Verdrehungs‐ und Verschiebungsmoiré mit Magnetlineal und
Drehgitter (Folie und Papier)
2x Papiergitter (g und 2,0)
2x Foliengitter (g und 2,0)
Koordinatensystem auf Folie
Gliedermaßstab
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5. Versuchsdurchführung
5.1 Verdrehungsmoiré
Für die Messungen zum Verdrehungsmoiré wird das auf Papier gedruckte Gitter mit dem
darüber befindlichen Foliengitter benötigt. Die Bedeutung der daran befindlichen Winkels‐
kalen wird in den folgenden Abschnitten erläutert.
Zunächst wird das Foliengitter soweit gedreht, dass vier oder fünf Moiréstreifen entstehen.
Danach ist das Koordinatensystem aufzulegen und so auszurichten, dass die 30° Verdreh‐
winkel eingehalten werden. Dazu muss die Linie rechts vom Koordinatensystem parallel zu
den entsprechenden Richtmarken verlaufen. Mit dieser Ausrichtung gilt für 60° und wird an der roten Skala abgelesen.
Stellen Sie nun für die beiden Gitter die Parametergleichung gemäß Gln. (1a) und (1b) auf.
Gehen Sie bei den entstandenen Moiréstreifen genauso vor.
(Es empfiehlt sich den Koordinatenursprung für diese Aufstellung so zu legen, dass er auf
einem der Moiréstreifen liegt, d.h. 0)
Für den zweiten Teil ist das Koordinatensystem wieder zu entfernen und die Gitter sind so
zu verdrehen, dass zunächst zwei Moiréstreifen entstehen.
Messen Sie nun den Abstand der Moiréstreifen und bestimmen Sie die Winkeldifferenz
(Verdrehwinkel zwischen den beiden Gittern → schwarze Skala).
Wiederholen Sie die Messung für 3 bis 10 Moiréstreifen.
5.2 Verschiebungsmoiré
Für die Messungen zum Verschiebungsmoiré wird die Unterlage um 180° gedreht und auf
der Metallplatte gearbeitet. Hierfür werden die beiden auf Papier gedruckten Gitter
( 2,0mm, ), die beiden Foliengitter ( , ) sowie das Lineal mit Magnetunter‐
seite benötigt.
Zunächst wird das Papiergitter zwischen Lineal und Metallplatte fixiert, sodass das Lineal
genau an der längeren Seite des Gitters anliegt und die linke Seite bei 0 auf dem Lineal liegt.
Das Foliengitter mit der Gitterkonstante wird genau auf das unten liegende Gitter
aufgelegt.
Verschieben Sie nun das Foliengitter entlang des Lineals nach rechts und beobachten Sie
den Moiré‐Streifen ganz rechts, wenn er über die Länge des Gitters „wandert“. Stoppen
Sie, wenn der Streifen den linken Rand des Gitters erreicht.
Lesen Sie nun den Verschiebeweg des Gitters ab und bestimmen Sie den Laufweg
des Moiré‐Streifens.
Tauschen Sie nun die beiden Gitter aus (Papiergitter unten; Foliengitter oben), wie‐
derholen Sie die Verschiebung und beschreiben Sie die Veränderung.
Messen Sie auch für diese Kombination den Verschiebeweg des Gitters und den Laufweg
der Moiré‐Streifen.
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5.3 Höhenlinienmoiré
Für diesen Versuchsabschnitt ist der Aufbau entsprechend Abb. 5 zu verwenden. Nutzen Sie
dabei die lange Schiene für den Gitterhalter und die dazugehörigen Teile und die kurze
Schiene zum Aufstellen der Lichtquelle. Der Beleuchtungswinkel soll 30° und der Be‐
obachtungswinkel soll 0° betragen. Die Abstände der Lichtquelle und des Beobachters
zum Gitter sollen jeweils ca. 1m betragen. (Das vor dem Gitter befestigte Kabel kann dabei
als Hilfsmittel zur Einstellung von Abstand und Winkel dienen)
Abb. 5 Versuchsaufbau Höhenlinienmoiré
Dabei ist zu beachten, dass als Lichtquelle das Bild des Glühwendels zu betrachten ist. Die‐
ses Bild soll sich ca. 10cm vor der Lampe befinden und möglichst klein eingestellt werden,
damit es einer punktförmigen Lichtquelle nahe kommt.
Stellen Sie zur Veranschaulichung zunächst die bereitgestellten Testobjekte (z.B. Pyramide,
Kegel, Zylinder, usw.) nacheinander hinter das Gitter. Drehen oder kippen Sie die Objekte
und beobachten Sie die entstehenden Moiré‐Erscheinungen.
Für die Messungen zum Höhenlinienmoiré stellen Sie den Planschirm direkt hinter das Git‐
ter ( 1mm). Der Winkel zwischen Schirm und Gitter soll bei der ersten Messung 10°
und bei der zweiten Messung 15° betragen.
Bestimmen Sie mithilfe der Breite des Planschirms und der Anzahl der Moiré‐Streifen für
beide Winkel den Streifenabstand zwischen den Streifen. Beachten Sie hierbei, dass die
projizierte Fläche vom Winkel abhängt.
5.4 Beleuchtungsapertur
Der Grundaufbau aus dem vorhergehenden Versuchsabschnitt wird beibehalten.
Der Planschirm wird nun jedoch mit einem Winkel von 5° hinter dem Gitter positio‐
niert und anschließend in Schritten von ca. 2cm vom Gitter weggeschoben, während der
Beobachter den Kontrast der Moiréstreifen nach jedem Schritt beurteilt.
Wenn keine kontrastreichen Streifen mehr erkennbar sind, messen Sie den Abstand vom
Schirm zum Gitter.
Notieren Sie außerdem die Abmessung des zur Beleuchtung genutzten Lichtquellenbildes.
1 – Lichtquelle 2 – Gitter 3 – Planschirm / Objekte4 – Beobachter
1
23
4
13
5.5 Neigungslinienmoiré
Der Versuchsaufbau ist entsprechend Abb. 6 zu realisieren. Drehen Sie dazu den Objekt‐
tisch um 180°, rücken Sie ihn bis an das Gitter und nutzen Sie die Markierungen für den
Aufbau. Auf der beleuchteten Seite des Gitters wird das Pergamentblatt als Mattscheibe
mit in den Gitterhalterahmen geschoben.
Abb. 6 Versuchsaufbau Neigungslinienmoiré Stellen Sie die Beleuchtungseinrichtung so vor den Aufbau, dass der Teilerwürfel voll ausge‐
leuchtet wird.
Ermitteln Sie die Anzahl der Moiréstreifen, die im Überlagerungsgebiet der Gitter entste‐
hen, wenn der Abstand zwischen dem Strahlteiler und dem Beobachter 300 be‐
trägt und messen Sie alle für die Berechnung relevanten Abstände.
1
23
4
5
6
7
1 – Lichtquelle 2 – Mattscheibe 3 – Gitter 4 – Strahlteiler / 4 – Teilerwürfel 5 – Planspiegel 6 – Hohlspiegel 7 – Beobachter
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6. Versuchsauswertung
6.1 Verdrehungsmoiré
Überprüfen Sie die in 3.1. ermittelte Parametergleichung mit der Gln. (2).
Stellen Sie den Streifenabstand als Funktion der Winkeldifferenz grafisch dar. Inter‐
pretieren Sie die daraus resultierende Kurve und ermitteln Sie, ob „Optische Verstärkung“
auftritt.
6.2 Verschiebungsmoiré
Berechnen Sie mit Hilfe der gemessenen Werte für und die optische Verstärkung
für beide Fälle, sowie die unbekannte Gitterkonstante g des zweiten Gitters und ermitteln
Sie die Differenz der Gitterkonstanten.
6.3 Höhenlinienmoiré
Berechnen Sie die Streifenabstände für beide Winkel nach Gln. (6) und vergleichen Sie die
berechneten Werte mit den in 3.2 ermittelten.
Berechnen Sie das vollständige Differential für die Gln. (6) mit folgenden Werten für die
Winkelabweichungen ∆ ∆ ∆ 0,5° und schätzen Sie damit die Messgenauigkeit
dieses Verfahrens ab.
6.4 Beleuchtungsapertur
Berechnen Sie die Beleuchtungsapertur nach Gln. (7) und zusätzlich noch anhand der ge‐
messenen Lichtquellengröße. Vergleichen Sie beide Werte.
Berechnen Sie mit der Beleuchtungsapertur, die sich aus der konkreten Lichtquellen‐
größe ergab und vergleichen Sie diesen Wert mit dem gemessenen.
6.5 Neigungslinienmoiré
Leiten Sie die Gln. (19) her und berechnen Sie dann die Größe des Überlagerungsgebietes
der Gitterbilder. (Kantenlänge des Teilerwürfels: 30 )
Ermitteln Sie mit dem errechneten Wert für und der Anzahl der beobachteten Moiréstrei‐
fen den Abstand der selbigen.
∙
(19) Berechnen Sie den Abbildungsmaßstab ′ für die Abbildung am Hohlspiegel und damit Ra‐
dius und Brennweite des Hohlspiegels.
15
7. Literaturverzeichnis
|1| Amidror, I.: „The theory of the Moiré‐phenomenon, Volume I: Periodic Layers”, Springer‐
Verlag, Berlin 2009
|2| Heymann, J.; Lingener, A.: „Experimentelle Festkörpermechanik“, Fachbuchverlag, Leipzig
1986
|3| Gåsvik, K. J.: „Optical metrology“, John Wiley & Sons, 2002
|4| Eckert, S.: „Beitrag zur Rasterspiegelung an global und lokal gekrümmten Oberflächen“,
Dissertation, 1990, TH Ilmenau
|5| Roye, M.: „3D‐Erkennung und Moiré‐Verfahren“, Diplomarbeit, 1986, TH Ilmenau
|6| Möbius, G.: „Theorie und Experimente zum hochauflösenden Moiré“, Diplomarbeit, 1991,
TH Ilmenau