RUVAC WA / WAU 251/501/1001/2001 - leyboldproducts.de · Inhalt 2 GA03107001C0 - 10/2016 - Leybold...

Katalog-Nummern

112 17/54

113 22/42

117 20/21/24/30/31/34/40/41/44 /50/51

118 31/41/51

128 38

155 008/011V

167 004/022

RUVAC WA / WAU 251/501/1001/2001Wälzkolbenpumpen ATEX Kategorie 3 i und 3 i/o

Einbau- und Gebrauchsanleitung GA03107_001_C0

Inhalt

2 GA03107_001_C0 - 10/2016 - © Leybold

Seite

0 Wichtige Sicherheitshinweise 5

0.1 Mechanische Gefährdung 5

0.2 Elektrische Gefährdung 6

0.3 Thermische Gefährdung 7

0.4 Gefährdung durch Materialien und Substanzen 7

0.5 Zündgefahr 8

0.6 Gefährdung durch Lärm 8

0.7 Gefahr von Schäden an der Pumpe 9

RUVAC-Vakuumpumpen WA/WAU ATEX 10

Klassifikation und Kennzeichnung der Pumpe 10

Erklärung der Symbole 11

Bestimmung des Arbeitsbereiches 13

Pt 100 Temperatursensor montieren 16

Zusätzliche Installationsanforderungen X 21

Potentielle Zündquellen 22

1 Beschreibung 25

1.1 Aufbau und Funktion 25

1.1.1 Funktionsprinzip 25

1.1.2 Aufbau 27

1.1.3 Druckausgleichleitung 28

1.1.4 Schmiermittel 29

1.2 Lieferumfang 29

1.3 Technische Daten 30

1.3.1 Motordaten 32

1.4 Bestelldaten 33

2 Transport und Lagerung 35

3 Montage 36

3.1 Aufstellen 36

3.1.1 Öl einfüllen 37

3.2 Bestimmungsgemäßer Gebrauch 38

3.2.1 Nicht bestimmungsgemäßer Gebrauch 39

3.3 Elektrischer Anschluss 40

3.4 Flansche anschließen 43

Inhalt

3GA03107_001_C0 - 10/2016 - © Leybold

Diese Einbau- und Gebrauchsanleitung ist die Original-Anleitung.

3.5 Motor anflanschen 44

3.5.1 Allgemeine Montagehinweise 45

3.5.2 Kupplung anbauen 46

3.5.3 Motor anbauen 47

3.5.4 Elektrischer Anschluss 47

4 Bedienung 48

4.1 Inbetriebnahme 48

4.2 Betrieb 49

4.3 Abschalten / Außerbetriebsetzen 50

4.4 Umbau der Förderrichtung 50

5 Wartung 53

5.1 Sicherheitshinweise 53

5.2 Ölwechsel / Lagerräume 54

5.3 Ölwechsel / Wellen-Dichtring-Gehäuse 55

5.4 Lüfterhaube und Kühlrippen reinigen 56

5.5 Einlasssieb reinigen 56

5.6 Förderraum reinigen 56

5.7 Ventil der Druckausgleich leitun g reini gen 57

5.8 Wellen-Dichtringe wechseln 58

5.8.1 Vorarbeiten 59

5.8.2 RUVAC WA/WAU 251, 501 59

5.8.3 RUVAC WA/WAU 1001, 2001 61

5.9 Lagerwechsel 62

5.10 Service bei Leybold 62

5.11 Wartungsplan 63

6 Fehlersuche 64

7 Verschleiß- und Originalteile 66

8 Entsorgen 66

EG-Konformitätserklärung 68

EG-Einbauerklärung 69

Erklärung über Kontamination (Formular) 71

Sicherheitshinweise

4 GA03107_001_C0 - 10/2016 - © Leybold

Informationspflicht Diese Einbau- und Gebrauchsanleitung vor der Installation und Inbetrieb-nahme der Pumpe sorgfältig lesen und befolgen, um so von Anfang an ein optimales und sicheres Arbeiten zu gewährleisten.

Die RUVAC WA und WAU von Leybold gewährleis ten bei richtigem Einsatz und Beachtung der in dieser Gebrauchs anleitung enthaltenen Anweisungen einen sicheren und ordnungsgemäßen Betrieb. Bitte lesen Sie alle Sicherheits hinweise in diesem Abschnitt und im Rest der Gebrauchs anleitung sorgfältig und achten Sie darauf, dass diese Hinweise eingehalten werden. Das Gerät darf nur im ordnungsgemäßen und in dem in der Gebrauchsanleitung beschriebenen Zustand betrieben und von ausge-bildetem Personal bedient und gewartet werden. Beachten Sie auch örtliche und staatliche Anforderun gen und Vorschriften. Wenn Sie Fragen zu Sicherheit, Betrieb oder Wartung des Gerätes haben, wenden Sie sich an unsere nächstgelegene Nieder lassung.

GEFAHR bezeichnet eine Gefährdung mit einem hohen Gefährdungs-potenzial. Wird die Gefahr nicht vermieden, sind schwere Verletzungen oder der Tod die Folge.

WARNUNG bezeichnet eine Gefährdung mit einem mittleren Gefährdungs-potenzial. Wird die Warnung nicht berücksichtigt, kann dies schwere Verletzungen oder den Tod zur Folge haben.

VORSICHT bezeichnet eine Gefährdung mit einem niedrigen Gefährdungs-potenzial. Wird diese nicht beachtet, sind geringfügige oder mäßige Verletzungen die Folge.

Information über Eigenschaften oder Anweisung zu einer Handlung, deren Missachtung zu Schäden an der Pumpe oder an der Anlage führt.

AbbildungenAbbildungshinweise z.B. (4.1/2) geben mit der ersten Ziffer das Kapitel an in der die Abbildung sich befindet, mit der zweiten Nummer die laufende Nummer der Abbildung in dem entsprechenden Kapitel und mit der dritten Ziffer die Position in dieser Abbildung.

Eine Änderung der Konstruktion und der angegebenen Daten behalten wir uns vor. Die Abbildungen sind unverbindlich.

Die Gebrauchsanleitung für künftige Verwendung aufbewahren.

HINWEIS

GEFAHR

WARNUNG

VORSICHT

HINWEIS

Sicherheitshinweise

5GA03107_001_C0 - 10/2016 - © Leybold

0 Wichtige Sicherheitshinweise

0.1 Mechanische Gefährdung1 Vermeiden Sie, dass irgendein Teil des menschlichen Körpers dem

Vakuum ausgesetzt wird.

2 Selbst bei Stillstand der RUVAC ist es gefährlich, in das Pumpenge-häuse einzugreifen. Aufgrund der großen Trägheit der Teile besteht die Gefahr, dass Finger zwischen den Rotoren eingequetscht werden. Beim Eingreifen in die Pumpe daher entsprechend vorsichtig vorgehen und sicherstellen, dass die Pumpe gegen ungewollte Drehung, hervor-gerufen durch Differenzdrücke, gesichert ist.

3 An den Kranösen der RUVACs dürfen keine Pumpkombinationen (Roots + Vorpumpe) angehoben werden. Ausnahmen nur in Abspra-che mit Leybold. Pumpe durch Kran an vorgesehenen Ösen sichern, bis feste Verbindung mit der Vorpumpe oder entsprechender Aufhängung besteht.

4 Betreiben Sie die Pumpe nicht mit geöffnetem Gehäuse. Es besteht Verletzungsgefahr.

5 Betreiben Sie die Pumpe niemals ohne Anschluss einer Ansaugleitung bzw. einem Blindflansch am Saugstutzen.

6 Stellen Sie sicher, dass der Gasstrom am Auslass in keiner Weise versperrt oder behindert wird.

7 Es wird empfohlen, die RUVAC immer mit einer geeigneten und ord-nungsgemäß angeschlossenen Auslassleitung zu betreiben.

8 Wenn die ausgeförderten Gase gesammelt oder aufgefangen werden müssen, darf sich in der Ausgangsleitung kein Druck aufbauen.

9 Benutzen Sie zum Transport der RUVAC nur zulässige Fördermittel. An der Pumpe befinden sich serienmäßig zwei Kranösen.

10 Achten Sie darauf, dass keine kleineren Gegenstände (Schrauben, Muttern, Scheiben, Drahtstücke usw.) in den Einlass der Pumpe gera-ten. Der Einsatz des Schmutzfangsiebes wird ausdrücklich empfohlen. Beim Betrieb der Pumpe ohne Schmutzfangsieb muss der Betreiber selber sicherstellen, dass keinerlei Gegenstände durch den Ansaug-stutzen in die Pumpe gelangen können. Gegenstände, die in die Pumpe gelangen, können schwere Schäden hervorrufen, einschließlich Lecks zur Atmosphäre hin.

11 Bei Störungen der Pumpe, insbesondere blockierende Drehkolben durch harte Beläge oder Fremdkörper, können Leckagen des Gehäu-ses nicht ausgeschlossen werden. Bei der Förderung gefährlicher Gase muss der Betreiber sicherstellen, dass ein solcher Störfall ausge-schlossen wird, bzw. dass von Leckagen am Pumpengehäuse keine Gefahr ausgeht.

12 Um die Zerstörung von Anlagen und Verletzungen des Bedien perso-nals zu vermeiden, empfehlen wir dringend, die Installations anleitungen in dieser Gebrauchsanleitung zu befolgen.

WARNUNG

Sicherheitshinweise

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13 Die Pumpen dürfen nur mit den zugelassenen Drehzahlen betrieben werden. Vor allem bei der Verwendung von Frequenzumrichtern, die nicht von Leybold freigegeben sind, einen wirksamen Schutz gegen Überdrehzahlen sicherstellen.

0.2 Elektrische Gefährdung1 An den Netzverbindungen liegen lebensgefährliche Spannungen an.

Vor allen Wartungs- und Servicearbeiten das Produkt vorher span-nungsfrei schalten.

2 Der Elektro-Anschluss darf nur durch einen Elektro-Fachmann, wie z. B. gemäß EN 50110-1, durchgeführt werden. Beachten Sie die nationalen Vorschriften im Land des Anwenders.

3 Dem Elektromotor vor der Erstinbetriebnahme einen geeigneten Motor-schutzschalter vorschalten. Beachten Sie die Angaben in dieser Gebrauchsanleitung und auf dem Elektromotor (Klemmenplan).

4 Vor Inbetriebnahme den Klemmenkasten auf Beschädigungen prüfen, Sichtkontrolle der Dichtungen durchführen.

5 Anbauteile (z. B. Druckschalter) spannungsfrei montieren und gegen Beschädigungen, z.B. Stöße, schützen.

6 Die Verbindungsleitungen so verlegen, dass sie nicht beschädigt wer-den können. Leitung vor Feuchtigkeit und Kontakt mit Wasser schüt-zen. Wärmebelastung der Leitung durch ungünstige Leitungs verlegung vermeiden. Achten Sie auf die erforderlichen Normen bei der Gestal-tung und Verlegung der elektrischen Anschlüsse.

7 Die Verbindungsleitungen zugentlasten, damit die Stecker und Leitungsanschlüsse nicht zu großen mechanischen Belastungen aus-gesetzt werden.

8 Elektrische Leitungen so verlegen, dass keine Stolpergefahr besteht.

9 Die RUVAC so in der Anlagensteuerung verschalten, dass beim Abschalten der Pumpe aufgrund von Thermoschaltern im Motor die Pumpe nicht selbständig wieder anläuft. Dies gilt ebenso für NOT-Aus-schaltungen. Die Pumpe sollte nach Behebung der Ursache manuell wieder zugeschaltet werden.

10 Für Pumpen mit FU-Betrieb gilt: Nach Netzausfall läuft die Pumpe bei erneutem Anlegen der Versorgungsspannung selbstständig wieder an.

WARNUNG

Sicherheitshinweise

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0.3 Thermische Gefährdung1 Heiße Oberflächen, Verbrennungsgefahr

Die Pumpe kann unter gewissen Umgebungsbedingungen Tempera-turen von > 80 °C erreichen. Es besteht dann Verbrennungsgefahr. Beachten Sie die Gefahrensymbole auf der Pumpe und tragen Sie die vorgeschriebene Schutzausrüstung bei heißer Pumpe. Wenn ein zufälliges Berühren der heißen Oberflächen möglich ist, einen entsprechenden Schutz einbauen. An der “betriebswarmen Pumpe“ immer mit Schutz handschuhen arbeiten.

2 Die Pumpe darf nur bei Umgebungstemperaturen zwischen 12 - 40 °C betrieben werden. Es ist sicherzustellen, dass die von der Pumpe erzeugte Wärmestrahlung in ausreichendem Maße abgeführt werden kann. Wenn, aus welchen Gründen auch immer, die Pumpe bei Umgebungstemperaturen über 40 °C betrieben werden muss, dann gelten verringerte maximale Differenzdrücke. Lassen Sie sich hierzu von Leybold beraten.

3 Vor Service- und Wartungsarbeiten die Pumpe immer abkühlen lassen.

4 Die Warnhinweise auf der Gehäuseoberfläche beachten. Wenn diese Warnhinweise entfernt, verdeckt oder zugebaut sind, entsprechende zusätzliche Warnhinweise aufnehmen.

0.4 Gefährdung durch Materialien und Substanzen1 Die Vakuumleitung muss dicht sein. Aus undichten Stellen können

gefährliche Prozessgase austreten oder die gepumpten Gase können mit Luft oder Luftfeuchtigkeit reagieren. Nach Installation der Pumpe und nach Servicearbeiten an der Vakuumanlage ist immer eine Lecksuche erforderlich.

Beim Pumpen von gefährlichen Gasen empfehlen wir eine regelmäßige Lecksuche. Ein Leck der Pumpe kann nicht unter allen Umständen ausgeschlossen werden. Beim Fördern gefährlicher Gase muss der Betreiber sicherstellen, dass von Lecks an der Pumpe keine Gefahr ausgeht.

2 Da nicht alle möglichen Gefahren in der Gebrauchsanleitung detailliert beschrieben werden können, stellt Leybold ein separates Dokument (Safety Booklet) bereit, in dem Gefahren und allgemeine Sicherheitskonzepte bei Konstruktion, Betrieb und Wartung von Vakuumsystemen erläutert werden.

Sollten sie mit dieser Pumpe gefährliche Substanzen fördern, lesen sie die zugehörigen Kapitel im Safety Booklet und in dieser Gebrauchs-anleitung. Das Safety Booklet können sie unter www.leybold.com/ dokumentation/downloads/ herunterladen.

3 Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Umweltschäden verursa-chen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine even-tuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die ein-schlägigen Vorschriften beachten und die Schutzmaßnahmen einhal-ten.

VORSICHT

GEFAHR

Sicherheitshinweise

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4 Beim Abpumpen von toxischen, chemischen, radioaktiven und korro-siven Gasen, sowie pyrophoren Stoffen, ist der Betreiber verpflichtet die nationalen und internationalen Sicherheitsbestimmungen und Richtlinien einzuhalten. Bezüglich der Eignung der Pumpe für spezielle Applikationen bei denen diese Gase bzw. Stoffe gepumpt werden sol-len, ist Rücksprache mit Leybold zu nehmen.

5 Leybold hat keinerlei Möglichkeiten, radioaktiv verunreinigte Pumpe zu warten bzw. reparieren und zu entsorgen. Beides muss der Benutzer gewährleisten.

6 Beim Pumpen von gesundheitsschädlichen Gasen ist von entspre-chenden Rückständen in der Pumpe auszugehen.

7 Beim Ölwechsel ausgetretenes Öl beseitigen, da sonst Rutschgefahr besteht.

8 Nach der Installation empfehlen wir eine Dichtheitsprüfung der kom-pletten Installation mit 1100 mbar Absolutdruck. Sonst kann ein Austreten von Prozessgasen nicht komplett ausgeschlossen werden.

0.5 Zündgefahr1 Grundsätzlich dürfen RUVAC-Pumpen nicht zusammen mit entflamm-

baren oder explosiven Gasen oder Dämpfen eingesetzt werden. In Sonderfällen kann die Zusammensetzung der Substanzen unkritisch sein. Der Betreiber ist verpflichtet, die Sachlage sorgfältig zu analysie-ren und die Vorsichtsmaßnahmen zu beachten, welche von kompe-tenten Fachleuten vorgesehen werden.

2 Vor dem Abpumpen von Sauerstoff (oder anderen hochreaktiven Gasen) in Konzentration größer als Atmosphärenkonzentration (> 21 % für Sauerstoff), ist es notwendig eine Spezialpumpe zu benutzen. Diese muss modifiziert und entfettet sein, und ein inertes Spezial-Schmiermittel (wie PFPE) muss verwendet werden.

3 Vor Inbetriebnahme der Pumpe prüfen ob die abzupumpenden Medien untereinander verträglich sind, um gefährliche Zustände zu vermeiden. Alle relevanten Sicherheitsnormen und Vorschriften beachten.

Die RUVAC ist in ihrer Standardausführung nicht zum Betrieb in Ex-Zonen geeignet. Wir bitten um Rücksprache, sofern Sie einen sol-chen Betrieb vorsehen. Anhand der Typenschilder prüfen, für welche Zone die Pumpe geeignet ist. Motor und Zubehör müssen bei Aufstellung innerhalb einer Ex-Zone ebenfalls für diese Zone zugelas-sen sein.

0.6 Gefährdung durch Lärm1 Der Geräuschpegel der RUVAC liegt zwischen 64 und 80 dB(A). Beim

zeitweiligen Betrieb der Pumpe bei Drücken über 100 mbar kann der Geräuschpegel sehr viel höher sein. Es sind geeignete Gehörschutz-maßnahmen zu treffen.

2 Wenn die Pumpe mit offenen Flanschen gestartet wird entsteht ein gesundheitsgefährdender Lärmpegel. Falls dieser Betrieb unvermeid-bar ist, muss Gehörschutz getragen werden.

VORSICHT

VORSICHT

Sicherheitshinweise

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0.7 Gefahr von Schäden an der Pumpe1 Die Pumpe ist nicht für Anwendungen geeignet, bei denen abrasive

oder kohäsive Substanzen oder kondensierbare Dämpfe entstehen, die klebende oder zähe Ablagerungen bilden können. Bitte nehmen Sie Rücksprache mit dem Vertrieb von Leybold auf, um z. B. geeignete Abscheider auszuwählen.

2 Dämpfe, die bei Verdichtung in der Pumpe zu Flüssigkeiten kondensie-ren, vermeiden, sofern sie außerhalb der Dampfverträglichkeit der Pumpe liegen.

3 Vor dem Abpumpen von Dämpfen sollte die Pumpe Betriebs tempera-tur haben. Die Betriebstemperatur ist ca. 1 Stunde nach dem Start der Pumpe erreicht. In dieser Warmlaufphase sollte die Pumpe vom Prozess getrennt sein, z. B. durch ein Ventil in der Ansaugleitung.

4 Zur Vermeidung von Vibrationsübertragungen von der RUVAC auf wei-tere angeschlossene Anlagenkomponenten empfehlen wir das Anbrin-gen von Wellschläuchen bzw. Kompensatoren auf Ansaug- und Auslassseite.

5 Die RUVAC nicht mit Vorvakuumpumpen verwenden, deren Enddruck über 10 mbar liegt. Dies verhindert überhöhte Temperaturen im Leerlaufbetrieb der RUVAC.

6 Wir empfehlen, bei nassen Prozessen das Vor- und Nachschalten von Flüssigkeitsabscheidern, um einen massiven Eintrag von Flüssigkeit in die Pumpe zu vermeiden.

7 Die Auslassleitung sollte mit Gefälle von der Pumpe weg verlegt wer-den, um den Rückfluss kondensierter Dämpfe in die Pumpe zu vermei-den.

8 Eintrag von Partikeln und Flüssigkeiten sind unbedingt zu vermeiden.

9 Vor der Montage sind alle Flanschdeckel zu entfernen.

10 Der Aufstellungsort der RUVAC ist so zu wählen, dass alle Bedienele-mente gut zugänglich sind.

11 Um ausreichende Ölversorgung sicherzustellen, sollte der Aufstellungs-ort der Pumpe (inkl. Zubehör) so beschaffen sein, dass Winkel > 1° aus der Senkrechten vermieden werden.

HINWEIS

ATEX

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RUVAC-Vakuumpumpen WA/WAU ATEX

Kategorie 3 (innen) Kategorie 3 (innen) und (außen)

Wichtige Hinweise für den Betrieb der RUVAC WA/WAU 251/501/1001/2001 ATEX Kategorie 3 Rootspumpen in potenziell explosiven AtmosphärenDie Rootspumpen RUVAC WA/WAU 251/501/1001/2001 ATEX Kategorie 3 (innen) bzw. 3 (innen) und 3 (außen) sind speziell konstruiert und hergestellt, um die Anforderungen der Gerätegruppe II, Kategorie 3 der «ATEX Richtlinie (Richtlinie 2014/34/EU) zur bestimmungsgemäßen Verwendung von Geräten und Schutzeinrichtungen in explosionsgefährdeten Bereichen» zu erfüllen.

Klassifikation und Kennzeichnung der PumpeDie Pumpen RUVAC WA 251 bis 2001 ATEX Kategorie 3 (innen) und (außen) erfüllen sowohl für die Innenseite (Prozessgasseite) als auch für die Außenseite der Pumpe die grundlegenden Sicherheitsanforderungen der Richtlinie.

Diese Pumpen sind wie folgt gekennzeichnet:

(inside) 3G IIC TX1) (50 Hz)* (12 °C <Ta< 40 °C) XIIbzw.

(inside) 3G IIC TX1) (50 Hz)*

II (outside) 3G IIC T3/T4 - (12 °C <Ta< 40 °C) X

* Die ATEX-Zertifizierung gilt nur für den Betrieb bei 50 Hz. Die Temperaturklasse außen (outside) kann durch den verwendeten Motor weiter eingeschränkt sein.1) TX bezieht sich auf die Temperaturklassen und richtet sich nach den Einsatzbedingungen. Erklärung hierzu im nachfolgenden Text.

ATEX

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Erklärung der Symbole

IIGerätegruppe II gilt für Geräte zur Verwendung in Bereichen, die durch eine explosionsfähige Atmosphäre gefährdet werden können, außer in Untertagebetrieben von Bergwerken und deren Übertageanlagen, die durch Grubengas und / oder brennbare Stäube gefährdet werden können.

Inside/outsideSpezifiziert die Kategorie/Bedingungen, nach denen die Innenseite (i) (d. h. Teile des Gerätes im Kontakt mit dem Prozessgasfluss) und die Außenseite (o) des Gerätes klassifiziert sind, sofern sich diese unterscheiden.

3Kategorie 3 umfasst Geräte, die konstruktiv so gestaltet sind, dass sie in Übereinstimmung mit den vom Hersteller angegebenen Kenn größen (Betriebs parametern) betrieben werden können und ein Normalmaß an Schutz gewährleisten. Geräte dieser Kategorie sind zur Verwendung in Bereichen bestimmt, in denen nicht damit zu rechnen ist, dass eine explosi-onsfähige Atmosphäre durch Gase, Dämpfe, Nebel oder aufgewirbelten Staub auftritt, aber wenn sie dennoch auftritt, dann aller Wahrscheinlichkeit nach nur selten und kurzzeitig. Geräte dieser Kategorie gewährleisten bei normalem Betrieb das erforderliche Maß an Sicherheit.

GFür Bereiche mit explosionsfähiger Atmosphäre, verursacht durch Gase, Dämpfe oder Nebel in der Luft.

Für Bereiche mit explosionsfähiger Atmosphäre, verursacht durch explosions-fähige Stäube, ist die Pumpe nicht geeignet.

II, IIA, IIB oder IICExplosionsgruppen: Dies sind Unterteilungen für Geräte der Gruppe II, die im Zusammenhang mit einigen Schutzarten verwendet werden. Diese Unter-teilung basiert auf der Grenzspaltweite und des minimalen Zündstromes der explosiven Mischung. Siehe Anhang A der europäischen Norm EN 50014. (EN 50014 Elektrische Betriebsmittel für explosionsgefährdete Bereiche — All gemeine Bestimmungen.

Mit IIB gekennzeichnete Geräte sind für alle Anwendungen geeignet, die Geräte mit der Kennzeichnung IIA erfordern. Entsprechend sind mit IIC gekennzeichnete Geräte für Anwendungen geeignet, die Geräte der Explosions gruppe IIA oder IIB erfordern. Geräte, die für alle Anwendungen geeignet sind, können durch II gekennzeichnet oder gar nicht gekennzeichnet sein.

ATEX

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TX (Temperaturklasse 1 - 6)Temperaturklasse: Klassifikation von Geräten in Klassen in Abhängig keitvon deren maximaler Oberflächentemperatur, entsprechend der nachstehenden Tabelle:

Temperaturklasse Maximale Oberflächentemperatur (°C)

T1 450

T2 300

T3 200

T4 135

T5 100

T6 85

Beispiel: Pumpen der Temperaturklasse T3 dürfen nur zum Pumpen von Gasen, die eine Zündtemperatur von über 200 °C aufweisen, genutzt wer-den.

Bauartbedingt sind bei der RUVAC die Gastemperaturen höher als die Oberflächentemperaturen.

Die Temperaturklasse und die tatsächliche maximale Oberflächentemperatur der Geräte beinhaltet eine Sicherheitsspanne zur minimalen Zündtemperatur der potenziell explosiven Atmosphäre, wie in EN 13463-1 gefordert.

50 HzDie Nennfrequenz für den Betrieb als ATEX-Pumpe ist 50 Hz

TaZulässige Umgebungstemperatur für den Betrieb der Pumpe 12 °C < Ta < 40 °C.

XBesondere Betriebsbedingungen sind einzuhalten! Es gelten die besonderen Bedingungen und Hinweise der Gebrauchsanleitungen und dieses Kapitels.

EinsatzbedingungenDie Temperatureinsatzgrenzen werden durch die Applikationsbedingungen maßgeblich bestimmt.

ATEX

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Zündschutzart und Kennzeichnung der elektrischen Kompo-nenten der RUVAC WA/WAU ATEX Kat. 3 (i) und 3 (i) / 3 (o)

a) Motor:Ex e IIC T3 (200 °C) bzw. Ex de IIC T4 (135 °C)

b) Temperatursensor (nur für den T 3 Betrieb zulässig)Um in jedem Betriebszustand und bei Störungen der Vorpumpe, etc. sicher-zustellen, dass die Maschine die Temperaturklasse T3 nicht überschreitet, ist der Einsatz eines Temperatursensors erforderlich (nicht im Lieferumfang ent-halten). Dieser misst die Gastemperatur im Auslassflansch der RUVAC.

Zündschutzart z.B. 1/2 G Ex ib IIC T6.

Bestimmung des Arbeitsbereichesfür TX in ATEX Zone 2 (i) und (o) X (Kategorie 3 (i) und (o))Der mögliche Arbeitsbereich für die Temperaturklassifizierung TX ergibt sich aus dem effektiven Saugvermögen der eingesetzten Vorpumpe (z.B. ScrewLine) am Druckstutzen der RUVAC und dem effektiven Saugver-mögen der RUVAC.

Aus diesen effektiven Saugvermögen folgt das effektive Kompressionsver-hältnis Keff. Dieses wird durch die Hüllkurve K0 als maximale Kompression und bei hohen Drücken durch die maximal zulässige Druckdifferenz begrenzt.

effektives Saugvermögen RUVACeffektives Saugvermögen Vorpumpe am Druckstutzen der RUVAC

keff =

pv = (Verdichtungsdruck = Druck an der Auslassseite RUVAC)

pa = Arbeitsdruck RUVAC (Saugseite)keff =

keff = effektives Kompressionsverhältnis

ATEX

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Betrieb unter Einhaltung von Grenztemperaturen Prinzipdarstellung:

Kom

pre

ssio

n K

eff

Verdichtungsdruck pv am Druckstutzen (mbar)

pconst, T30,01 0,1 1 10 100 1000pconst, T4

T4 - Einsatzgrenze

T3 - Einsatzgrenze

k0: maximal mögliche Kompression einer Rootspumpe

pmax - Grenze

Diagramm 1

Unterhalb eines bestimmten Verdichtungsdruckes pv ≤ pconst, TX erfüllt die RUVAC WA/WAU jederzeit die Temperaturklassifizierung TX. Wenn sicherge-stellt ist, dass dieser jeweilige Druck nicht überschritten wird und der Vorpumpstand jederzeit das spezifizierte Saugvermögen liefert, ist eine Temperaturüberwachung der Rootspumpe nicht erforderlich. Der Ansaugdruck pa ergibt sich dann aus den in der Tabelle 2 angegebenen, ATEX-spezifischen Vorvakuum-Druckwerten pconst, TX und dem effektiven Kompressionsverhältnis keff. Wenn keff nicht bekannt ist, wird empfohlen kth zu benutzen.

Nennsaugvermögen RUVACNennsaugvermögen Vorpumpe

kth =

kth = theoretisches Kompressionsverhältnis

ATEX

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Formel (1)(1) pa, max. zulässig = pconst, TX / kth

pa, max. zulässig = maximal zulässiger Arbeitsdruck RUVAC (Saugseite) zur Einhaltung von TX

pconst, TX = Tabellenwert für TX (siehe Tabelle), Druck am Auslass der Rootspumpe


Tabelle 2: Maximale Vorvakuumdrücke pconst zur Einhaltung von TX

Generell gilt für die T2 T3 T4 max. Druckdifferenz

RUVAC ∆ pmax pconst, T2 pconst, T3 pconst, T4 [mbar] [mbar] [mbar] [mbar]

WA/WAU 251 80 ∆pmax / (kth-1)* 57 13

WA/WAU 501 80 ∆pmax / (kth-1)* 34 11

WA/WAU 1001 80 ∆pmax / (kth-1)* 23 7

WA/WAU 2001 50 25 12 3

∆pmax = maximal zulässige Druckdifferenz im Dauerbetrieb: pv – pa * Die RUVAC WAU erfüllt in jedem Arbeitsbereich die T2 Grenze. Die Umwegleitung begrenzt die Druckdifferenz.

pconst, TX = Tabellenwert für TX (siehe Tabelle), Druck am Auslass der RUVAC


pV = Verdichtungsdruck = Druck an der Auslassseite RUVAC

pa = Arbeitsdruck RUVAC (Saugseite)

Für den Arbeitsbereich mit höheren Drucken pv ab pconst, TX gilt: Je größer das Verhältnis Saugvermögen Rootspumpe / Saugvermögen Vorpumpe (= keff), desto höhere Gastemperaturen sind am Auslass der Rootspumpe zu erwarten.

Der ATEX-Betrieb der RUVAC WA und WAU oberhalb von pconst, TX ist nur nach Auslegung durch Leybold zulässig.

In diesem jeweiligen Druckbereich pv > pconst, TX ist der beschriebene Temperatursensor zwingend einzusetzen.

In folgenden Fällen ist der Einsatz des Temperatursensors unabhängig vom Arbeitsbereich zwingend erforderlich:

■ Die Gaseinlasstemperatur an der RUVAC ist höher als 40 °C ■ Es werden (zeitweise) thermisch kritische Gase in hohen Konzen trationen gefördert, wie zum Bespiel Argon, Helium oder andere Edelgase.

VORSICHT

ATEX

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Formel (2):(2) pa, max. zulässig ≤ pv / keff, zulässig ≤ ∆pmax / (kth1)

Ist keff nicht sicher bestimmbar, ist auch hier kth anzuwenden.

Generell gilt für ATEX-Anwendungen

pE (Einschaltdruck, s. Abschn. 4) = pa, max. zulässig

Pt 100 Temperatursensor montieren

∆p RUVAC WA

ps /pa

pv

pa = pv /kth

SV Roots

SV Vorpumpe

Pt 100

Abb. 0.1 Temperaturmessung mit dem Temperatursensor Pt 100 bei T3-Betrieb

mit kth =

Die Spitze des Pt 100 Temperatursensors (Kat-Nr. 155 010 - nicht im Lieferumfang enthalten) misst die Gastemperatur in der Mitte des RUVAC–Auslassflansches (siehe Abb. 0.1 und 0.2). In Abhängigkeit von der RUVAC-Größe bzw. deren Flanschgröße ist der Pt 100 daher unterschiedlich zu posi-tionieren. Der Temperatursensor Pt 100 besitzt drei Einbaumarkierun-gen (Markierung A,B,C, siehe Abb. 0.2). Gemäß den Angaben in der nachfol-genden Tabelle ist der Pt 100 bis zur jeweiligen Markierung in die Klemm-verschraubung einzuschieben und sicher zu befestigen. In der beiliegenden Montageanleitung zur Klemmverschraubung sind die erforderlichen Drehmomente enthalten. Vor dem Einbau muss die Transportsicherungen entfernt werden.

RUVAC WA/WAU

Pt 100

Abb. 0.2 Position des Temperatursensors am Auslassflansch der RUVAC WA/WAU

Motor

Schutzrohr mit Einbau - Markierungen (A/B/C)

Klemmverschraubung

ATEX

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Durch die Einbauposition und die Messtoleranzen des Pt 100 sind die in der Tabelle gelisteten Abschalttemperaturen zu berücksichtigen. Die Funktion der Überwachungseinrichtungen ist vor der Inbetriebnahme des Gerätes nach prEN 13463-6, Abschnitt 10.2 zu überprüfen. Die Überwachungseinrichtung muss die funktionale Fehlerrate 1 (FFR1) der prEN 13463-6 erfüllen. Die Anforderungen der prEN 13463-6 sind dabei ebenfalls zu berücksichtigen.

Pt 100 auswertenEin Überschreiten der Abschalttemperatur des Sensors muss zu einem sicheren Abschalten der Wälzkolbenpumpe führen.

RUVAC WA/WAU 251 501 1001 2001

Einbauposition Markierungen auf dem A A B C Schutzrohr (Abb. 0.2)

einzustellende Abschalttemperatur für T3 (200 °C) 100 °C 100 °C 100 °C 100 °C

einzustellende Abschalttemperatur für T4 (135 °C) nicht zulässig bei T4 Betrieb

Beispiel für den Betrieb in unterschiedlichen Temperaturklassen

T2Wie aus der Tabelle 2 ersichtlich, stellt die maximale Druckdifferenz die Grenze für die WA 251, WA 501 und WA 1001 dar. Für die WAU 251-2001 ist T2 jeder-zeit erfüllt. Für den Betrieb der WA 2001 oberhalb des Verdichtungsdrucks pconst (25 mbar) und geforderter Einhaltung von T2, wenden Sie sich bitte zur Auslegung an Leybold.

T3WA/WAU 251 – 2001: Für den Betrieb oberhalb des Verdichtungsdrucks pconst, T3 wenden Sie sich bitte zur Auslegung an Leybold. Wenn die RUVAC WA in diesem Bereich betrieben wird, ist der beschriebene Temperatur sensor einzu-setzen.

T4WA/WAU 251 – 2001: Für den Betrieb oberhalb des Verdichtungsdrucks pconst, T4 wenden Sie sich bitte zur Auslegung an Leybold.

ATEX

18 GA03107_001_C0 - 10/2016 - © Leybold

Beispiel für T3 ohne TemperaturüberwachungEine RUVAC WA 501 ATEX Kat. 3 (i) / (o) wird zusammen mit einer Flüssigkeits-ringpumpe und einem Dampfstrahler betrieben. Die Flüssigkeitsringpumpe und der Dampfstrahler erzeugen ein Saugvermögen von ca. 150 m3 / h.

ATEX-Anforderung: Die WA 501 darf die Temperatur T3 (200 °C) nicht über-schreiten.

Das Nennsaugvermögen der WA 501 beträgt 505 m3 / h.

kth = Nennsaugvermögen RUVAC /Nennsaugvermögen Vorpumpe = 505 m3 / h / 150 m3 / h = 3,36

Nach Formel (1) gilt: pa = pconst / kth

pconst (T3) = 34 mbar (siehe Tabelle)

damit folgt: pa = 34 mbar / 3,36 = 9,2 mbar

ErgebnisDie WA 501 darf unter diesen Bedingungen bei einem Einlassdruck (= Prozessdruck) von maximal 9,2 mbar eingeschaltet und dauerhaft betrieben werden. Dabei wird die Temperaturklassifizierung T3 jederzeit erfüllt.

Beispiel für T3 mit TemperaturüberwachungEine RUVAC WA 501 ATEX Kat. 3 (i) / (o) wird zusammen mit einer Flüssigkeits-ringpumpe und einem Dampfstrahler betrieben. Die Flüssigkeits-ringpumpe und der Dampfstrahler erzeugen ein Saugvermögen von ca. 150 m3 / h.

ATEX-Anforderung: Die WA 501 darf die Temperatur T3 (200 °C) nicht über-schreiten.

Der Prozessdruck (pa) ist jedoch mit 20 mbar anlagenseitig festgelegt.

Für pa, max. zulässig wurde folgender Wert ermittelt (s.o.):

pa = 34 mbar / 3,36 = 9,2 mbar

Der maximale Arbeitsdruck für T3 liegt mit 9,2 mbar also unterhalb des vor-gegebenen Prozessdrucks von pa = 20 mbar. Es ist daher vor der Inbetrieb-nahme Rücksprache mit Leybold zu nehmen, um die Möglichkeit des T3-Betriebs unter diesen Bedingungen zu klären. Die Temperaturüberwachung mit dem PT100 (Kat-Nr. 155 010) ist in jedem Fall oberhalb von pa = 9,2 mbar erforderlich.

Um zu ermitteln, ob T3 bei diesem Prozessdruck eingehalten werden kann, wenden Sie sich bitte zur Betrachtung und Auslegung an Leybold. Benötigt werden dazu die Saugvermögens-Charakteristik Ihres Vorpumpensystems sowie die Längen und Durchmesser der Verbindungs leitungen.

ATEX

19GA03107_001_C0 - 10/2016 - © Leybold

Beispiel für die Berechnung von pE und pa für eine T2-AnwendungEine RUVAC WA 501 wird zusammen mit einer Vorpumpe mit einem Saug-vermögen von ca. 150 m3 / h betrieben. Es ist die Temperaturklassifizierung T2 einzuhalten. Dies ist für die WA 501 in allen Betriebszuständen gegeben (siehe Normalbetrieb).

Das Nennsaugvermögen der WA 501 beträgt 505 m3 / h.

kth = Nennsaugvermögen RUVAC /Nennsaugvermögen Vorpumpe = 505 m3 / h / 150 m3 / h = 3,36

Nach Formel (2) gilt: pS = pE ≤ ∆pmax / (kth – 1)

∆pmax (WA 501) = 80 mbar (siehe Tabelle)

damit folgt: pS ≤ pE = 80 mbar / (3,36 – 1) = ca. 34 mbar

ErgebnisDie WA 501 darf unter diesen Bedingungen bei einem Einlassdruck (= Prozessdruck) von maximal 34 mbar eingeschaltet und dauerhaft betrieben werden. Dabei wird die Temperaturklassifizierung T2 jederzeit erfüllt.

Zugeordnete elektrische GeräteSofern die Pumpe für den Einsatz in explosionsgefährdeten Bereichen zugel-assen ist, sind auch die mit der Pumpe gelieferten elektrischen Geräte, z.B. Ventile, Sensoren für den Betrieb in diesen Bereichen zugelassen. Es gelten die Bedingungen wie für den Betrieb der Pumpe.

Zugeordnetes ZubehörDas für diese Pumpe lieferbare Zubehör von Leybold ist auch zum Betrieb in explosionsgefährdeten Bereichen geeignet. Es gelten die Bedingungen wie für den Betrieb der Pumpe. Werden andere Zubehörteile mit dieser Pumpe verwendet, muss sichergestellt werden, dass diese für den Betrieb in explosi-onsgefährdeten Bereichen geeignet sind.

AnwendungsbereicheDas Innere (die Prozessgasseite) dieser Vakuumpumpe ist so ausgelegt und konstruiert, dass das Auftreten vorhersehbarer Zündungsquellen bei norma-lem Betrieb ausgeschlossen werden kann. Sofern die Pumpe gemäß der in der Gebrauchsanweisung spezifizierten Parameter betrieben wird, bietet die Pumpe ein Normalmaß an Schutz. Sie ist daher für den Betrieb unter Bedingungen geeignet, in denen es unwahrscheinlich ist, dass explosionsfä-hige Atmosphären durch Gase, Dämpfe oder Nebel in der Luft entstehen können, oder falls diese entstehen, dies nur sehr selten und nur für eine kurze Zeit (d. h. Zone 2) der Fall ist. Die gleichen Bedingungen gelten für die Außenseite der Pumpen, die außen zertifiziert sind.

ATEX

20 GA03107_001_C0 - 10/2016 - © Leybold

Sofern nur das Innere der Pumpe (Prozessseite) für den Einsatz mit explo-sionsfähiger Atmosphäre zertifiziert ist, darf die Pumpe selbst nicht in explosionsgefährdeten Bereichen installiert und betrieben werden.

Außenseite der Pumpe: ZoneneinteilungBereiche in denen explosionsfähige Atmosphären (Gase, Dämpfe oder Nebel) in der Luft auftreten können, werden entsprechend der Häufigkeit und Dauer des Auftretens einer explosiven Atmosphäre in drei Zonen unterteilt. Diese Zonen werden als Zone 0, 1, und 2 bezeichnet.

Die Definitionen für diese Zonen sind in Anhang I der «Atex Richtlinie (Richtlinie 99/92/EG) zur Verbesserung des Gesundtheitschutzes und der Sicherheit der Arbeitnehmer, die durch explosionsfähige Atmosphären gefähr-det werden können» beschrieben.

Hinweise, zur Einteilung der Bereiche mit explosionsfähiger Atmosphäre in die drei Zonen, werden in der Richtlinie 99/92/EG und dem zugehörigen Leit-faden (COM (2003) 515) zusammen mit der europäischen Norm EN 60079-10 (Elektrische Betriebsmittel für gasexplosionsgefährdete Bereiche - Teil 10: Einteilung der explosionsgefährdeten Bereiche) gegeben. Zusätzlich finden sich in der Richtlinie 99/92/EG und dem zugehörigen Leitfaden weitere Informationen zur Explosionsvermeidung und zum Explosionsschutz.

Diese Informationen lassen sich von der EU Internet-Seite herunterladen.

Zündtemperaturen von Gasen/DämpfenDie Pumpen eignen sich nur für Anwendungen, in denen potenziell explosive Gas- und Dampfmischungen eine Zündtemperatur von über 200 °C (T3) oder 135 °C für T4 aufweisen.

Die Zündtemperaturen von Gasen und Dämpfen (manchmal auch Selbst-entzündungs temperatur genannt) können den Sicherheits datenblättern ent-nommen werden.

Die Pumpe ist nicht geeignet zum Betrieb in potentiell explosiven Gas-mischungen, in denen die Sauerstoffkonzentration über 21 Prozent liegt oder wenn reaktionsfähige, aggressive oder korrosive Gase vorhanden sind.

VORSICHT

ATEX

21GA03107_001_C0 - 10/2016 - © Leybold

Zusätzliche Installationsanforderungen XZusätzlich zu den Installationsinformationen der Hauptgebrauchsanleitung fol-gendes sicherstellen:

Die Pumpe darf ausschließlich mit den Ölen LVO 100 oder LVO 210 als Betriebsmittel befüllt und betrieben werden.

Die Verwendung anderer Öle kann zu erhöhten Oberflächentemperaturen führen und starke Schädigungen an der Pumpe verursachen.

Die Pumpe so installieren, dass das Ölschauglas leicht ablesbar ist und nicht beschädigt werden kann.

Die Pumpe so installieren, dass sich nur minimale Staubmengen auf den Oberflächen ablagern können. In den Fällen, wo sich Staubablagerungen bil-den, diese regelmäßig entfernen.

Die Pumpen dürfen nur bei einer Umgebungstemperatur zwischen 12 °C und 40 °C betrieben werden.

Der maximale Auslassdruck (= Vorvakuumdruck) darf pconst nicht überschrei-ten, wenn keine Temperaturüberwachung der RUVAC WA/WAU erfolgt. Für den Einlassdruck gilt dabei: pa = pconst / kth.

Sofern die Pumpe (Außenseite) für den Betrieb in Bereichen mit explosionsfä-higer Atmosphäre zertifiziert ist, sind die besonderen Anforderungen der europäischen Normen EN 60079-14 «Elektrische Betriebsmittel für explosi-onsgefährdete Bereiche Teil 14» und EN 60079-17 «Elektrische Betriebsmittel für gasexplosionsgefährdete Bereiche - Teil 17» für die erforderliche Elektro-installation zu berücksichtigen.

Die Pumpen sind nicht für Anwendungen geeignet, bei denen abrassive und kohäsive Substanzen oder kondensierbare Dämpfe entstehen, die kle-bende, zähe oder belagbildende Ablagerungen bilden können. Nach dem Abschalten der Wälzkolbenpumpe kommt es zum Nachheizen der Kolben, deshalb muss darauf geachtet werden, dass eine Abkühlzeit von 30 min. eingehalten wird. Danach kann die Pumpe wieder eingeschaltet werden.

HINWEIS

HINWEIS

ATEX

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Potentielle ZündquellenEine Bewertung der Zündgefahr wurde entsprechend der europäischen Norm EN 13463-1 durchgeführt (EN 13463-1 Nicht-elektrische Geräte für den Einsatz in explosionsgefährdeten Bereichen Teil 1: Grundlagen und Anforderungen). Aufgrund dieser Bewertung wurden die nachstehend aufge-führten Zündquellen, welche während des Betriebes der Pumpe auftreten können, festgestellt:

Potentielle Zündquellen Bemerkungen

Heiße Oberflächen Innen und außen aufgrund der Gaskompression, etc.

Heiße Gase Werden innerhalb der Pumpe erzeugt und am Auslass ausgestoßen

Mechanische Funken Treten im Normalbetrieb nicht auf.

Elektrische Funken Außerhalb der Pumpe wegen Motor, Zubehör

Statische Elektrizität Möglich, falls leitende Teile der Pumpe nicht geerdet sind

Chemische Reaktion --

Schutzmaßnahmen

Heiße OberflächenDie Kompression der Gase führt während des normalen Betriebes der Vakuum pumpe zu einer Aufheizung und zu heißen Oberflächen. Tests haben gezeigt, dass beim bestimmungsgemäßen Betrieb der Pumpe (gemäß dieser Anleitung), der Prozessgasweg, der in Kontakt mir einer potenziell explosiven Atmosphäre kommen könnte, bei Betrieb mit einer Nennfrequenz von 50 Hz eine maximale Temperatur von weniger als 200 °C für T3 oder 135 °C für T4 erreicht.

Die Maximaltemperaturen werden im Dauerbetrieb bei einem Auslassdruck zwischen 40 und 80 mbar erreicht (Einlassdruck = Auslassdruck / reales Kompressionsverhältnis) und einem verschwindenden Gasdurchsatz (Q0 = 0 m3/h) erreicht. Die tatsächlich erreichte Temperatur hängt vom realen Kompressionsverhältnis und dem Gasdurchsatz ab.

Gleichermaßen kann die Außenseite der Pumpe eine maximale Oberflächen-temperatur von über 80 °C erreichen, die maximale Oberflächentemperatur wird unter 200 °C bei T3 oder 135 °C bei T4 bei 50 Hz Nennbetrieb liegen. (diese Temperaturen schließen Sicherheitsspannen entsprechend EN13463-1 ein).

Höhere maximale Oberflächentemperaturen können auftreten, wenn die Pumpe nicht mit den Ölen LVO 100 oder LVO 210 befüllt und betrieben wird.

Bei den ATEX-Varianten darf kein PFPE verwendet werden.

VORSICHT

ATEX

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Mechanische FunkenIm Normalbetrieb entstehen keine mechanisch bedingte Funken. Der Lüfter und die Lüfterabdeckung sind so konstruiert, dass ein ausreichender Abstand eingehalten wird und somit ein Kontakt ausgeschlossen ist.

Das Einsaugen von Partikeln in die Pumpe hinein ist zu vermeiden, um so die Bildung von heißen Stellen aufgrund von Reibung zu vermeiden. Der Betrieb der Pumpe darf nur mit dem Einlasssieb erfolgen.

Elektrische FunkenDiese können vom Elektromotor und dem mit der Pumpe gelieferten Zubehör verursacht werden. Wo die Außenseite der Pumpe zertifiziert ist, entsprechen Motor und gelieferte Zubehörteile der gleichen Klassifikation. Die Hersteller-angaben sind zu befolgen.

Statische ElektrizitätDie Pumpe ist ausreichend zu erden, um eine Aufladung mit statischer Elektrizität zu vermeiden. Dies wird erreicht, wenn die Masseverbindung ord-nungsgemäß an der dafür vorgesehenen Stelle angeschlossen wird. Bei Normalbetrieb wird keine gefährliche Ladungserzeugung erfolgen (für weitere Informationen bezüglich der Gefahren, die von statischer Elektrizität ausge-hen, siehe CENELEC Bericht CLC/TR 50404:2003 Electrostatics - Code of practice for the avoidance of hazards due to static electricity).

Nur Original-Ersatzteile von Leybold verwenden, da diese konstruktiv so aus-gelegt sind, dass eine Erdung sichergestellt ist.

Chemische ReaktionenDie Pumpe soll nicht in Verbindung mit reaktionsfähigen oder korrosiven Gasen, die zu einer exothermen chemischen Reaktion führen können, ver-wendet werden.

Zusätzliche SicherheitsmaßnahmenEine Überhitzung der Pumpe kann zu Temperaturen führen, die höher sind als die zertifizierte maximale Temperatur TX. Die Einhaltung der in dieser Gebrauchsanweisung genannten Betriebsparameter ist sicherzustellen.

Die Wartungsintervalle sind für einen sicheren Betrieb einzuhalten.

Zusätzliche WartungsanforderungenIn den Fällen, wo sich Staub auf der Pumpe oder den Motoroberflächen abla-gern kann, sind Maßnahmen zu treffen, die sicherstellen, dass solche Ablagerungen regelmäßig entfernt werden.

Um sicherzustellen, dass das festgelegte Sicherheitsniveau eingehalten wird, nur Zubehör- und Verschleißteile von Leybold verwenden.

ATEX

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Wie ist der Temperatursensor elektrisch anzuschließen?Leybold unterbreitet hier einen Schaltungsvorschlag zum elektrischen Anschluss. Die gezeigte Schaltung (Abb. 0.3) stellt eine Möglichkeit zur Signalauswertung dar, andere Schaltungsrealisierungen können zum gleichen Ergebnis führen!

Aufgrund der Einbauposition und der angegebenen Toleranzen der Tempe-raturmessung ist für die Temperaturklassifizierung TX die RUVAC WA/WAU bei den in Tabelle 1 angegebenen Abschalttemperaturen sicher abzuschalten. T4 ist ausgeschlossen.

24-60 V DC / AC oder 85-230 V DC / AC

Kombinierter MessumformerGrenzwertmelder SONEAX VC 603

Analogausgang

Ex Bereich

Temperaturfühler (PT 100)

0 5

4

4

1

6

11

Z/2

6

/21

/21

/29

Abb. 0.3 Anschluss des Temperatursensors (Schaltungsvorschlag)

Beschreibung

25GA03107_001_C0 - 10/2016 - © Leybold

1 Beschreibung

1.1 Aufbau und FunktionDie RUVAC WA und RUVAC WAU sind Wälzkolben-Vakuumpumpen, die von einem direkt angeflanschten Elektromotor angetrieben werden.

Die WAU-Typen haben eine Druckausgleichleitung zwischen dem Ausgangs- und Ansaugflansch.

RUVAC-Pumpen sind in der serienmäßigen Ausführung nicht zum Abpumpen von Sauerstoff von mehr als Atmosphären-Konzentration geeignet.

Wenn Sie RUVAC-Pumpen zum Fördern sehr aggressiver Gase einsetzen wollen, erbitten wir Ihre Anfrage.

Das Innere (die Prozessgasseite) dieser Vakuumpumpe ist so ausgelegt und konstruiert, dass das Auftreten vorhersehbarer Zündungsquellen bei norma-lem Betrieb ausgeschlossen werden kann. Die Pumpe hat eine ATEX 3 innen Kennzeichnung und, bei Anschluss eines entsprechenden Motors, auch eine ATEX 3 außen Kennzeichnung. Näheres entnehmen Sie bitte dem ATEX-Abschnitt.

Der bestimmungsgemäße Gebrauch der RUVAC-Pumpen und die Ein haltung der gesetzlichen Anforderungen aus der ATEX-Betreiberrichtlinie (99/92/EG) liegt in der Verantwortung des Betreibers.

1.1.1 FunktionsprinzipWälzkolbenpumpen - auch Rootspumpen oder Rootsgebläse genannt - sind Drehkol benpumpen, bei denen sich im Förderge häuse zwei symmetrisch gestaltete Dreh- oder Wälzkolben gegensinnig abwälzen (siehe Abb. 1.1). Die Rotoren haben ungefähr einen 8-förmigen Querschnitt und sind durch ein Zahnradgetriebe synchronisiert, so dass sie sich ohne gegenseitige Berührung mit gerin gem Spiel aneinander und an der Gehäuse wand vorbei-bewegen.

Das Funktionsprinzip wird in Abb. 1.2 erklärt.

Bei Kolbenstellung I und II wird das im Ansaugflansch befindliche Volumen vergrö ßert. Beim Weiterdrehen der Kolben in Stel lung lll wird ein Teil des Volumens von der Saugseite abgeschlossen.

In Stellung IV wird dieses Volumen zur Aus gangsseite hin geöffnet, und unter Vor vakuumdruck (höher als der Ansaugdruck) stehendes Gas strömt ein. Das einströ mende Gas verdichtet das von der Saugseite her geförderte Gasvolumen. Bei weiterer Kolbendrehung wird das verdichtete Gas über den Ausgangsflansch ausgefördert.

Dieser Vorgang wiederholt sich für jeden der zwei Kolben zweimal pro voller Umdrehung.

Durch den berührungsfreien Lauf im Förder raum können Wälzkolbenpum-pen mit hohen Drehzahlen betrieben werden (serienmäßig n = 3000 min-1 bei 50 Hz Netzfrequenz). Dadurch erreicht man mit kleinen Pumpen ein ver-gleichsweise hohes Saugvermögen.

Die Druckdifferenz und das Kompressions verhältnis zwischen Ansaug- und Ausgangs seite sind bei Wälzkolbenpumpen begrenzt. Ein Überschreiten der zulässigen Druckdiffe renz führt zur Überhitzung der Pumpe.

Beschreibung

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In der Praxis ist die maximal erreichbare Druckdifferenz nur im Grobvaku-umbereich (p > 10 mbar) von Bedeutung, während im Feinvakuumbereich (p < 1 mbar) das erreich bare Kompressions verhältnis die entschei dende Rolle spielt.

RUVAC-Pumpen der Typen WA/WAU sind speziell für den Betrieb im Grob- und Feinvakuumbereich ausgelegt. Sie werden daher entweder in Verbindung mit Vorpumpen oder in geschlossenen Gas kreisläufen eingesetzt.

Die Leistungsaufnahme der Pumpe ist abhängig: ■ vom Förderraumvolumen ■ der Pumpendrehzahl ■ dem vorhandenen Druckbereich ■ der Druckdifferenz zwischen Ausgangs- und Ansaugflansch (siehe Abb. 1.7) ■ und der zu fördernden Gasart.

Abb. 1.2 Funktionsschema einer Wälzkolbenpumpe

(Förderrichtung senkrecht)

Abb. 1.1 Schematischer Schnitt durch eine Wälzkolbenpumpe

(Förderrichtung senkrecht)

1

2

3

4

51 Ansaugflansch2 Förderraum3 Gehäuse4 Wälzkolben5 Auslassflansch

Beschreibung

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1.1.2 AufbauRUVAC-Wälzkolbenpumpen können Gas in senkrechter und waagerechter Richtung fördern.

Während der Förderraum von Wälzkolben pumpen frei ist von Dicht- und Schmiermit teln, werden die beiden Zahnräder des Syn chrongetriebes und die Lager mit Mineralöl geschmiert (siehe Abb. 1.3). Zahnräder und Lager der RUVAC befinden sich in zwei Seitenräumen im Gehäuse, die auch den Ölvorrat enthalten.

Diese beiden Seitenräume sind durch Kol benring-Dichtungen vom Förder-raum getrennt. Sie werden beim Betrieb der Pumpe über die Kolbenringe evakuiert.

Die Lagerräume sind durch zwei Rohre miteinander verbunden. Diese Rohre sorgen bei waagerechter und senkrechter Förderrichtung für den Druck-ausgleich der beiden Ölvorräte untereinander.

In beiden Lagerräumen sorgen integrierte Ölpumpen dafür, dass die Lager und Zahnrä der bei allen zulässigen Drehzahlen ausrei chend mit Schmiermittel versorgt werden.

Der Motor der RUVAC WA/WAU ist direkt am Kupplungsgehäuse ange-flanscht. Eine Pumpenwelle und die Motorwelle sind durch eine elastische Kupplung miteinander verbunden. Die andere Kolbenwelle wird über das

Abb. 1.3 Längsschnitt durch eine RUVAC WAU 2001 (Förderrichtung senkrecht)

1 Zahnräder 8 Kupplung2 Lager 9 Motor3 Kolbenringe 10 Antriebswelle4 Saugstutzen 11 Schleuderrinne5 Wälzkolben 12 Auspuffstutzen6 Wellen-Dichtringe 13 Verbindungsrohre7 Öler

Beschreibung

28 GA03107_001_C0 - 10/2016 - © Leybold

Synchrongetriebe angetrieben.

Die RUVAC WA/WAU können mit den serien mäßigen Motoren sowohl mit 50 Hz als auch mit 60 Hz Netzfrequenz betrieben werden.

Die Umdrehungszahl erhöht sich dann auf 3600 min-1, das Saugvermögen steigt entsprechend.

Bei ATEX-Anwendungen ist nur Betrieb mit 50 Hz zulässig.

Motoren mit Sonderspannungen oder -frequenzen sowie Ex-Schutz-Motore auf Anfrage.

Die Durchführung der Kolbenwelle zwischen dem evakuierten Lagerraum und Atmosphäre ist durch Wellen-Dichtringe abgedichtet. Die Wellen-Dichtringe sind öl-überlagert. Sie befinden sich in einem Dichtring-Gehäuse mit sepa-ratem Ölvorrat. Der Ölstand im Wellen-Dichtring-Gehäuse kann am Öler kon-trolliert werden.

Die RUVAC WA und WAU sind luftgekühlt. Der Luftstrom zum Kühlen von Motor und Pumpe wird durch einen Motorlüfter erzeugt.

Als zusätzliche Kühleinrichtung befindet sich ein Lüfterrad auf der Kupplung.

1.1.3 DruckausgleichleitungDie RUVAC WAU haben eine integrierte Druckausgleichleitung. Sie verbindet den Ausgangs- mit dem Ansaugflansch über ein Druckdifferenz-Ventil.

Bei zu großer Druckdifferenz zwischen den Flanschen öffnet das Ventil . Ein Teil des geförderten Gases strömt dann durch die Leitung zurück zum Ansaugflansch.

Das Ventil ist gewichts- und federbelastet. Es ist so angeordnet, dass es bei senkrechter und waagerechter Förderrichtung funktio niert.

Im 50/60-Hz Betrieb sind durch die Druckausgleichleitung keine zusätzlichen Steuergeräte zum Schutz der Pumpe vor zu hoher Druckdifferenz nötig (siehe auch Abschnitt 4.1). Die RUVAC können dann gleichzeitig mit einer Vorpumpe bei Atmosphären druck einge schaltet werden. Dadurch erhöht sich das Saugvermögen der Pumpkombination auch bei hohen Ansaugdrücken.

Bei einigen Modellen hat die Druckausgleichleitung einen ACE-Dämpfer. Dieser verhindert bei Druckstößen, dass das Ventil am Deckel anschlägt. Dadurch sinkt das Geräusch des Ventils und seine Haltbarkeit steigt.

Bei Kurztaktbetrieb empfehlen wir bei den WAU 1001 und 2001 den Einsatz einer Getrieberaumevakuierung, um Ölverschleppung zu vermeiden, siehe Abschnitt 1.5.

Das Druckausgleichsventil schützt die Pumpe jedoch nicht gegen eine thermische Überlast, wenn es ständig offen ist.

HINWEIS

Beschreibung

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1.1.4 SchmiermittelDie RUVAC WA/WAU werden serienmäßig für den Betrieb mit Mineralöl oder synthetischem Öl vorbereitet.

Bei Betrieb mit Mineralöl empfehlen wir unser Vakuumpumpenöl LVO 100, bei Betrieb mit synthetischem Öl unser LVO 210.

WA/WAU-Pumpen mit PFPE-Füllung erfüllen heute nicht mehr die weltwei-ten Anforderungen in den Halbleiterapplikationen.

Für diese Anwendungen WS/WSU-Typen vorsehen.

1.2 LieferumfangDie RUVAC WA/WAU werden standardmäßig für senkrechte Förder richtung ausgeliefert. Das Wellen-Dichtring-Gehäuse ist mit Öl gefüllt.

Zum Ausliefern der Pumpe wurde das Öl abgelassen. Die zum Betrieb erfor-derliche Menge Öl ist beigestellt.

Alle Pumpen haben im Ansaugflansch ein Einlasssieb und sind zum Schutz vor Korrosion mit Stickstoff geflutet. Die Flansche sind mit Klebefolie abge-dichtet.

Die WA/WAU-Typen ohne Motor sind zum Anbau eines Motors nach IEC-Norm vorbereitet. Der Motorflansch ist mit einer Pappscheibe verschlossen. Die Kupplung ist im Lieferumfang enthalten.

HINWEIS

Abb. 1.4 Schema einer Wälzkolbenpumpe mit Druckausgleichsleitung

Druckausgleichsventil

Druckausgleichsleitung (Umwegleitung)

Beschreibung

30 GA03107_001_C0 - 10/2016 - © Leybold

1.3 Technische DatenBei ATEX-Anwendungen sind nur die Werte für 50 Hz gültig.

RUVAC WA/WAU 251 501 1001 2001

Nennsaugvermögen bei 50 Hz 1) m3 . h-1 253 505 1000 2050

Max. Saugvermögen bei 50 Hz m3 . h-1 210 410 800 1850

Nennsaugvermögen bei 60 Hz 1) m3 . h-1 304 606 1200 2460

Max. Saugvermögen bei 60 Hz m3 . h-1 251 530 1000 2100

■ mit Vorpumpe TRIVAC D 65 B - - - ■ mit Vorpumpe SOGEVAC SV 200 SV 300 SV 630 F

Endpartialdruck 2) mbar < 2 . 10-5 < 8 . 10-3 < 8 . 10-3 < 8 . 10-3

Endtotaldruck 2) mbar < 8 . 10-4 < 4 . 10-2 < 4 . 10-2 < 4 . 10-2

Mögl. Einschaltdruck 2) – RUVAC WA mbar 90 100 60 30

Maximal zulässige Druckdifferenz im Dauerbetrieb3) mbar 80 80 80 50

Leckrate, integral mbar · l · s-1 ≤ 5 · 10-4

Zulässige Umgebungstemperatur °C 12 - 40

Netzspannung IEC-Motor8) YY/Y V 220-240/ 220-240/ 220-240/ – 380-420 380-420 380-420 380-420

Temperaturklasse F F F F

Motorleistung kW 1,1 2,2 4,0 7,5

Nenndrehzahl, 50/60 Hz min-1 3000 / 3600

Maximal zulässige Drehzahl min-1 3600

Schutzart IP 55

Ölfüllung der Lagerräume 4) 1. Füllung 5 / 2. Füllung 1. Füllung 5 / 2. Füllung 1. Füllung 5 / 2. Füllung 1. Füllung 5 / 2. Füllung

bei senkrechter Förderrichtung, ca. l 0,5 / 0,4 0,9 / 0,8 2,0 / 1,8 4,2 / 3,6 bei waagerechter Förderrichtung, ca. l 0,5 / 0,4 0,8 / 0,7 1,2 / 1,1 2,0 / 1,8

Ölfüllung des Wellen-Dichtring-Gehäuses l 0,6 1,0 1,3 1,6

Anschlussflansche DN 63 ISO - K 63 ISO - K 100 ISO - K 160 ISO - K

Gewicht WA / WAU kg 85 / 89 128 /133 220 /225 400 / 406

Geräuschpegel 6) dB (A) < 64 < 67 < 75 < 801) Nach DIN 28 400 ff2) Mit zweistufiger Drehschieber-Vakuumpumpe TRIVAC, bzw. einstufiger Drehschieber-Vakuumpumpe SOGEVAC (Art der Vorpumpe, siehe maximales Saugvermögen) Bei Verwendung von zweistufigen Vorpumpen sind die Enddrücke entsprechend niedriger3) Gültig bis Abstufung 1 : 10 zwischen Vorvakuumpumpe und Wälzkolben-Vakuumpumpe bei 3000 min-1

4) Maßgebend ist aber der Ölstand im Ölschauglas5) Nach einer kompletten Demontage6) Bei Arbeitsdruck < 10-1 mbar8) Motorspannung und Strom können je nach Motortyp abweichen. Bitte immer die Angaben auf dem Typenschild beachten.

Beschreibung

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aa1

a2a5

a4

a3

h7

h1

b7b

b1b2

b6

h

h2

b6b5

b4b3

h3

h4

h5

b8

DNDN

DN

DNd b9 b9

Typ b b1 b2 b3 b4 b5 b6 b71) b8

1)

WA/WAU 251 250 270 210 280 230 170 24 305 285 WA/WAU 501 310 299 229 320 271 201 24 390 313 WA/WAU 501H 310 299 229 320 271 201 24 414 330 WA/WAU 1001 376 352 278 370 320 246 24 494 366 WA/WAU 1001H 376 352 278 370 320 246 24 524 398 WA/WAU 2001 463 518 388 460 422 292 24 638 456 WA/WAU 2001H 463 518 388 460 422 292 24 642 460

Typ DN DN1 a a1 a2 a3 a4 a5 a6

WA/WAU 251 65 63 ISO-K 732 405 365 14 209 120 194 WA/WAU 501 65 63 ISO-K 830 486 450 14 237 155 218 WA/WAU 501H 65 63 ISO-K 830 486 450 14 237 155 218 WA/WAU 1001 100 100 ISO-K 1058 560 520 16,5 298 180 262 WA/WAU 1001H 100 100 ISO-K 1058 560 520 16,5 298 180 262 WA/WAU 2001 150 160 ISO-K 1236 800 740 18 367 220 310 WA/WAU 2001H 150 160 ISO-K 1236 800 740 18 367 220 310

Typ b9 d h h1 h2 h3 h4 h51) h6 h1)

WA/WAU 251 7,5 50 300 160 280 180 306 360 330 307 WA/WAU 501 7,5 50 340 180 320 194 348 430 370 332 WA/WAU 501H 7,5 50 340 180 320 194 348 450 370 350 WA/WAU 1001 7,5 50 396 211 370 227 414 532 425 392 WA/WAU 1001H 7,5 50 396 211 370 227 414 564 425 424 WA/WAU 2001 7,5 50 530 300 460 348 578 753 541 523 WA/WAU 2001H 7,5 50 530 300 460 348 578 760 541 530

1) Nur bei RUVAC WAUÄußere Abmaße +/- 3 mmDN = Pumpenflansch ND 6 nach DIN 2501DN1 = Überwurfflansch mit Dichtscheibe zum Anschluss von Bauteilen nach ISO-K Norm

Abb. 1.5 Maßzeichnung zu den RUVAC WA/WAU-Pumpen

10-3 10-110-2 100 101 102 103

102

2

468

101

103

104

mbarDruck

m3 h-1

Sau

gver

mög

en

WAU 1001+SV 300WAU 501 +SV 200

WAU 2001+SV 630F

x

08.03.K.021-E (WAU+SV)

Totaldruck

Partialdruck

10-52 4 68

10-4

WAU 251 +D 65 B

Abb. 1.6 Saugvermögenskurven der RUVAC WA/WAU, 50 Hz Abb. 1.7 Leistungsaufnahme der RUVAC WA/WAU

Beschreibung

32 GA03107_001_C0 - 10/2016 - © Leybold

1.3.1 Motordaten

WA(U) 251 WA(U) 501 WA(U) 1001 WA(U) 2001

Motortyp AMH 80Z BA2 AMH 90L BA2 AMH 112M AA2 AMH 1325 TA2

Leistung 50/60Hz 1,1 kW 2,2 kW 4 kW 7,5 kW

Phasenanzahl 3

Anzahl der Polpaare 1

Nennfrequenz 50/60 Hz

Nenndrehzahl 50 Hz 2900 min-1 2910 min-1 2910 min-1 2940 min-1 60 Hz 3410 min-1 3505 min-1 3510 min-1 3540 min-1

Nennspannung und Nennstrom 50 Hz 200-240 V 5,7 A 9,4 A 15,6 A 28 A 200 V (IE2) 5,0 A 9,2 A 14,2 A 27,2 A 380-400 V (IE2) 2,5 A 4,6 A 7,1 A 13,6 A

60 Hz 200-240 V 4,8 A 8,2 A 13,5 A 27 A 208-240 V (EPAct) 4,4 A 7,8 A 12,6 A 24 A 380-480 V 2,4 A 4,1 A 6,7 A 13,5 A 416-480 V (EPAct) 2,2 A 3,9 A 6,3 A 12 A

Nenn-Effizienz [%]

50 Hz/400 V 100% 81,5 85,5 88,6 90,1 75% 80,6 85,2 88,4 89,8 50% 76,9 83,5 86,6 87,8

60 Hz/460 V 100% 82,5 86,3 88,4 89,5 75% 81,0 84,9 87,3 88,6 50% 76,7 81,5 84,2 85,6

Max. Umgebungstemperatur 40 °C

Schutzart IP 55

Max. Aufstellhöhe 1000 m

Hersteller Lafert SpA / Via J.F.Kennedy / I-30027 San Doná di Piave (Venezia)

Beschreibung

33GA03107_001_C0 - 10/2016 - © Leybold

1.4 Bestelldaten

Wälzkolben-Vakuumpumpe WA/WAU 251

WA/WAU(H) 501

WA/WAU(H) 1001

WA/WAU(H) 2001

RUVAC WA 117 20 117 30 117 40 117 50

WA mit waagerechter Förderrichtung – 128 38 – 113 42

RUVAC WAU 117 21 117 31 117 41 117 51

WAU mit waagerechter Förderrichtung – – – 167 004

RUVAC WA, ohne Motor 117 24 117 34 117 44 112 54

RUVAC WAU, ohne Motor 155 011V 155 008 112 17 113 22

RUVAC WAU H, mit ACE-Dämpfer – 118 31 118 41 118 51

WAU H mit ACE-Dämpfer und LVO 210 – – – 167 022

Erforderliches Zubehör

Überwurfflansch mit Sprengring, DIN 2501 Zum Anschluss an Flanschsystem DN ...ISO-K DN 63 ISO-K DN 100 ISO-K DN 160 ISO-K

267 47 – –

267 47 – –

–

267 50 –

– –

267 51

Zubehör

RUVAC WS/WSU(H) Dichtungssatz 194 60 194 64 194 68 194 72

Flanschadapter-Set,bestehend aus Flansch-Adapter mit Schrauben, Gewinde bolzen, Unterleg-Scheiben und Muttern für ANSI-Flansch WA/WS-Pumpe WAU/WSU-Pumpe

(3" ANSI)

200 03 179 200 03 179

(3" ANSI)

200 03 179 200 03 179

(4" ANSI)

200 03 180 200 03 180

(6" ANSI)

200 03 181 200 03 182

RUVAC WA US-Umbauset, bestehend aus ANSI-Flansche 3”, NEMA-Motorflansch, Kupplung und Montageteilen

155 013V 155 014V 155 015V 155 016V

ACE-Stoßdämpfer (DA-Ventil) – 200 03 251 200 03 252 100 22

Frequenzumrichter RUVATRONIC RT 5/251

500 001 381

RT 5/501

500 001 382

RT 5/1001

500 001 383

RT 5/2001

500 001 384

Ersatzteile

Simmerring-Austausch Kit WA/WAU EK 110 002 661 EK 110 002 661 EK 110 002 662 EK 110 002 662

Großes Wartungs Kit WA WAU

EK 110 002 663 EK 110 002 665

EK 110 002 664 EK 110 002 666

EK 110 002 667 EK 110 002 668

EK 110 002 669 EK 110 002 670

Beschreibung

34 GA03107_001_C0 - 10/2016 - © Leybold

Zubehör für alle RUVAC WA/WAU

Kat.-Nr.Temperatursensor (Pt 100) 155 010

Ölablasseinrichtung (M 16 x 1,5) ■ mit gerader Ablasskupplung 190 02 ■ mit 90° Ablasskupplung 200 14 271

Druckschalter PS 115 (Edelstahl) einstellbar1) 160 04

Druckschaltereinstellung 160 05

Anbau-Zubehör für PS 115 Übergangsstück 168 40 Rohrbogen DN 16 KF 184 36 Zentrierring DN 16 KF, 2 x 183 26 Spannring DN 16 KF, 2x 183 41

Schaltverstärker SV 110, 230 V 160 78

Getrieberaumevakuierung für RUVAC WA/WAU 1001/2001 155 184V

Mineralöl LVO 100 1 Liter L10001 5 Liter L10005 20 Liter L10020 208 Liter L10099

Esteröl LVO 210 1 Liter L21001 5 Liter L21005 20 Liter L21020 208 Liter L21099

1) Nicht nach ATEX 2014/34/EU zertifiziert, Auswertung nur mit eigensicherem Stromkreis zuläs-sig. Als Alternative für den Einsatz in Ex-Zonen steht der Druckmessumformer Cerabar M PMC41 der Firma Endress + Hauser zur Verfügung. Bitte geben Sie bei der Bestellung des Druckmess umformers den entsprechenden Druckbereich an.

Das für diese Pumpe lieferbare Zubehör von Leybold (mit Ausnahme des Druckschalters und Schaltverstärkers) ist auch zum Betrieb in explosionsge-fährdeten Bereichen geeignet. Es gelten die Bedingungen wie für den Betrieb der Pumpe. Werden andere Zubehörteile mit dieser Pumpe verwendet, muss sichergestellt werden, dass diese für den Betrieb in explosionsgefährdeten Bereichen geeignet sind.

Transport und Lagerung

35GA03107_001_C0 - 10/2016 - © Leybold

2 Transport und LagerungWälzkolbenpumpen sind schwere Maschinen aus Grauguss und sollten nur mit entsprechenden Hebevorrichtungen an den dafür vorgesehenen Trans-portösen (siehe Abb. 2.1) transportiert werden.

Sobald die Pumpe aus der Versandkiste entnommen wurde, muss sie mit geeignetem Hebezeug gesichert werden, bis die Pumpe sicher entweder an einen Vakuumflansch oder ein Gestell, welches stabil genug ist, das Gewicht der Pumpe aufzunehmen, angeschraubt wurde. Bei Anschrauben an eine Vorvakuumpumpe oder an ein Gestell unbedingt sicherstellen, dass eine aus-reichende Kippsicherheit gewährleistet ist.

Beim Anschließen oder Ausbauen der Pumpe nicht unter die schwebende Lasten treten. Beachten Sie die Sicherheitshinweise unter 0.1.

Vor dem Transport immer das Öl ablassen (siehe Abschnitt 5.2). Ablass-Schraube mit Dichtring wieder einschrauben, eventuelles Tropföl am Gehäuse abwischen. Das Öl aus der Dichtring-Kammer (Öler) muss nicht abgelassen werden.

Die Pumpe sollte möglichst waagerecht transportiert- und gelagert werden (max. Schräglage der Längsachse: 5°). Der Ölvorrat der Wellendicht ring-kammer (Öler) kann sonst auslaufen. Eine Schräglage der Pumpe kann dazu führen, dass Öl – auch vor dem Erstbefüllen – von den Seitenräumen in den Schöpfraum läuft.

Bei längerer Lagerung (> 2 Wochen) der Pumpe sollen die Flansche der Pumpe mit Folie verschlossen sein. Bei Bedarf einen Beutel mit Trockenmittel in den Schöpfraum legen, der bei Wiederinbetriebnahme zu entfernen ist.

Temperatur -20 °C bis +60 °C

Lagerort trocken

Max. relative Luftfeuchtigkeit 95 %, nicht kondensierend

Den Motorbereich (Lüfter und Schlitze am Motorflansch) gegen Staub und Tropfwasser schützen.

VORSICHT

HINWEIS

Abb. 2.1 Transport

max. 45°

Montage

36 GA03107_001_C0 - 10/2016 - © Leybold

3 Montage

Öl erst nach dem waagerechten Aufstellen einfüllen.

3.1 AufstellenDie RUVAC-Pumpen auf einer waagerechten, ebenen Fläche aufstellen (max. Schräglage 1°).

Eine Schräglage der Pumpe kann dazu füh ren, dass Schmiermittel aus den Getrieberäu men in den Förderraum gelangt.

Luftein- und Austrittskanäle für die Motor kühlung müssen frei bleiben (Mindestabstände zur Lüfterhaube siehe Abb. 1.5).

Die Umgebungstemperatur der Pumpe soll zwischen 12 °C und 40 °C liegen. Niedrigere Temperaturen erschweren den Anlauf der Pumpe, höhere verkür-zen die Schmiermittel wechselintervalle und können zu gesteiger tem Verschleiß führen.

Spezialöl zum Betrieb bei Temperaturen < 12 °C auf Anfrage.

HINWEIS

HINWEIS

Abb. 3.1 Anschluss- und Bedienelemente

1

2

4 5 6 7 8

9

10

11

12

3

1 Ausgangsflansch2 Ölschauglas 3 Transportösen4 Öl-Einfüllöffnung5 Ansaugflansch6 Anschluss Druckschalter7 Übergangsstück 8 Druckschalter9 Zentrier- und Spannring10 Rohrbogen11 Öler12 Drehrichtungspfeil13 Klemmenkasten14 Lüfterhaube Pfeile = Förderrichtung

14

13

Montage

37GA03107_001_C0 - 10/2016 - © Leybold

Pumpe befestigen. Dazu befinden sich in den Pumpenfüßen 4 Bohrungen.

Die Pumpe darf beim Befestigen auf keinen Fall verspannt werden. Jedes Verspannen ge fährdet die Pumpe wegen der geringen Spalte zwischen den Kolben und dem Gehäuse (zum Ausgleichen Unterlegscheiben ver-wenden).

Da an saug- und druckseitigen Flanschen Kompensationselemente einzu-setzen sind, Fußbefestigungsschrauben immer anbringen und fest anzie-hen.

Verwenden Sie folgende Schrauben: RUVAC 251/501 : 4 x M 12 RUVAC 1001/2001 : 4 x M 16

3.1.1 Öl einfüllenDas Wellen-Dichtring-Gehäuse und der Öler sind bei der Aus lieferung bereits mit Öl gefüllt. Der Ölstand muß im Öler sichtbar sein.

Korrekter Ölstand: 1/3 des Ölers muß bei kalter Pumpe gefüllt sein. Eventuell Öl auffüllen.

Das zum Betrieb der Pumpe erforderliche Öl wird bei der Auslieferung beige-stellt.

Schraube aus der Öl-Einfüllöffnung her ausschrauben und Öl einfüllen.

Für die Pumpe muss ein Öl ohne Additive der Viskositätsklasse ISO VG 100 (früher SAE 30) verwendet werden. Wir empfehlen unsere Spezialöle LVO 100 oder LVO 210. Wenn Sie die Pumpe mit anderen Ölen oder mit Spezial-schmier stoffen betreiben wollen, erbitten wir Ihre Anfrage.

Die in Abb. 3.2 und 3.3 angegebenen Ölfüllstände, die für abgeschaltetet (stillstehende) Pumpen gelten, müssen eingehalten werden.

Ein zu niedriger Ölstand gefährdet die Schmierung der Lager und Zahn-räder, ein zu hoher Ölstand kann zur Verölung des Förder raumes sowie zur Überhitzung der Pumpe führen.

Öl-Einfüllöffnung säubern und Schraube mit einwandfreier Dichtung ein-schrauben.

Die Öl-Einfüllöffnung muss luftdicht ver schlossen sein. Einströmen von Außenluft kann dazu führen, dass ölhaltiges Gas über die Kolbenringe in den Förderraum gelangt.

HINWEIS

HINWEIS

Montage

38 GA03107_001_C0 - 10/2016 - © Leybold

3.2 Bestimmungsgemäßer GebrauchDie RUVAC-Pumpen sind Vakuumpumpen, die in Verbindung mit geeigneten Vorvakuumpumpen Gase und Dämpfe abpumpen können.

Sie werden eingesetzt, um das Saugvermögen von Vorvakuumpumpen unterhalb von 10 - 100 mbar um ein Vielfaches zu erhöhen oder um eineren tieferen Enddruck zu erreichen.

Die Verwendung von Zubehör, das nicht von Leybold spezifiziert ist, darf nur nach Absprache mit Leybold verwendet werden.

Das Innere (die Prozessgasseite) dieser Vakuumpumpe ist so ausgelegt und konstruiert, dass das Auftreten vorhersehbarer Zündungsquellen bei norma-lem Betrieb ausgeschlossen werden kann. Die Pumpe hat eine ATEX 3 innen Kennzeichnung und, bei Anschluss eines entsprechenden Motors, auch eine ATEX 3 außen Kennzeichnung. Näheres entnehmen Sie bitte dem ATEX-Abschnitt.

Förderrichtung der Vakuumpumpe senkrecht waagerecht

ca. Ölstand

bei Betriebmin. (-6 mm)max. (0 mm)

min. (-2 mm)

max. (+4 mm)Ölstand bei abgeschalteter Pumpe

Ölstand bei abgeschalteter Pumpe

ca. Ölstand

bei BetriebÖlstand im Ölschauglas

Abb 3.2 WA/WAU 251-2001 mit LVO 100, WA/WAU 251-1001 mit LVO 210

Abb. 3.3 WAU 2001 mit LVO 210

min. (-8 mm)

max. (-6 mm)

Ölstand im Ölschauglas

min. (-8 mm)

max. (-6 mm)

senkrecht waagerecht

ca. Ölstand bei Betrieb

Ölstand bei abgeschalteter Pumpeca. Ölstand

bei Betrieb

Ölstand bei abgeschalteter Pumpe

Förderrichtung der Vakuumpumpe

Abbildungen 3.2 - 3.3 - Ölstand im Ölschauglas je Pumpengröße und Ölsorte

Montage

39GA03107_001_C0 - 10/2016 - © Leybold

3.2.1 Nicht bestimmungsgemäßer GebrauchDer nicht bestimmungsgemäße Gebrauch für die Pumpe ist u. a.:

■ Pumpen von Gasen und Dämpfen, für die die Materialien der Pumpe nicht geeignet sind.

■ Pumpen von kondensierenden Dämpfen ohne geeignete Temperierung der Pumpe. Bei der Verdichtung in der Pumpe können diese Dämpfe konden-sieren oder Beläge bilden.

■ Pumpen von Stäuben und Feststoffen ohne geeignete Siebe und Filter

■ Pumpen von Flüssigkeiten

■ Pumpen von zündfähigen Gasgemischen

■ Betrieb bei unzulässig hohem Differenzdruck

■ Pumpen von Prozessgasen, die harte oder klebrige Beläge bilden, die zum Blockieren der Pumpe führen können.

■ Einsatz der Pumpe und Frequenzwandler in explosionsgefährdeten Zonen, die über die ATEX-Kennzeichnung von Pumpe und Motor hinausgehen

■ Nichteinhalten der beschriebenen Wartungs- und Serviceintervalle.

■ Einsatz in Anlagen und Pumpständen, in denen der Druck 1,2 bar abs. übersteigen kann.

■ Betrieb mit unzureichender Befestigung der Pumpe.

■ Betrieb ohne eine geeignete Vorpumpe.

■ Betrieb mit unzulässig hoher Gaseinlasstemperatur

■ Der Einsatz in Anlagen, von denen stoßartige Belastungen auf Pumpe, Frequenzwandler und Kabel einwirken.

■ Betrieb an beweglichen Anlagen- oder Anlagenkomponenten (z.B. Schleusen oder bewegliche Pumpstände).

■ Benutzen von Pumpe, Anbauteilen, Antriebselektronik, Flanschen und Kabeln zum Besteigen der Anlage.

■ Entfernen, Verdecken oder Verbauen von Warnhinweisen.

■ Stillstand oder Lagerung von Pumpe und Antriebselektronik ohne geeig-nete Abdichtung und Trocknung. Bei Lagerung in feuchter Atmosphäre kann sich Korrosion bilden.

■ Umbauten, Manipulation und Wartungsarbeiten von nicht durch Leybold autorisierten Personen.

Der nicht bestimmungsgemäße Gebrauch von Pumpe und Zubehör kann schwerwiegende Verletzungen zur Folge haben und zu Schäden an den Bauteilen führen.

WARNUNG

Montage

40 GA03107_001_C0 - 10/2016 - © Leybold

3.3 Elektrischer Anschluss

Beachten Sie die Sicherheitshinweise 0.2.

Schutzleiter immer durchgängig und fachgerecht anschließen. Pumpe nicht ohne Schutzleiter betreiben.

Steuerstromkreise nicht mit dem Leistungsstromkreis des Motors verschal-ten. Schaltplan beachten.

WA/WAU-Typen sind zum Betrieb mit Frequenzwandler nur bedingt geeig-net. Die maximal zul. Drehzahlen bei allen Größen beträgt 3600 min-1. Bei ATEX-Anwendungen ist Betrieb mit Frequenzwandler nicht möglich.

Pumpe niemals längere Zeit mit falscher Drehrichtung oder offenen Flanschen betreiben.

Die Pumpe ausreichend erden, um eine Aufladung mit statischer Elektrizität zu vermeiden. Dies wird erreicht, wenn die Masseverbindung ordnungsge-mäß an der dafür vorgesehenen Stelle angeschlossen wird. Bei Normal-betrieb wird keine gefährliche Ladungserzeugung erfolgen (für weitere Informationen bezüglich der Gefahren, die von statischer Elektrizität ausge-hen, siehe CENELEC Bericht CLC/TR 50404:2003 Electrostatics - Code of practice for the avoidance of hazards due to static electricity).

Die Pumpen über Anschlüsse im Klemmenkasten mit der richtigen Netzspannung verbinden.

Es dürfen nur die im Anschlusskasten vorhandenen Ver schrau bungen ver-wendet werden.

Die Pumpe hat keine eigenen Schaltorgane. Alle Schutzmaßnahmen in Zusammenhang mit der Energieversorgung müssen in Verantwortung des Kunden anlagenseitig realisiert werden.

Nach Netzausfall läuft die Pumpe bei erneutem Anlegen der Versorgungs-spannung automatisch wieder an.

Entsteht dadurch in Verbindung mit der Anwendung ein Gefährdungs-potenzial, ist sicherzustellen, dass ein Neustart erst nach manueller Rücksetzung durchgeführt wird. Dies gilt ebenso für NOT-AUS-Vorgänge.

WARNUNG

HINWEIS

Montage

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Den Elektromotor mit einem Motorschutzschalter schützen.

Die lokalen Anschlussbedingungen machen eventuell Maßnahmen zur Reduzierung der Einschaltströme notwendig. Stern-Dreieck-Anlauf ist nicht möglich!

U2

niedrige Spannung hohe Spannung

V2 W2

U3 V3 W3

U1 V1 W1

L1 L2 L3

U2 V2 W2

U3 V3 W3

U1 V1 W1

L1 L2 L3

Drehrichtung ändern: L1 und L2 vertauschen

200-240 V 50/60 Hz 380-400 V 50 Hz380-480 V 60 Hz

Abb. 3.4 Elektrischer Anschluss

(Auslieferzustand)

Montage

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Nach dem Anschluss des Motors und nach jedem An schluss wechsel die Drehrichtung prüfen.

Dabei zum Schutz vor schleudernden Partikeln Schutzbrille tragen. Hände vom Flansch fernhalten.

Auf dem Motorflansch befindet sich ein Pfeil (siehe Abb. 3.1), der die Drehrichtung des Kolbens, der auf der Motorwelle läuft, anzeigt. Zur Über-prüfung den Motor bei offenen Flanschen kurz einschalten und sofort wieder abschalten. Dabei durch den Ansaugflansch vorsichtig die Kolbendrehung beim Auslaufen beobachten.

Die Kolben sollten sich von der Mitte aufwärtsbewegen und zur Seite hin abfallen.

Falls das nicht der Fall ist, die Netzleitungen spannungsfrei schalten und zwei Phasen am Anschluss gegeneinander vertauschen.

Die korrekte Drehrichtung kann auch bei bereits erfolgtem Anschluss der Rohrleitungen festgestellt werden.

Dazu das Vakuumsystem mit der Vorpumpe auf < 20 mbar evakuieren. RUVAC dann kurz einschalten, der Druck muß jetzt abfallen. Steigt der Druck oder bleibt er gleich, dreht die RUVAC falsch herum.

Dann wie oben beschrieben umklemmen.

Druckschalter Bei ATEX-Anwendung mit eigensicherem Stromkreis auswerten.

Die RUVAC kann mit einem Druckschalter und dem Schaltverstärker SV 110 über einen Schaltschütz auto matisch ein- und ausgeschaltet werden.

Der Druckschalter PS 115 wird bei Leybold auf einen festen Wert eingestellt. Bei Bestellung des Druckschalters bitte den gewünschten Einschaltdruck angeben.

Nach dem Entfernen einer Verschlussschraube kann der Druckschalter (siehe Abb. 3.1) zusammen mit einem Übergangsstück und einem Rohrbogen an der Bohrung ange bracht werden.

Dabei auf korrekte Dichtung und luftdichte Installation achten.

Wir empfehlen, den Schalter senkrecht anzubauen, um Eindringen von Verschmut zungen zu erschweren.

Temperaturfühler(siehe ATEX-Abschnitt)

VORSICHT

Montage

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3.4 Flansche anschließen

Schon kleine Flüssigkeitsmengen (aus Rezipient oder Rohrleitung) können zu Flüssigkeitsschlägen in der Pumpe führen. Diese können zur Verfor-mungen der Kolben, und zum Zerstören der Pumpe führen. Geeignete Schutzmaßnahmen sollten gegebenenfalls saugseitig (Abschei-der, T-Stück) in der Rohrleitung vorgesehen werden.

Die Pumpen sind mit Stickstoff geflu tet. Verpackungsflansche erst unmittel-bar vor dem Anschluss entfernen.

Kunststoffscheiben, Folien oder Verpackungsflan sche von den Flanschen am Pumpengehäuse (siehe Abb. 3.1) entfer nen (falls noch nicht geschehen).

Wir empfehlen, die Transportflansche der Pumpen für evtl. spätere Lagerung aufzu bewahren.

Flansche säubern und einwandfreie Beschaf fenheit der Dichtflächen überprü-fen.

Pumpe an die Anlage anflanschen.

Auch beim Anflanschen darf die Pumpe auf keinen Fall verspannt werden.

Um Spannungen zu vermeiden, Kompensationselemente verwenden.

Wird die Pumpe direkt (ohne Fußbefestigung) auf die Vorvakuumpumpe geflanscht, dann druckseitig immer die volle Anzahl Schrauben in der von der Flanschnorm (ISO-K, DIN oder ASA) vorgegebenen Festigkeitsklasse verwenden.

Festigkeit und Stabilität der Vorvakuumpumpe müssen für das Gewicht der RUVAC ausgelegt sein.

Wenn Verunreinigungen aus dem Vakuumbe hälter oder aus den Rohrleitun-gen in die Pumpe gelangen können, sollte das mitgelieferte Einlasssieb in den Ansaugflansch eingebaut werden. Auch bei sauberen Vakuumprozessen muss bei der ersten Inbe triebnahme noch mit Schmutz aus der Anlage ge-rechnet werden. Je nach Einsatz bedingungen verringert das Einlasssieb das Saugvermögen der Pumpe.

Bei ATEX-Anwendungen muss das Einlasssieb eingebaut werden.

HINWEIS

HINWEIS

Montage

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3.5 Motor anflanschenDie RUVAC WA kann auch ohne angeflanschten Motor bestellt werden (siehe Bestelldaten).

Beim kundenseitigen Anbau des Motors ist der Betreiber für die Auswahl und den Betrieb des Motors verantwortlich. Der Anbau des Motors hat Einfluss auf Funktion und Zuverlässigkeit diverser Pumpenteile, insbeson-dere von Kupplung und Lager. Nichtbefolgen der nachstehenden tech-nischen Daten und Montagehinweise führen zum Verlust der CE- und ATEX-Konformität und zum Verlust von Garantieansprüchen.

Die ATEX-Kategorie für den äußeren Bereich kann sich mit dem Motortyp ändern. Verwenden Sie nur Motoren, die für die jeweilige Kategorie zuge-lassen sind.

T3-Motoren vom Typ Exe haben standardmäßig andere Flansch- und Wellendurchmesser. Diese Motoren müssen mit reduzierten Durchmesser bestellt werden (siehe die folgende Tabelle).

HINWEIS

Spezifische Motordaten WA 251 WA 501 WA 1001 WA 2001

Typ DS-Motor DS-Motor DS-Motor DS-Motor

Bauform1 IM B5 IM B5 IM B5 IM B5

Baugröße1 80 L 90 L 112 M 132 M

Flansch FF165 FF165 FF215 FF265

Nennleistung2 P KW 1,1 2,2 4 7,5

Außen-Ø Flansch D1 mm 200 200 250 300

Teilkreis-Ø Schrauben D2 mm 165 165 215 265

Schraubengröße M - M10 M10 M12 M12

Anzahl Schrauben N - 4 4 4 4

Zentrier-Ø2 D3 mm 130j6 130j6 180j6 230j6

Wellenzapfen Motor2 D4 mm 19j6 24j6 28j6 38k6

Rundlauf Wellenzapfen3 X1 mm 0,04 0,04 0,04 0,05

Koaxialität Zentrierflansch3 X2 mm 0,1 0,1 0,1 0,125

Planlauf Befestigungsflansch3 X3 mm 0,1 0,1 0,1 0,1251 Motor nach EN 60034-1, EN 60034-7, DIN 52677 Teil 3 2 Drehstrommotoren mit standardisierten Abmessungen und Leistungen nach EN 50347 3 Rundlauf der Wellenenden, Koaxialiät und Planlauf des Befestigungsflansch nach DIN 42955, siehe auch Abb. 3.5

Montage

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3.5.1 Allgemeine MontagehinweiseVergewissern Sie sich, dass der jeweilige Motor den Angaben entspricht (siehe auch Abb. 3.5).

Verwenden Sie zum Anbau der Motore nur die von Leybold mitgelieferten Originalteile.

■ Kupplungshälfte Motor

■ Kupplungsstern

■ Muttern und U-Scheiben

Wir empfehlen, für den Anbau der Motoren ab Größe WA 1001 eine Hebevorrichtung zu verwenden.

Der Motor muss in waagerechter Pumpenlage montiert werden. Eine Schräglage der Pumpe über 5° kann dazu führen, dass Öl aus den Getriebe-räumen in den Förderraum gelangt.

Alle Anlage- und Zentrierflächen müssen sauber, frei von Beschädigungen und Lackresten sein.

Es dürfen nur Motoren mit Luftkühlung verwendet werden. Der motorseitige Lüfter ist auch für die Kühlung des Pumpengehäuses erforderlich. Beim Wegfall dieser Lüftkühlung können die Oberflächentemperaturen u. U. die zulässigen Temperaturbereiche der Pumpe (T3, T4) überschreiten.

HINWEIS

Abb. 3.5

Montage

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Abb. 3.7 Montage der Kupplungshälfte am Motor

MotorGewindestift M8

Wellenzapfen mit Pass-Scheibe

Kupplungshälfte Motor mit Lüfter

Kupplungsstern

Kupplungshälfte Pumpe (bereits vormontiert)

Kupplungshälfte Pumpe vormontiert

Griffschutz vormontiert

Stehbolzen

Abb. 3.6 Pumpe mit vormontierter Kupplungshälfte

3.5.2 Kupplung anbauenDie RUVAC WA wird von Leybold mit vormontierter Kupplung (Abb. 3.6) auf der Pumpenwelle ausgeliefert. Die Kupplungshälfte (Abb. 3.7) für die Motorseite und der Kupplungsstern sind beigelegt. Je nach Pumpentyp ist auf der motorseitigen Kupplungshälfte ein Lüfterrad aufgeklebt.

Den Motor senkrecht auf einen passenden Stift setzen, das Lüftergehäuse darf nicht zur Abstützung verwendet werden.

Wellenzapfen und Passfeder auf Beschädigungen kontrollieren

Wellenzapfen und Bohrung der Kupplungshälfte leicht einfetten.

Kupplungshälfte erwärmen (ca. 80°) und auf den Wellenzapfen aufschieben oder aufpressen.

Die Bohrungen der Kupplung haben Toleranzklasse H7, die Wellenenden des Motors haben Toleranzklasse j6 bzw. k6.

Den axialen Abstand L1 (siehe Abb. 3.8) zur Flanschauflage (Fläche M in Abb. 3.5) gemäß der Tabelle einhalten.

Bei Nichteinhalten kann es zu mechanischen Kontakt und Funkenbildung zwischen den Kupplungshälften kommen.

Die Kupplungshälfte mit dem M8-Gewindestift fixieren, Anzugmoment 10 Nm.

WARNUNG

Montage

47GA03107_001_C0 - 10/2016 - © Leybold

Abb. 3.8 Kontrolle axiales Abstandsmaß der Kupplung

L1

L1 = axiales Abstandsmaß der Kupplung

WA 251 WA 501 WA 1001 WA 2001

L1 (± 0,2 mm) 54,3 mm 63,3 mm 74,6 mm 100,6 mm

Abb. 3.9 Ansicht des montierten Motors

U-Scheibe (4x)WA 251 / 501: Ø 11WA 1001 / 2001: Ø 13

Mutter (4x)WA 251/501: M10 / Anzugsmoment 40 NmWA 1001/2001: M12 / Anzugsmoment 40 Nm

Gewindestift M8 / Anzugsmoment 10 Nm

L1

3.5.3 Motor anbauenAm Pumpenflansch sind die jeweiligen Gewindebolzen vormontiert, die zu verwendenden U-Scheiben und Muttern sind der Pumpe beigelegt.

Kontrollieren Sie ob der Griffschutz (Abb. 3.6) im Pumpenflansch korrekt montiert ist.

Kupplungsstern in die pumpenseitige Kupplungshälfte einsetzen.

Die Kupplungshälften ausrichten und den Motor aufschieben, dabei auf plane Anlage der Flanschflächen achten.

Eine Schiefstellung der Motorachse zur Kolbenachse kann zu erhöhtem Verschleiß des Kupplungssterns führen.

Unterlegscheiben und Muttern montieren und festziehen, Anzugmoment siehe Abb. 3.9.

3.5.4 Elektrischer AnschlussDen Motor gemäß Abschnitt 3.3 und den Angaben des Motorherstellers anschließen.

Bedienung

48 GA03107_001_C0 - 10/2016 - © Leybold

4 Bedienung

4.1 Inbetriebnahme

Die Drehrichtung der Pumpe und den Ölstand des Ölers und der Lagerräume überprüfen (siehe Abschnitt 3.1.1).

RUVAC WAUDie RUVAC WAU kann bei Atmosphären druck gemeinsam mit der Vor-pumpe gestar tet werden.

Sie ist durch die Umwegleitung gegen zu hohe Druckdifferenzen geschützt.

Der Öffnungsdruck des Differenzventils ist ausschließlich für den 50 oder 60 Hz - Betrieb der Pumpen ausgelegt.

RUVAC WADie RUVAC WA darf erst eingeschaltet wer den, nachdem die Vorpumpe den Vakuum behälter auf den Einschaltdruck evakuiert hat.

Wenn kondensierbare Dämpfe abgepumpt werden, empfehlen wir, den Vakuumbehälter über eine Grobpumpleitung auf den Ein schaltdruck zu eva-kuieren. Die Wälzkolben pumpe gemeinsam mit der Vorpumpe elek trisch ein-schalten und bei Erreichen des Einschaltdrucks zuschalten. Durch das anfängliche Umgehen der Wälzkolben pumpe wird das Kondensieren von Dämpfen in der kalten Pumpe vermieden.

Der zulässige Einschaltdruck hängt ab vom Abstufungsverhältnis der Wälzkolbenpumpe zur Vorpumpe. ∆pmaxpE = ———— keff - 1

Da keff nicht immer bekannt ist, kann in erster Näherung mit folgender Formel überschlägig gerechnet werden: ∆pmaxpE ~ ———— kth - 1pE = Einschaltdruck

∆pmax = Maximal zulässige Druckdifferenz (siehe Technische Daten)kth = theoretisches Kompressionsverhältnis =

keff = effektives Kompressionsverhältnis =

Beispiel Pumpkombination:RUVAC WA 5012) / Sogevac SV 100

505 m3 · h-1

kth = ——————— ~ 5 100 m3 · h-1

1) bei der jeweiligen Betriebsfrequenz2) im 50 Hz Betrieb

HINWEIS

HINWEIS

Nennsaugvermögen1) RUVACNennsaugvermögen der Vorpumpe

effektives Saugvermögen RUVACeffektives Saugvermögen der Vorpumpe

80 mbarpE ~ ——————— ~ 20 mbar 5 - 1

Bedienung

49GA03107_001_C0 - 10/2016 - © Leybold

Bei kleinen Vakuumbehältern kann beim Anfahren die maximal zulässige Druckdiffe renz für kurze Zeit (max. 3 min.) überschritten werden. Falls ein Druckschalter angeschlos sen ist, darf er nicht auf diesen höheren Druck ein-gestellt werden, da er dann bei höherem Gasanfall die Pumpe nicht mehr vor Überlastung schützt.

Wir empfehlen, die RUVAC WA über einen Druckschalter ein- und auszu-schalten, um sicherzustellen, dass sie nur im zulässigen Druckbereich betrieben wird.

Wiedereinschalten bei ATEX-BetriebWurde die Pumpe abgeschaltet, vor dem Wiedereinschalten eine Abkühl-phase von 30 Minuten einhalten. Hierdurch wird ein Überschreiten der Zündtemperatur durch interne Temperaturerhöhung vermieden. Da sich auf-grund der besseren Kühlung das Pumpengehäuse eher abkühlt als die inne-ren Kolben, kann eine nicht ausreichende Abkühlzeit zu mechanischen Kontakt zwischen Kolben und Pumpengehäuse führen.

4.2 Betrieb

Pumpe nicht ohne Anschluss der Flansche an das Vakuumsystem betrei-ben. Das Lösen der Schrauben der saug- und druckseitigen Flansche unter Vakuum - auch bei nicht eingeschalteter Pumpe - ist nicht zulässig.

Während des Betriebs der RUVAC sollte ge legentlich der Ölstand und der Ölzustand im Ölschauglas und im Öler geprüft und wenn nötig korrigiert wer-den (siehe Abschnitt 5.2 und 5.3). Im Normalfall ist LVO 100 hellbraun. Ein Dunkelwerden deutet auf vorzei tige Alterung durch überhöhte Temperaturen hin.

Bei ATEX-Betrieb die Ölstände täglich kontrollieren. Außerdem die Kupplung täglich auf Laufgeräusche kontrollieren.

Schmutzeintrag ins Öl über KolbenringeBei staubigen Prozessen, die oft mit Atmosphäre belüftet werden, kann Staub in die Ölräume gedrückt werden. Das kann durch einen Druck-ausgleich zwischen Ölraum und Pumpenraum verhindert werden. Dazu ein Ventil am Öleinlass einbauen, das gleichzeitig mit dem Belüften geöffnet wird.

Betreiben Sie die Wälzkolbenpumpe nur un ter den Be triebs bedingungen, für die sie aus gelegt ist. Jede Veränderung der Betriebspa rameter (z.B. Ansaugdruck, Ansaugtempera tur, Ab stu fungs verhältnis zur Vorpumpe) für einen längeren Zeitraum kann die ther mische Belastung der Pumpe unzu-lässig erhöhen. Temperaturerhöhungen, die nicht durch geeignete Maßnahmen ausgeglichen werden, können die Wälzkolbenpumpe und / oder die Vorpumpe zerstören.

Heiße Oberflächen, Verbrennungsgefahr Beachten Sie die Sicherheitshinweise 0.3.

Hinweisschilder auf der Pumpe beachten.

HINWEIS

VORSICHT

VORSICHT

Bedienung

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Öleinfüll- oder Ablassschraube niemals unter Vakuum oder bei laufender Pumpe öffnen. Ölspritzgefahr.

Der Ölspiegel für das Wellen-Dichtring-Gehäuse muss immer im Öler sichtbar sein (siehe Abb. 4.1). Der korrekte Ölstand ist 1/3 der Höhe des Ölers bei kalter Pumpe oder 1/2 der Höhe des Ölers bei warmer Pumpe. Bei Bedarf Öl nachfüllen.

Bei Betrieb mit Mineralöl empfehlen wir unser Vakuumpumpenöl LVO 100, bei Betrieb mit synthetischem Öl unser LVO 210.

Wenn häufig Öl nachgefüllt werden muss, ist vermutlich ein Wellen-Dichtring defekt.

4.3 Abschalten / AußerbetriebsetzenDie Wälzkolbenpumpe durch ein Ventil von der Anlage abtrennen. Erst die Wälzkolben pumpe, dann die Vorpumpe abschalten.

Nach Arbeiten mit korrosiven Gasen sollte die Anlage mit trockenem Schutzgas (z.B. N2) geflutet werden, um Stillstandkorrosion zu vermeiden.

Wenn die Pumpe außer Betrieb gesetzt und aus der Anlage ausgebaut wird, empfehlen wir, die Anschlussflansche dicht zu verschlie ßen.

Die Pumpe vor dem Ausbau spannungsfrei schalten. Auf eventuelle Kontaminierung der Pumpe achten. Alle Sicherheitsvorschriften einhalten. Beachten Sie die Sicherheitshinweise 0.2.

Zum Transportieren und Lagern der Pumpe beachten Sie bitte die Hinweise in Abschnitt 2.

4.4 Umbau der FörderrichtungDie RUVAC WA/WAU werden serienmäßig für senkrechte und auf Bestellung für waagerechte Förderrichtung ausgeliefert. Darüber hinaus ist ein Umbau der Förderrichtung möglich.

Dazu folgendermaßen vorgehen:

Verschlussschrauben herausschrauben und Öl aus den Seitenräumen ablas-sen (siehe Abb. 4.2). Öl aus dem Öler ablassen (siehe Abschnitt 5.3)

Untere Öffnung mit Verschlussschraube und einwandfreier Dichtung wieder vakuumdicht verschließen.

Pumpenfüße abschrauben, Pumpe um 90° drehen, und Füße für die geän-derte Förderrichtung montieren (siehe Abb. 1.5).

Die Längsachse der Pumpe muss waage recht bleiben, damit keine Öl reste aus den Seitenräumen in den Förder raum laufen können.

WARNUNG

HINWEIS

Bedienung

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Öler und Verschlussschraube herausschrauben. Öler mit einwandfreiem Dichtring von oben, die Verschlussschraube mit einwandfreiem Dichtring von der Seite her einschrauben.

Öl für die Seitenräume und für das Wellen-Dichtring-Gehäuse am Öler einfül-len.

Falls ein Druckschalter angebaut ist, diesen so drehen, dass er wieder senk-recht steht und nach oben zeigt.

Das Ventil in der Druckausgleichsleitung der RUVAC WAU ist so angeordnet, dass es bei senkrechter und waagerechter Förderrichtung der Pumpe funkti-oniert.

Abb. 4.1 Umbau der Förderrichtung

1 Öler2 Verschlussschraube3 Verschlussschraube4 Pumpenfüße5 Verschlussschraube6 Versachlussschraube7 Verschlussschraube8 Öl-Einfüllöffnung

4

5

6

7

8

2

1

3

Bedienung

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Abb. 4.2 Öl wechseln

1 Öl-Ablassschraube bei waagerechter Gasförderung

2 Öl-Ablassschraube bei senkrechter Gasförderung

3 Ölschauglas

4 Öl-Einfüllschraube

12

3

4

Wartung

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5 Wartung

5.1 SicherheitshinweiseDie nachfolgend genannten Sicherheitshinweise gelten für sämtliche Wartungsarbeiten.

Beachten Sie die Sicherheitshinweise 0.1 bis 0.3.

Vor allen Demontage-Arbeiten an der Pumpe elektrische Verbindungen lösen. An laufen der Pumpe zuverlässig verhindern.

Wenn die Pumpe gefährliche Stoffe gepumpt hat, die Art der Gefährdung fest stellen und geeignete Sicherheitsmaßnah men treffen. Alle Sicherheits-vorschriften beachten!

Zum Transport anzeigepflichtiger, kontaminierter Pumpen die entspre-chenden Verpackungs- und Versandvorschriften beachten.

Alle in diesem Abschnitt genannten Wartungs- und Reinigungsarbeiten sollen nur von geschultem Personal vorgenommen werden.

Unsachge mäß durchgeführte Wartungs- und Repara turarbeiten gefährden die Haltbarkeit bzw. Einsatzfähigkeit entscheidend und führen zu Schwierigkeiten bei eventuellen Garantiean sprüchen.

Weitergehende, hier nicht genannte Reparaturarbeiten sollten nur vom Leybold-Service durchgeführt werden.

Wir verweisen in diesem Zusammenhang auf unsere Praxis-Seminare, in denen Wartung, Reparatur und Prüfung der RUVAC- Pumpen unter qualifi-zierter Anleitung ver mittelt werden. Unterlagen hierzu senden wir Ihnen gerne zu.

WARNUNG

Wartung

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5.2 Ölwechsel / Lagerräume

Beachten Sie die Sicherheitshinweise 0.3 bis 0.5.

Vor dem Abpumpen von Sauerstoff (oder anderen hochreaktiven Gasen) in Konzentration größer als Atmosphärenkonzentration (> 21 % für Sauerstoff), ist es notwendig eine Spezialpumpe zu benutzen. Diese muss modifiziert und entfettet sein, und ein inertes Spezial-Schmiermittel wie PFPE muss verwendet werden.

Bei sauberen Betriebsbedingungen wird das Öl nur durch Verschleiß in den Lagern und im Getriebe verbraucht. Bei normalen Betriebsbedingungen sollte ein Ölwechsel jährlich durchgeführt werden.

Das Öl muss häufiger gewechselt werden beim Abpumpen von korrosiven Dämpfen, bei starkem Anfall von Staub und bei zykli schen Betrieb mit häu-figem Wechsel zwi schen Atmosphären- und Arbeitsdruck.

Bei solchen Betriebsbedingungen empfiehlt es sich, in regelmäßigen Abständen zusätzlich die Neutralisationszahl (nach DIN 51 558) einer Ölprobe festzustellen. Liegt die Neutralisationszahl bei LVO 100 über 2, ist ein Ölwechsel erforderlich.

Vor dem Entfernen der Ölablass- oder Einfüllschraube die Pumpe immer erst abschalten und auf Atmosphärendruck belüften. Bei betriebswarmer Pumpe kann die Gehäuse- und Öltemperatur über 80 C liegen. Pumpe und Öl abkühlen lassen. Immer Schutzhandschuhe tragen, auch zum Schutz gegen aggressive Rückstände im Öl.

Zur Vereinfachung und zur Sicherheit empfehlen wir unsere Ölablass-Einrichtung (siehe Abschnitt 1.5).

Ölablassschrauben und Ein füllschraube herausschrauben und Öl ablassen (siehe Abb. 4.2).

Dichtfläche säubern und Verschlussschraube mit einwandfreiem Dichtring wieder fest einschrauben. Tropfölreste am Gehäuse abwischen.

Bei einer Pumpentemperatur von 15 - 25 °C frisches Öl einfüllen. Dazu einen sauberen Trichter verwenden.

Öl-Einfüllmengen und Hinweise siehe Abschnitt 3.1.1, Öl-Bestelldaten siehe Abschnitt 1.5.

Nur Leybold-Öle verwenden.

Mineralöle und synthetische Öle sind nicht mischbar.

VORSICHT

WARNUNG

HINWEIS

Wartung

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Wenn Sie die Pumpe mit anderen Ölen oder mit Spezial schmierstoffen betrei-ben wollen, erbitten wir Ihre Anfrage.

Die in Abb. 3.2 bis 3.3 angegebenen Ölfüllstände - die für die abgeschaltete (stillstehende) Pumpe gelten - müssen eingehalten werden.

Die Füllhöhe im Ölschauglas ist abhängig von der Pumpengröße und der ver-wendeten Ölsorte.

Ein zu niedriger Ölstand gefährdet die Schmierung der Lager und Zahnräder, ein zu hoher Ölstand kann zur Verölung des Förder raumes sowie zur Überhitzung der Pumpe führen.

Öl-Einfüllöffnung säubern und Schraube mit einwandfreier Dichtung einschrau ben. Tropfölreste am Gehäuse abwischen.

Die Öl-Einfüllöffnung muss luftdicht ver schlossen sein. Unter Vakuum kann das Einströmen von Außenluft dazu führen, dass ölhaltiges Gas über die Kolbenringe in den Förderraum gelangt.

5.3 Ölwechsel / Wellen-Dichtring-Gehäuse

Alle Sicherheitshinweise in den Abschnitten 0.3 bis 0.5 und 5.1 beachten.

Das Öl im Wellen-Dichtring-Gehäuse sollte alle 3000 Betriebsstunden gewechselt werden.

Ölablassschraube unter dem Wellen-Dichtring-Gehäuse herausschrauben, Öl ablassen und Ablassschraube mit einwandfreiem Dichtring wieder einschrau-ben (siehe Abb. 4.1).

Nur Leybold-Öle verwenden.

Mineralöle und synthetische Öle sind nicht mischbar.

Frisches Öl am Öler einfüllen. Der Ölspiegel für das Wellen-Dichtring-Gehäuse muss im Öler sichtbar sein.

Maximalhöhe- - bei warmer Pumpe = 1/2 Ölerhöhe - bei kalter Pumpe = 1/3 Ölerhöhe.

Tropfölreste am Gehäuse abwischen.

HINWEIS

HINWEIS

VORSICHT

HINWEIS

Wartung

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5.4 Lüfterhaube und Kühlrippen reinigen


Abhängig vom Feuchtigkeitsgrad und von Verschmutzung der Umgebungs-luft, können die Luftschlitze der Lüfterhaube und die Rippen am Motor und an der Pumpe verschmutzen.

Um einen ausreichenden Kühlluftstrom für Motor und Pumpengehäuse sicherzustellen, muss das Gitter der Lüfterhaube bei Verschmutzung mit einem sauberen Pinsel gereinigt werden.

Groben Schmutz von Motor- und Pumpenrippen entfernen.

5.5 Einlasssieb reinigen


Im Ansaugflansch ist ein Einlasssieb für Fremdkörper eingebaut. Um eine Drosselung des Saugvermögens zu vermei den, ist dieses sauberzuhalten.

Dazu die Ansaugleitung abbauen. Das Einlasssieb aus dem Ansaug flansch entnehmen und mit einem geeigneten Lösemit tel auswaschen. Anschließend mit Druckluft gründlich abtrocknen. Defektes Einlasssieb erneuern.

5.6 Förderraum reinigen


Bei unsauberen Betriebsbedingungen kön nen sich im Förderraum oder auf den Wälz kolben Verunreinigungen absetzen. Sie kön nen nach Entfernen der beiden Anschlusslei tungen entweder durch Ausblasen mit trockener Luft oder durch Auswaschen mit einem geeigneten Reinigungsmittel entfernt werden.

Verunreinigungen, die sich durch Ausblasen oder Auswaschen nicht beseiti-gen lassen, mit Drahtbürste, Metallschwamm oder Scha ber lösen und voll-ständig aus dem Förderraum entfernen.

Anschließend einen Ölwechsel durchführen.

Beim Reinigen darf das Gebläse nur von Hand gedreht werden. Selbst wenn die Rotoren von Hand gedreht werden, besteht die Gefahr, dass die Hand/Finger leicht eingeklemmt werden können. Aufgrund der großen Massen und der Trägheit der Rotoren besteht die Gefahr ernst-hafter Verletzungen.

VORSICHT

VORSICHT

VORSICHT

VORSICHT

Wartung

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Die gelösten Rückstände dürfen nicht in der Pumpe bleiben. Nach der Reinigung die Pumpe durch langsames Durchdrehen der Wälzkolben von Hand auf Leichtgängigkeit prüfen. Es darf dabei kein Widerstand zu spüren sein.

Ein Zerlegen der Wälzkolbenpumpe ist im Allgemeinen nicht notwendig, es sollte bei Bedarf nur von unserem Kundendienst durchgeführt werden.

5.7 Ventil der Druckausgleich leitun g reini gen


Schrauben herausschrauben und Deckel mit O-Ring abnehmen.

Druckfeder herausnehmen.

Ventilteller mit O-Ringen herausnehmen.

Falls die DU-Buchse beschädigt ist, aus dem Ventilteller herausziehen und erset zen.

Alle Teile reinigen, ggf. ersetzen. Den Zusam menbau in umgekehrter Reihenfolge durchführen. O-Ringe dabei auf Dichtheit prüfen, bei Defekt ersetzen.

HINWEIS

VORSICHT

Abb. 5.1 Ventil der Druckausgleichleitung

1

2

3

4

5

6

7

1 Deckel2 O-Ring3 DU-Buchse4 Druckfeder5 O-Ring6 Ventilteller7 O-Ring8 Befestigungsscheibe9 Stoßdämpfer10 Sicherungsring

1

2

8

9

10

6

7

ohne ACE-Dämpfer mit ACE-Dämpfer

Wartung

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5.8 Wellen-Dichtringe wechseln


Die Wellen-Durchführung der RUVAC WA/ WAU ist mit 2 Wellen- Dicht ringen abgedich tet. Die Dichtringe laufen zur Schonung der Welle auf einer Laufbuchse.

Ein Anzeichen für defekte Wellen-Dichtringe ist ein Absinken des Ölspiegels im Öler.

Wenn bei sinkendem Ölstand im Öler kein Öl unter dem Dichtring-Gehäuse erscheint, ist vermutlich der innere Wellen-Dichtring defekt. In diesem Fall läuft Öl aus dem Wel len-Dichtring-Gehäuse in die Lagerräume der Pumpe und sorgt dort für unzulässig hohen Ölstand. In diesem Fall die Pumpe sofort abschalten und instandsetzen.

Bei sinkendem Ölstand im Öler und sichtba rem Ölleck unter dem Dichtring-Gehäuse ist vermutlich der äußere Wellen-Dichtring defekt.

Bei geringem Ölverlust kann die Pumpe in diesem Fall zur Not noch einige Zeit in Betrieb bleiben, wenn der Ölverlust am Öler regelmäßig ausgeglichen wird.

In diesem Fall das Tropföl unter der Motorlaterne auffangen. Rutschgefahr. Instandsetzung veranlassen.

VORSICHT

VORSICHT

Abb.5.2 Maße in mm für Wellen-Dichtring-Eintreiber

RUVAC WA/WAU 251/501 RUVAC WA/WAU 1001/2001

Wartung

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5.8.1 VorarbeitenVerschlussschraube mit Dichtring her ausschrauben, Öl aus dem Wellen-Dichtring- Gehäuse ablassen und Schraube mit einwandfreiem Dichtring wie-der einschrau ben.

Motor unterstützen, damit er nicht fallen kann.

Muttern abschrauben und Motor mit Kupplungshälfte abnehmen.

Schutzrohr abnehmen. Kupplungselement abnehmen.

Schraube mit Scheibe herausschrau ben und Kupplungshälfte mit dem Abzieher abziehen.

Passfeder herausnehmen.

Schrauben herausschrauben.

5.8.2 RUVAC WA/WAU 251, 501 (siehe Abb. 5.2 und 5.3)

Wellen-Dichtring-Gehäuse herauszie hen. Dafür befinden sich Abdrückgewinde im Dichtring-Gehäuse.

O-Ring aus dem Kupplungsflansch herausnehmen.

Laufbuchse mit einem Abzieher von der Welle abziehen.

O-Ring von der Welle abnehmen.

O-Ring vom Gehäuse abnehmen. Sicherungsring abnehmen.

Wellen-Dichtring herausziehen.

Sprengring und Filzring her ausnehmen.

Wellen-Dichtring herausnehmen. Sicherungsring abnehmen.

Wir empfehlen dringend, die Wellen-Dicht ringe, die Laufbuchse und den Filzring immer gegen neue Teile auszutauschen. Alle übri gen Teile reinigen, gegebenenfalls austau schen.

Sicherungsring einbauen.

Wellen-Dichtring mit einem Wellen -Dichtring-Eintreiber bis zum Siche-rungsring eintreiben.

Filzring und Sprengring ein bauen .

Wellen-Dichtring mit einem Wellen -Dichtring-Eintreiber eintreiben. Hier muss die Eintreibtiefe durch das Werkzeug festgelegt werden.


Den weiteren Zusammenbau in umgekehrter Reihenfolge wie bei Ausbau durchführen.

Vor Inbetriebnahme der Pumpe Öl am Öler einfüllen (siehe Abschnitt 3.1.1).

Wartung

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Abb. 5.3 Wellen-Dichtring-Wechsel

1 Öler 15 Kupplungselement2 O-Ring 16 Schutzrohr3 Laufbuchse 17 Motor mit Kupplungshälfte4 O-Ring 18 Muttern5 O-Ring 19 Schraube6 Sicherungsring 20 Schraube7 Wellen-Dichtring 21 Verschlussschraube (nur bei WA/WAU 1001, 2001)8 Wellen-Dichtring-Gehäuse 22 Sicherungsring9 Sicherungsring (nur bei WA/WAU 251,501) 23 Kugellager10 Wellen-Dichtring 24 Distanzscheibe11 Filzring 25 Wellfeder12 Sprengring 26 Passscheibe13 Passfeder 27 Wellfeder14 Kupplungshälfte 28 Passscheibe

Wartung

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5.8.3 RUVAC WA/WAU 1001, 2001(siehe Abb. 5.2 und 5.3)

Wellen-Dichtring-Gehäuse und Lauf buchse gemeinsam mit einem Abzie her herausziehen.

O-Ringe abnehmen.

Laufbuchse aus dem Gehäuse herauszie hen.

O-Ring vom Gehäuse abnehmen. Sicherungsring abnehmen.

Wellen-Dichtring herausziehen.

Sprengring und Filzring her ausnehmen.

Wellen-Dichtring herausnehmen.

Sicherungsring abnehmen. Lager herausziehen.

Distanzscheibe, Wellfedern und Passscheiben herausnehmen.

Wir empfehlen dringend, die Wellen-Dicht ringe, die Laufbuchse und den Filzring immer gegen neue Teile auszutauschen. Alle übri gen Teile reinigen, gegebenenfalls austau schen.

Passscheibe, Wellfeder, Pass scheibe, Wellfeder, und Distanzscheibe in das Gehäuse ein legen.

Lager eintreiben.


Wellen-Dichtring mit einem Wellen -Dichtring-Eintreiber bis zum Anschlag eintreiben.

Filzring und Sprengring ein bauen .

Wellen-Dichtring mit einem Wellen-Dichtring-Eintreiber eintreiben. Hier muss die Eintreibtiefe durch das Werkzeug festgelegt werden.


Den weiteren Zusammenbau in umgekehrter Reihenfolge wie bei Ausbau durchführen.

Vor Inbetriebnahme der Pumpe Öl am Öler einfüllen, siehe Abschnitt 3.1.1.

Wartung

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5.9 LagerwechselBei ATEX-Anwendungen muss alle 15.000 Betriebsstunden oder alle drei Jahre die Pumpe komplett überholt werden, einschließlich eines Austausches der Lager und der Kupplung, sowie der Kontrolle der Zahnräder. Dazu erbit-ten wir Ihre Anfrage.

5.10 Service bei Leybold Falls Sie eine Pumpe an Leybold schicken, geben Sie immer an, ob die Pumpe frei von gesundheitsgefährdenden Schadstoffen ist oder ob sie konta-miniert ist.

Wenn sie kontaminiert ist, geben Sie auch die Art der Gefährdung an. Dazu müssen Sie ein von uns vorbereitetes Formular benutzen, das wir Ihnen auf Anfrage zusenden.

Eine Kopie dieses Formulars ist am Ende der Gebrauchsanleitung abge-druckt: “Erklärung über Kontaminierung von Vakuumgeräten und -kompo-nenten”. Außerdem finden Sie ein geeignetes Formular im Inter net: www.leybold.com Documents Download Documents.

Befestigen Sie das Formular an der Pumpe oder legen Sie es der Pumpe bei.

Diese Erklärung über Kontaminierung ist erforderlich zur Erfüllung gesetzlicher Auflagen und zum Schutz unserer Mitarbeiter.

Pumpen ohne Erklärung über Kontaminierung muss Leybold an den Absender zurückschicken.

Vor der Verpackung (bzw. der Versendung) der Pumpe, sollte diese möglichst mit Inertgas gespült, mindestens jedoch von abgepumpten Stoffen restlos entleert werden.

Die Pumpe so verpacken, dass sie beim Transport nicht beschädigt wird, und dass keine Schadstoffe aus der Verpackung austreten können.

Den Service (Reparatur) und die Entsorgung von radioaktiv kontaminierten Pumpen kann Leybold nicht durchführen. Beides ist vom Betreiber sicher-zustellen.

VORSICHT

Wartung

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5.11 Wartungsplan

Vorgang Mess/Prüfgröße Wartungsintervall Bemerkung

Ölstand kontrollieren min./max. Ölstand im Ölschauglas

vor dem Einschalten und täglich Ölstand bei abgeschalteter Pumpe kon-trollieren, siehe Abschnitt 3.1.1

Laufgeräusche der Kupplung kontrollieren

täglich bei ATEX-Betrieb

Ölqualität prüfen visuell wöchentlich Im Normalzustand ist LVO 100 hellbraun, LVO 210 ist gelb, klar und transparent.. Bei schwarzem Öl ist ein Wechsel erfor-derlich, siehe Abschnitt 5.2.

Ölqualität prüfen mit Neutralisations zahl (DIN 51 558)

Bei normalen Betriebsbedingungen jährlich

Beim Abpumpen von korrosiven Dämpfen, bei starkemAnfall von Staub und bei zyklischemBetrieb wöchentlich bis 1/4- jährlich.

Ist die Neutralisationszahl bei LVO 100 > 2, ist ein Ölwechsel erforderlich, siehe Abschnitt 5.2.

Ölwechsel Bei normalen Betriebsbedingungen jährlich

Beim Abpumpen von korrosiven Dämpfen, bei starkemAnfall von Staub und bei zyklischemBetrieb wöchentlich bis 1/4- jährlich.

Siehe Abschnitt 5.2.

Motorlüfter und Kühlrippen reinigen

abhängig von den Umgebungsbedingungen

siehe Abschnitt 5.4

Ölstand des Wellen-Dichtring-Gehäuses kontrollieren

Ölstand im Öler kann im Betrieb geprüft werden (siehe Abschnitt 4.2)

Öl des Wellen-Dichtring-Gehäuses wechseln

3000 Betriebsstunden siehe Abschnitt 5.3

Lager und Kupplung wechseln, komplette Pumpe über holen

Bei ATEX-Anwendungen alle 15.000 Betriebsstunden oder alle drei Jahre

siehe Abschnitt 5.9

Fehlersuche

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6 Fehlersuche

Störung Mögliche Ursache Beseitigung Reparatur

Pumpe läuft nicht an.

Motor falsch angeschlossen

Druckschalter defekt.

Öl zu zäh.

Motor defekt.

Pumpe blockiert; Rotor, Lager oder Getriebe defekt.

Motor korrekt anschließen.

Druckschalter austauschen.

Öl wechseln oder Öl und Pumpe aufheizen.

Motor wechseln.

Leybold Service.

3.4

3.4

5.2

3.5

-

Motorschutz-schalter löst aus.

Motor defekt.

Motorschutz schalter nicht richtig eingestellt.

Pumpe klemmt mechanisch.

Motor wechseln.

Motorschutz schalter richtig einstellen.

Leybold-Service.

3.5

3.3

-

Pumpe wird zu warm

Umgebungstemperatur zu hoch oder Kühlluftzufuhr behindert.

Pumpe arbeitet im falschen Druckbereich

Druckdifferenz zu hoch

Gastemperatur zu hoch.

Abstände zwischen Gehäuse und Rotoren zu klein durch - Verschmutzung. - Verspannung der Pumpe.

Zu hoher Reibungswiderstand durch ver-schmutzte Lager und/oder verschmutztes Öl.

Ölstand zu hoch.

Ölstand zu niedrig

Falsches Öl wurde eingefüllt

Lager defekt

Ventil der Druckausgleichsleitung öffnet nicht

Pumpe an geeignetem Ort aufstellen oder für ausreichende Kühlluft sorgen.

Druckverhältnisse im System prüfen.

Druckverhältnisse im System prüfen.

Anlage überprüfen.

Förderraum reinigen. Pumpe spannungsfrei befestigen und anschließen.

Öl wechseln.

Öl ablassen bis zum korrekten Stand.

Öl nachfüllen bis zum korrekten Stand.

Öl ablassen, richtiges Öl einfüllen.

Leybold Service.

Ventil reinigen oder instandsetzen.

3.1

-

-

-

5.4 3.1/3.5

5.2

5.2

5.2

5.2

-

5.6

Leistungsaufnah-me des Motors zu hoch.

Wie Störung „Pumpe wird zu warm“.

Falsche Netzspannung für den Motor.

Wie Störung „Pumpe wird zu warm“.

Motor an korrekte Netzspannung anschlie-ßen.

-

1.3/3.4

Pumpe zu laut. Motor defekt.

Abstände zwischen Gehäuse und Rotoren zu klein durch - Verschmutzung. - Verspannung der Pumpe.

Lager- oder Getriebeschaden.

Kolben laufen am Gehäuse an.

Rotor läuft unrund.

Schleuderrinne hat Kontakt mit dem Getriebegehäuse oder dem Ölrohr

Ölpumpe ist blockiert oder defekt.

Motor wechseln.

Förderraum reinigen. Pumpe spannungsfrei befestigen und anschließen.

Leybold-Service, Pumpe sofort abschalten.



Leybold-Service.


3.5

5.4 3.1/3.5

-

-

-

-

-

Fehlersuche

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Störung Mögliche Ursache Beseitigung Reparatur

Pumpe verliert Öl. Ölleck sichtbar: Ölablassschraube undicht.

Ölschauglas undicht.

Getriebekasten-Deckel undicht.

Kupplungsflansch undicht.

Kein Ölleck sichtbar: Siehe Störung „Öl im Förderraum“.

Öl ablassen, Ölablassschraube mit neuer Dichtung fest einschrauben, korrekte Menge einfüllen.

Leybold-Service.

O-Ring des Getriebekasten-Deckels austau-schen.

O-Ring des Kupplungsflansches austau-schen.

Siehe Störung „Öl im Förderraum“.

5.2

-

-

-

-

Ölstand im Öler sinkt.

Ölleck sichtbar: Äußerer Wellen-Dichtring defekt

Kein Ölleck sichtbar: Innerer Wellen-Dichtring defekt.

Wellen-Dichtringe auswechseln.

Bei geringem Ölverlust kann die Pumpe zur Not in Betrieb bleiben, wenn am Öler hinrei-chend Öl nachgefüllt wird.

Wellen-Dichtringe auswechseln.

Pumpe abschalten; das ablaufende Öl gelangt in die Lagerräume und verursacht dort unzulässig hohen Ölstand.

5.8

Öl wird dunkel. Öl verbraucht.

Pumpe wird zu warm.

Öl wechseln.

Siehe Störung „Pumpe wird zu warm“; nach dem Beheben der Störung Öl wechseln.

5.2

-

Öl im Förderraum. Ölstand zu hoch.

Öl kommt aus der Anlage.

Pumpe steht nicht waagerecht.

Pumpe nach außen gasundicht.

Pumpe intern undicht.

Kolbenringe defekt.

Öl ablassen bis zum korrekten Stand.

Anlage überprüfen.

Pumpe korrekt aufstellen.

Korrekten Sitz der Öleinfüll- und Ablass-schrauben prüfen, ggf. Dichtungen aus-wechseln. O-Ring des Gehäusekasten-Deckels austauschen.

Leybold Service.

Leybold Service.

5.2

-

3.1

5.2

-

-

Pumpe erreicht ihr Saug vermögen nicht.

Einlasssieb im Ansaugflansch verstopft.

Motor falsch angeschlossen.

Pumpsystem gasundicht.

Ventil der Druckausgleichsleitung schließt nicht (nur WAU).

Einlasssieb reinigen.

Motor korrekt anschließen.

Leck suchen und abdichten.

Ventil reinigen oder instandsetzen.

5.3

3.4

-

5.6

Entsorgen

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7 Verschleiß- und OriginalteileOriginal Ersatzteile sind bei den Leybold Service-Einrichtungen erhältlich.

8 EntsorgenDie Pumpe kann durch den Prozess oder durch Umwelteinflüsse kontaminiert sein. In diesem Fall muss sie fachgerecht dekontaminiert werden. Wir bieten diesen Service zu Festpreisen an. Dazu erbitten wir Ihre Anfrage.

Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Umweltschäden verursa-chen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften beachten und die Schutz maßnahmen einhalten.

Saubere Pumpen zerlegen, entsprechend ihrer Material art trennen und ent-sorgen. Wir bieten diesen Ser vice an. Dazu erbitten wir Ihre Anfrage.

Falls Sie uns eine Pumpe schicken, beachten Sie die Hinweise in Abschnitt 5.10 Service bei Leybold. Wir bieten diesen Ser vice an. Dazu erbitten wir Ihre Anfrage.

AltölentsorgungNach dem Abfallgesetz vom 1. Nov. 1986 gilt das Verursacher-Prinzip. Altöl-Besitzer sind für die ordnungsgemäße Entsorgung verantwortlich.

Das Altöl aus Vakuumpumpen darf nicht mit anderen Stoffen vermischt wer-den.

Altöle aus Vakuumpumpen (Leybold-Öle auf Mineralöl basis), die nur durch normalen Verschleiß infolge der Einwirkung von Luft sauer stoff, Temperatur-erhöhung und mechanischen Abrieb verunreinigt sind, müssen der Altöl-entsorgung zugeführt werden.

Altöle aus Vakuumpumpen, verunreinigt durch andere Stoffe, müssen unter Hinweis auf die jeweilige Verunreinigung gekennzeichnet, gelagert und als Sonderabfall entsorgt werden.

Zu beachten sind europäische, nationale und lokale Vorschriften bezüglich der Abfallentsorgung. Die Abfälle sind durch ein genehmigtes Entsorgungs-unternehmen zu transportieren und zu entsorgen.

WARNUNG

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A. Beschreibung des GerätesSie erleichtern uns die Reparatur oder Wartung des Gerätes, wenn alle hierin enthaltenen Angaben ausgefüllt werden. Insbesondere können wir bei berechtigten Garantiefällen hier wirksam eine schnelle Klärung herbeiführen. Für die Ersatzteilbeschaffung oder die Lagerung relevanter Bauteile sind diese Angaben im Interesse unserer eigenen Ablauforganisation notwendig.

B. UmgebungsbedingungenDie bisherige Verwendungsart der Pumpe ist für eine kostengünstige Repa-ratur wichtig. Sollte aus unserer Sicht im Idealfall die Pumpe nicht im Betrieb gewesen sein, entfällt beispielhaft eine Reinigung. Bei stark verschmutzten Geräten oder Anbauteilen gewährleisten wir hierdurch eine gleichbleibende Bauteil-Qualität.

C. Beschreibung der Prozess-Substanzen1. Mit welchen Stoffen ist die Pumpe in Kontakt gekommen?2. Sind diese Stoffe harmlos?3. Wenn es zu einer Erwärmung der Pumpe kommt,

sind weitere Gefährdungen möglich.

Durch die Mitteilung der Ihnen bekannten Anwendungen erleichtern Sie die Auswahl von Schutzmaßnahmen (technisch, organisatorisch, persönlich) in unseren Service-Centern. Hierdurch versuchen wir eine Gesundheits- beeinträchtigung unserer Mitarbeiter zu verhindern oder auf ein Minimum zu reduzieren.

D. Verbindliche UnterschriftMit Ihrer rechtsverbindlichen Unterschrift schließen Sie Ihrerseits die Erklä-rung ab. Sie versichern uns hierdurch, das Sie nach bestem Wissen und Gewissen handeln und unsere Mitarbeiter keiner unnötigen Gefahr aussetzen.

Kontaminationserklärung Tipps zur richtigen Deklaration

Warum eine solche Erklärung?Unsere Kunden sind in unterschiedlichen Industriezweigen und damit verbundenen Anwendungen tätig. Überdies gibt es zahlreiche Applikationen und interne Verwendungen, die uns mitunter nicht bekannt sind. Andererseits kann der Umgang mit unterschiedlichen Materialien und Stoffen zu Gefahren bei unseren Mitarbeitern führen.

Herzlichen Dank für Ihr Verständnis.

Gefahren durch ChemikalienDurch den Gesetzgeber werden Chemikalien in unterschiedliche Gefahren-gruppen eingeteilt. Hieraus resultieren unterschiedliche Gefahrstoffsymbole. Wichtig für die weitere Verwendung ist es, hier auf bekannte Gefahren hinzuweisen, damit beim Öffnen oder späteren Reparatur der Pumpe keine Verletzungen für das Reparaturpersonal entstehen. Dies gilt insbesondere auch dann, wenn Sie eine verschmutzte Pumpe zu uns senden möchten. Gerade hinsichtlich toxischer Anhaftungen oder entzündlicher Gase unter-sagen beispielhaft Fluggesellschaften den Transport.

Wichtige Hinweise - TransportFür eine gefahrlose Versendung muss die Pumpe frei von Rückständen, gut verschlossen und gut verpackt sein. Hierzu gibt es immer wiedernutz- bare Verpackungsmaterialien. Dies gilt insbesondere auch dann, wenn Sie eine verschmutzte Pumpe zu uns senden möchten. Gerade hinsichtlich toxischer Anhaftungen oder entzündlicher Gase untersagen beispielhaft Fluggesellschaften den Transport.

Wichtige Hinweise - RücksendungUm eine Einschätzung der Rahmenbedingungen zu erhalten, fügen Sie den Begleitschein von außen gut leserlich und ausgefüllt bei.

Weitere nützliche HinweiseBeachten Sie, dass Ihre Mitarbeiter mitunter beim Verpacken oder Umgang mit unseren Pumpen geeignete persönliche Schutzausrüstung tragen müssen. Eine Verschleppung oder Verbreitung von Gefahrstoffen oder Ölen ist gefährlich und deren Beseitigung aufwendig.

Sollten sich Ihre Mitarbeiter beim Umgang oder Handling mit Ihrer Pumpe verletzen oder besteht die Möglichkeit eines „Beinahe-Unfalles“, so teilen Sie uns dies bitte mit. Auch wir haben ein Interesse, Unfälle zu reduzieren oder Verbesserungsmöglichkeiten zu entwickeln.

17200001_001_C0 © Leybold GmbH

Index

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Erklärung über Kontamination (Formular)

17200001_001_C0 © Leybold GmbH

Erklärung über die Kontamination von Kompressoren, Vakuumpumpen und –Komponenten Die Reparatur und / oder die Wartung von Kompressoren, Vakuumpumpen und – komponenten wird nur durchgeführt, wenn eine vollständig ausgefüllte Erklärung vorliegt. Ist das nicht der Fall, kommt es zu Verzögerungen der Arbeiten. Wenn diese Erklärung den instandzusetzendenGeräten nicht beiliegt, kann die Sendung zurückgewiesen werden. Für jedes Aggregat ist eine eigene Erklärung abzugeben.Diese Erklärung darf nur von autorisiertem Fachpersonal des Betreibers ausgefüllt und unterschrieben werden.

Auftraggeber/Abt./Institut : Grund für die Einsendung zutreffendes bitte ankreuzen Reparatur: kostenpflichtig Gewährleistung Straße : Austausch: kostenpflichtig Gewährleistung PLZ, Ort: Austausch/Ersatz bereits veranlasst / erhalten Ansprechpartner : Rückgabe: Miete Leihe zur Gutschrift Telefon : Fax: Kalibrierung: DKD Werkskalibrierung Endverwender: Qualitätsprüfzertifikat nach DIN 55350-18-4.2.1

A. Angaben zum Produkt: :gnubierhcsebrelheF Typenbezeichnung: Artikelnummer : Zubehör: Seriennummer: Applikations-Tool: Verwendetes Öl bei VV-Pumpe: Applikations- Prozess: B. Zustand des Produktes: Nein1) Ja Nein Kontaminierung : Nein1) Ja

. War es in Betrieb ? toxisch Entleert (Produkt/Betriebsstoffe) ? ätzend Alle Öffnungen luftdicht verschlossen! entzündlich Gereinigt ? explosiv 2)

Wenn ja, mit welchem Reinigungsmittel: radioaktiv 2) Und mit welcher Reinigungsmethode: mikrobiologisch 2)

1) wenn „Nein“, dann weiter zu D. sonst. Schadstoffe

C. Angaben zu geförderten Stoffe (bitte unbedingt ausfüllen)1. Mit welchen Stoffen kam das Aggregat in Berührung ? Handelsname und/oder chemische Bezeichnung von Betriebsmittel

und geförderten Stoffen, Stoffeigenschaften z.B. nach Sicherheitsdatenblatt (z.B. giftig, entzündlich, ätzend, radioaktiv)

X Handelsname: Chemische Bezeichnung:

a) b) c) d)

Nein Ja2. Sind die oben aufgeführten Stoffe gesundheitsschädlich ? 3. Gefährliche Zersetzungsprodukte bei thermischer Belastung ? Wenn ja, welche ? 2) Aggregate, die mit mikrobiologischen, explosiven oder radioaktiven Stoffen kontaminiert sind, werden nur bei Nachweis einer

vorschriftsmäßigen Reinigung entgegengenommen.

D. Rechtsverbindliche Erklärung: Wir versichern, daß die Angaben in dieser Erklärung wahrheitsgemäß und vollständig sind und ich als Unterzeichner in der Lage bin, dies zu beurteilen. Uns ist bekannt, daß wir gegenüber dem Auftragnehmer für Schäden, die durch unvollständige und unrichtige Angaben entstehen, haften. Wir verpflichten uns, den Auftragnehmer von durch un vollständige oder unrichtige Angaben entstehenden Schadenersatzansprüchen Dritter freizustellen. Uns ist bekannt, daß wir unabhängig von dieser Erklärung gegenüber Dritten – wozu insbesondere die mit der Handhabung/Reparatur des Produktes betrauten Mitarbeiter des Auftragnehmers gehören – direkt haften.

Name der autorisierten Person (in Druckbuchstaben):

Datum Unterschrift

Firmenstempel

HeadquarterLeybold GmbHBonner Straße 498D-50968 KölnT: +49-(0)221-347-0F: +49-(0)[email protected]

DeutschlandLeybold GmbHSales, Service, Support Center (3SC)Bonner Straße 498D-50968 KölnT: +49-(0)221-347 1234F: +49-(0)221-347 [email protected]

Leybold GmbHVB NordNiederlassung BerlinIndustriestraße 10bD-12099 BerlinT: +49-(0)30-435 609 0F: +49-(0)30-435 609 [email protected]

Leybold GmbHVB SüdNiederlassung MünchenKarl-Hammerschmidt-Straße 34D-85609 Aschheim-DornachT: +49-(0)89-357 33 9-10F: +49-(0)89-357 33 [email protected]@leybold.com

Leybold Dresden GmbHService Competence CenterZur Wetterwarte 50, Haus 304D-01109 DresdenService:T: +49-(0)351-88 55 00F: +49-(0)351-88 55 [email protected]

EuropaBelgien

Leybold Nederland B.V.Belgisch bijkantoorLeuvensesteenweg 542-9AB-1930 ZaventemSales:T: +32-2-711 00 83F: +32-2-720 83 [email protected]:T: +32-2-711 00 82F: +32-2-720 83 [email protected]

Frankreich

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Leybold France S.A.S.Valence Factory640, Rue A. BergèsB.P. 107F-26501 Bourg-lès-Valence CedexT: +33-4-75 82 33 00F: +33-4-75 82 92 [email protected]

Großbritannien

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Italien

Leybold Italia S.r.l.Via Trasimeno 8I-20128 MailandSales:T: +39-02-27 22 31F: +39-02-27 20 96 [email protected]:T: +39-02-27 22 31F: +39-02-27 22 32 [email protected]

Niederlande

Leybold Nederland B.V.Floridadreef 102NL-3565 AM UtrechtSales und Service:T: +31-(30) 242 63 30F: +31-(30) 242 63 [email protected]@leybold.com

Schweiz

Leybold Schweiz AG, PfäffikonChurerstrasse 120CH-8808 PfäffikonLager- und Lieferanschrift:Riedthofstrasse 214CH-8105 RegensdorfSales:T: +41-44-308 40 50F: +41-44-302 43 [email protected]:T: +41-44-308 40 62F: +41-44-308 40 [email protected]

Spanien

Leybold Spain, S.A.C/. Huelva, 7E-08940 Cornellà de Llobregat(Barcelona)Sales:T: +34-93-666 43 11F: +34-93-666 43 [email protected]:T: +34-93-666 46 13F: +34-93-685 43 [email protected]

AmerikaUSA

Leybold USA Inc.5700 Mellon RoadUSA-Export, PA 15632T: +1-724-327-5700F: [email protected]:T: +1-724-327-5700F: +1-724-333-1217Service:T: +1-724-327-5700F: +1-724-325-3577

Brasilien

Leybold do Brasil Ltda.Rod. Vice-Prefeito Hermenegildo Tonolli,nº. 4413 - 6BDistrito IndustrialCEP 13.213-086 Jundiaí - SPSales und Service:T: +55 11 3395 3180F: +55 11 99467 [email protected]@leybold.com

AsienVolksrepublik China

Leybold (Tianjin)International Trade Co. Ltd.Beichen EconomicDevelopment Area (BEDA),No. 8 Western Shuangchen RoadTianjin 300400ChinaSales und Service:T: +86-22-2697 0808F: +86-22-2697 4061F: +86-22-2697 [email protected]@leybold.com

Indien

Leybold India Pvt Ltd.No. 82(P), 4th PhaseK.I.A.D.B. PlotBommasandra Industrial AreaBangalore - 560 099IndienSales und Service:T: +91-80-2783 9925F: +91-80-2783 [email protected]@leybold.com

Japan

Leybold Japan Co., Ltd.HeadquartersShin-Yokohama A.K.Bldg., 4th floor3-23-3, Shin-YokohamaKohoku-ku, Yokohama-shiKanawaga 222-0033JapanSales:T: +81-45-471-3330F: [email protected]

Leybold Japan Co., Ltd.Tsukuba Technical Service Center1959, Kami-yokobaTsukuba-shi, Ibaraki-shi 305-0854JapanService:T: +81-29 839 5480F: +81-29 839 [email protected]

Malaysia

Leybold MalaysiaLeybold Singapore Pte Ltd.No. 1 Jalan Hi-Tech 2/6Kulim Hi-Tech ParkKulim, Kedah DarulAman 09000MalaysiaSales and Service:T: +604 4020 222F: +604 4020 [email protected]@leybold.com

Süd Korea

Leybold Korea Ltd.3F. Jellzone 2 TowerJeongja-dong 159-4Bundang-gu Sungnam-siGyeonggi-doBundang 463-384, KoreaSales:T: +82-31 785 1367F: +82-31 785 [email protected]:623-7, Upsung-DongCheonan-SiChungcheongnam-DoKorea 330-290T: +82-41 589 3035F: +82-41 588 [email protected]

Singapur

Leybold Singapore Pte Ltd.8 Commonwealth Lane #01-01Singapore 149555SingaporeSales und Service:T: +65-6303 7030F: +65-6773 [email protected]@leybold.com

Taiwan

Leybold Taiwan Ltd.No 416-1, Sec. 3Chunghsin Rd., ChutungHsinchu County 310Taiwan, R.O.C.Sales und Service:T: +886-3-500 1688F: +886-3-583 [email protected]@leybold.com

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