© 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik AG »Plasmaprozesse für...

© 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik

AG »Plasmaprozesse für Dünnschicht-Photovoltaik«

Großflächige Beschichtung von Dünnschichtsolarzellen bzw. Halbfabrikaten

Dünnschichtphotovoltaik für Großfläche (3 x 6 m²) noch nicht existent

Anpassung Prozess- und Anlagentechnik

► Dr. Martin BährEuroglas GmbH

Leitung: Dr. Strümpfel (VON ARDENNE)

Dr. Blessing (BlueTec)

Abstract:

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Interessierte Partner:

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Dünnschichtsolarzellen Kostengünstige Dünnschicht-solarzellenabscheidung bei moderaten Temperaturen

Reaktives Magnetronsputtern aktiver Schichten

Effiziente Herstellmethoden entwickeln

Screening diverser Abscheideprozesse

► Dr. Klaus EllmerHahn-Meitner-Institut

► Prof. Dr. Volker KirchhoffProf. Dr. Günter BräuerFraunhofer FEP, IST



Abstract:

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„Billig-TCO‘s“ Ersatz von teurem ITO in Displays und Solarzellen

Material- und Prozessentwicklung




Abstract:

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Transparente Elektroden Reduzierung der spezifischen Widerstände bei hoher Transparenz, stabiler Abscheideprozess

Neue Plasmaanregung während der Abscheidung von TCO‘s

► Dr. Klaus EllmerHahn-Meitner-Institut

AG »Plasmaprozesse für Dünnschicht-Photovoltaik« Leitung: Dr. Strümpfel (VON ARDENNE)


Abstract:

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AG »Plasmaprozesse für Dünnschicht-Photovoltaik«AG »Plasmaprozesse für Dünnschicht-Photovoltaik«

Ion Beam und Plasma [Anm. der AGL] Assisted Deposition (IBAD)

Ion Beam und Plasma [Anm. der AGL] Assisted Deposition (IBAD)

- ► Dipl. Phys. Friedrich W. NickolSemcoglas GmbH



Abstract:

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Preisgünstige Inline-Messung an dünnen Schichten bzw. Schichtsystemen

Bestimmung der Schichteigenschaften bzw. Teilschichtsysteme direkt im Beschichtungsprozess an mehreren Positionen

z. B. Transmissions-/ Reflexions-messung an ausgewählten Wellenlängen




Abstract:

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Prozessautomation/ -regelung

Hohe Produktivität bedingt wachsende Anzahl von Sputter-stationen; gleichzeitig werden Schichtsysteme komplexer; dadurch Bedienung extrem erschwert

Bessere Regelmechanismen, neue Eingabekonzepte




Abstract:

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Neu- und Weiterentwicklung, Diagnostik für Plasmaprozesse

Korrelation zwischen Plasmaeigenschaften (PVD, PECVD, PTWA, Plasmaspritzen) u. Schichteigenschaften

Entwicklung, Adaption von Diagnostik für thermische Plasmen und Niedertemperaturplasmen

► Prof. Dr.-Ing. Kirsten BobzinIOT, RWTH Aachen



Abstract:

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Selbstreinigende Oberflächen Realisierung von selbstreinigenden Oberflächen

Fortführung begonnener Material- und Prozessentwicklungen




Abstract:

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Optische Entspiegelungs-schichten

Sehr homogene (1%) Einfach- und Mehrfachschichten

Reaktives Sputtern mit O2, N2► Dr. Bernhard Grünler

Singulus Technologies AG



Abstract:

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Entspiegelung von Polymeren durch Plasmaätzen

Preiswerte Entspiegelung mit Zusatzfunktion (Antifog oder hydrophob)

Strukturerzeugung im Plasma ► Prof. Dr. Norbert KaiserFraunhofer IOF



Abstract:

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Antireflex für Solar Verbesserung der Lichteinkopplung in PV-Module

Vermeidung von HF-Ätzen (Nasschemie), Einsatz d. Pyrosiltechnik; Verbesserung der Absorption und gleichzeitig Korrosionsschutz

► Dr. Bernd GrünlerInnovent e. V.



Abstract:

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AG »Plasma-Verfahren für 3D-Strukturen«

Plasmaverfahren für 3D-Strukturen

Preiswerte Verfahren zur Innen- und Außenbehandlung (Beschichten, Aktivieren) von Bauteilen

Atmosphärendruckplasma-verfahren, dynamische Entladungen

► Prof. Dr. K.-D. WeltmannDr. Andreas OhlINP Greifswald

Leitung: Dr. Cord (Singulus Technologies)

Abstract:

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Hochleistungsschichten auf komplex strukturierten Oberflächen, Prozess-führung, Vermeidung v. Überhitzung

Sensible Prozesssteuerung (PTWA u. Plasmaspritzen), integrative Regelung und Steuerung


Leistungsfähige Beschichtungen auf strukturierten Oberflächen (z. B. Innenkonturen)

Abstract:

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Preiswerte Herstellung harter Schichten auf mittelgroßen Substraten

Co-Deposition mit GFS-Quellen

► Prof. Dr. Günter BräuerFraunhofer IST

Transparenter Kratzschutz

Abstract:

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Verringerung von Wasseraufnahme durch das Polycarbonat bei DVD

Sputtern, CVD ► Dr. Bernhard GrünlerSingulus Technologies AG

Barriere-/ Funktionsschichten

Abstract:

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Barrierebeschichtungen, Diffusions-sperrschichten u. ä. auf Basis von Niederdruck, insbesondere jedoch Atmosphärendruck-Beschichtungen

Freistrahlplasmen ► Dr. Bernd GrünlerInnovent e. V.

Funktionelle Innenbeschichtungen in Hohlkörpern

Abstract:

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Entwicklung neuer Plasmaprozesse, hybride Beschichtungsprozesse

Neue, leistungsfähige Werkstoffkonzepte für Beschichtungen, neue Anwendungsgebiete

Prozessentwicklung, PVD und Jetflow, innovative Plasmadiagnostik, Plasmamodellierung und Simulation


Abstract:

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AG »Plasma-Verfahren für die Medizin- und Biotechnik«

Atmosphärendruckplasmen In vielen medizinischen und biologischen Bereichen ist eine Plasmaanwendung denkbar und vielversprechend

- ► Prof. Dr. Wolfgang ViölHAWK, Fakultät N

Abstract:

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Leitung: Dr. Oehr (Fraunhofer IGB)



Ultrahochbarriere Barrierenentwicklung für die langzeitstabile Verkapselung feuteempfindlicher Materialien (z. B. OLEDs)

Untersuchung diverser Plasmaprozesse

► Prof. Dr. Volker KirchhoffProf. Dr. Günter BräuerFraunhofer FEP

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Barriereschichten Anhebung der Sperrwirkungen, Einkapselung von Bauelementen

Multischichtsysteme ► Prof. Dr. K.-D. WeltmannDr. Andreas OhlINP Greifswald

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Plasmabehandlung von Mikrokomponenten

Innenfunktionalisierung, preiswert, bei Atmosphärendruck

Spezielle Plasmasysteme und Verfahren



Abstract:

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Biofunktionelle Beschichtungen

Biomimetische Funktionsschichten für Zellkulturkäfer, Implantate etc., Medikamentendepots

Spezielle Plasma-CVD-Schichtsysteme, Kopplung mit chemischen Verfahren


Abstract:

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Plasmasterilisation Schnelle Sterilisation oder Keimreduktion bei Atmosphärendruck

- ► Prof. Dr. K.-D. WeltmannDr. Andreas OhlINP Greifswald

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Funktionalisierung/ Plasmabehandlung von porösen Materialien, Pulvern, Schüttgut

Effiziente und kostengünstige Behandlung

Spezielle Entladungssysteme und Verfahren


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Quantitative Analytik an funktionellen Schichten aus dem Plasma

Analytische Ergebnisse selten vergleichbar, da oft semi-analytische Methoden verwendet werden (z. B. ESCA)

Vergleich regionaler Ansätze ► Dr. Christian OehrFraunhofer IGB

Abstract:

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Erschließung neuer Schichtsys., basierend auf Beflammungs-CVD-Verfahren

Bisher nur begrenzte Zahl von Schichtsystemen mit C-CVD und r-C-CVD möglich (SiO2, TiO2, WoX)

Verfahrensmodifizierungen, Brennerentwicklung (z. B. Ziel Perovskite für Katalysatoren, Nichtoxide)

► Dr. Bernd GrünlerInnovent e. V.


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AG »Abgasnachbehandlung«

Abgasreinigung von Holzöfen

Es werden immer mehr Holzwerkstoffe verbrannt, die eine erhebliche Staub- und Gasemission verursachen

Staubfilter, Abgasreinigung mit Plasma

► Prof. Dr. Wolfgang ViölHAWK, Fakultät N

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Leitung: Dr. Feichtinger (Robert Bosch GmbH)


AG »Abgasnachbehandlung«

Abgasreinigung NOx, VOC oder Rußabreicherung in Abgas von Verbrennungsmotoren

Atmosphärendruck-Plasma ► Dr. Jochen FeichtingerRobert Bosch GmbH

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Leitung: Dr. Feichtinger (Robert Bosch GmbH)


AG »Verschleißschutz auf Bauteilen«

Verschleißschutz-Beschichtung

Schutz tribologisch hoch belasteter, mechanischer Bauteile vor Verschleiß

DLC-Beschichtung ► Dr. Jochen FeichtingerRobert Bosch GmbH

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Leitung: Dr. Brand (Fraunhofer IST)

Dr. Feichtinger (Robert Bosch GmbH)



Kosten Kohlenstoffschichten Reduzierung der Beschichtungskosten von Kohlenstoffschichten

- ► Dr. Thomas KrugHauzer Techno Coating BV

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Tribologische Schichten Verbesserte Eigenschaften, z. B. für DLC-Schichten

Hochleistungs-Puls-Magnetron-Sputtern

► Prof. Dr. Günter BräuerFraunhofer IST

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Beschichtung weicher Materialien

Beschichtung von Kunststoffen und Leichtmetallen

Duplex, Verfahrenskombination

► Dr.-Ing. Jochen BrandFraunhofer IST

Abstract:

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Hochtemperaturschichten Schichten mit guten Reib-eigenschaften und Anti-Haftwirkung bei hohen Temperaturen

- ► Dr.-Ing. Jochen BrandFraunhofer IST


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Plasmafeinreinigung und Oberflächenaktivierung

Komplexe Bauteile und Geometrien erfordern hinreichende Spaltgängigkeit der Plasmen

Spezielle Plasmasysteme ► Prof. Dr. K.-D. WeltmannDr. Andreas OhlINP Greifswald


Abstract:

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AG »Harte und superharte Beschichtungen«

Entwicklung von Werkzeugbeschichtungen für die wirtschaftliche und quali-tätsgerechte Zerspanung von GGV und ADI

Hoher Verschleiß, unbekannte Verschleißmechanismen, kein(e) zufriedenstellende(r) Schneidstoff/ Beschichtung

Untersuchung der Verschleiß-mechanismen, Entwicklung angepasster Mehrschicht-systeme

► Dr.-Ing. Jan GäblerFraunhofer IST

Abstract:

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Leitung: Dr. Gäbler (Fraunhofer IST)


AG »Harte und superharte Beschichtungen«

Neue Farben Dekorative, verschleißfeste Schichten mit neuen Farben, die nicht auf Interferenz beruhen


Abstract:

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Leitung: Dr. Gäbler (Fraunhofer IST)


AG »Ausbildung«

Ausbildung von FH-Studenten im Bereich Plasmatechnik

Es gibt zu wenig Fachhochschulen, die Vorlesungen und Praktika im Bereich Plasmatechnik anbieten

Öffentlichkeitsarbeit ► Prof. Dr. Wolfgang ViölHAWK, Fakultät N

Abstract:

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Leitung: Frau Brand (Fraunhofer IST)

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