Perfektion im Blick....Ausgangsleistung 2 kW bis 120 kW Ausgangsspannung 800 V Ausgangsstrom 5 A bis...

TruPlasma DCSerie 3000Serie 3000 (G2)

Perfektion im Blick.

Auf dem neuesten Stand der Technik: Lösungen für DC-Sputterprozesse. TruPlasma DC Serie 3000.

Die TruPlasma DC Serie 3000 wurde für eine Vielzahl an Sputter-prozessen entwickelt. Mit einer neuen Generation wassergekühlter Geräte bietet TRUMPF Hüttinger in dieser DC-Produktfamilie nun eine technologisch marktführende Stromversorgung an, die in vielen Sputterapplikationen gepulste DC-Generatoren ersetzen kann. Die Generatoren der TruPlasma DC Serie 3000 sind mit Ausgangs-leistungen von 2 bis 160 Kilowatt (kW) erhältlich. Sie liefern ihre Leistung konstant über einen breiten Lastanpassungsbereich und bewähren sich im rauen, industriellen Betrieb. Daher sind sie ideal für Beschichtungsprozesse geeignet, in denen Zuverlässigkeit und Leistung gefordert werden: die Fertigung von Solarzellen und das Beschichten von Architekturglas. Schlüsselkomponente sind die Ge-neratoren auch bei Hartstoff-, dekorativen und optischen Beschich-tungsprozessen.

TRUMPF Hüttingers fortschrittliches Arc-Management Compensate-Line ist in allen Generatoren der TruPlasma DC Serie 3000 bereits in-tegriert. Es sorgt für eine besondere Reduzierung der Arc-Restenergie und sichert so optimale Ergebnisse im Hinblick auf Schichtqualität und Abscheideraten. Infolgedessen ermöglicht CompensateLine außergewöhnlich hochqualitative und homogene Schichten auch in arc-reichen Prozessen, wie dem TCO-Sputtern.

Die neue, wassergekühlte Generation wurde so entwickelt, dass sie die Arc-Energie zusätzlich deutlich reduziert – in dieser Höhe markt-führend. Mit dem weiten Netzspannungsbereich sowie der hohen Zündspannung entsprechen die Geräte dem neuesten Stand der Technik. Die kompakte Größe sowie die Vielzahl an Schnittstellen unterstützen die Systemintegration.

T R U M P F H ü t t i n g e r – I n n o v a t i o n e n a u f e i n e r h ö h e r e n E b e n e .

Nutzen

Kostengünstige Alternative zu teuren, gepulsten DC-Generatoren Deutlich erhöhter Produktionsertrag Außergewöhnlich homogene Schichten in stabilen Prozessen Einfache Systemintegration, auch bei Ausgangsleistungen von mehr als 40 kW Hohe Systemlaufzeit und reduzierter Wartungsaufwand

Eigenschaften

Optimale Ergebnisse auch in arc-reichen Prozessen Minimale Arc-Restenergie und schnelle Erholzeiten Technologisch führende Lösung für DC-Sputteranwendungen Hohe Leistungsdichte bei sehr kompakter Bauweise

Bewährtes Generatorendesign und vollständige Wasserkühlung

TruPlasma DC Serie 3000 (luftgekühlt) TruPlasma DC Serie 3000 (G2) (wassergekühlt)

a) Anpassbare Zündspannung.

100

0400 1 5001 000

50

100

0 400 1 000 1 500

a) Anpassbare Zündspannung.

800 800

Ausgangsdaten

Ausgangsleistung 2 kW bis 120 kW

Ausgangsspannung 800 V

Ausgangsstrom 5 A bis 300 A

Regelarten Leistung, Spannung, Strom, SimReg

Tastverhältnis 100 %

Regelung bei Netzschwankung ± 10 %, bei Last 10 % – 90 %

Genauigkeit ± 0,5 %

Wiederhol-genauigkeit

± 0,2 %

Zündspannung 1 500 V

Ausgangspolung Negativ, positiv1, fließend1

Lastimpedanz 5,3 Ω – 21,2 Ω (1:4) volle Leistung

Arc-Parameter

Arc-Erkennung < 100 ns

Imax Erkennung Var. lmax Schwelle: 10 % – 130 %

Kreuzerkennung (U x I) Var. Ux Schwelle: 0 V – 600 VVar. lx Schwelle: 10 % – 100 %

Dynamische Spannungsveränderung

Var. dU Schwelle: 0 V – 600 V

CompensateLine Bis zu 8 kARC/s2

Eingangsdaten

Netzspannung 3 x 400 V ± 10 %

Netzfrequenz 50 Hz / 60 Hz ± 5 %

Wirkungsgrad 87 % – 92 %

Leistungsfaktor 0,92 – 0,94

1) Auf Anfrage verfügbar.

2) Auf Anfrage für ausgewählte Modelle verfügbar. Standard: 2 kARC/s

V/P Diagramm V/I Diagramm

Ausgangsdaten

Ausgangsleistung 10 kW bis 300 kW

Ausgangsspannung 1 000 V

Ausgangsstrom 25 A bis 750 A

Regelarten Leistung, Spannung, Strom, SimReg

Tastverhältnis 100 %

Regelung bei Netzschwankung ± 10 %, bei Last 10 % – 90 %

Genauigkeit ± 0,5 %

Wiederhol-genauigkeit

± 0,2 %

Zündspannung 1 500 V / Floating Anode1

Ausgangspolung Fließend

Lastimpedanz 5,3 Ω – 21,2 Ω (1:4) volle Leistung

Arc-Parameter

Arc-Erkennung < 100 ns

Imax Erkennung Var. lmax Schwelle: 10 % – 130 %

Kreuzerkennung (U x I) Var. Ux Schwelle: 0 V – 900 VVar. lx Schwelle: 10 % – 100 %

Dynamische Spannungsveränderung

Var. dU Schwelle: 0 V – 900 V

CompensateLine Bis zu 8 kARC/s3

Eingangsdaten

Netzspannung 3 x 400 V bis 480 V ± 10 %

Netzfrequenz 50 Hz / 60 Hz ± 5 %

Wirkungsgrad 92 %

Leistungsfaktor > 0,96

3) Optional für alle Modelle verfügbar. Standard: 2 kARC/s

DC

-Au

sgan

gsl

eist

un

g in

%

IIDC-Nennausgangs- leistung

IMaximaler DC-Ausgangs-strom III

Maximale DC-Ausgangsspannung

IVZündspannunga

Ausgangsspannung in V

luftgekühlte Variante wassergekühlte Variante luftgekühlte Variante wassergekühlte Variante

DC

-Au

sgan

gsl

eist

un

g in

%

Ausgangsspannung in V

IMaximaler DC-Ausgangs-strom

IVZündspannunga

IIIMaximale DC-Ausgangsspannung

IIDC-Nennausgangs-leistung

TruPlasma DC Serie 3000

Kühldaten

Lufgekühlte Variante

Kühlsystem Umluftkühlung / Lüftersteuerung

Max. Lufteingangstemperatur +35 °C

Wassergekühlte Variante

Max. Eingangsdruck 2 bar bis 7 bar

Min. Differenzdruck 2 bar

Durchflussmenge 4 l/min bis 12 l/min

Max. Kühlwassertemperatur +20 °C bis +35 °C

Temperatur +5 °C bis +45 °C Betrieb

Umgebungsbedingungen

Temperatur -25 °C bis +55 °C Lagerung

Rel. Luftfeuchtigkeit 5 % – 85 % ohne Betauung

Luftdruck4 800 hPa – 1 060 hPa Betrieb

4) Max. 2 000 m über NN. Geräte für höhere Einsatzhöhen auf Anfrage erhältlich.

Schnittstellen

Analog / Digital 25-polig Sub-D (luftgekühlt)15-polig Sub-D (wassergekühlt)

RS 232 / RS 485 9-polig Sub-D

PRofIbUS5 9-polig Sub-D

DeviceNet5 5-polig DeviceNet Anschluss

EtherCAT5 2 x RJ45

Schutzart

Luftgekühlte Variante IP 20

Wassergekühlte Variante IP 40

KennzeichnungKonformitätserklärung auf Anfrage erhältlich

5) Auf Anfrage verfügbar.

TruPlasma DC Serie 3000

Name Ausgangsleistung (kW) Ausgangsstrom (A) Abmessungen (b x H x T, mm) Gewicht (kg)

TruPlasma DC 3002 luftgekühlt 2 5 482 (19”) x 133 (3U) x 465 27

TruPlasma DC 3005 luftgekühlt 5 12,5 482 (19”) x 133 (3U) x 465 27


TruPlasma DC 3020 luftgekühlt 20 50 482 (19”) x 275 (6,2 U) x 732 77

TruPlasma DC 3025 luftgekühlt 25 62,5 482 (19”) x 275 (6,2 U) x 732 77

TruPlasma DC 3030 luftgekühlt 30 75 482 (19”) x 275 (6,2 U) x 732 77




TruPlasma DC 3080 luftgekühlt 80 (2 x 40) 200 482 (19”) x 411 (9U) x 7106 2 x 120



TruPlasma DC 3020 (G2) wassergekühlt 20 50 482 (19”) x 133 (3U) x 610 51



TruPlasma DC 3080 (G2) wassergekühlt 80 (2 x 40)6 200 482 (19”) x 178 (4U) x 6107 2 x 85

TruPlasma DC 3120 (G2) wassergekühlt 120 (2 x 60)6 300 482 (19‘‘) x 265 (6U) x 6117 2 x 135




6) Master / Slave Konfiguration.7) Abmessungen für einzelne Einheiten angegeben.

Luftgekühlte Variante

TruPlasma DC 3005

482 mm

133

mm

545 mm

505 mm

465 mm

442 mm

483 mm

704 mm

681 mm

133

mm

610 mm 435 mm

482 mm

178

mm

706 mm

684 mm

633 mm 435 mm

435 mm482 mm

265

mm

672 mm

611 mm

705 mm

728 mm

Wassergekühlte Variante

TruPlasma DC 3020 (G2)



TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KGBötzinger Straße 80 · 79111 Freiburg · Telefon +49 761 8971-0Fax +49 761 8971-1150 · E-Mail [email protected] www.trumpf-huettinger.com

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