THERMOVAC TM 21

Kat.-Nr157 83, 896 83, 897 83

Gebrauchsanleitung

GA 09.212 / 6.01

LecksucheVakuum-Messungund Komponenten In Situ Analyse LEYBOLD INFICON

LEYBOLD-ServiceFalls Sie ein Gerät an LEYBOLD schicken, geben Siean, ob das Gerät frei von gesundheitsgefährdendenSchadstoffen ist oder ob es kontaminiert ist. Wenn eskontaminiert ist, geben Sie auch die Art der Gefährdungan. Geräte ohne Erklärung über Kontaminierung mußLEYBOLD an den Absender zurückschicken.

Allgemeine HinweiseEine Änderung der Konstruktion und der angegebenenDaten behalten wir uns vor. Die Abbildungen sind unver-bindlich.

InhaltSeite

1 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31.1 Allgemeine Angaben . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31.1.1 Verwendungszweck . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31.2 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31.2.1 Allgemeine Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31.2.2 Relais-Ausgänge . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41.2.3 Schreiberausgang . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41.2.4 Netzversorgung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41.2.5 Mechanische Eigenschaften . . . . . . . . . . . . 41.2.6 Umgebungsbedingungen . . . . . . . . . . . . . . 41.2.7 RS 232 C-Schnittstelle . . . . . . . . . . . . . . . . 41.2.8 CE Zeichen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41.3 Technische Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . 51.3.1 THERMOVAC TM 21 . . . . . . . . . . . . . . . . . 51.3.2 Meßverfahren THERMOVAC (Pirani) . . . . . 51.3.3 RS 232 C-Schnittstelle . . . . . . . . . . . . . . . . 51.4 Ausstattung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51.4.1 Lieferumfang . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51.4.2 Zubehör . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5

2 Bedienung und Betrieb . . . . . . . . . . . . . . . 62.1 Inbetriebnahme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62.2 Elektrischer Anschluß . . . . . . . . . . . . . . . . . 62.2.1 Änderung der Netzspannungsein

stellung/ Sicherungswechsel . . . . . . . . . . . . 72.3 Bedienelemente und deren Funktion . . . . . . 72.3.1 Bargraph-Anzeige . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72.3.2 Numerische Anzeige . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82.3.3 Maßeinheit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82.3.4 Statusfeld . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82.3.5 Taste TM . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92.3.6 Taste Dekrement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92.3.7 Taste Inkrement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92.3.8 Taste PARA . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92.3.8.1 Kontrolle und Einstellen der

Geräteparameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92.3.8.2 Verriegeln der Parametereinstellung . . . . . 122.4 Versorgungs-und Steckeranschlüsse

auf der Geräterückseite . . . . . . . . . . . . . . . 122.4.1 Spannungsversorgung . . . . . . . . . . . . . . . 12

Seite2.4.2 Anschluß der THERMOVAC-Meßröhre . . . 122.4.3 Ausgangs-Schraubklemmen . . . . . . . . . . . 122.4.4 RS 232 C-Schnittstelle . . . . . . . . . . . . . . . 132.5 Aufstellen des Gerätes . . . . . . . . . . . . . . . 142.5.1 Einbau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 142.5.2 Rackeinbau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 142.5.3 Schalttafeleinbau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 142.5.4 Verwendung des TM 21 als Tischgerät . . . 142.6 Überprüfung der Gerätefunktionen . . . . . . 142.7 Abgleich der THERMOVAC-Meßröhren . . . 152.8 Außerbetriebsetzung . . . . . . . . . . . . . . . . . 152.9 Zustandsmeldungen . . . . . . . . . . . . . . . . . 152.10 Schreibertabelle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16

3 RS 232 C-Schnittstelle . . . . . . . . . . . . . . 183.1 Technische Beschreibung . . . . . . . . . . . . . 183.2 Schnittstellenparameter . . . . . . . . . . . . . . . 183.2.1 Baudrate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 183.2.2 Datenformat . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 183.2.3 Ende- und Quittungszeichen für

Fernsteuerbetrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 183.2.4 Ausgaberate und Endezeichen für

Druckerausgabe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 183.3 Inbetriebnahme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 183.3.1 Fernsteuerbetrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 183.3.1.1 Leitungsverbindung . . . . . . . . . . . . . . . . . . 183.3.1.2 Baudrate und Datenformat . . . . . . . . . . . . 193.3.1.3 Endezeichen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 193.3.1.4 Quittierungszeichen . . . . . . . . . . . . . . . . . 193.3.1.5 Rücksetz-Zeichen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 203.3.2 Druckerbetrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 203.3.2.1 Ausgabe der Meßwerte auf einen

Drucker . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 203.3.2.2 RS 232 C Baudrate und Datenformat

bei Druckerausgabe . . . . . . . . . . . . . . . . . 203.3.2.3 Ausgaberate bei Druckerausgabe . . . . . . . 203.3.2.4 Endezeichen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 203.4 Datenausgabe und Datenformate . . . . . . . 203.4.1 Meßwertausgabe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 203.4.1.1 Fernsteuerbetrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 203.4.1.2 Druckerausgabe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 213.4.2 Parameterausgabe und Antwortzeiten . . . . 213.5 Schnittstellenbefehle und Dateneingabe

beim A-Seriengerät mit RS 232 C-Schnittstelle . . . . . . . . . . . . . . . 21

3.5.1 Meßwertbildung und Anzeigebefehle . . . . . 213.5.2 Triggereinstellungsbefehle . . . . . . . . . . . . . 223.5.3 Bedienparameter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 223.6 Ausgabe von Fehlermeldungen . . . . . . . . . 223.6.1 Schnittstellenfehler (ERI) . . . . . . . . . . . . . . 223.7 Programmbeispiel zur Einstellung

von Parametern . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 233.8 Beispiele von Leitungsverbindungen

zwischen Schnittstelle und IBM ®-PC . . . . 25

4 Wartung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25

5 Kurzanweisung zur Parametereinstellung . . . . . . . . . . . . . . . 26

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1.1 Allgemeine AngabenDas THERMOVAC TM 21 wird betriebsbereit ausgelie-fert. Trotzdem empfehlen wir Ihnen, diese Gebrauchsan-leitung sorgfältig zu lesen, um Ihnen so von Anfang anein optimales Arbeiten zu gewährleisten.

Diese Gebrauchsanleitung enthält wichtige Informatio-nen zum Verständnis, zur Aufstellung, Inbetriebnahme,Betrieb und zur Fehlersuche des TM 21.

Wichtige Anweisungen, die die technische Sicherheitund den Betriebsschutz betreffen, sind durch Kennzeich-nungen hervorgehoben.

Vorsicht Steht bei Arbeits- und Betriebsverfah-ren, die genau einzuhalten sind, um eineGefährdung von Personen auszusch-ließen.

Achtung Bezieht sich auf Arbeits- und Betriebs-verfahren, die genau einzuhalten sind,um Beschädigungen oder Zerstörungendes TM 21 zu vermeiden.

HinweisGilt für technische Erfordernisse, die der Benutzer be-sonders beachten muß.

Abbildungshinweise z.B. (2/5) geben mit der ersten Zifferdie Abbildungsnummer an und mit der zweiten Ziffer diePosition in dieser Abbildung.

Das TM 21 unmittelbar nach Empfang auspacken, auchwenn die Inbetriebnahme erst zu einem späteren Zeit-punkt erfolgt.

Transportverpackung auf äußere Schäden untersuchen.

Verpackungsmaterial vollständig entfernen.

HinweisFür eventuelle Schadensersatzforderungen ist der Trans-portbehälter und das Verpackungsmaterial gut aufzube-wahren.

TM 21 auf Vollständigkeit prüfen (siehe Kapitel 1.4).

TM 21 einer sorgfältigen Sichtprüfung unterziehen.

Werden Beschädigungen festgestellt, ist umgehend eineSchadensmeldung an den Spediteur und den Versiche-rer zu leiten. Falls es notwendig ist, das beschädigte Teilzu ersetzen, bitte mit der Auftragsabteilung in Verbin-dung setzen.

1.1.1 VerwendungszweckDas THERMOVAC TM 21 bietet eine kontinuierliche Va-kuummessung von 5·10-4 mbar bis Atmosphärendrucksowie Kontroll- und Steuerfunktionen im Druckbereichvon 5·10-3 mbar bis 500 mbar.

Es lassen sich verschiedene THERMOVAC-Sensoren (TR 211, TR 216 oder auch TR 201, TR 205, TR 206 )anschließen.

1.2 Technische Daten

1.2.1 Allgemeine DatenMeßbereich 5·10-4 mbar bis 1000 mbar

THERMOVAC-Meßkanäle 1

Maßeinheit mbar, Torr, Pa, Micron (umschaltbar)

Gasart Luft / N2, Ar (umschaltbar)

Meßwertanzeigedigital 7 Segment-LCDanalog LCD-LaufbalkenMeßwertauflösung siehe Tabelle 3 und 4 im Kapitel2.10.

Meßunsicherheit im Bereich5·10-3 bis 10-2 mbar 20 % vom Meßwert10-2 bis 10+2 mbar 15 % vom Meßwert

Sensoren TR 211; DN 16 KFTR 216; DN 16 KF

bzw. ältere SensorenTR 201; DN 10 KF

TR 205; DN 16 CF; TR 206; DN 10 KF

Leitungslänge bis 100 m

Leitungslängenabgleichbei TR 211 und TR 216 automatisch

Für TR 201, TR 205 und TR 206 Einstellung derLeitungslänge im Parameter-Modus

(siehe Parameterseite 9)

Reaktionszeit der Schaltpunkte ca. 30 msbei Druckänderung größer als 1 Meßdekade;

bei Druckänderungen kleiner als 1 Meßdekadean den Meßbereichsgrenzen ca. 1 s

Schaltpunkte 2; WechselkontaktHysterese einstellbar

Bereitmelder potentialfreier Schließer,Kontakt geschlossen bei Betriebsbereitschaft

Fehleranzeige FAIL optisch

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1 Beschreibung

1.2.2 Relais-Ausgänge

Das THERMOVAC TM 21 hat zwei variable Schaltpunk-te mit je einem potentialfreien Relais-Wechselkontaktund einem Bereit-Meldekreis mit Schließkontakt.

Max. Schaltspannung 250 V AC / 60 V DC

Max. Schaltvermögen 5 A (AC, ohmsche-Last)0,7 A (DC)

Kontaktlebensdauer 60 000 Zyklen

Einstellbereich Schaltpunkte 5·10-3 bis 500 mbarbzw. 3,7·10-3 bis 370 Torr

HinweisDie Relais-Ausgänge sind auch für SPS-Signale geeig-net.

Achtung Bei Anschluß von berührungsgefährli-chen Spannungen sind die entsprechen-den Sicherheitsvorschriften zu beach-ten.

1.2.3 Schreiberausgang

Spannungsbereich 0 bis 10 V (nominal)(Grenzwerte - 0,6 V bis + 10,6 V)

Lastwiderstand Ra ≥ 2,5 kΩ

Ausgangsspannung bei Störung 10,2 V bis 10,6 V

Kennlinienverlauf linear / logarithmisch;logarithmisch (2 Bereiche) oder

linear skaliert in 6 Bereichen wählbar;(Auslieferzustand: logarithmisch 1·10-3 mbar ; 0 V)

log.0-10 V ; 5·10-4 - 1000 mbar (1,587 V / Dekade) 0-10 V ; 1·10-3 - 1000 mbar (1,670 V / Dekade)

linear: 0 - 10 V ; 0 - 1·10-2 mbar0 - 10 V ; 0 - 1·10-1 mbar0 - 10 V ; 0 - 1·100 mbar

::

0 - 10 V ; 0 - 1000 mbar

Auflösung 2,5 mV (12 Bit)

Reaktionszeit ca. 100 ms

1.2.4 Netzversorgung

Kaltgerätesteckdose

Netzspannung (umschaltbar) 100 V, 120 V200 V, 230 V

+ 10 % / - 15 %

Netzfrequenz 50 bis 60 Hz

Leistungsaufnahme 12 VA

1.2.5 Mechanische Eigenschaften

Abmessung (BxHxT) in mm 106,5 x 128,5 x 285,5Einbautiefe 375 mmGewicht 2 kg

1.2.6 Umgebungsbedingungen

Betriebstemperatur 0 °C bis 40 °CLagertemperatur - 40 °C bis 60 °Cmax. rel. Luftfeuchte 80 % n.c.

1.2.7 RS 232 C-Schnittstelle

BAUD-Rate 2400, fest eingestellt

Datenformat ASCII - Zeichensatzein Start-Bit,

sieben Daten-Bits + ein Space-Bit,ein Stop-Bit

Signalpegel ca. ± 8 V

Betriebsarten - Talk-only-Betrieb automatische Meßwertausgabe

alle 10 s, bei Betriebsstörung Ausgabe vonStatusmeldung anstelle des

jeweiligen Meßwertes- Remote-Betrieb Meßwerterfassung,

Statusmeldungen, Parametereinstellung

Anschlußstecker Sub-D-Buchse, 9-polig

Aktive Leitungen TxD (Transmit Data) auf PIN 2RxD (Receive Data) auf PIN 3

GND Signalmasse auf PIN 5

Statussignal DTR (Data Terminal ready) auf PIN 6RTS (Request to send) auf PIN 8

Abschirmung PIN 9

Leitungslänge max. 20 m

1.2.8 CE Zeichen

Das THERMOVAC TM 21 entspricht den einschlägigen,grundlegenden Sicherheits- und Gesundheitsanforde-rungen der EG-Richtlinien.

Entsprechende EG-Konformitätserklärung ist auf Anfra-ge erhältlich.

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1.3 Technische Beschreibung

1.3.1 THERMOVAC TM 21

Mit dem Wärmeleitungs-Vakuummeter THERMOVACTM 21 lassen sich Steuerungen über die beiden Schalt-trigger realisieren. Die zugehörigen Schaltrelais besitzenhochbelastbare Kontakte, die auch zur Signalverarbei-tung bei SPS geeignet sind (vergoldete Kontakte). Derlogarithmische Schreiberausgang erlaubt den einfachenAnschluß von Folgegeräten.

Die Betriebsparameter des Gerätes lassen sich durchden Anwender dem jeweiligen Einsatz anpassen, bei-spielsweise durch Eingabe der Druckeinheit oder deseingesetzten Sensors (Meßfaden aus Wolfram oderNickel).

Der THERMOVAC-Kanal ist unmittelbar nach Anlegender Netzspannung aktiv.

Die Betriebszustände der Trigger und des Meßsystemswerden angezeigt und entsprechend über die Ausgängegemeldet.

1.3.2 Meßverfahren THERMOVAC (Pirani)Bei diesem Meßverfahren im Bereich 5·10-4 bis 1000mbar wird die Wärmeleitfähigkeit des Gases zur Druck-messung genutzt. Um bei den Sensoren eine möglichstkurze Ansprechzeit zu erreichen, kommt bei allen THER-MOVAC-Geräten ausschließlich das Prinzip des geregel-ten Piranis zum Einsatz.

Hierbei ist der Meßfaden Teil einer Wheatstone-Brücke.Ändert sich die Fadentemperatur aufgrund von Druckän-derungen, so entsteht ein Ungleichgewicht in der Brük-ke. Eine schnell ansprechende Regelung paßt die Heiz-leistung des Fadens so an, daß die Fadentemperaturwieder den Nominalwert erreicht und die Meßbrückewieder ins Gleichgewicht kommt. Die Anzeige ist gasar-tabhängig. Im Normalfall ist die Anzeige der Geräte aufStickstoff bzw. Luft ausgelegt, wahlweise kann die Anzei-ge auf Argon umgestellt werden.

1.3.3 RS 232 C-Schnittstelle

Die Schnittstelle arbeitet wahlweise in Verbindung mitDrucker, Fernbedienungsterminal oder Rechner.

Die RS 232 C-Schnittstelle ist geeignet zur Datenüber-tragung über Entfernungen bis 20 m. Mit Medienwand-lern auf z.B. RS 422- oder Glasfaser-Übertragungs-strecken lassen sich auch wesentlich größere Entfernun-

gen überbrücken. Außerdem ist mit Hilfe von Modems(Modulatoren zum Senden im Tonfrequenzbereich undDemodulatoren zum Rückverwandeln in digitale Signale)auch eine Übertragung über Telefonleitungen möglich.

1.4 Ausstattung

1.4.1 LieferumfangKat.-Nr.

THERMOVAC TM 21Europa 230 V ; mbar 157 83USA 120 V; Torr 896 83Japan 100 V; Torr 897 83

Gebrauchsanleitung GA 09.212

2 Schmelzeinsätze T 0,315 A2 Schmelzeinsätze T 0,630 A

Netzleitung 2 m

Eine Schraubklemme 4pol.Eine Schraubklemme 8pol.

Vier Schrauben M 3 x 8 mmEin GerätefußVier Klebefüße

1.4.2 ZubehörKat.-Nr.

THERMOVAC-Meßröhre TR 211, DN 16 KF 157 85THERMOVAC-Meßröhre TR 211, 1/8“ NPT 896 33THERMOVAC-Meßröhre TR 216, DN 16 KF 157 87

Ersatz-Meßzelle TR 211, DN 16 KF 157 75Ersatz-Meßzelle TR 211, 1/8“ NPT 896 34Ersatz-Meßzelle TR 216, DN 16 KF 157 77

Meßleitung 5 m zu TR-Röhren 162 26Meßleitung 10 m zu TR-Röhren 162 27Meßleitung 20 m zu TR-Röhren 162 28

Verlängerungsleitung 20 m zu TR-Röhren 160 77

THERMOVAC Meßröhrensimulator T 210 157 10

Einbaurahmen 19“, 3 HE 161 00

Abdeckplatte 19“, 3 HE 161 02

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2.1 InbetriebnahmeVor Anschluß an das Netz bitte sicherheitshalber folgen-de Prüfung vornehmen:- Einstellung auf richtige Netzspannung (Geräterücksei-

te); siehe Abb. 1.Falls Änderungen nötig, siehe Kapitel 2.2.1.

- Einsatz der richtigen Netzsicherung.Siehe hierzu Kapitel 2.2.1.

Das THERMOVAC TM 21 ist im Auslieferungszustandbetriebsbereit.

Meßröhre über die entsprechende Meßleitung anschlie-ßen (siehe hierzu auch Kapitel 2.4).

Versorgungsspannung über die mitgelieferte Netzleitungans TM 21 anschließen.

Nach Anlegen der Netzspannung erfolgt ein Selbsttestdes Gerätes. Hierbei leuchten kurzzeitig alle Anzeigeele-mente auf.

Abhängig vom Betriebszustand Ihrer Vakuumanlage er-halten Sie eine entsprechende Druckanzeige.

Gewünschte Geräteparameter gemäß Kapitel 2.3.8 kon-trollieren bzw. einstellen.

HinweisNach Anlegen der Netzspannung und erfolgtem Selbst-test oder nach Sensorwechsel (TM-Meßkanal) erscheintabwechselnd für 1 bis 5 s in der Anzeige „TEST“ und„noSEn“. Hierbei wird festgestellt, welcher THERMO-VAC-Sensor am TM-Meßkanal angeschlossen ist.

2.2 Elektrischer AnschlußAchtung Vor der Erstinbetriebnahme des Gerätes

sind folgende Schritte durchzuführen:- Prüfen und gegebenenfalls Anpassen

der eingestellten Netzspannung an dievorhandene Netzspannung.

- Einbau bzw. Prüfen und gegebenen-falls Austauschen der eingebautenNetzsicherung (siehe Kapitel 2.2.1).

Am TM 21 ist die Netzspannung eingestellt, die an derKaltgerätesteckdose (lesbar) nach rechts auf die Mar-kierung (1/3) zeigt.

In die Kaltgerätesteckdose integriert ist die Feinsiche-rung und der Spannungswähler für vier verschiedeneNetzspannungsbereiche.

Der Anschluß der Versorgungsspannung erfolgt über diemitgelieferte steckbare Netzleitung. Dazu befindet sichauf der Geräterückseite eine Kaltgerätesteckdose (6/4).

Vorsicht Es dürfen nur 3adrige Netzleitungen mitSchutzleiter verwendet werden. Ein Ein-satz des Gerätes ohne angeschlosse-nen Schutzleiter ist nicht zulässig.

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2 Bedienung und Betrieb

Erläuterungen zur Abb. 11 Gerätesteckdose2 Sicherungseinschub3 Markierung für die eingestellte Netzspannung4 Ansatz für Schraubendreher

Abb. 1 Kaltgerätesteckdose (Netzeinstellung 230 V)

2.2.1 Ändern der Netzspannungseinstel-lung / Sicherungswechsel

Zum Ändern der Netzspannungseinstellungoder Wechsel der Netzsicherung ist dieNetzleitung zu entfernen.

Zum Einstellen der Gerätespannung ist der Sicherungs-einschub (1/2) neben der Gerätesteckdose (1/1) mit ei-nem Schraubendreher herauszunehmen und so zu dre-hen, daß die gewünschte Spannung (lesbar) nach rechtsauf die Markierung (1/3) zeigt. Den Sicherungseinschub(1/2) in dieser Stellung wieder in die Gerätesteckdoseeinschieben.

Je nach Netzspannungseinstellungen ist eine der folgen-den Netzsicherungen erforderlich:- 100 V: Netzsicherung T 0,63 A (Ø 5 x 20 mm),- 120 V: Netzsicherung T 0,63 A (Ø 5 x 20 mm),- 200 V: Netzsicherung T 0,315 A (Ø 5 x 20 mm),- 230 V: Netzsicherung T 0,315 A (Ø 5 x 20 mm).

2.3 Bedienelemente undderen Funktion

Eine Übersicht über die Anordnung der Bedien- und An-zeigeelemente ist in Abb. 2 dargestellt.

Die Bedienung des Gerätes erfolgt über vier Taster.

HinweisWird eine Taste gedrückt, die im gewählten Betriebszu-stand keine Funktion hat, so leuchtet das Zeichen (2/6)auf.

2.3.1 Bargraph-Anzeige

In der Bargraph-Anzeige (2/4) erfolgt die quasi analogeMeßwertdarstellung in logarithmischer Skalierung. DiePfeile an den beiden Enden der Bargraph-Anzeige sig-nalisieren Bereichsunter- bzw.- überschreitung. Bei derEinstellung der Einheit mbar bzw. Torr leuchtet die obereSkala (Exponenten: -3 bis +3). Bei Pa oder Micronerscheint keine Skalenbeschriftung.

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Erläuterungen zur Abb. 21 Taste TM2 Statusfeld3 Bereichsunter- bzw. -überschreitung4 Bargraph-Anzeige5 Numerische Anzeige6 Hinweis auf Gebrauchsanleitung7 Maßeinheiten8 Gerätefehler9 Taste PARA10 Parameter vergrößern (Inkrement)11 Parameter verkleinern (Dekrement)

Abb. 2 Anordnung der Bedien- und Anzeigeelemente

2.3.2 Numerische Anzeige

In der numerischen Anzeige (3/3) erfolgt die Darstellungdes Druckmeßwertes bezogen auf die jeweils eingestell-te Maßeinheit.

Für die Maßeinheiten Torr, Pa und mbar erfolgt die Meß-wertdarstellung in exponentieller Darstellung.

Ist die Maßeinheit Micron gewählt, erfolgt eine 5stelligeDigitalanzeige. Oberhalb von 99000 Micron erfolgt eineautomatische Umschaltung auf Torr. Es wird auf 1,0·102

Torr umgeschaltet. Alle weiteren Druckmeßwerte werdenjetzt in Torr angezeigt.

Bei Unterschreitung eines Druckes von 9,0·101 Torr er-folgt eine automatische Umschaltung zurück in die Maß-einheit Micron. Das TM 21 zeigt jetzt 90000 Micron an.Alle weiteren Druckmeßwerte werden jetzt in Micron an-gegeben. Kleinster Anzeigewert ist 1 Micron.

Bei der Maßeinheit Micron erfolgt neben der numeri-schen Anzeige die Drucktendenz auf der Bargraph-Anzeige.

2.3.3 Maßeinheit

Rechts neben der numerischen Anzeige befindet sichdie Darstellung der Maßeinheiten (3/4). Es leuchtetimmer nur die Maßeinheit auf, die in der Parameterseite6 angewählt worden ist.

In der Einstellung Micron wechselt die Einstellung druck-abhängig zwischen Micron und Torr.

2.3.4 Statusfeld

Das Statusfeld (3/1) befindet sich zwischen dem Tasten-feld und der Meßwertanzeige.

Im Statusfeld erfolgt die Anzeige der Trigger- und Gerä-tezustände. Eine Übersicht über die Anordnung der Trig-ger- bzw. Gerätezustände ist der Abb. 2 zu entnehmen.Im folgenden werden sie kurz beschrieben.

Trigger 1 ( < 1 > )Leuchtet der linke Pfeil der Triggeranzeige, so ist derDruck kleiner als der eingestellte Triggerwert.

Leuchtet der rechte Pfeil der Triggeranzeige, so ist derDruck größer als der eingestellte Triggerwert.

Trigger 2 ( < 2 > )Für den Trigger 2 gilt analog die gleiche Aussage wie fürTrigger 1.

FAILDie Bezeichnung FAIL leuchtet bei einem Sensorfehler;siehe Kapitel 2.9.

DISPDie Bezeichnung DISP leuchtet immer.

CORRIst in der Parameterseite 4 eine andere Gasart als dasStandardgas „Luft / Stickstoff“ eingestellt, so leuchtet dieAnzeige CORR.

LOCKDie Anzeige LOCK leuchtet, wenn die Parametereinstel-lung über die Tastatur gesperrt ist. Siehe hierzu auchKapitel 2.3.8.2.

PARADie Anzeige PARA leuchtet bei Einstellung der Geräte-

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Abb. 3 Teilansicht der Gerätevorderseite

Erläuterungen zur Abb. 31 Statusfeld2 Bargraph-Anzeige3 Numerische Anzeige4 Maßeinheiten

4

3

2

1

parameter.

2.3.5 Taste TM

Die Taste TM (4/1) hat nur bei der Kontrolle und Einstel-lung der Geräteparameter eine Funktion. Durch Drückendieser Taste wird der Parametermodus verlassen undder THERMOVAC-Meßkanal angewählt. In der Anzeige(3/2) und (3/3) erfolgt die Darstellung des Druckmeß-wertes.

2.3.6 Taste Dekrement

Die Taste Dekrement (4/5) dient zum Einstellen der Trig-ger und anderer Geräteparameter. Mit jedem Drückenwird der angezeigte Zustand um 1 zurückgesetzt, beiZahlenwerten wird die niederwertigste Anzeigenstelleum 1 verkleinert.

Wird die Taste Dekrement beim Einstellen der Triggerlänger als 2 s gedrückt, beginnt ein Schnell-Lauf, der denWertebereich schnell durchläuft.

2.3.7 Taste Inkrement

Die Taste Inkrement (4/4) dient zum Einstellen der Trig-ger und anderer Geräteparameter. Mit jedem Drückenwird der angezeigte Zustand um 1 vorgesetzt, bei Zah-lenwerten wird die niederwertigste Anzeigenstelle um 1vergrößert.

Wird die Taste Inkrement beim Einstellen der Trigger län-ger als 2 s gedrückt, beginnt ein Schnell-Lauf, der denWertebereich schnell durchläuft.

2.3.8 Taste PARA

Die Taste „PARA“ (4/3) dient zum Umschalten auf denParametermodus, bei dem einzelne Geräteparameterkontrolliert bzw. eingestellt werden können sowie zumBlockieren der Parametereinstellung.

2.3.8.1 Kontrolle und Einstellen der Gerätepara-meter

Zur Kontrolle und zum Einstellen der einzelnen Geräte-parameter wird die Taste PARA (4/3) gedrückt. Die An-zeige PARA im Statusfeld leuchtet, und die erste Para-meterseite wird angezeigt.

Durch erneutes Betätigen der Taste PARA wird auf diejeweils nächste Geräteparameterseite gewechselt.

Auf der Bargraph-Anzeige (3/2) erfolgt durch Aufleuch-ten von Balken die Darstellung der Seitennummer desGeräteparameters. Die Anzahl der aufleuchtenden Bal-ken (von rechts beginnend) entspricht der Seitennum-mer des Geräteparameters. Die Geräteparameterseiten-Nummern werden aus technischen Gründen erst abSeite drei dargestellt, d.h.:3 Balken entsprechen der Geräteparameterseite 3,4 Balken entsprechen der Geräteparameterseite 4 usw.

Innerhalb der einzelnen Seiten können die Parameterüber die Tasten Dekrement (4/5) und Inkrement (4/4)verändert werden. Jede Veränderung über die TastenDekrement (4/5) oder Inkrement (4/4) wird sofort wirk-sam.

HinweisWird ca. 1 Minute keine Taste gedrückt, so schaltet dasTM 21 automatisch wieder in die Meßwertanzeige zu-

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Abb. 4 Teilansicht der Gerätevorderseite

Erläuterungen zur Abb. 41 Taste TM2 Statusfeld3 Taste PARA4 Parameter vergrößern (Inkrement)5 Parameter verkleinern (Dekrement)

1

2

3

4

5

rück. Es wird jeweils diejenige Einstellung gespeichert,die beim Verlassen der Parameterseite angezeigt wurde.

Sollten sich in der Anzeige keine Änderungen nachDruck auf Tasten Dekrement (4/5) oder Inkrement (4/4)ergeben, ist die Einstellung verriegelt. Es leuchtet dannauch LOCK.

Ein Verlassen des Parametermodus ist möglich durch- Betätigen der Meßkanalwahltaste TM oder - automatisch nach der letzten Parameterseite.

Man unterscheidet zwei Parameterebenen.

Parameterebene 1In der Parameterebene 1 wird das TM 21 an die gewünschte Applikation angepaßt. In ihr befindet sichfolgender Inhalt:

Seite 1aEinstellung von Trigger 1, erkennbar an einem oder bei-den blinkenden Pfeilen neben der Zahl 1 im Statusfeld.

Hier wird mit den Tasten Inkrement oder Dekrement deruntere Schwellwert des Triggers eingestellt. In den Trig-germodi Level (L) und Intervall (I) ist die Hysterese festeingestellt (siehe auch Kapitel 2.10, Tabelle 4). Im Trig-germodus Hysterese (H) kann die Hysterese durch Vor-gabe des oberen Schwellwertes in Seite 1b manuell ein-gestellt werden.

Im Auslieferstatus ist der Trigger auf 5·10-3 mbar bzw.3,7·10-3 Torr eingestellt.

Seite 1bDiese Seite erscheint nur, wenn vorher auf Parameter-seite 3 der Triggermodus H angewählt wurde. Mit denTasten Inkrement oder Dekrement wird hier der obereSchwellwert von Trigger 1 eingestellt. Es blinkt nur derrechte Pfeil neben der Zahl 1 im Statusfeld.

HinweisDie kleinste einstellbare Hysterese beträgt 20 % desunteren Schwellwertes.

Seite 2a + bEinstellung von Trigger 2, erkennbar an einem oder bei-den blinkenden Pfeilen neben der Zahl 2 im Statusfeld.

Die Einstellung erfolgt analog zu Seite 1a bzw 1b.

Seite 3Einstellung der Triggermodi. Das TM 21 wird im Trigger-modus Level (L) ausgeliefert. Durch Drücken der TastenInkrement oder Dekrement werden die TriggermodiHysterese (H) oder Intervall (I) aktiviert, es erscheinenjeweils die entsprechenden Kürzel L, H, oder I im Dis-play.

L Level-TriggerBeide Triggerausgänge arbeiten unabhängig vonein-ander. Die Einstellung der Schwellwerte ist zwischen5·10-3 mbar und 500 mbar möglich.Die druckabhängige Hysterese ist in Tabelle 3 und 4Kapitel 2.10 dargestellt.

I Intervall-Trigger Die beiden Trigger (Trigger 1 und Trigger 2) sind mit-

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Abb. 5 Darstellung der Triggermodi Level und Intervall

Standard-Hysterese

Standard-Hysterese

einander verknüpft. Bei der Schwellwert-Einstellungmuß folgende Bedingung erfüllt sein:

Schwellwert 1 < Schwellwert 2 Das eingestellte Intervall (Differenz zwischenSchwellwert 1 und 2) kann 5 % des eingestelltenWertes von Schwellwert 1 nicht unterschreiten.Ausgang 2 arbeitet auch bei dieser Einstellung alsLevel-Trigger. Ausgang 1 arbeitet als Intervall-Trigger.

Soll vom Level-Trigger in den Intervall-Trigger umge-schaltet werden und ist dabei die Bedingung Schwell-wert 1 < Schwellwert 2 nicht erfüllt, so erscheint dieAnzeige

L (für Level) und das Zeichen als Hinweis auf die Gebrauchsanleitung.

Um die Umschaltung zu ermöglichen, muß zuerst dieBedingung Schwellwert 1 < Schwellwert 2 erfüllt wer-den.

H Trigger mit einstellbarer HystereseBeide Trigger arbeiten unabhängig voneinander, dieHysterese läßt sich durch separate Eingabe der bei-den Schwellwerte manuell vorwählen.

HinweisDer Einstellbereich liegt zwischen 5·10-3 mbar und 500 mbar. Die kleinste einstellbare Hysterese beträgt20 % des unteren Schwellwertes.

Seite 4Gasart-KorrekturGAS.n2 ‰ Luft / Stickstoff (N2) GAS.Ar ‰ Argon

Auslieferstatus: Luft / Stickstoff

Seite 5Softwareversion und Verriegelung (LOCK); siehe auchKapitel 2.3.8.2.

Der Ausstieg aus dem Parametermodus und Übergangin den Meßbetrieb geschieht durch Drücken der TasteTM oder durch Drücken der Taste PARA.

Parameterebene 2Durch Drücken der Taste Inkrement (2/10) in Gerätepa-rameterseite 5 gelangt man in die Parameterebene 2. Inder Parameterebene 2 befindet sich folgender Inhalt:

Seite 6Maßeinheiten TORR, PA, MICRON, MBARDie eingestellte Maßeinheit blinkt.

Auslieferstatus: MBAR (230 V-Version)TORR (100 V oder 120 V-Version)

!

Seite 7Fadenmaterial des angeschlossenen Sensors (FILA-MENT).FIL tu Wolfram TR 211, TR 201 und TR 205FIL ni Nickel TR 206FIL Pt Platin TR 216

Auslieferstatus: FIL tu

Seite 8Die Geräteparameterseite 8 dient zum Umschalten dernumerischen Anzeige von der Standardauflösung (zwei-stelligen Mantisse) auf die hohe Auflösung (dreistelligeMantisse).

Std Standardauflösung z.B. 3.0 -2 s. Tabelle 3 u. 4HIGH Hohe Auflösung z.B. 3.00-2 s. Tabelle 3 u. 4

Seite 9Leitungslängeneinstellung für THERMOVAC-Meßröh-ren.

HinweisIn der Geräteparameterseite 9 erfolgt die Einstellung derLeitungslänge für die THERMOVAC-Meßröhren.

Nach Aufruf der Parameterseite 9 erscheint auf dem Dis-play „CL xxx“.CL Leitungslängexxx Längenangabe in m

Durch Drücken der Taste Inkrement bzw. Dekrementkann die Leitungslänge im Bereich von 0 m bis 100 m inSprüngen zu 5 m (5 m, 10 m, 15 m, 20 m, 25 m usw.)eingestellt werden. Die Grundeinstellung beträgt 5 m.

HinweisZwischenwerte sind auf- bzw. abzurunden.

Die Werte gelten nur für Standardmeßleitungen mit Lei-tungsmaterial 6 x 18 x 0,1 (6 x 0,14 mm2).

HinweisBei der Kombination der Meßröhre TR 211 ab der Bau-reihe B1 oder der Meßröhre TR 215 / 216 und TM-Meß-kanal ab Softwareversion 2.0 erfolgt ein automatischer-Leitungslängenabgleich. In der Parameterseite 9 wird„CLA“ angezeigt.

Seite 10Einstellung des Analogausganges (siehe hierzu auchKapitel 2.10).

Es können 8 verschiedene Bereiche eingestellt werden.

Logarithmische Ausgangscharakteristik:Ano-3 : log. 1·10-3 - 1000 mbar (1,67 V / Dekade)Ano-4 : log. 5·10-4 - 1000 mbar (1,587 V / Dekade)

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Lineare Ausgangscharakteristik:0 0,1 1 ... 5 V ... 10 V

Anl-2 : 1·10-4 1·10-3 1·10-2 mbarAnl-1 : 1·10-3 1·10-2 1·10-1 mbarAnl+0 : 1·10-2 1·10-1 1·10+0 mbarAnl+1 : 1·10-1 1·10+0 1·101 mbarAnl+2 : 1·10+0 1·101 1·102 mbarAnl+3 : 1·101 1·102 1·103 mbar

2.3.8.2 Verriegeln der Parametereinstellung

Durch Verriegeln der Parametereinstellung kann einungewolltes Verändern einmal eingestellter Parameterverhindert werden.

Ein Festhalten der Taste PARA in der Geräteparameter-seite 5 (Softwareversion) für mehr als 5 s verriegelt alleParameter gegen Veränderungen. Es leuchtet die Anzei-ge „LOCK“. Im Zustand „LOCK“ können über die TastePARA nur die eingestellten Werte kontrolliert werden.

Das Entriegeln ist nur unter der Anzeige Softwareversi-on (Parameterseite 5) durch Drücken und Festhalten derTaste PARA (5 s) möglich.

2.4 Versorgungs-undSteckeranschlüsse aufder Geräterückseite

Alle Versorgungs- und Steckeranschlüsse befinden sichauf der Geräterückseite. Diese sind in Abb. 6 dargestellt.

2.4.1 Spannungsversorgung

Der Netzanschluß, das Umschalten des TM 21 auf ande-re Netzspannungen und der Austausch der Netzsiche-rungen ist im Kapitel 2.2 beschrieben.

2.4.2 Anschluß der THERMOVAC-Meßröhre

Die THERMOVAC-Meßröhre wird an die Anschlußbuch-se (6/4) angeschlossen.

2.4.3 Ausgangs-Schraubklemmen

Die Anschlüsse sind auf zwei Klemmleisten verteilt. Eine4polige Klemmleiste (6/6) oberhalb und eine 8polige

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Erläuterungen zur Abb. 61 Funktions-Erde

(Potentialausgleich für TM 21)2 Anschluß für RS 232 C-Schnittstelle3 Anschluß für TM Kanal

(Trigger 1, 2 und Bereitmelder)4 Anschluß der THERMOVAC-Meßröhre

(TM-Meßkanal)5 Kaltgerätesteckdose6 Anschluß für TM Kanal (Schreiberaus-

gang)

S 1 = TM 1-Meßkanal

HinweisDie in dieser Abbildung dargestellten Klem-menbezeichnungen sind nach DIN-Vorschriftdurchgeführt.Aus Platzgründen sind die Ziffern-Bezeich-nungen nicht auf der Geräterückseite bzw.der Klemmenleiste dargestellt.

Abb. 6 Geräterückseite

CE

(6/3) unterhalb des Meßröhrenanschlusses.

Die Belegung der 4poligen Klemmleiste (Abb. 6) wiefolgt:

TM Kontaktbelegung———————————————————————————31 Schreiberausgang 0 bis 10 V (REC)32 Schreiberausgang (Masse)

Die Belegung der 8poligen Klemmleiste (Abb. 6) wiefolgt:

TM Kontaktbelegung Kontaktsymbol—————————————————————————————82 C Ready83 NO (offen)

41 NC (geschlossen)42 C Trigger 143 NO (offen)

51 NC (geschlossen)52 C Trigger 253 NO (offen)

Bedeutung der Relaisbezeichnung:NC Normally Closed (Ruhekontakt)NO Normally Open (Arbeitskontakt)C Common (Mittenkontakt)

HinweisFür die 8polige Klemmleiste ist eine max. zulässigeBetriebsspannung gegen Schutzerde von 250 V AC und50/60 Hz zugelassen.

2.4.4 RS 232 C-Schnittstelle

Der Anschluß erfolgt über eine 9-polige Sub-D-Buchse(6/2).

Pin-Belegung der Schnittstellenbuchse am A-Serien-gerät:

Pin-Nr. Bezeichnung Erläuterungen————————————————————————1 frei2 TxD Sende-Daten (Ausgang)3 RxD Empfangs-Daten (Eingang)4 frei5 GND Bezugsmasse für Signale6 DTR führt bei Netz EIN H-Signal

(ca. + 8 V)7 frei8 RTS führt bei Netz EIN H-Signal

(ca. + 8 V)9 Shield Masseanschluß für

Leitungsschirm

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2.5 Aufstellen des GerätesDas TM 21 arbeitet zuverlässig bei den üblichen indu-striellen Umgebungsbedingungen (Kapitel 1.2.6).

Das Gerät wird in einem robusten Tischgehäuse ausge-liefert. Das Metallgehäuse hat auf seiner Ober- undUnterseite Lüftungsschlitze. Beim Einbau in einenSchrank ist für ausreichende Belüftung des Gerätes zusorgen. Siehe hierzu auch Kapitel 1.2.6 „Umgebungsbe-dingungen“.

Aufgrund seiner Metallausführung ist ein guter Schutzvor elektromagnetischen Störeinflüssen (EMV) gegeben.Trotzdem sollte der Montageabstand zu starken Magnet-feldern, großen Transformatoren, Motoren etc. so großsein, daß das TM 21 hiervon nicht beeinflußt wird.

2.5.1 Einbau

HinweisBeim Einbau des TM 21 ist darauf zu achten, daß die imGehäuse befindlichen Lüftungsschlitze nicht verdecktwerden. Für ausreichenden Luftdurchsatz ist zu sorgen

2.5.2 Rackeinbau

Im Lieferzustand ist das TM 21 für den Einbau in ein 19“Rack mit 3 Höheneinheiten vorbereitet.

Das TM 21 wird in das Rack eingesetzt und mit vierBefestigungsschrauben von der Frontseite aus ange-schraubt. Befestigungsschrauben sind im Lieferumfangenthalten.

2.5.3 Schalttafeleinbau

Im Lieferzustand ist das TM 21 für den Einbau in eineSchalttafel vorbereitet. Der zum Einbau erforderlicheSchalttafelausschnitt ist in Abb. 7 angegeben.

2.5.4 Verwendung des TM 21 als Tischgerät

Zur Verwendung des TM 21 als Tischgerät kann an derGeräteunterseite der Standfuß (Best.-Nr. 200 60 900)angebracht werden. Der Standfuß wird von derGeräterückseite in die unterste Nut der Eckleiste einge-setzt und nach vorne geschoben, bis er einrastet.

Die vier Klebefüße (Best.-Nr. 229 48 120) sind an derUnterseite des Standfußes und des Gerätes im hinterenBereich aufzukleben.

2.6 Überprüfung der Gerätefunktionen

Das THERMOVAC TM 21 ist werkseitig abgeglichen undwartungsfrei.

Mit dem Testkopf T 210 lassen sich die Gerätefunktionenüberprüfen. Der Testkopf stellt einen Simulator derTHERMOVAC-Meßröhre dar, liefert aber keine Kali-brierwerte.

Mit Hilfe des Einstellknopfes können beliebige Druck-werte im Meßbereich von 1·10-3 mbar bis 1000 mbar ein-gestellt werden.

Diese Einstellmöglichkeit ist besonders bei der Überprü-fung von Schaltpunkteinstellung und Schaltpunktreakti-on an Vakuumanlagen interessant, da diese Funktions-prüfung ohne Inbetriebnahme der Vakuumpumpendurchgeführt werden kann.

Bei Auftreten einer Fehlfunktion an der Meßeinrichtungkann mit Hilfe des Testkopfes T 210 festgestellt werden,ob der Fehler an der Meßröhre, der Meßleitung oderdem TM 21 selber liegt.

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Abb. 7 Maßzeichnung und Schalttafelausschnitt (Maße in mm)

2.7 Abgleich der THERMOVAC-Meßröhren

Die Alterung und die Verschmutzung des Meßfadens be-einträchtigen die Genauigkeit der Druckanzeige. Daherwird empfohlen, die THERMOVAC-Meßröhren bei Be-darf abzugleichen. Der Abgleich kann wie folgt durchge-führt werden:

Vakuum-Apparatur belüften und Potentiometer 100 % ander THERMOVAC-Meßröhre so einstellen, daß sich fol-gende Bargraph-Anzeige ergibt:

HinweisUm einen stabilen, aber dennoch korrekten Abgleich des100 % Punktes zu gewährleisten, sollte das Abgleich-Potentiometer (100 %) nach Aufleuchten des letztenBargraph-Segments um 90 ° im Uhrzeigersinn weiterge-dreht werden. Hierbei darf der rechte Pfeil (Bereichs-überschreitung) gerade aufleuchten.

Vakuum-Apparatur auf einen Druck < 10-3 mbar evaku-ieren und Potentiometer „0“ an der THERMOVAC-Meßröhre so einstellen, daß sich folgende Bargraph-Anzeige ergibt:

Vakuum-Apparatur belüften und nochmals die 100%-Einstellung kontrollieren. Eine eventuelle Abweichungmit dem Potentiometer korrigieren. War eine Korrekturder 100 %-Einstellung notwendig, Nullpunkt-Einstellungwiederholen.

2.8 AußerbetriebsetzungDurch Ziehen des Netzsteckers wird das Gerät ausge-schaltet.

2.9 ZustandsmeldungenDas THERMOVAC TM 21 zeigt verschiedene Zustands-meldungen an.

FAIL FAIL bezeichnet einen Sensorfehler.

Liegt bei Anwahl des THERMOVAC-Meßka-nals ein Fehler vor, so wird einer der nachfol-genden Fehler im Display angezeigt:

No Sensor

Fehlerursache:- Nicht gesteckte Leitung.- Unterbrochene Leitung.- Nicht identifizierbarer Sensor.- Fehlender Sensor.

Filament broken

Fehlerursache:- Meßfaden defekt.

FAULT Fehler im Programmablauf des Mikroprozes-sors, z.B. durch außergewöhnlich starke elek-tromagnetische Störungen bzw. kurzzeitigenNetzausfall (1 bis 3 Sekunden). In diesem Fallwird das Gerät bzw. der betroffene Meßkanaldurch eine Watchdog-Funktion in einen stabi-len Zustand versetzt:- Display: Statusanzeige FAULT, andere Seg-

mente können flackern.- Schreiberausgang wird auf 10,2 bis 10,6 V

hochgesetzt.- Kontakt des Bereitmelderelais ist geöffnet,

Triggerrelais sind in Ruhelage.

Abhilfe:Gerät ausschalten (vom Netz trennen). Nachfrühestens 5 Sekunden wieder in Betrieb neh-men.

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Abgleichzu hoch

Abgleichexakt

Abgleichzu niedrig

Abgleichzu hoch

Abgleichexakt

Abgleichzu niedrig

Dies ist ein Hinweis, das TM 21 gemäß Ge-brauchsanleitung zu bedienen, da hier eineFehlbedienung vorliegt.

Z.B.: LDie Trigger sind im Intervall-Modus, aber derSchwellwert 1 ist größer/gleich Schwellwert 2.

Das Zeichen leuchtet kurz auf, wenn eine Tastegedrückt wird, die im Moment keine Funktionhat.

Dieses Zeichen kennzeichnet einen gerä-teinternen Fehler bzw. einen Gerätedefekt.Gerät instandsetzen lassen.

Initialisierungstext bei Sensortausch im TM-Meßkanal.

2.10 SchreibertabelleTabelle 1 Verhalten von Schreiberausgang, Trigger-Relais und Bereit-

melder im TM-Meßkanal

Gleichungen für den Schreiberausgang (Ua) beimTHERMOVAC-Meßkanal; siehe auch Tabelle 2:

Logarithmisches Ausgangsverhalten:

Für Ano-3

10Ua = — ( log. p + 3)

6

Für Ano-4

Ua = 1,58704·log. p + 5,23887

Lineares Ausgangsverhalten:

Für Anl+3

pUa = ——— 10

pmax

Für Anl+2

pUa = ——— 100

pmax

Für Anl+1

pUa = ——— 1 000

pmax

Für Anl0

pUa = ——— 10 000

pmax

Für Anl-1

pUa = ——— 100 000

pmax

Für Anl-2

pUa = ——— 1 000 000

pmax

Ua Schreiberausgangsspannung (0 bis 10 V)p Druck in mbar oder Torr

Beispielp = 7·10-2 mbar

10 10Ua = — ( log. 7·10-2 + 3) = — (-1,15 + 3) = 3,08 V

6 6

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TM-MeßkanalZustand

Netz „AUS“

Sofort nach Netz„EIN“

Netz „EIN“ nachca. 1 s und gülti-gem Meßwert

Fadenbruch

Kein Sensor ange-schlossen

TM-Bereitmel-dekontakt

offen

offen

geschlossen

offen

offen

Trigger-RelaisArbeitskontakt

offen

offen

je nach Druckoffen odergeschlossen

offen

offen

Schreiber-Ausgang

--

10,2 - 10,6 V

-0 bis 10 V

10,2 - 10,6 V

10,2 - 10,6 V

FAULT

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Tabelle 2 Verhalten von TM-Druckanzeige zu TM-Schreiberausgang

*) FS : 7,5·102 Torr ; 9,8 V

mbar Pa Torr Micron Schreiber- Schreiber-Spannung SpannungANO -3 ANO -4

5,0·10-4 5,0·10-2 5,0·10-4 -- -- 0,00 V9,0·10-4 9,0·10-2 9,0·10-4 -- -- 0,41 V

1,0·10-3 1,0·10-1 1,0·10-3 1 0,00 V 0,48 V2,0·10-3 2,0·10-1 2,0·10-3 2 0,50 V 0,96 V5,0·10-3 5,0·10-1 5,0·10-3 5 1,16 V 1,59 V9,0·10-3 9,0·10-1 9,0·10-3 9 1,59 V 1,99 V

1,0·10-2 1,0·100 1,0·10-2 10 1,67 V 2,06 V2,0·10-2 2,0·100 2,0·10-2 20 2,17 V 2,54 V5,0·10-2 5,0·100 5,0·10-2 50 2,83 V 3,17 V9,0·10-2 9,0·100 9,0·10-2 90 3,26 V 3,58 V

1,0·10-1 1,0·101 1,0·10-1 100 3,33 V 3,65 V2,0·10-1 2,0·101 2,0·10-1 200 3,84 V 4,13 V5,0·10-1 5,0·101 5,0·10-1 500 4,50 V 4,76 V9,0·10-1 9,0·101 9,0·10-1 900 4,92 V 5,17 V

1,0·100 1,0·102 1,0·100 1000 5,00 V 5,24 V2,0·100 2,0·102 2,0·100 2000 5,50 V 5,72 V5,0·100 5,0·102 5,0·100 5000 6,16 V 6,35 V9,0·100 9,0·102 9,0·100 9000 6,59 V 6,75 V

1,0·101 1,0·103 1,0·101 10 000 6,67 V 6,83 V2,0·101 2,0·103 2,0·101 20 000 7,17 V 7,30 V5,0·101 5,0·103 5,0·101 50 000 7,83 V 7,94 V9,0·101 9,0·103 9,0·101 90 000 8,26 V 8,34 V

1,0·102 1,0·104 1,0·102 1,0·102 Torr 8,33 V 8,41 V2,0·102 2,0·104 2,0·102 2,0·102 Torr 8,84 V 8,89 V5,0·102 5,0·104 5,0·102 5,0·102 Torr 9,50 V 9,52 V9,0·102 9,0·104 *) *) 9,92 V 9,93 V

1,0·103 1,0·105 -- -- 10,00 V 10,00 V

Tabelle 4 Zuordnung: Meßbereich, Meßunsicherheit und Schaltpunkthysterese in Einstellung Leveltrigger und Standard-Auflösung

mbar Pa Torr Micron Meßun- Trigger-Hysteresesicherheit Level-Trigger

1,0·10-3 bis 4,9·10-3 1,0·10-1 bis 4,9·10-1 1,0·10-3 bis 4,9·10-3 1, 2, 3, 4 -- nicht einstellbar5,0·10-3 bis 9,9·10-3 5,0·10-1 bis 9,9·10-1 5,0·10-3 bis 9,9·10-3 5, 6, 7, 8, 9 ± 20 % + 20 %1,0·10-2 bis 9,9·10-2 1,0·100 bis 9,9·100 1,0·10-2 bis 9,9·10-2 10, 11, 12... 99 ± 15 % + 10 %1,0·10-1 bis 9,9·10-1 1,0·101 bis 9,9·101 1,0·10-1 bis 9,9·10-1 100, 110... 990 ± 15 % + 10 %1,0·100 bis 9,9·100 1,0·102 bis 9,9·102 1,0·100 bis 9,9·100 1000, 1100... 9900 ± 15 % + 10 %1,0·101 bis 9,9·101 1,0·103 bis 9,9·103 1,0·101 bis 9,9·101 10000, 11000... 99000 ± 15 % + 10 %1,0·102 bis 2,9·102 1,0·104 bis 2,9·104 1,0·102 bis 2,9·102 1,0·102 bis 2,9·102 Torr ± 50 % + 20 %

3,0·102 3,0·104 3,0·102 3,0·102 Torr -- + 20 %3,5·102 3,5·104 3,5·102 3,5·102 Torr -- + 20 %4,0·102 4,0·104 4,0·102 4,0·102 Torr -- + 20 %5,0·102 5,0·104 5,0·102 5,0·102 Torr -- nicht einstellbar6,0·102 6,0·104 6,0·102 6,0·102 Torr -- nicht einstellbar8,0·102 8,0·104 7,6·102 7,6·102 Torr -- nicht einstellbar1,0·103 1,0·105 -- -- -- nicht einstellbar

HinweisDie kleinste Schalthysterese bei Intervall-Trigger beträgt+ 5 % vom Triggerwert.

Druck Schrittweite Schrittweite[mbar / Torr] bei STD bei HIGH

1,00·10-3

bis 0,1er-Schritte 0,1er-Schritte1,00·10-2

bis 0,1er-Schritte 0,01er-Schritte3,00·10-2

bis 0,1er-Schritte 0,02er-Schritte6,00·10-2

bis 0,1er-Schritte 0,05er-Schritte1,00·10-1

bis 0,1er-Schritte 0,01er-Schritte3,00·10-1

bis 0,1er-Schritte 0,02er-Schritte6,00·10-1

bis 0,1er-Schritte 0,05er-Schritte1,00·100

usw. 0,1er-Schritte 0,01er-Schritteusw. 0,1er-Schritte 0,02er-Schritteusw. bis 0,1er-Schritte 0,05er-Schritte

9,90·101

9,95·101

1,00·102

bis 0,1er-Schritte 0,05er-Schritte2,00·102

bis 0,1er-Schritte 0,1er-Schritte3,00·102

3,50·102

4,00·102

5,00·102

6,00·102

8,00·102

1,00·103

Tabelle 3 Anzeigeauflösung und -schritte

3 RS 232 C-Schnittstelle

3.1 Technische Beschreibung

Die Pegel der RS 232 C-Schnittstelle sind wie folgt defi-niert:

Pegel LOW (L) HIGH (H)————————————————————————Spannungsbereich -3 bis -25 V 3 bis 25 VLogikzustand logisch 1 logisch 0Pegelbezeichnung Mark Space

Die Schnittstelle arbeitet wahlweise im:

Drucker-BetriebDie Meßwertausgabe erfolgt im Abstand von 10 s überdie Schnittstelle. Die Steuerung des Gerätes und Ein-stellung von Parametern erfolgt über die Tastatur.

Fernsteuer-BetriebDie Meßwertausgabe über die Schnittstelle erfolgt (nachErhalt des ersten Zeichens) auf Anforderung. WichtigeGeräteparameter können auch über die Schnittstelle ein-gestellt werden.

Während des Empfangs von Schnittstellnachrichten undder Verarbeitung kann die Tastatur für kurze Zeit (max. 2s.) blockiert sein. Die Steuerung erfolgt durch den ange-schlossenen Rechner und während der übertragungs-freien Zeit über die Tastatur. Soll die Parametereinstel-lung über die Tastatur verhindert werden, ist die LOCK®-Funktion zu verwenden.

HinweisNach Netz-Ein befindet sich das Gerät zunächst grund-sätzlich im Drucker-Modus, d.h. es sendet unaufgefor-dert im Abstand von ca. 10 s die Meßwerte. Unmittelbarnach Erhalt des ersten Zeichens vom Steuerrechnerwechselt das Gerät in den Fernsteuer-Modus.

Zur Übertragung von Daten werden ausschießlich dieZeichen des 7-Bit-ASCII-Codes verwendet.

Bei Verwendung eines Rechners benötigt dieser eineEmpfangs-Buffer-Größe von mindestens 30 Zeichen.

Zeichen zur Datenfluß-Steuerung wie X ON/X OFF wer-den nicht ausgewertet und führen zu Fehlermeldungen.

Die RS 232 C-Schnittstelle benötigt minimal drei Leitun-gen:- Sendeleitung (TxD; Transmit data)- Empfangsleitung (RxD; Receive data)- Bezugsmasse (GND; Signal Ground)

Der Anschluß erfolgt über eine 9-polige Sub-D-Buchse(6/2).

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3.2 Schnittstellenparameter

3.2.1 Baudrate

Die Baudrate ist fest eingestellt auf 2400 Baud.

3.2.2 Datenformat

Das Datenformat ist fest eingestellt auf:1 Startbit, 7 Datenbits + 1 Space, 1 Stopbit

Es wird kein Paritätsbit gebildet und auch beim Empfangkeine Paritätsprüfung durchgeführt.

3.2.3 Ende- und Quittungszeichen fürFernsteuerbetrieb

Als Endezeichen wird im Fernsteuerbetrieb für beideRichtungen das Zeichen <CR> (Wagenrücklauf; ASCII-Code: 13d) benutzt.

Das A-Seriengerät antwortet nach Empfang einer Zei-chenkette, die mit dem Endezeichen <CR> beendetwurde, mit dem ASCII-Zeichen <ACK> (acknowledge =erkannt) oder <NAK> (not acknowledge = nicht erkannt)abhängig, ob der Befehl erkannt und ausgeführt werdenkann oder nicht.

3.2.4 Ausgaberate und Endezeichen fürDruckerausgabe

Die Ausgaberate beträgt fest eingestellt 6 Meßwerte proMinute, d.h. im Abstand von 10 s werden alle Meßwerteoder Sensorstati eines Gerätes gesendet.

Als Endezeichen wird bei Druckerausgabe die Zeichen-folge <CR> <LF> (Wagenrücklauf; ASCII-Code: 13d undZeilenvorschub; ASCII-Code: 10d) benutzt.

3.3 Inbetriebnahme

3.3.1 Fernsteuerbetrieb

3.3.1.1 Leitungsverbindung

Zur Funktion des A-Seriengerätes in Verbindung mitRechner oder Terminal ist eine Leitungsverbindunggemäß Kapitel 3.8 herzustellen.

Das A-Seriengerät benötigt mindestens 3 Leitungen:

- Sendedaten TxD Pin 2 Gegenseite:Empfangsdaten

- Empfangsdaten RxD Pin 3 Gegenseite:Sendedaten

- Signalmasse GND Pin 5 Gegenseite:Signalmasse

Die Signale DTR und RTS werden vom A-Seriengerätzur Verfügung gestellt, um der Gegenseite korrekte Sta-tusbedingungen zu bieten, das A-Seriengerät selberbenötigt diese Signalverbindungen nicht.

Es ist sehr zu empfehlen, vor allem bei möglichen elek-tromagnetischen Störeinflüssen, ein abgeschirmtesSchnittstellenkabel zu verwenden. In diesem Fall soll dieAbschirmung nur auf der A-Seriengeräteseite (Pin 9)angeschlossen werden.

Bei sehr stark elektromagnetisch gestörter Umgebungund Potentialdifferenzen zwischen A-Seriengerät undGegenseite (auch Sensorseite) sollten Ausgleichsmas-seleitungen mit genügend großem Querschnitt zwischenden verschiedenen Gehäusemasseanschlüssen herge-stellt werden (beim A-Seriengerät ist für diesen Zweckder 4 mm Schraubanschluß an der Rückwand zu benut-zen).

Alternativ können zur Vermeidung von Ausgleichsströ-men auch RS 232-Isolierverstärker oder Lichtleitersyste-me eingesetzt werden, die der Rechner-Zubehörhandelanbietet.

3.3.1.2 Baudrate und Datenformat

Bei Inbetriebnahme des Gerätes mit Anschluß an Rech-ner oder Terminal muß an diesem Steuergerät die richti-ge Baudrate und das richtige Datenformat eingestelltwerden.

3.3.1.3 Endezeichen

Als Endezeichen wird im Fernsteuerbetrieb für beideRichtungen das Zeichen <CR> (Wagenrücklauf; ASCII-Code: 13d) benutzt. Das Zeichen <LF> (Zeilenvorschub;ASCII-Code: 10d) wird vom A-Seriengerät grundsätzlichignoriert.

Abgesehen von einer einzigen Ausnahme muß jedeBefehlszeichenkette zum A-Seriengerät mit <CR> abge-schlossen werden. Die einzige Ausnahme hiervon bildetdas Reset-Kommando, das aus dem einzigen Zeichen<ESC> besteht (siehe auch 3.3.1.5).

In der anderen Richtung gibt es keine Ausnahme, allevom A-Seriengerät gesendeten Zeichenketten werdenim Fernsteuermodus mit <CR> abgeschlossen.

Bei fehlendem oder falschem Endezeichen <CR> kön-nen Fehlfunktionen der Schnittstelle auftreten.

3.3.1.4 Quittierungszeichen

Im Fernsteuerbetrieb antwortet das A-Seriengerät aufjede empfangene Zeichenkette, die mit dem Endezei-chen <CR> abgeschlossen wurde, mit einem der beidenQuittierungs-Zeichen: <ACK> oder <NAK>.

<ACK> (ASCII-Code: 6d) bedeutet, daß der empfangeneBefehl erkannt worden ist, die Parameter plausibel ange-geben wurden, und der Befehl im derzeitigen Be-triebs-zustand ausführbar ist.

<NAK> (ASCII-Code: 21d) bedeutet, daß verschiedeneFehler bei der Übertragung aufgetreten sein können:- Übertragungsfehler allgemein, Störung, falsche Baud-

rate, falsche Anzahl Start-, Stopp- oder Daten-Bits- Falsches Befehlskürzel oder Befehl jetzt nicht ausführ-

bar (z.B. MIS statt MES für Meßwert-Sendeanforde-rung)

- Falsches Richtungskennzeichen (R/W)- Parameter im falschen Bereich, nicht zulässig, unvoll-

ständig, falsche Anzahl, nicht oder falsch getrennt ( : oder ; ).

Es muß unbedingt beachtet werden, daß das Gerät erstnach Empfang des <ACK> - oder <NAK> - Zeichens undder eventuell angeforderten Antwortzeichenkette zumEmpfang und zur Bearbeitung des nächsten Komman-dos bereit ist.

Zeichen, die nach dem letzten Befehls-Endezeichen undvor dem Quittierungszeichen und der Antwortzeichen-kette an das Gerät gesendet werden, werden von die-sem ig-noriert.

Beispiel für das TM 21Kommunikationsablauf z.B. Meßwert vom TM-Meßkanalauslesen und die Gasart Argon einstellen, wobei ein Zei-chen fehlerhaft übertragen wird mit anschließender Kor-rektur durch den Steuerrechner:

Steuerrechner sendet „MES R TM1<CR>“Bearbeitungszeit des A-Seriengerätes

A-Seriengerät sendet „<ACK><CR>“Bearbeitungszeit des A-Seriengerätes

A-Seriengerät sendet„TM1:MBAR : 3.72E+01<CR>“

Steuerrechner sendet „GBS W TM1 ARGON<CR>Bearbeitungszeit des A-Seriengerätes

A-Seriengerät sendet „<NAK><CR>“

Steuerrechner sendet „GAS W TM1 ARGON<CR>“Bearbeitungszeit des A-Seriengerätes

A-Seriengerät sendet „<ACK><CR>“

HinweisDie Bearbeitungszeiten der Schnittstellenbefehle des A-Seriengerätes können bis ca. 500 ms betragen, sindaber in den meisten Fällen deutlich kürzer.

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3.3.1.5 Rücksetz-Zeichen

Mit dem Zeichen <ESC> (Escape; ASCII-Code: 27d)ohne <CR> läßt sich die Schnittstelle des A-Seriengerä-tes wieder in einen definierten Zustand zurücksetzen.Eine eventuell in Bearbeitung befindliche Empfangszei-chenkette wird gelöscht und die Abarbeitung abgebro-chen.

Der Empfang des <ESC> - Zeichens wird mit <ACK><CR> quittiert. Anschließend ist die Schnittstelle wiederempfangsbereit.

3.3.2 Druckerbetrieb

3.3.2.1 Ausgabe der Meßwerte auf einen Drucker

Nach Inbetriebnahme sendet das A-Seriengerät au-tomatisch im Abstand von 10 s alle Meßwerte eines Ge-rätes oder die entsprechenden Sensor-Statusinformatio-nen.

Zur Funktion des A-Seriengerätes in Verbindung mitDrucker ist eine Leitungsverbindung gemäß Kapitel 2.2herzustellen. Der Drucker muß über eine RS 232 C-Schnittstelle mit den für das A-Seriengerät erforderlichenSchnittstelleneigenschaften verfügen.

Das A-Seriengerät benötigt mindestens 2 Leitungen:- Sendedaten TxD Pin 2 Gegenseite:

Empfangsdaten- Signalmasse GND Pin 5 Gegenseite:

Signalmasse

3.3.2.2 RS 232 C Baudrate und Datenformat bei Druckerausgabe

Baudrate und Datenformat sind fest vorgegeben (sieheKapitel 3.2.1 und 3.2.2).

3.3.2.3 Ausgaberate bei Druckerausgabe

Die periodische Ausgabe der Meßdaten auf z.B einenDrucker erfolgt in einem fest eingestellten Zeitintervall(siehe Kapitel 3.2.4).

3.3.2.4 Endezeichen

Als Endezeichen wird im Druckerbetrieb die Zeichenfol-ge <CR> <LF> (Wagenrücklauf und Zeilenvorschub be-nutzt (siehe Kapitel 3.3.1.3).

3.4 Datenausgabe undDatenformate

3.4.1 Meßwertausgabe

3.4.1.1 Fernsteuerbetrieb

Das A-Seriengerät sendet den Meßwert nach Aufforde-rung durch den Befehl „MES R Meßkanal“

R Read = lesen (optional)Meßkanal TM1

Ausgabe, wenn Meßbetrieb möglich, ergibt folgen-des Meßwertformat:

Meßkanal:Einheit:-n.nnE-mm<CR>

Bedeutung:Meßkanal TM1 3 Zeichen:Einheit mbar, Torr, Pa, Micron 7 Zeichen:-n.nn Mantisse evtl. mit Vorzeichen 6 ZeichenE-mm Exponent immer mit

Vorzeichen 4 Zeichen<CR> Endezeichen 1 Zeichen

Die Länge der gesamten Zeichenkette für einenMeßwert beträgt somit 21 Zeichen.

Beispiel TM1:MBAR : 7.61E-01<CR>

Ausgabe, wenn kein Meßbetrieb möglich Statusformat:

Meßkanal:Fehlernr.:Fehlertext<CR>

Bedeutung:Meßkanal TM1

Fehlernr. Fehlertext Beschreibung————————————————————————0 -- nicht benutzt1 FILBR Fadenbruch 2 -- nicht benutzt3 NOSEN kein Sensor angeschlossen4 FAIL Allgemeiner Fehler, nicht

näher spezifizierbar

Die Länge der gesamten Zeichenkette für den Sensor-status beträgt ebenfalls 21 Zeichen.

Beispiel TM1:3 :NOSEN<CR>

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3.4.1.2 Druckerausgabe

Im „Print Only“ Betrieb wird der Meßwert im folgendenFormat an den Drucker gesendet:

Ausgabe, wenn Meßbetrieb möglichMeßwertformat:

Meßkanal:Einheit:-n.nnE-mm<CR><LF>

Bedeutung:Meßkanal TM1 3 Zeichen:Einheit mbar, Torr, Pa, Micron 7 Zeichen:-n.nn Mantisse evtl. mit

Vorzeichen 6 ZeichenE-mm Exponent immer mit

Vorzeichen 4 Zeichen<CR><LF> Endezeichen 2 Zeichen

Die Länge der gesamten Zeichenkette für einen Meß-wert beträgt somit für ein Einkanalgerät 22 Zeichen.

BeispielTM1:MBAR:4.04E+00

Ausgabe, wenn kein Meßbetrieb möglich Statusformat:

Meßkanal:Fehlernr.:Fehlertext<CR><LF>

Bedeutung:Meßkanal TM1

Fehlernr. Fehlertext Beschreibung————————————————————————0 -- nicht benutzt1 FILBR Fadenbruch2 -- nicht benutzt3 NOSEN kein Sensor angeschlos-

sen 4 FAIL Allgemeiner Fehler, nicht

näher spezifizierbar

Beispiele:TM1:3 :NOSEN TM1:1 :FILBR <CR><LF>

3.4.2 Parameterausgabe und Antwortzeiten

Das Format der Antworten auf Parameterabfragen ist inder Liste der Programmierbefehle im Kapitel 3.5 ange-geben.

Parameter-Einstellungen und Parameter- und Meßwert-Abfragen erfordern geräteinterne Berechnungen undsomit Antwortzeiten, die maximal 2 s betragen können.

Empfängt das A-Seriengerät während der Bearbeitungeines Befehls oder während des Sendens einer Ausga-bezeichenkette weitere Zeichen, werden diese ignoriertund sind ungültig.

3.5 Schnittstellenbefehleund Dateneingabe beimA-Seriengerät mit RS 232 C Schnittstelle

Die Schnittstellenbefehle setzen sich aus folgenden Tei-len zusammen:- Befehlskürzel 3 Zeichen z.B. MES für Meßwert

(obligatorische Angabe)- Richtungs-Zeichen 1 Zeichen R=Read oder

W=Write(kann entfallen, wenn Befehl nurschreiben oder nur lesen ermög-licht)

- Meßkanal 3 Zeichen TM1- Trennzeichen 1 Zeichen <,>

(Komma; ASCII-Code: 44d)

- Parameter-Wert soviel Zeichen wie nötig; evtl. mitweiteren Trennzeichen

Hinweise- Richtungskennzeichen:

W = Schreiben von Parametern (Write)R = gesetzte Parameter lesen (Read)

- Bei den Programmierbefehlen der A-Seriengeräte kön-nen Leerzeichen beliebig eingefügt oder weggelassenwerden.

- Alle eingegebenen Zeichen werden in großer oder klei-ner Schreibweise akzeptiert.

3.5.1 Meßwertbildung und Anzeigebefehle

Gasarteinstellung GASAuswahl Gasart GAS W Meßkanal,GasartGasart auslesen GAS R MeßkanalAntwortformat: GAS Meßkanal,Gasart

Gasart: N2 Stickstoff Ar Argon

Display; Meßkanal-Anzeigezuordnung DSPZuordnung Meßkanal ins Display DSP W MeßkanalAuslesen angezeigter Meßkanal DSP RAntwortformat: DSP Meßkanal

HinweisBei Einstellung der Maßeinheit Micron erfolgen alle Meß-wert-Ausgaben und Triggereinstellwerte grundsätzlich inMicron.

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3.5.2 Triggereinstellungsbefehle

Einzeltrigger einstellenfür Level-Mode TRGTriggerwerte einstellen TRG W Meßkanal, p1, p2

Wertevorrat für p1: 1 oder 2, entspricht Trigger1 oder Trigger 2 eines Meß-kanals

Wertevorrat für p2: -n.nnE-mmTriggerschwellwert im zu-lässigen Bereich (5·10-3 bis500 mbar).Im Einzelnen bedeuten:-n.nn Mantisse evtl. zu-

sätzlich mit Vorzei-chen

-mm Exponent immer mitVorzeichen

Hinweis- Bei Wechsel des Triggermodus werden die Trigger-

pegel auf ihre Minimalwerte gesetzt (siehe Be-schreibung der Parameterseite 1).

- Beim Einstellen der Trigger können Rundungsab-weichungen von ± 0,1 der Mantisse entstehen.

Triggerwerte auslesen TRG R Meßkanal, p1Antwortformat TRG Meßkanal,

Trigger 1/2, Wert

3.5.3 Bedienparameter

Parametereinstellung über Tastatur verriegeln LOKParameter änderbar LOK W OFF(Geräteparameter über Tastatur einstellbar)Parameter nicht änderbar LOK W ON(Geräteparameter über Tastatur nicht einstellbar)Lock-Status auslesen LOK R

Meßwert auslesen MESaktuellen Meßwert lesen MES R Meßkanal(das

R=Read kann wegge-lassen werden, weil nurlesen möglich)

Printer Start(Start der Druckerausgabe) PRSDrucker-Ausgabe-steuerung PRS W oder PRS

High Voltage Switching HVSSchalten der Hochspannung;nur für PM-Kanal im CM 33 Hochspannung ausschalten HVS W Meßkanal,OFFHochspannung einschalten HVS W Meßkanal,ONZust. Hochspannung auslesen HVS R MeßkanalAntwortformat: HVS Meßkanal,OFF

HVS Meßkanal,ON

3.6 Ausgabe von Fehlermeldungen

3.6.1 Schnittstellenfehler (ERI)

Fehlermeldungen, die wegen Interface-Bedienerfehlernauftreten, werden auf Anfrage in folgendem Format anden Rechner gesendet:Fehlerabfrage ERI RAntwort Fehler-Meldung

Bedeutung von Fehler-Meldung:OK letzter Befehl in OrdnungSYNERR p1 Syntaxfehler mit der Bedeutung von p1

1 = Empfangsbuffer voll2 = Befehl nicht interpretierbar;

ungültigPARERR p1 Parameterfehler mit der Bedeutung von

p13 = Unzulässiger Meßkanal4 = Fehlerhafter Befehlsparameter5 = Schreib- bzw. Lesefunktion

unzulässig

Die gespeicherten Schnittstellenfehler werden beimnächsten Schnittstellenbefehl gelöscht.

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3.7 Programmbeispiel zur Einstellung von Parametern‘Sample Remote Control Commands for A-series TM21 with RS232 Interface

CLS‘initialize constantsNAK$ = CHR$(21): ACK$ = CHR$(6)‘opening RS232 communisationOPEN „COM1 :2400,N,8,1,rs,cs,ds,cd“ FOR RANDOM AS #1

LOCATE 1, 1: PRINT “Sample Control Program for Leybold A-Series Gauge“;LOCATE 2, 1: PRINT “THERMOVAC TM21 with RS232-lnterface“;

‘ set display to TM1 measurement channelPRINT #1, “dsp w tm2“ ‘ command: set display to TM21LINE INPUT #1, AckNakTest$ ‘ get handshake charaster from TM21DO ‘ start point of the never ending loop

CLS

‘ take measurement value from TM21 pirani gauge channel 1PRINT #1, “MESr tM1“ ‘ command: read measurement value from TM21LINE INPUT #1, AckNakTest$ ‘ get handshake character from TM21IF AckNakTest$ <> ACK$ THEN ‘test for <ACK>/<NAK> character

PRINT #1, “eri r“ ‘ if <NAK>, then request TM21 error codeLINE INPUT #1, AckNakTest$ ‘ get handshake charaster (without test)LINE INPUT #1, FailMessg$ ‘ get error code from TM21LOCATE 7, 1: PRINT SPACE$(79); ‘ clear screen lineLOCATE 7, 1: PRINT „failure on reading TM1 measurement value: „;LOCATE 7, 40: PRINT FailMessg$; ‘ error code to soreen

ELSELINE INPUT #1, MeasVal$ ‘ if no failure then get measurement valueLOCATE 7, 1: PRINT SPACE$(79); ‘ clear screen lineLOCATE 7, 1: PRINT “astual TM1 measurement value: “;LOCATE 7, 40: PRINT MeasVal$; ‘ output TM1 measurement value

END IF

‘ set gas type of TM channel 1 to argonPRINT #1, “GAS w tm1,ar“ ‘command: set TM1 gas type to argon on TM21LINE INPUT #1, AckNakTest$ ‘ get handshake character from TM21IF AckNakTest$ <> ACK$ THEN ‘ test for <ACK>/<NAK> character

PRINT #1, “eri r“ ‘ if <NAK>, then request TM21 error codeLINE INPUT #1, AckNakTest$ ‘ get handshake character (without test)LINE INPUT #1, FailMessg$ ‘ get error code from TM21LOCATE 9, 1: PRINT SPACE$(79); ‘ clear screen lineLOCATE 9, 1: PRINT “failure on setting gas type argon: “;LOCATE 9, 40: PRINT FailMessg$; ‘ error code to soreen

ELSELOCATE 9, 1: PRINT SPACE$(79); ‘ clear screen lineLOCATE 9, 1: PRINT “setting gas type argon sussessful“;

END IF

‘read current gas type of TM21 TM1 channelPRINT #1, “GAS RTM1“ ‘ command: read current gas type of TM21LINE INPUT #1, AckNakTest$ ‘ get handshake characterIF AckNakTest$ <> ACK$ THEN ‘ test for <ACK>/<NAK> character

PRINT #1, “eri r“ ‘ if <NAK>, then request TM21 error codeLINE INPUT #1, AckNakTest$ ‘ get handshake character (without test)LINE INPUT #1, Fail Messg$ ‘ get error code from TM21

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LOCATE 10, 1: PRINT SPACE$(79); ‘ clear screen lineLOCATE 10, 1: PRINT “failure on reading TM1 gas type: “;LOCATE 10, 40: PRINT FailMessg$; ‘ error code to screen

ELSELINE INPUT #1, GasType$ ‘ if no failure then get gas statusLOCATE 10, 1: PRINT SPACE$(79); ‘ clear screen lineLOCATE 10, 1: PRINT “current gas type of TM1: “;LOCATE 10, 40: PRINT GasType$; ‘ TM1 gas type to screen

END IF

‘ setting TM21 trigger TM1 no. 1PRINT #1 , “TRG W TM1,1, 12“‘ command: send trigger value TM1 no.1 to TM21LINE INPUT #1, AckNakTest$ ‘ get handshake characterIF AckNakTest$ <> ACK$ THEN ‘ test for <ACK>/<NAK> character

PRINT #1, “eri r“ ‘ if <NAK>, then request TM21 error codeLINE INPUT #1, AckNakTest$ ‘ get handshake character (without test)LINE INPUT #1, FailMessg$ ‘ get error code from TM21LOCATE 15, 1: PRINT SPACE$(79); ‘ clear screen lineLOCATE 15, 1: PRINT “failure on setting of TM1 no.1 trigger: “;LOCATE 15, 40: PRINT FailMessg$; ‘ error code to screen

ELSELOCATE 15, 1: PRINT SPACE$(79); ‘ clear screen lineLOCATE 15, 1: PRINT “setting of TM21 trigger TM1 no. 1 suscessful “;

END IF

‘reading of TM21 trigger TM1 no. 1 valuePRINT #1, “trg r tM1, 1“ ‘ command: reading of trigger TM1 no.1LINE INPUT #1, AckNakTest$ ‘ get handshake characterIF AckNakTest$<> ACK$ THEN ‘ test for <ACK>/<NAK> character

PRINT #1, “eri r“ ‘ if <NAK>, then request TM21 error codeLINE INPUT #1, AckNakTest$‘ get handshake character (without test)LINE INPUT #1, FailMessg$ ‘ get error code from TM21LOCATE 16, 1: PRINT SPACE$(79); ‘ clear screen lineLOCATE 16, 1: PRINT “failure on reading of trigger TM1 no. 1: “;LOCATE 16, 40: PRINT FailMessg$; ‘ error code to screen

ELSELINE INPUT #1, Trigger1 $‘ if no failure then get trigger value 2LOCATE 16, 1: PRINT SPACE$(79); ‘ clear screen lineLOCATE 16, 1: PRINT“currenttrigger TM1 no. 1 value: “;LOCATE 16, 40: PRINT Trigger1 $; ‘ trigger value TM1 no.1 to screen

END IF

LOOP ‘never ending loop from starts with DO near begin of this programm

END

24 GA 09.212/6.01 - 07/97

3.8 Beispiele von Leitungsverbindungen zwischen Schnitt-stelle und IBM®-PC

Beispiel für 9-polige PC-Steckverbindung

A-Seriengeräte A-S- A-S- PC- PC- IBM-PCBemerkung für A-Seite Name Pin Pin Name Bemerkung für PC-Seite–––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––frei lassen 1 1 DCD evtl. mit 6 verbindendurchverbinden TxD 2 2 RxD durchverbindendurchverbinden RxD 3 3 TXD durchverbinden

4 4 DTRdurchverbinden GND 5 5 GND durchverbindendurchverbinden DTR 6 6 DSR durchverbinden

7 7 RTSdurchverbinden RTS 8 8 CTS durchverbindenSchirmanschluß Shield 9 9 RI evtl. mit 4 verbinden

Beispiel für 25-polige PC-Steckverbindung

A-Seriengeräte A-S- A-S- PC- PC- IBM-PCBemerkung für A-Seite Name Pin Pin Name Bemerkung für PC Seite–––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––frei lassen 1 8 DCD evtl. mit 6 verbindendurchverbinden TxD 2 3 RxD durchverbindendurchverbinden RxD 3 2 TXD durchverbinden

4 20 DTRdurchverbinden GND 5 7 GND durchverbindendurchverbinden DTR 6 6 DSR durchverbinden

7 4 RTSdurchverbinden RTS 8 5 CTS durchverbindenSchirmansclhuß Shield 9 22 RI evtl. mit 20 verbinden

Beispiel für 25-polige PC-Steckverbindung auf Modem

A-Seriengeräte A-S- A-S- Modem- Modem- ModemBemerkung für A-Seite Name- Pin Pin Name Bemerkung für Modem-Seite––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––frei lassen 1 8 DCD frei lassen Outdurchverbinden TxD 2 2 TxD durchverbinden Indurchverbinden RxD 3 3 RXD durchverbinden Out

4 6 DSR Outdurchverbinden GND 5 7 GND durchverbinden --durchverbinden DTR 6 20 DTR durchverbinden In

7 5 CTS Outdurchverbinden RTS 8 4 RTS durchverbinden InSchirmanschluß Shield 9 22 RI frei lassen Out

4 WartungDas Gerät ist wartungsfrei.

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5 Kurzanweisung zur Parametereinstellung

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Level, Intervall,Hysterese

[L, I, H]

Trigger 1

Schaltpunkt einstellen

Trigger 2

Schaltpunkt einstellen

HinweisBei vorheriger Auswahl des Triggermodus„Hysterese“ müssen pro Schaltpunkt zweiSchwellwerte eingegeben werden.

27GA 09.212/6.01 - 07/97

Faden-Material

Einheit

MBAR, TORR,PA, MICRON

PARA

Seite 6

Seite 7

PARA

Anzeigeauflösung

[STD, HIGH]

Wolfram, Nickel, Platin[Fil tu; Fil ni; Fil pt]

Abgleich Leitungslänge

[CLA][CL xxx]

Autom. LeitungslängenabgleichLeitungslängen in 5 m-Schritten

Meßwert

Seite 8

PARA

Seite 9

PARA

Seite 10

PARA

Einstellung des Analogausgangs (log. / lin.)

log. Ano-3 / Ano-4; lin. Anl-2 bis Anl+3

2. Parameterebene

GA 09.212/6.01 - 07/97

1.80

.7.6

76.1

0

R

SP

0

7.97

Prin

ted

in G

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